JPH1062305A - Ｃｃｄカメラの感度補正方法およびｃｃｄカメラ感度補正機能付ｌｃｄパネル表示試験システム - Google Patents
Ｃｃｄカメラの感度補正方法およびｃｃｄカメラ感度補正機能付ｌｃｄパネル表示試験システムInfo
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- JPH1062305A JPH1062305A JP8217346A JP21734696A JPH1062305A JP H1062305 A JPH1062305 A JP H1062305A JP 8217346 A JP8217346 A JP 8217346A JP 21734696 A JP21734696 A JP 21734696A JP H1062305 A JPH1062305 A JP H1062305A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各ＣＣＤ素子の感度特性に応じてＣＣＤカメ
ラの出力のバラツキを補正することで、固定パターンノ
イズを抑制し、高精度な画質検査を可能とする。 【解決手段】 ＬＣＤパネルに表示された画像をＣＣＤ
カメラ１を用いて撮像し、該撮像画像を基にＬＣＤパネ
ルの表示試験を行うＬＣＤパネル試験システムにおいて
行われるＣＣＤカメラの感度補正方法であって、ＣＣＤ
カメラ１を遮光して各ＣＣＤ素子のオフセット値を求
め、さらにＣＣＤカメラ１にその出力が飽和しない程度
の光を入力して各ＣＣＤ素子のブライト値を求め、該オ
フセット値およびブライト値から各ＣＣＤ素子の感度特
性を求め、これをもとに表示試験の際にＣＣＤカメラ１
により取り込まれる撮像画像を補正する。
ラの出力のバラツキを補正することで、固定パターンノ
イズを抑制し、高精度な画質検査を可能とする。 【解決手段】 ＬＣＤパネルに表示された画像をＣＣＤ
カメラ１を用いて撮像し、該撮像画像を基にＬＣＤパネ
ルの表示試験を行うＬＣＤパネル試験システムにおいて
行われるＣＣＤカメラの感度補正方法であって、ＣＣＤ
カメラ１を遮光して各ＣＣＤ素子のオフセット値を求
め、さらにＣＣＤカメラ１にその出力が飽和しない程度
の光を入力して各ＣＣＤ素子のブライト値を求め、該オ
フセット値およびブライト値から各ＣＣＤ素子の感度特
性を求め、これをもとに表示試験の際にＣＣＤカメラ１
により取り込まれる撮像画像を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＣＤ（liquid c
rystal display）パネルに所望のパターンの試験画像を
表示し、これをＣＣＤカメラを用いて撮像し、該撮像さ
れた画像を基にＬＣＤパネルの表示試験を行うＬＣＤパ
ネル試験システムにおいて行われるＣＣＤカメラ補正方
法に関する。さらには、ＣＣＤカメラ感度補正機能付Ｌ
ＣＤパネル試験システムに関する。
rystal display）パネルに所望のパターンの試験画像を
表示し、これをＣＣＤカメラを用いて撮像し、該撮像さ
れた画像を基にＬＣＤパネルの表示試験を行うＬＣＤパ
ネル試験システムにおいて行われるＣＣＤカメラ補正方
法に関する。さらには、ＣＣＤカメラ感度補正機能付Ｌ
ＣＤパネル試験システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、ＬＣＤパネル試験システムの概
略構成を示すブロック図である。同図において、１０１
はＬＣＤで、背面側にはバックライト１０２が設けられ
ており、該バックライト１０２からの光によりＬＣＤパ
ネルの画像表示がなされる。
略構成を示すブロック図である。同図において、１０１
はＬＣＤで、背面側にはバックライト１０２が設けられ
ており、該バックライト１０２からの光によりＬＣＤパ
ネルの画像表示がなされる。
【０００３】ＬＣＤパネル試験システムはＣＣＤカメラ
１０３、画像変換手段１０４、フレームメモリ１０５、
および画像処理テスト部１０６より構成され、上記ＬＣ
Ｄパネルの表示画素の欠損や表示ムラなどを検出する。
１０３、画像変換手段１０４、フレームメモリ１０５、
および画像処理テスト部１０６より構成され、上記ＬＣ
Ｄパネルの表示画素の欠損や表示ムラなどを検出する。
【０００４】ＣＣＤカメラ１０３によりＬＣＤパネル１
０１の表示画像が撮像される。画像変換手段１０４はＣ
ＣＤカメラ１０３の出力映像信号をデジタル信号に変換
するとともに、ＬＣＤパネル１０１の各画素に対応した
画像データとして出力するもので、例えばＡ／Ｄ変換器
およびバッファメモリで構成される。この画像変換手段
１０４データは、周知のサンプリング圧縮が施されてフ
レームメモリ１０５に取り込まれ、取り込まれたサンプ
リングデータを基に画像処理テスト部１０６によるＬＣ
Ｄパネル１０１の表示画素の欠損や表示ムラの検出が行
われる。
０１の表示画像が撮像される。画像変換手段１０４はＣ
ＣＤカメラ１０３の出力映像信号をデジタル信号に変換
するとともに、ＬＣＤパネル１０１の各画素に対応した
画像データとして出力するもので、例えばＡ／Ｄ変換器
およびバッファメモリで構成される。この画像変換手段
１０４データは、周知のサンプリング圧縮が施されてフ
レームメモリ１０５に取り込まれ、取り込まれたサンプ
リングデータを基に画像処理テスト部１０６によるＬＣ
Ｄパネル１０１の表示画素の欠損や表示ムラの検出が行
われる。
【０００５】上述のようにＣＣＤカメラを使用してＬＣ
Ｄ表示パネルの画質検査を行う試験システムでは、ＣＣ
Ｄカメラの各素子毎に感度のバラツキがあり、撮像画像
にその感度のバラツキに応じた固定パターンノイズが含
まれる。この固定パターンノイズを抑制するため、従来
は、所定光量入射時におけるＣＣＤカメラの各素子の出
力のバラツキを求めてこれを固定値とし、この固体値を
イメージ画像として持たせてＣＣＤカメラの出力データ
から減算するといった補正を行っていた。具体的には、
遮光状態でのＣＣＤカメラの各素子の出力のバラツキを
求めてこれを固定値としていた。
Ｄ表示パネルの画質検査を行う試験システムでは、ＣＣ
Ｄカメラの各素子毎に感度のバラツキがあり、撮像画像
にその感度のバラツキに応じた固定パターンノイズが含
まれる。この固定パターンノイズを抑制するため、従来
は、所定光量入射時におけるＣＣＤカメラの各素子の出
力のバラツキを求めてこれを固定値とし、この固体値を
イメージ画像として持たせてＣＣＤカメラの出力データ
から減算するといった補正を行っていた。具体的には、
遮光状態でのＣＣＤカメラの各素子の出力のバラツキを
求めてこれを固定値としていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述したようにＣＣＤ
カメラの各素子の出力にはバラツキがあり、そのバラツ
キ量は入射光量に応じて異なる。このようにＣＣＤカメ
ラの各画素を構成する素子には感度特性に応じたバラツ
キがあるため、上述したような補正方法には以下のよう
な問題がある。
カメラの各素子の出力にはバラツキがあり、そのバラツ
キ量は入射光量に応じて異なる。このようにＣＣＤカメ
ラの各画素を構成する素子には感度特性に応じたバラツ
キがあるため、上述したような補正方法には以下のよう
な問題がある。
【０００７】固定値を基にＣＣＤカメラの出力に対して
補正を行う従来の方法においては、固定値を算出した条
件（光量）と同じ条件で取り込まれた画像データに対し
ては有効であるが、その条件以外で取り込まれた画像デ
ータに対しては補正しきれず、画像データに固定パター
ンノイズが含まれることになる。例えば、バックライト
の光量が固定値を算出した光量と異なる場合には、有効
なデータ補正は行われず、画像データに固定パターンノ
イズが含まれてしまい、画質検査を高精度に行うことは
できなかった。
補正を行う従来の方法においては、固定値を算出した条
件（光量）と同じ条件で取り込まれた画像データに対し
ては有効であるが、その条件以外で取り込まれた画像デ
ータに対しては補正しきれず、画像データに固定パター
ンノイズが含まれることになる。例えば、バックライト
の光量が固定値を算出した光量と異なる場合には、有効
なデータ補正は行われず、画像データに固定パターンノ
イズが含まれてしまい、画質検査を高精度に行うことは
できなかった。
【０００８】本発明の目的は、上記問題を解決し、ＣＣ
Ｄカメラの各画素を構成する素子の感度特性に応じてＣ
ＣＤカメラの出力のバラツキを補正することで、固定パ
ターンノイズを抑制し、高精度な画質検査を可能とする
ＣＣＤカメラの感度補正方法およびＣＣＤカメラ感度補
正機能付ＬＣＤパネル表示試験システムを提供すること
にある。
Ｄカメラの各画素を構成する素子の感度特性に応じてＣ
ＣＤカメラの出力のバラツキを補正することで、固定パ
ターンノイズを抑制し、高精度な画質検査を可能とする
ＣＣＤカメラの感度補正方法およびＣＣＤカメラ感度補
正機能付ＬＣＤパネル表示試験システムを提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のＣＣＤカメラの感度補正方法は、ＬＣＤパ
ネルに表示された画像をＣＣＤカメラを用いて撮像し、
該撮像画像を基に前記ＬＣＤパネルの表示試験を行うＬ
ＣＤパネル試験システムにおいて行われるＣＣＤカメラ
の感度補正方法であって、前記ＣＣＤカメラを遮光して
各ＣＣＤ素子のオフセット値を求め、さらに前記ＣＣＤ
カメラにその出力が飽和しない程度の光を入力して各Ｃ
ＣＤ素子のブライト値を求め、該オフセット値およびブ
ライト値から各ＣＣＤ素子の感度特性を求め、これをも
とに前記表示試験の際にＣＣＤカメラにより取り込まれ
る撮像画像を補正することを特徴とする。
め、本発明のＣＣＤカメラの感度補正方法は、ＬＣＤパ
ネルに表示された画像をＣＣＤカメラを用いて撮像し、
該撮像画像を基に前記ＬＣＤパネルの表示試験を行うＬ
ＣＤパネル試験システムにおいて行われるＣＣＤカメラ
の感度補正方法であって、前記ＣＣＤカメラを遮光して
各ＣＣＤ素子のオフセット値を求め、さらに前記ＣＣＤ
カメラにその出力が飽和しない程度の光を入力して各Ｃ
ＣＤ素子のブライト値を求め、該オフセット値およびブ
ライト値から各ＣＣＤ素子の感度特性を求め、これをも
とに前記表示試験の際にＣＣＤカメラにより取り込まれ
る撮像画像を補正することを特徴とする。
【００１０】上記の場合、各ＣＣＤ素子についてブライ
ト値からオフセット値を減算した結果を、該減算結果の
平均値でそれぞれ除算し、該各ＣＣＤ素子毎の除算結果
を各ＣＣＤ素子に関する補正係数とし、該補正係数を基
に前記表示試験の際にＣＣＤカメラにより取り込まれる
撮像画像を補正するようにしてもよい。
ト値からオフセット値を減算した結果を、該減算結果の
平均値でそれぞれ除算し、該各ＣＣＤ素子毎の除算結果
を各ＣＣＤ素子に関する補正係数とし、該補正係数を基
に前記表示試験の際にＣＣＤカメラにより取り込まれる
撮像画像を補正するようにしてもよい。
【００１１】また、各ＣＣＤ素子についてブライト値か
らオフセット値を減算した結果を、前記ＣＣＤカメラの
出力の上限レベルを定めた上限値でそれぞれ除算し、該
各ＣＣＤ素子毎の除算結果を各ＣＣＤ素子に関する補正
係数とし、該補正係数を基に前記表示試験の際にＣＣＤ
カメラにより取り込まれる撮像画像を補正するようにし
てもよい。
らオフセット値を減算した結果を、前記ＣＣＤカメラの
出力の上限レベルを定めた上限値でそれぞれ除算し、該
各ＣＣＤ素子毎の除算結果を各ＣＣＤ素子に関する補正
係数とし、該補正係数を基に前記表示試験の際にＣＣＤ
カメラにより取り込まれる撮像画像を補正するようにし
てもよい。
【００１２】本発明のＣＣＤカメラ感度補正機能付ＬＣ
Ｄパネル試験システムは、ＬＣＤパネルに表示された画
像を撮像するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラにより
撮像された画像が格納される原画像メモリと、を備え、
前記原画像メモリに格納された撮像画像に基づいて前記
ＬＣＤパネルの表示試験が行われるＬＣＤパネル試験シ
ステムにおいて、前記ＣＣＤカメラを遮光した状態にお
ける各ＣＣＤ素子の出力をそれぞれオフセット値とし、
前記ＣＣＤカメラにその出力が飽和しない程度の光を入
力した状態における各ＣＣＤ素子の出力をそれぞれブラ
イト値とし、これら各ＣＣＤ素子のオフセット値とブラ
イト値から各ＣＣＤ素子の感度特性を求め、該各ＣＣＤ
素子の感度特性を基に前記原画像メモリに格納された撮
像画像を補正する補正処理手段を有することを特徴とす
る。
Ｄパネル試験システムは、ＬＣＤパネルに表示された画
像を撮像するＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラにより
撮像された画像が格納される原画像メモリと、を備え、
前記原画像メモリに格納された撮像画像に基づいて前記
ＬＣＤパネルの表示試験が行われるＬＣＤパネル試験シ
ステムにおいて、前記ＣＣＤカメラを遮光した状態にお
ける各ＣＣＤ素子の出力をそれぞれオフセット値とし、
前記ＣＣＤカメラにその出力が飽和しない程度の光を入
力した状態における各ＣＣＤ素子の出力をそれぞれブラ
イト値とし、これら各ＣＣＤ素子のオフセット値とブラ
イト値から各ＣＣＤ素子の感度特性を求め、該各ＣＣＤ
素子の感度特性を基に前記原画像メモリに格納された撮
像画像を補正する補正処理手段を有することを特徴とす
る。
【００１３】上記の場合、前記補正処理手段は、前記Ｃ
ＣＤカメラを遮光した状態で取り込まれたオフセット画
像が格納されるオフセット画像メモリと、前記ＣＣＤカ
メラにその出力が飽和しない程度の光を入力した状態で
取り込まれたブライト画像が格納されるブライト画像メ
モリと、前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に
読み出されるブライト値を一方の入力、前記オフセット
画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセッ
ト値を他方の入力とし、ブライト値からオフセット値を
減算する第１の減算器と、前記第１の減算器にて減算さ
れた各ＣＣＤ画素毎の減算結果の平均値を求める平均値
算出手段と、前記平均値算出手段で求められた平均値で
前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算
結果をそれぞれ除算する除算器と、前記原画像メモリか
ら各ＣＣＤ画素毎に読み出される原画像データを一方の
入力、前記オフセット画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に
読み出されるオフセット値を他方の入力とし、原画像デ
ータからオフセット値を減算する第２の減算器と、前記
第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器の出力を
他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎に乗算す
る乗算器と、から構成されるものであってもよい。
ＣＤカメラを遮光した状態で取り込まれたオフセット画
像が格納されるオフセット画像メモリと、前記ＣＣＤカ
メラにその出力が飽和しない程度の光を入力した状態で
取り込まれたブライト画像が格納されるブライト画像メ
モリと、前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に
読み出されるブライト値を一方の入力、前記オフセット
画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセッ
ト値を他方の入力とし、ブライト値からオフセット値を
減算する第１の減算器と、前記第１の減算器にて減算さ
れた各ＣＣＤ画素毎の減算結果の平均値を求める平均値
算出手段と、前記平均値算出手段で求められた平均値で
前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算
結果をそれぞれ除算する除算器と、前記原画像メモリか
ら各ＣＣＤ画素毎に読み出される原画像データを一方の
入力、前記オフセット画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に
読み出されるオフセット値を他方の入力とし、原画像デ
ータからオフセット値を減算する第２の減算器と、前記
第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器の出力を
他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎に乗算す
る乗算器と、から構成されるものであってもよい。
【００１４】また、前記補正処理手段は、前記ＣＣＤカ
メラを遮光した状態で取り込まれたオフセット画像が格
納されるオフセット画像メモリと、前記ＣＣＤカメラに
その出力が飽和しない程度の光を入力した状態で取り込
まれたブライト画像が格納されるブライト画像メモリ
と、前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み
出されるブライト値を一方の入力、前記オフセット画像
メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値
を他方の入力とし、ブライト値からオフセット値を減算
する第１の減算器と、前記第１の減算器にて減算された
各ＣＣＤ画素毎の減算結果の平均値を求める平均値算出
手段と、前記ＣＣＤカメラの出力の上限レベルを定めた
上限値で前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素
毎の減算結果をそれぞれ除算する除算器と、前記原画像
メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出される原画像データ
を一方の入力、前記オフセット画像メモリから各ＣＣＤ
画素毎に読み出されるオフセット値を他方の入力とし、
原画像データからオフセット値を減算する第２の減算器
と、前記第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器
の出力を他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎
に乗算する乗算器と、より構成されるものであってもよ
い。
メラを遮光した状態で取り込まれたオフセット画像が格
納されるオフセット画像メモリと、前記ＣＣＤカメラに
その出力が飽和しない程度の光を入力した状態で取り込
まれたブライト画像が格納されるブライト画像メモリ
と、前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み
出されるブライト値を一方の入力、前記オフセット画像
メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値
を他方の入力とし、ブライト値からオフセット値を減算
する第１の減算器と、前記第１の減算器にて減算された
各ＣＣＤ画素毎の減算結果の平均値を求める平均値算出
手段と、前記ＣＣＤカメラの出力の上限レベルを定めた
上限値で前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素
毎の減算結果をそれぞれ除算する除算器と、前記原画像
メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出される原画像データ
を一方の入力、前記オフセット画像メモリから各ＣＣＤ
画素毎に読み出されるオフセット値を他方の入力とし、
原画像データからオフセット値を減算する第２の減算器
と、前記第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器
の出力を他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎
に乗算する乗算器と、より構成されるものであってもよ
い。
【００１５】上記の通りの本発明によれば、ＣＣＤカメ
ラにより取り込まれた表示試験のための画像は、各ＣＣ
Ｄ素子の感度特性に応じて補正されるので、従来のよう
に撮像画像にＣＣＤ素子の感度のバラツキに応じた固定
パターンノイズが含まれることはない。
ラにより取り込まれた表示試験のための画像は、各ＣＣ
Ｄ素子の感度特性に応じて補正されるので、従来のよう
に撮像画像にＣＣＤ素子の感度のバラツキに応じた固定
パターンノイズが含まれることはない。
【００１６】また、各ＣＣＤ素子の感度のバラツキの補
正は、実際の試験システムにおいて試験画像の撮像時の
条件と同じ条件で行われるので、画像データに対して有
効的に補正を行える。
正は、実際の試験システムにおいて試験画像の撮像時の
条件と同じ条件で行われるので、画像データに対して有
効的に補正を行える。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１８】＜実施例１＞図１は、本発明の第１の実施
例の、ＣＣＤカメラ感度補正機能を備えたＬＣＤパネル
試験システムの構成を示すブロック図である。
例の、ＣＣＤカメラ感度補正機能を備えたＬＣＤパネル
試験システムの構成を示すブロック図である。
【００１９】本実施例のＬＣＤパネル試験システムは、
ＣＣＤカメラ１、画像変換手段２、原画像メモリ３、補
正処理部４、補正画像メモリ５、および画像処理テスト
部６より構成される。
ＣＣＤカメラ１、画像変換手段２、原画像メモリ３、補
正処理部４、補正画像メモリ５、および画像処理テスト
部６より構成される。
【００２０】ＣＣＤカメラ１は、被試験対象物であるＬ
ＣＤパネルに表示された画像を撮像するもので、試験条
件に応じたゲインおよび感度の設定が可能に構成されて
いる。画像変換手段２は、ＣＣＤカメラ１の出力映像信
号をデジタル信号に変換して１フレーム分の画像データ
を出力するもので、例えばＡ／Ｄ変換器およびバッファ
メモリで構成される。
ＣＤパネルに表示された画像を撮像するもので、試験条
件に応じたゲインおよび感度の設定が可能に構成されて
いる。画像変換手段２は、ＣＣＤカメラ１の出力映像信
号をデジタル信号に変換して１フレーム分の画像データ
を出力するもので、例えばＡ／Ｄ変換器およびバッファ
メモリで構成される。
【００２１】原画像メモリ３は、画像変換手段２から出
力される補正対象画像、すなわちＬＣＤパネルに表示さ
れた所望のパターンの試験画像を撮像した画像を格納す
る。この原画像メモリ３では、格納された補正対象画像
データが各ＣＣＤ画素毎に読み出されて出力される。
力される補正対象画像、すなわちＬＣＤパネルに表示さ
れた所望のパターンの試験画像を撮像した画像を格納す
る。この原画像メモリ３では、格納された補正対象画像
データが各ＣＣＤ画素毎に読み出されて出力される。
【００２２】補正処理部４は、各ＣＣＤ画素素子の感度
特性に応じてＣＣＤカメラ１の各ＣＣＤ素子の出力のバ
ラツキを補正するもので、各ＣＣＤ素子毎の感度特性の
バラツキを補正する補正係数を求め、該補正係数を基に
原画像メモリ３に格納された補正対象画像データを補正
する。通常の使用範囲では、ＣＣＤ素子のガンマ特性は
ほぼ線形であり、遮光した状態のＣＣＤ素子の出力値
（オフセット画像データ）とＣＣＤ素子が飽和しない程
度の光量が入力されたときのＣＣＤ素子の出力値（ブラ
イト画像データ）からガンマ係数を算出することができ
る。本実施例では、このことを利用して各ＣＣＤ素子に
関する感度特性のバラツキを補正する補正係数が求めら
れる。
特性に応じてＣＣＤカメラ１の各ＣＣＤ素子の出力のバ
ラツキを補正するもので、各ＣＣＤ素子毎の感度特性の
バラツキを補正する補正係数を求め、該補正係数を基に
原画像メモリ３に格納された補正対象画像データを補正
する。通常の使用範囲では、ＣＣＤ素子のガンマ特性は
ほぼ線形であり、遮光した状態のＣＣＤ素子の出力値
（オフセット画像データ）とＣＣＤ素子が飽和しない程
度の光量が入力されたときのＣＣＤ素子の出力値（ブラ
イト画像データ）からガンマ係数を算出することができ
る。本実施例では、このことを利用して各ＣＣＤ素子に
関する感度特性のバラツキを補正する補正係数が求めら
れる。
【００２３】補正画像メモリ５は、補正処理部４にて補
正処理された補正画像を格納する。画像処理テスト部６
では、この補正画像メモリ５にて格納された補正画像と
ＬＣＤパネルの各画素との対応がとられた後、周知のサ
ンプリング圧縮が施され、ＬＣＤパネルの表示画素の欠
損や表示ムラの検出が行われる。
正処理された補正画像を格納する。画像処理テスト部６
では、この補正画像メモリ５にて格納された補正画像と
ＬＣＤパネルの各画素との対応がとられた後、周知のサ
ンプリング圧縮が施され、ＬＣＤパネルの表示画素の欠
損や表示ムラの検出が行われる。
【００２４】以下、補正処理部４の具体的な構成につい
て説明する。
て説明する。
【００２５】補正処理部４は、オフセット画像メモリ４
１、ブライト画像メモリ４２、減算器４３，４４、バッ
ファメモリ４５、平均値算出手段４６、除算器４７、補
正係数メモリ４８、乗算器４９より構成される。
１、ブライト画像メモリ４２、減算器４３，４４、バッ
ファメモリ４５、平均値算出手段４６、除算器４７、補
正係数メモリ４８、乗算器４９より構成される。
【００２６】オフセット画像メモリ４１は、遮光状態で
のＣＣＤカメラ１の出力データを画像変換手段２により
変換した１フレーム分のオフセット画像を格納する。ブ
ライト画像メモリ４２は、ＣＣＤ素子が飽和しない程度
の光を入力したときのＣＣＤカメラ１の出力データを画
像変換手段２により変換した１フレーム分のブライト画
像を格納する。これらメモリ４１，４２では、格納され
た画像データが各ＣＣＤ画素毎に読み出されて出力され
る。
のＣＣＤカメラ１の出力データを画像変換手段２により
変換した１フレーム分のオフセット画像を格納する。ブ
ライト画像メモリ４２は、ＣＣＤ素子が飽和しない程度
の光を入力したときのＣＣＤカメラ１の出力データを画
像変換手段２により変換した１フレーム分のブライト画
像を格納する。これらメモリ４１，４２では、格納され
た画像データが各ＣＣＤ画素毎に読み出されて出力され
る。
【００２７】減算器４３は、原画像メモリ３から各ＣＣ
Ｄ画素毎に出力される補正対象画像データを一方の入力
（入力Ａ）、オフセット画像メモリ４１から各ＣＣＤ画
素毎に出力されるオフセット画像データを他方の入力
（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画素毎に（Ａ−Ｂ）の減算処
理を行う。
Ｄ画素毎に出力される補正対象画像データを一方の入力
（入力Ａ）、オフセット画像メモリ４１から各ＣＣＤ画
素毎に出力されるオフセット画像データを他方の入力
（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画素毎に（Ａ−Ｂ）の減算処
理を行う。
【００２８】減算器４４は、オフセット画像メモリ４１
から各ＣＣＤ画素毎に出力されるオフセット画像データ
を一方の入力（入力Ａ）、ブライト画像メモリ４２から
各ＣＣＤ画素毎に出力されるブライト画像を他方の入力
（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画素毎に（Ｂ−Ａ）の減算処
理を行う。
から各ＣＣＤ画素毎に出力されるオフセット画像データ
を一方の入力（入力Ａ）、ブライト画像メモリ４２から
各ＣＣＤ画素毎に出力されるブライト画像を他方の入力
（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画素毎に（Ｂ−Ａ）の減算処
理を行う。
【００２９】バッファメモリ４５は上記減算器４４の減
算結果を各ＣＣＤ画素毎に順次格納する。平均値算出手
段４６は、バッファメモリ４５に格納された各ＣＣＤ画
素毎の減算結果の平均値を求めて、これを出力する。除
算器４７は、平均値算出手段４６の出力を一方の入力
（入力Ａ）、バッファメモリ４５から出力される各ＣＣ
Ｄ画素毎の減算結果を他方の入力（入力Ｂ）とし、各Ｃ
ＣＤ画素毎に（Ａ÷Ｂ）の除算処理を行う。
算結果を各ＣＣＤ画素毎に順次格納する。平均値算出手
段４６は、バッファメモリ４５に格納された各ＣＣＤ画
素毎の減算結果の平均値を求めて、これを出力する。除
算器４７は、平均値算出手段４６の出力を一方の入力
（入力Ａ）、バッファメモリ４５から出力される各ＣＣ
Ｄ画素毎の減算結果を他方の入力（入力Ｂ）とし、各Ｃ
ＣＤ画素毎に（Ａ÷Ｂ）の除算処理を行う。
【００３０】補正係数メモリ４８は、除算器４７におけ
る各ＣＣＤ画素毎の除算結果を補正係数として格納す
る。この補正係数メモリ４８に格納された補正係数は各
ＣＣＤ画素毎に読み出される。
る各ＣＣＤ画素毎の除算結果を補正係数として格納す
る。この補正係数メモリ４８に格納された補正係数は各
ＣＣＤ画素毎に読み出される。
【００３１】乗算器４９は、減算器４３から出力される
各ＣＣＤ画素毎の補正対象画像を一方の入力（入力
Ａ）、補正係数メモリ４８から出力される各ＣＣＤ画素
毎の補正係数を他方の入力（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画
素毎に（Ａ×Ｂ）の乗算処理を行う。この乗算器４９か
ら出力される各ＣＣＤ画素毎の乗算結果より得られる画
像が補正画像であり、補正画像メモリ５に格納される。
各ＣＣＤ画素毎の補正対象画像を一方の入力（入力
Ａ）、補正係数メモリ４８から出力される各ＣＣＤ画素
毎の補正係数を他方の入力（入力Ｂ）とし、各ＣＣＤ画
素毎に（Ａ×Ｂ）の乗算処理を行う。この乗算器４９か
ら出力される各ＣＣＤ画素毎の乗算結果より得られる画
像が補正画像であり、補正画像メモリ５に格納される。
【００３２】次に、このＬＣＤパネル試験システムにお
ける表示試験の手順について説明する。
ける表示試験の手順について説明する。
【００３３】まず、試験前に補正係数を求める処理が行
われる。
われる。
【００３４】ＣＣＤカメラ１を遮光状態とし、オフセッ
ト画像メモリ４１に１フレーム分のオフセット画像デー
タを格納する。次いで、ＣＣＤが飽和しない程度の光量
をＣＣＤカメラ１に入力し、ブライト画像メモリ４２に
１フレーム分のブライト画像データを格納する。
ト画像メモリ４１に１フレーム分のオフセット画像デー
タを格納する。次いで、ＣＣＤが飽和しない程度の光量
をＣＣＤカメラ１に入力し、ブライト画像メモリ４２に
１フレーム分のブライト画像データを格納する。
【００３５】オフセット画像データおよびブライト画像
データが格納されると、減算器４４では、これら画像デ
ータを基に、各ＣＣＤ画素毎に（ブライト値）−（オフ
セット値）の減算処理が行われ、その結果がバッファメ
モリ４５に格納される。そして、平均値算出手段４６に
よりその格納された（ブライト値）−（オフセット値）
の減算結果の平均値が求められ、除算器４７によりその
各ＣＣＤ画素毎に読み出された（ブライト値）−（オフ
セット値）の値と平均値算出手段４６にて求められた平
均値とから各ＣＣＤ素子の補正係数が求められ、補正係
数メモリ４８に格納される。
データが格納されると、減算器４４では、これら画像デ
ータを基に、各ＣＣＤ画素毎に（ブライト値）−（オフ
セット値）の減算処理が行われ、その結果がバッファメ
モリ４５に格納される。そして、平均値算出手段４６に
よりその格納された（ブライト値）−（オフセット値）
の減算結果の平均値が求められ、除算器４７によりその
各ＣＣＤ画素毎に読み出された（ブライト値）−（オフ
セット値）の値と平均値算出手段４６にて求められた平
均値とから各ＣＣＤ素子の補正係数が求められ、補正係
数メモリ４８に格納される。
【００３６】以上のようにして各ＣＣＤ素子の補正係数
が求められると、続いてＬＣＤパネルの表示試験の際の
以下のような補正処理が行われる。
が求められると、続いてＬＣＤパネルの表示試験の際の
以下のような補正処理が行われる。
【００３７】ＬＣＤ表示パネル（図３参照）に所望の試
験パターンを表示させ、これをＣＣＤカメラ１で撮像し
て試験画像データを原画像メモリ３に格納する。試験画
像データ（補正対象画像データ）が格納されると、原画
像メモリ３では、格納された試験画像データが各ＣＣＤ
画素毎に読み出される。
験パターンを表示させ、これをＣＣＤカメラ１で撮像し
て試験画像データを原画像メモリ３に格納する。試験画
像データ（補正対象画像データ）が格納されると、原画
像メモリ３では、格納された試験画像データが各ＣＣＤ
画素毎に読み出される。
【００３８】原画像メモリ３から読み出された試験画像
データは各ＣＣＤ画素毎に乗算器４３により上記オフセ
ット画像メモリ４１に格納されたオフセット値の減算処
理が行われた後、乗算器４９により各ＣＣＤ画素毎に補
正係数が乗算される。このようにして、原画像メモリ３
に格納された試験画像データについて各ＣＣＤ素子毎の
感度補正が行われた後、その補正画像データを基に、画
像処理テスト部６によりＬＣＤパネルの表示画素の欠損
や表示ムラの検出が行われる。
データは各ＣＣＤ画素毎に乗算器４３により上記オフセ
ット画像メモリ４１に格納されたオフセット値の減算処
理が行われた後、乗算器４９により各ＣＣＤ画素毎に補
正係数が乗算される。このようにして、原画像メモリ３
に格納された試験画像データについて各ＣＣＤ素子毎の
感度補正が行われた後、その補正画像データを基に、画
像処理テスト部６によりＬＣＤパネルの表示画素の欠損
や表示ムラの検出が行われる。
【００３９】なお、補正係数メモリ４８への各ＣＣＤ素
子に関する補正係数の取り込みは１度行えば良く、２回
目以降の測定からはその補正係数を基に補正が行われ
る。
子に関する補正係数の取り込みは１度行えば良く、２回
目以降の測定からはその補正係数を基に補正が行われ
る。
【００４０】上述の説明では、画像変換手段２は、ＣＣ
Ｄカメラ１の出力をデジタル信号に変換して１フレーム
分の画像データを出力するものとして説明したが、ＬＣ
Ｄパネルの各画素に対応した１フレーム分の画像データ
を出力するものとしてもよい。この場合には、オフセッ
ト画像およびブライト画像もＬＣＤパネルの画素に対応
した１フレーム分の画像データとなり、補正はＬＣＤパ
ネルの各画素に対応するデータ毎に行われることにな
る。
Ｄカメラ１の出力をデジタル信号に変換して１フレーム
分の画像データを出力するものとして説明したが、ＬＣ
Ｄパネルの各画素に対応した１フレーム分の画像データ
を出力するものとしてもよい。この場合には、オフセッ
ト画像およびブライト画像もＬＣＤパネルの画素に対応
した１フレーム分の画像データとなり、補正はＬＣＤパ
ネルの各画素に対応するデータ毎に行われることにな
る。
【００４１】＜実施例２＞図２は、本発明の第２の実施
例の、ＣＣＤカメラ感度補正機能を備えたＬＣＤパネル
試験システムの主要構成を示すブロック図である。本実
施例のＬＣＤパネル試験システムは、平均値算出手段４
６に代えて定数部４６’を用いた以外は上述の第１の実
施例のＬＣＤパネル試験システムと同様の構成のもので
ある。図中、同じ構成には同じ符号を付している。
例の、ＣＣＤカメラ感度補正機能を備えたＬＣＤパネル
試験システムの主要構成を示すブロック図である。本実
施例のＬＣＤパネル試験システムは、平均値算出手段４
６に代えて定数部４６’を用いた以外は上述の第１の実
施例のＬＣＤパネル試験システムと同様の構成のもので
ある。図中、同じ構成には同じ符号を付している。
【００４２】定数部４６’は定数を出力するもので、例
えばＣＣＤカメラの出力の上限レベルを定めた上限値を
出力する。除算器４７では、バッファメモリ４５に格納
された各ＣＣＤ素子毎の（ブライト値）−（オフセット
値）の減算結果が正規化され、その結果が補正係数とし
て補正係数メモリ４８に格納される。
えばＣＣＤカメラの出力の上限レベルを定めた上限値を
出力する。除算器４７では、バッファメモリ４５に格納
された各ＣＣＤ素子毎の（ブライト値）−（オフセット
値）の減算結果が正規化され、その結果が補正係数とし
て補正係数メモリ４８に格納される。
【００４３】本実施例のシステムにおけるＣＣＤカメラ
の感度補正では、正規化された各ＣＣＤ素子毎の（ブラ
イト値）−（オフセット値）の減算結果を基に、原画像
メモリ３から読み出された試験画像データの補正が行わ
れ、画像処理テスト部６によりＬＣＤパネルの表示画素
の欠損や表示ムラの検出が行われる。
の感度補正では、正規化された各ＣＣＤ素子毎の（ブラ
イト値）−（オフセット値）の減算結果を基に、原画像
メモリ３から読み出された試験画像データの補正が行わ
れ、画像処理テスト部６によりＬＣＤパネルの表示画素
の欠損や表示ムラの検出が行われる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように構成されている本発
明によれば、各ＣＣＤ素子の感度特性に応じて補正さ
れ、固定パターンノイズが含まれることはないので、高
精度に表示試験を行うことができる。例えば、微小レベ
ルの表示欠損を検出ことができ、検出精度が向上する。
明によれば、各ＣＣＤ素子の感度特性に応じて補正さ
れ、固定パターンノイズが含まれることはないので、高
精度に表示試験を行うことができる。例えば、微小レベ
ルの表示欠損を検出ことができ、検出精度が向上する。
【図１】本発明の第１の実施例の、ＣＣＤカメラ感度補
正機能を備えたＬＣＤパネル試験システムの構成を示す
ブロック図である。
正機能を備えたＬＣＤパネル試験システムの構成を示す
ブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施例の、ＣＣＤカメラ感度補
正機能を備えたＬＣＤパネル試験システムの構成を示す
ブロック図である。
正機能を備えたＬＣＤパネル試験システムの構成を示す
ブロック図である。
【図３】ＬＣＤパネル試験システムの一例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１ ＣＣＤカメラ ２ 画像変換手段 ３ 原画像メモリ ４ 補正処理部 ５ 補正画像メモリ ６ 画像処理テスト部 ４１ オフセット画像メモリ ４２ ブライト画像メモリ ４３，４４ 減算器 ４５ バッファメモリ ４６ 平均値算出手段 ４６’ 定数部 ４７ 除算器 ４８ 補正係数メモリ ４９ 乗算器
Claims (6)
- 【請求項１】 ＬＣＤパネルに表示された画像をＣＣＤ
カメラを用いて撮像し、該撮像画像を基に前記ＬＣＤパ
ネルの表示試験を行うＬＣＤパネル試験システムにおい
て行われるＣＣＤカメラの感度補正方法であって、 前記ＣＣＤカメラを遮光して各ＣＣＤ素子のオフセット
値を求め、さらに前記ＣＣＤカメラにその出力が飽和し
ない程度の光を入力して各ＣＣＤ素子のブライト値を求
め、該オフセット値およびブライト値から各ＣＣＤ素子
の感度特性を求め、これをもとに前記表示試験の際にＣ
ＣＤカメラにより取り込まれる撮像画像を補正すること
を特徴とするＣＣＤカメラの感度補正方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のＣＣＤカメラの感度補
正方法において、 各ＣＣＤ素子についてブライト値からオフセット値を減
算した結果を、該減算結果の平均値でそれぞれ除算し、
該各ＣＣＤ素子毎の除算結果を各ＣＣＤ素子に関する補
正係数とし、該補正係数を基に前記表示試験の際にＣＣ
Ｄカメラにより取り込まれる撮像画像を補正することを
特徴とするＣＣＤカメラの感度補正方法。 - 【請求項３】 請求項１に記載のＣＣＤカメラの感度補
正方法において、 各ＣＣＤ素子についてブライト値からオフセット値を減
算した結果を、前記ＣＣＤカメラの出力の上限レベルを
定めた上限値でそれぞれ除算し、該各ＣＣＤ素子毎の除
算結果を各ＣＣＤ素子に関する補正係数とし、該補正係
数を基に前記表示試験の際にＣＣＤカメラにより取り込
まれる撮像画像を補正することを特徴とするＣＣＤカメ
ラの感度補正方法。 - 【請求項４】 ＬＣＤパネルに表示された画像を撮像す
るＣＣＤカメラと、 前記ＣＣＤカメラにより撮像された画像が格納される原
画像メモリと、を備え、前記原画像メモリに格納された
撮像画像に基づいて前記ＬＣＤパネルの表示試験が行わ
れるＬＣＤパネル試験システムにおいて、 前記ＣＣＤカメラを遮光した状態における各ＣＣＤ素子
の出力をそれぞれオフセット値とし、前記ＣＣＤカメラ
にその出力が飽和しない程度の光を入力した状態におけ
る各ＣＣＤ素子の出力をそれぞれブライト値とし、これ
ら各ＣＣＤ素子のオフセット値とブライト値から各ＣＣ
Ｄ素子の感度特性を求め、該各ＣＣＤ素子の感度特性を
基に前記原画像メモリに格納された撮像画像を補正する
補正処理手段を有することを特徴とするＣＣＤカメラ感
度補正機能付ＬＣＤパネル試験システム。 - 【請求項５】 請求項４に記載のＣＣＤカメラ感度補正
機能付ＬＣＤパネル試験システムにおいて、 前記補正処理手段は、 前記ＣＣＤカメラを遮光した状態で取り込まれたオフセ
ット画像が格納されるオフセット画像メモリと、 前記ＣＣＤカメラにその出力が飽和しない程度の光を入
力した状態で取り込まれたブライト画像が格納されるブ
ライト画像メモリと、 前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出さ
れるブライト値を一方の入力、前記オフセット画像メモ
リから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値を他
方の入力とし、ブライト値からオフセット値を減算する
第１の減算器と、 前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算
結果の平均値を求める平均値算出手段と、 前記平均値算出手段で求められた平均値で前記第１の減
算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算結果をそれぞ
れ除算する除算器と、 前記原画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出される原
画像データを一方の入力、前記オフセット画像メモリか
ら各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値を他方の
入力とし、原画像データからオフセット値を減算する第
２の減算器と、 前記第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器の出
力を他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎に乗
算する乗算器と、を有することを特徴とするＣＣＤカメ
ラ感度補正機能付ＬＣＤパネル試験システム。 - 【請求項６】 請求項４に記載のＣＣＤカメラ感度補正
機能付ＬＣＤパネル試験システムにおいて、 前記補正処理手段は、 前記ＣＣＤカメラを遮光した状態で取り込まれたオフセ
ット画像が格納されるオフセット画像メモリと、 前記ＣＣＤカメラにその出力が飽和しない程度の光を入
力した状態で取り込まれたブライト画像が格納されるブ
ライト画像メモリと、 前記ブライト画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出さ
れるブライト値を一方の入力、前記オフセット画像メモ
リから各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値を他
方の入力とし、ブライト値からオフセット値を減算する
第１の減算器と、 前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算
結果の平均値を求める平均値算出手段と、 前記ＣＣＤカメラの出力の上限レベルを定めた上限値で
前記第１の減算器にて減算された各ＣＣＤ画素毎の減算
結果をそれぞれ除算する除算器と、 前記原画像メモリから各ＣＣＤ画素毎に読み出される原
画像データを一方の入力、前記オフセット画像メモリか
ら各ＣＣＤ画素毎に読み出されるオフセット値を他方の
入力とし、原画像データからオフセット値を減算する第
２の減算器と、 前記第２の減算器の出力を一方の入力、前記除算器の出
力を他方の入力とし、これら入力を各ＣＣＤ画素毎に乗
算する乗算器と、を有することを特徴とするＣＣＤカメ
ラ感度補正機能付ＬＣＤパネル試験システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8217346A JPH1062305A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Ｃｃｄカメラの感度補正方法およびｃｃｄカメラ感度補正機能付ｌｃｄパネル表示試験システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8217346A JPH1062305A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Ｃｃｄカメラの感度補正方法およびｃｃｄカメラ感度補正機能付ｌｃｄパネル表示試験システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062305A true JPH1062305A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16702742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8217346A Withdrawn JPH1062305A (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Ｃｃｄカメラの感度補正方法およびｃｃｄカメラ感度補正機能付ｌｃｄパネル表示試験システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062305A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001111898A (ja) * | 1999-10-14 | 2001-04-20 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像装置 |
| WO2005017483A1 (ja) * | 2003-08-18 | 2005-02-24 | Nikon Corporation | 照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照明光学装置、露光装置および露光方法 |
| US7420599B2 (en) | 2001-04-03 | 2008-09-02 | Institut Für Mikroelektronik Stuttgart | Method and device for the FPN correction of image signals |
| JP2009177646A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Canon Inc | 撮像装置及びその制御方法及びプログラム |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
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| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1996
- 1996-08-19 JP JP8217346A patent/JPH1062305A/ja not_active Withdrawn
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPWO2005017483A1 (ja) * | 2003-08-18 | 2007-10-04 | 株式会社ニコン | 照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照明光学装置、露光装置および露光方法 |
| WO2005017483A1 (ja) * | 2003-08-18 | 2005-02-24 | Nikon Corporation | 照度分布の評価方法、光学部材の製造方法、照明光学装置、露光装置および露光方法 |
| US9760014B2 (en) | 2003-10-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |