JPH106218A - ドレッシング用研磨材製品 - Google Patents
ドレッシング用研磨材製品Info
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 81
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 14
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 abstract description 5
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 55
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N Perchloroethylene Chemical group ClC(Cl)=C(Cl)Cl CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/04—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
- B24D3/06—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D11/00—Constructional features of flexible abrasive materials; Special features in the manufacture of such materials
- B24D11/001—Manufacture of flexible abrasive materials
- B24D11/005—Making abrasive webs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/06—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with inserted abrasive blocks, e.g. segmental
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
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Abstract
しい研磨材製品を提供する。 【解決手段】 本発明の研磨材製品は、(a)主表面と
導電性層2とを含み且つ研削方向を定める軸線を有する
硬質の基材1と、(b)主表面に複数の列をなして配列
された複数の金属要素3であって、各列は上記研削方向
を横切る方向に沿っており、各金属要素3は一方の端部
が導電性層2に接して取り付けられ、他方の端部に砥粒
4を含んでいて、且つ各金属要素3は上記研削方向に向
かって所定の幅を持ち、同一の列の隣合う金属要素3は
いずれの隣の列のいずれの隣りの金属要素3の幅よりも
狭い隙間をあけて離れており、一つの列の個々の金属要
素3は隣の列において隣合う金属要素3間の隙間に重な
るように配置されている複数の金属要素とを含む。
Description
品、特にドレッシング用研磨材製品に関する。研磨材製
品は一般に、砥粒と、これを支持する基材と、砥粒を基
材に結合する結合材から構成され、使用されるにつれて
砥粒の摩滅、脱離等のため研磨性能が低下する。研磨性
能の低下した砥石は、ドレッシングと称される処理を施
すことで研磨作業に必要な砥粒を再び露出させて再使用
に供することができる。本発明の研磨材製品は、そのよ
うな研磨性能の低下した研磨材製品のドレッシングに有
効なものであり、特にロール状の不織布又は織布研磨材
のブラシをドレッシングするのに適するものである。
く使用されており、いろいろな種類の研磨材製品が知ら
れている。紙又は布製の基材に砥粒を結合させたサンド
ペーパーは、最も一般的に使用されている研磨材製品の
一つである。サンドペーパータイプの研磨材製品は、加
工対象物品の研磨のためにも、また研磨性能の低下した
研磨材製品のドレッシングのためにも使用される。
スケールの除去のためにバフ研磨用ローラーブラシが使
用されており、このローラーブラシはロール状にした不
織布基材に研磨材のアルミナ砥粒が結合されたものであ
る。このローラーブラシを使って圧延板表面の酸化スケ
ールの除去作業を続けると、研磨材が脱離してローラー
ブラシの表面に不織布繊維が露出されてくる。こうして
研磨性能の低下したローラーブラシは、サンドペーパー
タイプの研磨材製品を用いてドレッシングされる。この
ようなドレッシング用途に使用されるサンドペーパータ
イプの研磨材製品における砥粒としては、やはりアルミ
ナ砥粒が使用されている。
をドレッシングする際には、乾式下でドレッシングを行
った後に引き続き乾式下でケバ焼きを行って、砥粒の脱
離した繊維を焼き切ることが推奨されている。ところ
が、上記のような圧延板表面の酸化スケールの除去や、
あるいは回路基板の銅箔表面の研削は水を使って実施さ
れており、ドレッシングもまた湿式下で行われている。
従来のサンドペーパータイプの研磨材製品では、基材が
軟質で砥粒がぐらつきやすいことから鋭い研磨ができな
いため、有効なケバ焼きを行うことができず、ドレッシ
ング直後の研磨性能が極端に悪くなり、本来の研磨性能
の回復に時間のかかることが問題であった。
ローラーブラシ等のドレッシングに十分に適合した新し
い研磨材製品の提供を目的とする。
下記の(a)及び(b)を含むものである。 (a)主表面と導電性層とを含み、且つ研削方向を定め
る軸線を有する硬質の基材。 (b)上記主表面に複数の列をなして配列された複数の
金属要素であって、各列は上記研削方向を横切る方向に
沿っており、各金属要素は一方の端部が上記導電性層に
接して取り付けられ、該金属要素の他方の端部に砥粒が
含まれていて、且つ各金属要素は上記研削方向に向かっ
て所定の幅を持っていて、同一の列の隣合う金属要素は
いずれの隣の列のいずれの隣りの金属要素の幅よりも狭
い隙間をあけて離れており、一つの列の個々の金属要素
は隣の列において隣合う金属要素間の隙間に重なるよう
に配置されている複数の金属要素。
研磨材製品の製造(後述)のために導電性であることが
必要とされる。導電性層は、典型的には金属から構成さ
れるが、適度の導電性とともに適度の熱伝導性を持ち、
ペレット等の金属要素を固定することができる、金属以
外の任意の材料から構成することも可能である。
の導電性層は箔又は板状の金属層から構成され、また金
属要素はペレット状の形態であることができる。従っ
て、この態様における本発明の研磨材製品は、硬質の基
材上に配置された箔又は板状の金属層を有し、この金属
層上に金属ペレットが、研磨方向を横切る方向において
互いに隣接する前方ペレット間の間隙の後方に後方ペレ
ットが位置するようにして千鳥状に配置され、且つ研磨
方向から見たときに後方ペレットの両側が前方ペレット
に重なるように配置されており、そして各ペレットの上
面に砥粒を備えてなる。以下においては、基材の主表面
に設ける導電性層を金属層であるとして説明するが、導
電性層が金属層に限定されないことは言うまでもない。
同様に、以下では導電性層上に配置される金属要素をペ
レットであるとして説明するが、金属要素がこれに限定
されないこともまた言うまでもないことである。
したように、硬質の基材1、この基材上に位置する箔又
は板状の金属層2、この金属層上に配置された金属ペレ
ット3、そしてこの金属ペレット上の砥粒4から構成さ
れる。
る硬質材、すなわち本発明の研磨材製品の使用時におい
て当該金属層の平坦性を保持し、それにより金属層上の
各ペレット上面の砥粒層により構成される研磨面の平坦
性を保証し得るものならば、どのような材料製であって
もよい。具体的には、「硬質」とは曲げ剛性EI(ここ
で、Eは材料の縦弾性係数、Iは材料の断面二次モーメ
ントを意味する)により特徴付けられる物理的特性であ
り、本発明において「硬質」であるとは、材料の曲げ剛
性EIが幅10cmの長尺サンプルの長尺方向(幅と直
角の方向)の曲げにおいて10kg・cm2 以上である
ものを言う。例えば、金属製の板や、ガラス入りエポキ
シのような合成樹脂の板(例えばTaylor−Fib
re社から入手できる、NEMA part 10規格
のFR4)、あるいは各種複合材料の板等を使用するこ
とができる。また、基材1の形状もどのようなものであ
ってもよく、使用目的に応じて好適な形状を選ぶことが
できる。基材1の厚みも、用途に応じて適宜選ぶことが
できる。なお、ここでの基材の平坦性は、その表面に金
属層を介して配した砥粒を有するペレットを強固に定位
置に配し得ることで、研磨特性に影響を与える使用時の
砥粒のぐらつきを防止でき、結果的に研磨材のカット性
向上の面から重要な効果を奏す一因となるものである。
の箔又は板を付着させることで簡単に形成することがで
きる。本発明にとって好適な金属層は、銅箔(厚さが例
えば18μmのもの、35μmのもの等を使用すること
ができる)、あるいは厚さが0.2mm以上の銅板であ
り、あるいは同様の厚さの銅合金である。銅箔として
は、強度の点から、電解純銅箔よりも圧延純銅箔の方が
好ましい。銅合金としては、黄銅、リン青銅等を使用す
ることができる。金属層2は、後に説明するように本発
明の研磨材製品の製造を容易にする(基材への金属ペレ
ットの付着を容易にする)とともに、研磨作業で発生す
る熱を発散させるのに有効である。この点、米国特許第
5389119号明細書等に開示された従来のメッシュ
基材の上に金属メッキ等を施して作製した研磨材製品に
比べ、本発明における金属層は実使用時に生じる摩擦熱
を容易に放出することができ、結果的に製品の長寿命化
を可能ならしめるものである。金属層の厚さは、後述の
ようにペレット間に侵入することがある被研磨物の研磨
材のためにペレット間に露出している金属層に亀裂が生
じて製品寿命が短くなるのを防ぐ観点から、厚い方が有
利である。とは言え、これもやはり後述するように、本
発明ではペレット間への被研磨物研磨材の侵入が効果的
に防止されるので、金属層を極端に厚くする必要はな
い。また、金属層の大きさは基材1と同じ大きさであっ
てもよく、あるいは基材1の一部のみを覆うように基材
1より小さくてもよい。
は、好ましくはニッケル、又はニッケル合金から作られ
る。ペレット3の断面形状は円形あるいは矩形等にする
ことができる。ペレット3の高さは、特に限定されない
が、一般には0.1〜5mm程度である。ペレット3の
好ましい高さは0.5〜2.0mmである。また、ペレ
ット3の幅(あるいは直径)は、例えば0.5〜1.2
mmとすることができる。ペレットのこれらの寸法も、
その形状も、研磨材製品の用途や製造上の条件に合わせ
て適宜選択するばよい。
金属層2(図示せず)の上に千鳥状に配置されることが
重要であり、そしてこの千鳥状の配置は、研磨方向を横
切る方向において互いに隣接する前方ペレット3a間の
間隙の後方に位置する後方ペレット3bの両側部10が
研磨方向から見たときに前方ペレット3aに重なるよう
になっていることが重要である。この関係は、図2にお
いてL1 で表される前方ペレット間の間隙が、後方ペレ
ット3bの直径L2 より小さいこと、すなわちL1 <L
2 であることとして表現することもできる。
場合には、研磨作業時に加えられる荷重のため被研磨物
の研磨面がたわみやすくなる。ペレット3が図2に示し
たように重複する千鳥状に配列されていず、例えば図3
に示したように研磨方向にみて正方格子状に配置されて
いる場合においては、ペレット間の間隙に被研磨物の研
磨材が侵入し、それにより基材上の露出されている金属
層2(図1)と直接接触してこの層を磨耗させ、最終的
には金属層2にその下の基材1まで達する亀裂7を生じ
させてペレットの脱離を引き起こす。こうなると、研磨
材製品は使用不能となる。しかしながら、金属ペレット
3を千鳥状に配置するとともに、これらが研磨方向に見
たときに部分的に重なるように配置した本発明にあって
は、各ペレットの高さを均一に維持してやりさえすれ
ば、被研磨物の研磨材がペレット間の隙間に入り込んで
そこにある金属層を擦過することに起因する金属層の磨
耗が効果的に防止されるので、研磨材製品の寿命が格段
に向上する。
は、本発明の研磨材製品を使ってドレッシングする被研
磨物の砥粒に応じて選ぶことができる。とは言え、一般
には、高い硬度を有するダイヤモンドあるいは立方晶窒
化ホウ素(CBN)の砥粒を用いるのが好適である。砥
粒の大きさは、研磨材製品の使用目的に応じて適宜選ぶ
ことができる。一般には、5〜500μmの砥粒が使用
される。ダイヤモンド砥粒を用いた従来の研磨材製品の
代表例はダイヤモンド砥石であるが、ダイヤモンド砥石
を使ってドレッシングを行うのには大がかりで高価な専
用の機械設備が必要となる。それに対し、本発明の研磨
材製品はプレート状であり、所望の形状・寸法のものを
簡単に入手できることから、ダイヤモンド砥石の場合の
ような大がかりな設備を使用することなくドレッシング
作業に供することが可能である。
665号公報に記載された方法を応用して容易に製造す
ることができる。例えば、金属層2として銅箔を用い、
その上にニッケルのペレット3を形成し、そしてこのペ
レット3の上面にダイヤモンド砥粒4を配置した構成の
研磨材製品は、次のようにして製造される。
て、この銅箔の上に所定の重複千鳥状ニッケルペレット
の配列に対応した孔のあいたスクリーンを被せる。スク
リーンを被せた基材を、適当なニッケルめっき浴(通常
は硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ホウ酸などの混合水溶
液が使用される)の下部に水平に配置し、基材上の銅箔
を直流電源の負極につなぐ。この直流電源の正極につな
いだニッケル製の陽極を、基材の上方のメッキ浴内に配
置する。メッキ浴に直流を流して電解めっきを開始す
る。続いて、銅箔上にニッケルのペレットを所定の配列
で析出させるとともに、メッキ浴の上方からダイヤモン
ド砥粒をメッキ浴内に落下させてニッケルペレットに砥
粒を植え込む。こうして、ニッケルペレットの上面にダ
イヤモンド砥粒が植え込まれた本願の研磨材製品を得る
ことができる。
m)、銅合金(黄銅)箔(厚さ35μm)又は純銅板
(厚さ0.5mm)を使用し、ペレットとして、図2に
示したような千鳥状配列又は図3に示したような正方格
子配列にした直径0.8mm、高さ1.2mmのニッケ
ルペレットを使用して、先に概説したようにしていろい
ろな研磨材製品を製作し、それらのドレッシング性能を
評価した。基材には、プリント基板用のガラスエポキシ
樹脂板(Taylor−Fibre社より入手のNEM
A規格、品番FR4)を使用し、この上に金属層をエポ
キシ樹脂で接着した。またペレットの上面に植え込んだ
砥粒は、平均粒径250μm50〜500の人工ダイヤ
モンドであった。
6の繊維に結合させた不織布研磨ロール(直径300m
m、長さ50mm)の被研磨物を、有効研磨面(ダイヤ
モンド砥粒を埋め込んだペレットの存在する金属層の大
きさに相当する)が100×100mmの固定した平ら
な研磨材製品の上で回転させて湿式条件下でドレッシン
グして、製品寿命、ドレッシング速度、ペレットの脱落
時間を測定した。製品寿命は、ペレット間の金属層に生
じた亀裂が広がって下地の基材が露出されるに至る時間
として測定した。ドレッシング速度は、表面の砥粒が脱
落した不織布研磨ロールの繊維を表面から500μm切
り取って新たな砥粒を露出させるのに要する時間として
測定した。ペレット脱落時間は、ペレット間金属層の亀
裂のため基材が露出されてから(すなわち製品寿命に達
してから)なおもドレッシングを続けて、ペレットが最
初に脱落するまでの時間(試験開始時点からの所要時
間)として測定した。
材にアルミナ砥粒を結合させた製品(スリーエム社製#
36レジンクロス)(試料番号13)と、ダイヤモンド
砥粒を金属結合剤で結合した製品(住友スリーエム社製
フレキシブルダイヤモンドメタルボンド(250μ
m))(試料番号14)を用いて、同様の試験を行っ
た。試料番号13の#36レジンクロスは綿混紡編組体
から構成された軟質基材を使用する製品であり、試料番
号14のフレキシブルダイヤモンドメタルボンドはポリ
エステル編組体から構成された同様に軟質の基材を使用
する製品である。
の表において、ペレットの重複度は、千鳥状並列の場合
には図2に示した前方ペレットの間隙L1 と後方ペレッ
トの直径L2 との比として表され、正方格子配列の場合
には図3に示したペレット間隙M1 とペレット径M2 の
値を示している。
植え込んだ金属ペレットを金属層を介して硬質基材上に
配置することで、従来なかった程度に砥粒を基材に強固
に固定し得ることから、研磨材製品のカット性を著しく
向上させることができる。その結果、例えばローラーブ
ラシのドレッシングにおいて十分なドレッシング速度を
確保できる。一方、これらのペレットを研磨方向に重複
した千鳥状配列とすることで、従来の製品(試料番号1
3、14)と比較して製品寿命を格段に向上させること
ができる。ペレットの千鳥状重複配列の効果は金属層の
厚さにかかわりなく認められ、また同じ厚さの金属層で
は強度の高い材料の方が有利である(実施例で使用した
純銅と銅合金では後者の方が強度が高い)。
品は湿式条件下でのドレッシング、特にロール状の不織
布もしくは織布研磨材のブラシのドレッシングに十分適
合しており、且つ長い製品寿命を有する。このことか
ら、従来湿式条件下でのドレッシングに苦慮していたよ
うな用途、例えば圧延板表面酸化スケール除去用ローラ
ーブラシの湿式ドレッシングのような用途において大き
な威力を発揮することが期待される。
る。
ある。
る。
Claims (4)
- 【請求項1】 下記の(a)及び(b)を含む研磨材製
品。 (a)主表面と導電性層とを含み、且つ研削方向を定め
る軸線を有する硬質の基材 (b)上記主表面に複数の列をなして配列された複数の
金属要素であって、各列は上記研削方向を横切る方向に
沿っており、各金属要素は一方の端部が上記導電性層に
接して取り付けられ、該金属要素の他方の端部に砥粒が
含まれていて、且つ各金属要素は上記研削方向に向かっ
て所定の幅を持っていて、同一の列の隣合う金属要素は
いずれの隣の列のいずれの隣りの金属要素の幅よりも狭
い隙間をあけて離れており、一つの列の個々の金属要素
は隣の列において隣合う金属要素間の隙間に重なるよう
に配置されている複数の金属要素。 - 【請求項2】 前記導電性層の材料が銅もしくは銅合金
の箔、又は銅もしくは銅合金の板材であることを特徴と
する、請求項1記載の研磨材製品。 - 【請求項3】 前記金属要素の材料がニッケル又はニッ
ケル合金であり、且つ前記砥粒がダイヤモンド又は立方
晶窒化ホウ素であることを特徴とする、請求項1又は2
記載の研磨材製品。 - 【請求項4】 請求項1から3までのいずれが一つに記
載の研磨材製品用いてロール状の不織布又は織布研磨材
のブラシをドレッシングする方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167797A JPH106218A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ドレッシング用研磨材製品 |
| US08/876,350 US6106382A (en) | 1996-06-27 | 1997-06-26 | Abrasive product for dressing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167797A JPH106218A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ドレッシング用研磨材製品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH106218A true JPH106218A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15856293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8167797A Pending JPH106218A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | ドレッシング用研磨材製品 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6106382A (ja) |
| JP (1) | JPH106218A (ja) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090216 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090216 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130216 Year of fee payment: 12 |