JPH05130512A - 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 - Google Patents
固体撮像素子の画素欠陥測定装置Info
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- JPH05130512A JPH05130512A JP3287470A JP28747091A JPH05130512A JP H05130512 A JPH05130512 A JP H05130512A JP 3287470 A JP3287470 A JP 3287470A JP 28747091 A JP28747091 A JP 28747091A JP H05130512 A JPH05130512 A JP H05130512A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は固体撮像素子の評価に用いる画素欠
陥測定に関し、固体撮像素子の画素欠陥目視検査と相関
性のある測定を行うことを目的とする。 【構成】 Ａ／Ｄ変換器２は固体撮像素子１の信号を量
子化し、フレ−ムメモリ３でデジタル出力信号を蓄積
し、フレ−ム間平均化部４でランダムノイズを取り除い
た画素信号と、空間平均部５で検出した画像のシェ−デ
ィング成分との差分信号をフレ−ム間差分部６で検出
し、ヒストグラム分析部７でのヒストグラム分析から、
画素欠陥検出部８は１画素毎に画素欠陥画素を判断し、
画素位置記憶部９は前記画素欠陥画素の位置と画素の信
号値を記憶し、画素欠陥グル−プ分け部１０は、前記画
素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間
的に連続であると認識し、１個のグル−プと判断するこ
とでグル−プ分けを行う。
陥測定に関し、固体撮像素子の画素欠陥目視検査と相関
性のある測定を行うことを目的とする。 【構成】 Ａ／Ｄ変換器２は固体撮像素子１の信号を量
子化し、フレ−ムメモリ３でデジタル出力信号を蓄積
し、フレ−ム間平均化部４でランダムノイズを取り除い
た画素信号と、空間平均部５で検出した画像のシェ−デ
ィング成分との差分信号をフレ−ム間差分部６で検出
し、ヒストグラム分析部７でのヒストグラム分析から、
画素欠陥検出部８は１画素毎に画素欠陥画素を判断し、
画素位置記憶部９は前記画素欠陥画素の位置と画素の信
号値を記憶し、画素欠陥グル−プ分け部１０は、前記画
素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間
的に連続であると認識し、１個のグル−プと判断するこ
とでグル−プ分けを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の評価に
用いる画素欠陥測定装置に関するものである。
用いる画素欠陥測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体撮像素子の画素欠陥の測定方
法としては、オシロスコ−プを用いて固体撮像素子の１
走査線毎に画素欠陥画素１個を１個の画素欠陥と判断
し、前記画素欠陥画素の位置と、一定光量のチャ−トを
固体撮像素子で撮像したときに出力される信号に対する
画素欠陥画素の信号値の比率を信号レベルとして測定し
ていた。また、固体撮像素子の画素欠陥目視検査の方法
としては、固体撮像素子の出力信号をモニタに出力さ
せ、目視により画素欠陥を数えていた。
法としては、オシロスコ−プを用いて固体撮像素子の１
走査線毎に画素欠陥画素１個を１個の画素欠陥と判断
し、前記画素欠陥画素の位置と、一定光量のチャ−トを
固体撮像素子で撮像したときに出力される信号に対する
画素欠陥画素の信号値の比率を信号レベルとして測定し
ていた。また、固体撮像素子の画素欠陥目視検査の方法
としては、固体撮像素子の出力信号をモニタに出力さ
せ、目視により画素欠陥を数えていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、固体撮像素子の
画素欠陥を測定する際、オシロスコ−プを用いて画素欠
陥画素１個を１個の画素欠陥と判断し、前記画素欠陥画
素の位置と、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像
したときに出力される信号に対する画素欠陥画素の信号
値の比率を信号レベルとして測定していたので、空間的
に連続している画素欠陥画素を１個のかたまりとしては
判断できず、固体撮像素子の出力信号をモニタに出力し
て目視により画素欠陥の数を数える固体撮像素子の画素
欠陥目視検査との対応が取れていなかった。
画素欠陥を測定する際、オシロスコ−プを用いて画素欠
陥画素１個を１個の画素欠陥と判断し、前記画素欠陥画
素の位置と、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像
したときに出力される信号に対する画素欠陥画素の信号
値の比率を信号レベルとして測定していたので、空間的
に連続している画素欠陥画素を１個のかたまりとしては
判断できず、固体撮像素子の出力信号をモニタに出力し
て目視により画素欠陥の数を数える固体撮像素子の画素
欠陥目視検査との対応が取れていなかった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するために、
画素欠陥画素が空間的に連続していれば、１個のグル−
プとし、前記グル−プ１個を１個の画素欠陥と判断する
ことで、前記目視検査との対応が取れる固体撮像素子の
画素欠陥測定装置を提供することを目的とする。
画素欠陥画素が空間的に連続していれば、１個のグル−
プとし、前記グル−プ１個を１個の画素欠陥と判断する
ことで、前記目視検査との対応が取れる固体撮像素子の
画素欠陥測定装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、固体撮像素子の出力信号を量子化するＡ／Ｄ
変換器と、前記Ａ／Ｄ変換器の出力信号を蓄積するフレ
−ムメモリと、前記フレ−ムメモリの信号を任意回数フ
レ−ム間平均を行い固体撮像素子の信号に含まれるラン
ダムノイズを軽減させるフレ−ム間平均化部と、前記フ
レ−ム間平均化部から得られた画像信号を空間的に平均
して画像のシェ−ディング成分を検出する空間平均化部
と、前記フレ−ム間平均化部から得れた画像信号と前記
空間平均化部から得られた画像信号との差分信号を検出
するフレ−ム間差分部と、前記フレ−ム間差分部から得
られた画像信号のヒストグラム分析を行うヒストグラム
分析部と、前記フレ−ム間差分部から得れた画像信号を
１画素毎に前記ヒストグラム分析部から得られた任意の
レベルと比較し画素欠陥画素と判断する画素欠陥検出部
と、前記画素欠陥画素の位置と画素の信号値を記憶する
画素位置記憶部と、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素
欠陥画素が存在するならば空間的に連続であると認識
し、１個のグル−プであると判断する画素欠陥グル−プ
分け部と、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像し
たときに出力される信号値を外部入力で与える信号値入
力部から構成されるものである。
するため、固体撮像素子の出力信号を量子化するＡ／Ｄ
変換器と、前記Ａ／Ｄ変換器の出力信号を蓄積するフレ
−ムメモリと、前記フレ−ムメモリの信号を任意回数フ
レ−ム間平均を行い固体撮像素子の信号に含まれるラン
ダムノイズを軽減させるフレ−ム間平均化部と、前記フ
レ−ム間平均化部から得られた画像信号を空間的に平均
して画像のシェ−ディング成分を検出する空間平均化部
と、前記フレ−ム間平均化部から得れた画像信号と前記
空間平均化部から得られた画像信号との差分信号を検出
するフレ−ム間差分部と、前記フレ−ム間差分部から得
られた画像信号のヒストグラム分析を行うヒストグラム
分析部と、前記フレ−ム間差分部から得れた画像信号を
１画素毎に前記ヒストグラム分析部から得られた任意の
レベルと比較し画素欠陥画素と判断する画素欠陥検出部
と、前記画素欠陥画素の位置と画素の信号値を記憶する
画素位置記憶部と、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素
欠陥画素が存在するならば空間的に連続であると認識
し、１個のグル−プであると判断する画素欠陥グル−プ
分け部と、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像し
たときに出力される信号値を外部入力で与える信号値入
力部から構成されるものである。
【０００６】
【作用】本発明は上記した構成により、Ａ／Ｄ変換器は
固体撮像素子の信号を量子化し、フレ−ムメモリは前記
Ａ／Ｄ変換器のディジタル出力信号を蓄積し、フレ−ム
間平均化部は前記フレ−ムメモリのディジタル出力信号
を任意回数取り込み固体撮像素子に含まれるランダムノ
イズを取り除き、空間平均部は前記フレ−ム間平均化部
から得られた画像信号を空間的に平均化して画像のシェ
−ディング成分を検出し、フレ−ム間差分部は前記フレ
−ム間平均化部から得られた画像信号と前記空間平均部
から得れた画像信号の差分信号を検出し、ヒストグラム
分析部は前記フレ−ム間差分部から得られた画像信号の
ヒストグラム分析を行い、画素欠陥検出部はフレ−ム間
差分部から得られた画像信号を１画素毎に前記ヒストグ
ラム分析部から得られた任意のレベルと比較し画素欠陥
画素と判断し、画素位置記憶部は前記画素欠陥画素の位
置と画素の信号値を記憶し、画素欠陥グル−プ分け部
は、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在する
ならば空間的に連続であると認識し、１個のグル−プと
判断することでグル−プ分けを行い、前記１個のグル−
プの画素欠陥画素の信号値をグル−プ内で加算し、前記
加算和を一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像した
とき出力される信号値で割り算する。
固体撮像素子の信号を量子化し、フレ−ムメモリは前記
Ａ／Ｄ変換器のディジタル出力信号を蓄積し、フレ−ム
間平均化部は前記フレ−ムメモリのディジタル出力信号
を任意回数取り込み固体撮像素子に含まれるランダムノ
イズを取り除き、空間平均部は前記フレ−ム間平均化部
から得られた画像信号を空間的に平均化して画像のシェ
−ディング成分を検出し、フレ−ム間差分部は前記フレ
−ム間平均化部から得られた画像信号と前記空間平均部
から得れた画像信号の差分信号を検出し、ヒストグラム
分析部は前記フレ−ム間差分部から得られた画像信号の
ヒストグラム分析を行い、画素欠陥検出部はフレ−ム間
差分部から得られた画像信号を１画素毎に前記ヒストグ
ラム分析部から得られた任意のレベルと比較し画素欠陥
画素と判断し、画素位置記憶部は前記画素欠陥画素の位
置と画素の信号値を記憶し、画素欠陥グル−プ分け部
は、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在する
ならば空間的に連続であると認識し、１個のグル−プと
判断することでグル−プ分けを行い、前記１個のグル−
プの画素欠陥画素の信号値をグル−プ内で加算し、前記
加算和を一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像した
とき出力される信号値で割り算する。
【０００７】このように、本発明は画素欠陥のグル−プ
分けを行うため、画素欠陥が単体または空間的に連続す
る場合においても画素欠陥を正確に測定できるため固体
撮像素子の画素欠陥目視検査との対応が取れ、フレ−ム
メモリを用いているため高速に１フレ−ム領域内の画素
欠陥測定ができる。
分けを行うため、画素欠陥が単体または空間的に連続す
る場合においても画素欠陥を正確に測定できるため固体
撮像素子の画素欠陥目視検査との対応が取れ、フレ−ム
メモリを用いているため高速に１フレ−ム領域内の画素
欠陥測定ができる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を用いて詳細に説
明する。（図１）は本発明の一実施例を示す固体撮像素
子の画素欠陥測定装置の概略構成図であるが、（図１）
は光学系、固体撮像素子を駆動するための駆動回路、固
体撮像素子の出力を得るための信号処理回路等は省略し
ている。
明する。（図１）は本発明の一実施例を示す固体撮像素
子の画素欠陥測定装置の概略構成図であるが、（図１）
は光学系、固体撮像素子を駆動するための駆動回路、固
体撮像素子の出力を得るための信号処理回路等は省略し
ている。
【０００９】（図１）において、１は被測定物である固
体撮像素子、２は固体撮像素子１の信号を量子化するＡ
／Ｄ変換器、３はＡ／Ｄ変換器２のディジタル出力信号
を蓄積するフレ−ムメモリ、４はフレ−ムメモリ３のデ
ィジタル出力信号を任意回数取り込んでフレ−ム間平均
を行い、固体撮像素子１に含まれるランダムノイズを軽
減させる平均化部、５はフレ−ム間平均化部４から得ら
れた画像信号を空間的に平均化して画像のシェ−ディン
グ成分を検出する空間平均化部、６はフレ−ム間平均化
部４から得られた画像信号と空間平均化部５から得られ
た画像信号の差分信号を検出するフレ−ム間差分部、７
はフレ−ム間差分部から得られた画像信号のヒストグラ
ム分析を行うヒストグラム分析部である。
体撮像素子、２は固体撮像素子１の信号を量子化するＡ
／Ｄ変換器、３はＡ／Ｄ変換器２のディジタル出力信号
を蓄積するフレ−ムメモリ、４はフレ−ムメモリ３のデ
ィジタル出力信号を任意回数取り込んでフレ−ム間平均
を行い、固体撮像素子１に含まれるランダムノイズを軽
減させる平均化部、５はフレ−ム間平均化部４から得ら
れた画像信号を空間的に平均化して画像のシェ−ディン
グ成分を検出する空間平均化部、６はフレ−ム間平均化
部４から得られた画像信号と空間平均化部５から得られ
た画像信号の差分信号を検出するフレ−ム間差分部、７
はフレ−ム間差分部から得られた画像信号のヒストグラ
ム分析を行うヒストグラム分析部である。
【００１０】８はフレ−ム間差分部６から得られた画像
信号をヒストグラム分析部７から得られた任意のレベル
と比較し、画素欠陥画素と判断する画素欠陥検出部、９
は画素欠陥検出装置８により検出された前記画素欠陥画
素の位置と画素の信号値を記憶する画素欠陥位置記憶
部、１０は画素欠陥位置記憶部９により記憶された画素
欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間的
に連続であると認識し、１個のグル−プと判断し、前記
１個のグル−プ内の画素欠陥画素の信号値を加算し、前
記加算和を、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像
したときに出力される信号値で割り算する画素欠陥グル
−プ分け部、１１は前記加算和を割り算する前記信号値
を外部入力する信号値入力部、１２は以上のＡ／Ｄ変換
器２から画素欠陥グル−プ分け部１０を用いて構成され
る固体撮像素子の画素欠陥測定装置である。
信号をヒストグラム分析部７から得られた任意のレベル
と比較し、画素欠陥画素と判断する画素欠陥検出部、９
は画素欠陥検出装置８により検出された前記画素欠陥画
素の位置と画素の信号値を記憶する画素欠陥位置記憶
部、１０は画素欠陥位置記憶部９により記憶された画素
欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間的
に連続であると認識し、１個のグル−プと判断し、前記
１個のグル−プ内の画素欠陥画素の信号値を加算し、前
記加算和を、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮像
したときに出力される信号値で割り算する画素欠陥グル
−プ分け部、１１は前記加算和を割り算する前記信号値
を外部入力する信号値入力部、１２は以上のＡ／Ｄ変換
器２から画素欠陥グル−プ分け部１０を用いて構成され
る固体撮像素子の画素欠陥測定装置である。
【００１１】次に、本実施例の固体撮像素子の画素欠陥
測定装置を動作させ、固体撮像素子を遮光状態にして固
体撮像素子の画素欠損の一種類である白欠損いわゆる白
キズ測定の動作について説明する。なお、一定光量のチ
ャートを固体撮像素子で撮像すれば黒欠損いわゆる黒キ
ズの測定が行える。（図１）において、固体撮像素子１
の出力はＡ／Ｄ変換器２により量子化される。Ａ／Ｄ変
換器２のディジタル出力信号はフレ−ムメモリ３に蓄積
された後、フレ−ム間平均化部４に取り込まれ、画像信
号は（図２）Ａで示される状態になる。（図２）Ａには
固体撮像素子１で出力される画像信号が量子化されたも
ので、前記画像信号にはランダムノイズ、固定パタ−ン
ノイズと画像信号のシェ−ディング成分が含まれてい
る。固体撮像素子の画素欠陥測定には不要であるランダ
ムノイズとシェ−ディング成分を取り除くため、以下の
動作を行う。フレ−ムメモリ３のディジタル出力信号
は、フレ−ム単位でフレ−ム間平均化部４に任意回数取
り込まれ、まずランダムノイズが取り除かれて出力さ
れ、画像信号は（図２）Ｂで示される状態となる。次
に、固体撮像素子１の出力信号に含まれるシェ−ディン
グ成分を検出するため、フレ−ム間平均化部４の画像信
号は空間平均化部５に取り込まれる。
測定装置を動作させ、固体撮像素子を遮光状態にして固
体撮像素子の画素欠損の一種類である白欠損いわゆる白
キズ測定の動作について説明する。なお、一定光量のチ
ャートを固体撮像素子で撮像すれば黒欠損いわゆる黒キ
ズの測定が行える。（図１）において、固体撮像素子１
の出力はＡ／Ｄ変換器２により量子化される。Ａ／Ｄ変
換器２のディジタル出力信号はフレ−ムメモリ３に蓄積
された後、フレ−ム間平均化部４に取り込まれ、画像信
号は（図２）Ａで示される状態になる。（図２）Ａには
固体撮像素子１で出力される画像信号が量子化されたも
ので、前記画像信号にはランダムノイズ、固定パタ−ン
ノイズと画像信号のシェ−ディング成分が含まれてい
る。固体撮像素子の画素欠陥測定には不要であるランダ
ムノイズとシェ−ディング成分を取り除くため、以下の
動作を行う。フレ−ムメモリ３のディジタル出力信号
は、フレ−ム単位でフレ−ム間平均化部４に任意回数取
り込まれ、まずランダムノイズが取り除かれて出力さ
れ、画像信号は（図２）Ｂで示される状態となる。次
に、固体撮像素子１の出力信号に含まれるシェ−ディン
グ成分を検出するため、フレ−ム間平均化部４の画像信
号は空間平均化部５に取り込まれる。
【００１２】空間平均化部５では空間平均化、つまり２
次元のロ−パスフィルタが画像信号に掛け合わされるこ
とになるため、画像信号に含まれる固定パタ−ンノイズ
が取り除かれ、空間平均化部５で出力される画像信号
は、（図２）Ｃで示される状態となる。さらに、固体撮
像素子の固定パタ−ンノイズを検出するため、フレ−ム
間平均化部４で出力される画像信号から空間平均化部５
で出力される画像信号のフレ−ム間差分をフレ−ム間差
分部６で行い、画像信号は（図２）Ｄで示される状態と
なる。画素欠陥検出において周知の事実により、固定パ
タ−ンノイズの中に画素欠陥が含まれていることより、
一般的に画素欠陥の検出方法としては、固定パタ−ンノ
イズのヒストグラム分析を行い、固定パタ−ンノイズの
絶対値レベルの大きいものを、画素欠陥として検出す
る。そこでフレ−ム間差分部６で出力される画像信号の
ヒストグラム分析をヒストグラム分析部７で行う。
次元のロ−パスフィルタが画像信号に掛け合わされるこ
とになるため、画像信号に含まれる固定パタ−ンノイズ
が取り除かれ、空間平均化部５で出力される画像信号
は、（図２）Ｃで示される状態となる。さらに、固体撮
像素子の固定パタ−ンノイズを検出するため、フレ−ム
間平均化部４で出力される画像信号から空間平均化部５
で出力される画像信号のフレ−ム間差分をフレ−ム間差
分部６で行い、画像信号は（図２）Ｄで示される状態と
なる。画素欠陥検出において周知の事実により、固定パ
タ−ンノイズの中に画素欠陥が含まれていることより、
一般的に画素欠陥の検出方法としては、固定パタ−ンノ
イズのヒストグラム分析を行い、固定パタ−ンノイズの
絶対値レベルの大きいものを、画素欠陥として検出す
る。そこでフレ−ム間差分部６で出力される画像信号の
ヒストグラム分析をヒストグラム分析部７で行う。
【００１３】ヒストグラム分析結果は（図３）で示され
ており、固定パタ−ンノイズのレベルの大きさの傾向が
つかめる。本実施例では、（図３）のヒストグラム分析
結果において、レベルがａより大きいものを画素欠陥と
して取り扱う。画素欠陥検出部８では、フレ−ム間差分
部６で出力される画像信号の内でレベルがａより大きい
ものを検出するため、出力される画像信号は白欠陥のみ
となり、（図２）Ｅで示される状態となる。画素欠陥検
出部８で出力された画素信号（（図２）Ｅ）は、白欠陥
を表しているが、空間的に連続していても１個のグル−
プとは認識されていない。
ており、固定パタ−ンノイズのレベルの大きさの傾向が
つかめる。本実施例では、（図３）のヒストグラム分析
結果において、レベルがａより大きいものを画素欠陥と
して取り扱う。画素欠陥検出部８では、フレ−ム間差分
部６で出力される画像信号の内でレベルがａより大きい
ものを検出するため、出力される画像信号は白欠陥のみ
となり、（図２）Ｅで示される状態となる。画素欠陥検
出部８で出力された画素信号（（図２）Ｅ）は、白欠陥
を表しているが、空間的に連続していても１個のグル−
プとは認識されていない。
【００１４】そこで、グループ分けを画素欠陥位置記憶
部９と画素欠陥グル−プ分け部１０を用いて行う。画素
欠陥位置記憶部９には（図２）Ｅで示される１フレ−ム
領域内の白欠陥画素の位置と信号値が記憶されている。
前記記憶内容は画素欠陥位置記憶部９から１フレ−ム領
域分のメモリを持つ画素欠陥グル−プ分け部１０に取り
込まれ、画素欠陥グル−プ分け部１０にて白欠損画素の
グル−プ分けと前記グル−プ分けした１個のグル−プの
白欠陥画素の信号値を加算し、前記加算和と一定光量の
チャ−トを固体撮像素子で撮像したときに出力される信
号値の比率を算出する。前記一定光量のチャ−トを固体
撮像素子で撮像したときに出力される前記信号値は、信
号値入力部１１で外部入力される。画素欠陥グル−プ分
け部１０の動作を（図４）から（図６）を用いて説明す
る。
部９と画素欠陥グル−プ分け部１０を用いて行う。画素
欠陥位置記憶部９には（図２）Ｅで示される１フレ−ム
領域内の白欠陥画素の位置と信号値が記憶されている。
前記記憶内容は画素欠陥位置記憶部９から１フレ−ム領
域分のメモリを持つ画素欠陥グル−プ分け部１０に取り
込まれ、画素欠陥グル−プ分け部１０にて白欠損画素の
グル−プ分けと前記グル−プ分けした１個のグル−プの
白欠陥画素の信号値を加算し、前記加算和と一定光量の
チャ−トを固体撮像素子で撮像したときに出力される信
号値の比率を算出する。前記一定光量のチャ−トを固体
撮像素子で撮像したときに出力される前記信号値は、信
号値入力部１１で外部入力される。画素欠陥グル−プ分
け部１０の動作を（図４）から（図６）を用いて説明す
る。
【００１５】まず、注目する白欠陥画素が周辺の白欠損
画素と空間的に連続であるかを認識するための周辺画素
について説明する。（図４）において格子は、画素単位
を示し、斜線で示されたＳは注目する白欠損画素を示
し、点線で囲まれた格子領域は周辺画素を示す。次に、
前記の周辺画素を用いて空間的に連続であれば、１個の
グル−プであると認識するグル−プ分けについて（図
５）と（図６）を用いて説明する。
画素と空間的に連続であるかを認識するための周辺画素
について説明する。（図４）において格子は、画素単位
を示し、斜線で示されたＳは注目する白欠損画素を示
し、点線で囲まれた格子領域は周辺画素を示す。次に、
前記の周辺画素を用いて空間的に連続であれば、１個の
グル−プであると認識するグル−プ分けについて（図
５）と（図６）を用いて説明する。
【００１６】（図５）は、グル−プ分けの動作をアルゴ
リズムで示し、（図６）は（図５）のアルゴリズムが白
欠損画素をグル−プ分けして行く白欠陥画素の様子を示
す。（図５）において、周辺画素認識Ｉは、（図４）で
説明した周辺画素を観測し、Ｓの周辺画素に白欠損画素
があるか判断し、前記判断後、同じグループ内の白欠陥
画素に共通の認識が得られるようラベルを付けていく。
（図５）において、新ラベル付けＫは、（図４）で説明
した周辺画素に白欠損画素が無い場合において，注目す
べき前記Ｓがラベル付けされていない場合にｋ1 ，ｋ2
と記すようなｋなる係数でラベル付けし、小ラベル付け
Ｊは（図４）で説明した周辺画素に白欠損画素が存在す
る場合において動作し、前記Ｓおよび既に前記周辺画素
内でラベル付けされているｋなる係数のラベルを、周辺
画素内でラベル付けしている内のｋに付随する係数の一
番小さなラベルに置き換える。１フレ−ム終了Ｌは、前
記説明したラベル付けが１フレ−ム領域内で完了したか
前記Ｓの画素位置を確認して判断する。
リズムで示し、（図６）は（図５）のアルゴリズムが白
欠損画素をグル−プ分けして行く白欠陥画素の様子を示
す。（図５）において、周辺画素認識Ｉは、（図４）で
説明した周辺画素を観測し、Ｓの周辺画素に白欠損画素
があるか判断し、前記判断後、同じグループ内の白欠陥
画素に共通の認識が得られるようラベルを付けていく。
（図５）において、新ラベル付けＫは、（図４）で説明
した周辺画素に白欠損画素が無い場合において，注目す
べき前記Ｓがラベル付けされていない場合にｋ1 ，ｋ2
と記すようなｋなる係数でラベル付けし、小ラベル付け
Ｊは（図４）で説明した周辺画素に白欠損画素が存在す
る場合において動作し、前記Ｓおよび既に前記周辺画素
内でラベル付けされているｋなる係数のラベルを、周辺
画素内でラベル付けしている内のｋに付随する係数の一
番小さなラベルに置き換える。１フレ−ム終了Ｌは、前
記説明したラベル付けが１フレ−ム領域内で完了したか
前記Ｓの画素位置を確認して判断する。
【００１７】アルゴリズム動作を実施例を用いて説明す
る。（図６）Ａは周辺画素内に白欠損画素が存在しない
ため、（図５）の周辺画素認識Ｉにより新ラベル付けＫ
に進むと判断され、新ラベル付けＫを経て（図６）Ｂと
なり、前記Ｓにはｋ1 なるラベルが与えられる。（図
６）Ｃは周辺画素内に白欠損画素が存在するため、小ラ
ベル付けＪに進み、小ラベル付けＪを経て（図６）Ｄと
なり、周辺画素内に既にｋ1 なるラベルが与えているた
め、前記Ｓにはｋ1 なるラベルが与えられる。
る。（図６）Ａは周辺画素内に白欠損画素が存在しない
ため、（図５）の周辺画素認識Ｉにより新ラベル付けＫ
に進むと判断され、新ラベル付けＫを経て（図６）Ｂと
なり、前記Ｓにはｋ1 なるラベルが与えられる。（図
６）Ｃは周辺画素内に白欠損画素が存在するため、小ラ
ベル付けＪに進み、小ラベル付けＪを経て（図６）Ｄと
なり、周辺画素内に既にｋ1 なるラベルが与えているた
め、前記Ｓにはｋ1 なるラベルが与えられる。
【００１８】（図６）Ｅも前記（図６）Ｃと同様に小ラ
ベル付けＪを経て（図６）Ｆとなり、前記Ｓにはｋ1 な
るラベルが与えられ、既に与えられているｋ2 なるラベ
ルは、ｋ1 なるラベルに置き変わる。前記のアルゴリズ
ム動作は前記Ｓが１フレ−ム領域内の最終画素に到達す
るまで行われ、前記のアルゴリズム動作終了確認は、１
フレ−ム終了Ｌで前記Ｓの画素位置を判断することで行
われる。前記アルゴリズム動作により白欠損画素のラベ
ル付けつまりグル−プ分けが終了する。
ベル付けＪを経て（図６）Ｆとなり、前記Ｓにはｋ1 な
るラベルが与えられ、既に与えられているｋ2 なるラベ
ルは、ｋ1 なるラベルに置き変わる。前記のアルゴリズ
ム動作は前記Ｓが１フレ−ム領域内の最終画素に到達す
るまで行われ、前記のアルゴリズム動作終了確認は、１
フレ−ム終了Ｌで前記Ｓの画素位置を判断することで行
われる。前記アルゴリズム動作により白欠損画素のラベ
ル付けつまりグル−プ分けが終了する。
【００１９】次に、グル−プ分けした１個の白欠陥画素
のかたまりが、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮
像したときに出力される信号に対する比率を算出するた
め、前記グル−プ分けしたとき白欠陥画素に与えたｋな
るラベルの等しいものを加算し、前記加算和を信号値入
力部１１から与えられる外部入力値で割り算する。
のかたまりが、一定光量のチャ−トを固体撮像素子で撮
像したときに出力される信号に対する比率を算出するた
め、前記グル−プ分けしたとき白欠陥画素に与えたｋな
るラベルの等しいものを加算し、前記加算和を信号値入
力部１１から与えられる外部入力値で割り算する。
【００２０】白欠陥画素の測定値の特性としては、位置
と信号レベルが必要であるが、位置として前記１個の白
欠陥画素のかたまりの内で前記ｋなるラベル付けした一
番最初の位置が与えられ、信号レベルとして前記割り算
した商とする。この構成は、計算機を用いて構成すれば
簡単に実現できるものであり、正確で信頼性の高い測定
が実現できる。
と信号レベルが必要であるが、位置として前記１個の白
欠陥画素のかたまりの内で前記ｋなるラベル付けした一
番最初の位置が与えられ、信号レベルとして前記割り算
した商とする。この構成は、計算機を用いて構成すれば
簡単に実現できるものであり、正確で信頼性の高い測定
が実現できる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば次のよう
な効果を奏でることができる。 （ａ）画素欠陥が空間的に連続していれば１個の画素欠
陥画素として判断するため、従来の固体撮像素子の画素
欠陥目視検査との整合性がとれる。 （ｂ）フレ−ムメモリを用いているため高速に１フレ−
ム領域内の画素欠陥測定が行える。
な効果を奏でることができる。 （ａ）画素欠陥が空間的に連続していれば１個の画素欠
陥画素として判断するため、従来の固体撮像素子の画素
欠陥目視検査との整合性がとれる。 （ｂ）フレ−ムメモリを用いているため高速に１フレ−
ム領域内の画素欠陥測定が行える。
【図１】本発明の実施例の固体撮像素子の画素欠陥測定
装置の概略構成図
装置の概略構成図
【図２】同固体撮像素子の画素欠陥測定装置の動作を示
す画素信号を示す概略図
す画素信号を示す概略図
【図３】同固体撮像素子の画素欠陥測定装置内のヒスト
グラム分析部の出力信号波形図
グラム分析部の出力信号波形図
【図４】グル−プ分けに用いる周辺画素と注目画素を説
明する図
明する図
【図５】グル−プ分けの動作を説明するフローチャート
【図６】ラベル付けの動作を説明する図
１ 固体撮像素子 ２ Ａ／Ｄ変換器 ３ フレ−ムメモリ ４ フレ−ム間平均化部 ５ 空間平均化部 ６ フレ−ム間差分部 ７ ヒストグラム分析部 ８ 画素欠陥検出部 ９ 画素欠陥位置記憶部 １０ 画素欠陥グル−プ分け部 １１ 信号値入力部 １２ 固体撮像素子の画素欠陥測定装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久我 龍一郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 固体撮像素子の信号を量子化するＡ／Ｄ
変換器と、前記Ａ／Ｄ変換器のディジタル出力信号を蓄
積するフレ−ムメモリと、前記フレ−ムメモリのディジ
タル出力信号を演算処理して画素欠陥を算出する演算処
理装置を備えて成り、前記演算処理装置は、フレ−ムメ
モリのディジタル出力信号を任意回数のフレ−ム間平均
を行い、固体撮像素子の信号に含まれるランダムノイズ
を軽減するフレ−ム間平均化手段と、前記フレ−ム間平
均化手段から得られた画像信号を空間的に平均化して画
像のシェ−ディング成分を検出する空間平均化手段と、
前記フレ−ム間平均化手段から得られた画像信号と前記
空間平均化手段から得られた画像信号の差分信号を検出
するフレ−ム間差分手段と、前記フレ−ム間差分手段か
ら得られた画像信号のヒストグラム分析を行うヒストグ
ラム分析手段と、前記フレ−ム間差分手段から得られた
画像信号を１画素毎に前記ヒストグラム分析手段から得
られた任意のレベルと比較し画素欠陥画素と判断する画
素欠陥検出手段と、前記画素欠陥画素の画素の位置と画
素の信号値を記憶する画素欠陥位置記憶手段と、前記画
素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間
的に連続であると認識し、１個のグル−プと判断する画
素欠陥グル−プ分け手段と、一定光量のチャ−トを固体
撮像素子で撮像したときに出力される信号値を外部入力
で与える信号値入力手段からなることを特徴とする固体
撮像素子の画素欠陥測定装置。 - 【請求項２】 画素欠陥画素の周辺画素は、前記画素欠
陥画素の１画素前の画素と、前記画素欠陥画素の１走査
線前の画素と、前記画素欠陥画素の１走査線前の画素の
１画素前の画素と、前記画素欠陥画素の１走査線前の画
素の１画素後の画素であることを特徴とする請求項１記
載の固体撮像素子の画素欠陥測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287470A JPH05130512A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287470A JPH05130512A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05130512A true JPH05130512A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17717756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3287470A Pending JPH05130512A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05130512A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006109067A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | 欠陥画素処理装置及び方法 |
| JP2006304839A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Shimadzu Corp | 光または放射線撮像装置 |
| JP2006319602A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置及び点滅欠陥検出方法 |
| US7676111B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-03-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing device and image processing method to detect and remove image noises |
| US7916191B2 (en) | 2006-07-26 | 2011-03-29 | Sony Corporation | Image processing apparatus, method, program, and recording medium |
-
1991
- 1991-11-01 JP JP3287470A patent/JPH05130512A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006109067A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | 欠陥画素処理装置及び方法 |
| US7676111B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-03-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing device and image processing method to detect and remove image noises |
| JP2006304839A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Shimadzu Corp | 光または放射線撮像装置 |
| JP2006319602A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置及び点滅欠陥検出方法 |
| US7916191B2 (en) | 2006-07-26 | 2011-03-29 | Sony Corporation | Image processing apparatus, method, program, and recording medium |
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