JPH106242A - ハンマー - Google Patents

ハンマー

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JPH106242A
JPH106242A JP16429696A JP16429696A JPH106242A JP H106242 A JPH106242 A JP H106242A JP 16429696 A JP16429696 A JP 16429696A JP 16429696 A JP16429696 A JP 16429696A JP H106242 A JPH106242 A JP H106242A
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Koichi Akiyoshi
浩一 秋吉
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリコン塊を破砕するのに好適に使用するこ
とができる、耐久性に優れ且つ容易に製造することがで
きるハンマーを提供する。 【解決手段】 ハンマーの頭(4)は基部(10)とこ
れに接合されたタングステンカーバイド製打撃部(12
a及び12b)とから構成されている。基部(10)と
打撃部(12a及び12b)との境界面は、所定方向に
傾斜せしめられた第一の傾斜面(22a、22b、28
a、28b)と逆方向に傾斜せしめられた第二の傾斜面
(24a、24b、30a、30b)とを含んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン塊を破砕
するのに、殊に棒状多結晶シリコン塊を破砕してナゲッ
トと称される拳大の破砕片にせしめるのに、好都合に適
用することができるハンマーに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイス製造のためのシリコンウ
エーハは、周知の如く、シーメンス法によって棒状多結
晶シリコン塊を生成し、次いでシリコン塊を拳大の破砕
片に破砕する。そして、かかる破砕片を原材料として、
チョクラルスキー法によって円柱状の単結晶シリコンイ
ンゴッドを生成し、かかるシリコンインゴットを切断、
研削することによって製造される。上記棒状多結晶シリ
コン塊の破砕は、通常、手動ハンマーでシリコン塊に打
撃を加えることによって遂行されている。かような破砕
操作においては、シリコンが不純物によって汚染される
ことを可及的に防止することが重要である。重金属、ア
ルカリ金属等の不純物が多結晶シリコンの表面に付着す
ると、生成される単結晶シリコンに結晶欠陥を発生せし
める傾向があり、最終製品である半導体デバイスの性能
に悪影響を及ぼす。
【0003】特開平6−218677号公報には、多結
晶棒状シリコン塊を破砕するためのハンマーとして、柄
と頭の基部とを鋼から一体に形成し、頭の基部に隣接せ
しめて打撃部を配置し、そして柄、頭の基部及び打撃部
を、打撃部の先端部のみを露呈せしめて合成樹脂外殻で
封入して構成したハンマーが開示されている。打撃部は
シリコンに接触せしめてもシリコンを汚染することが皆
無に近いタングステンカーバイド(本明細書において使
用する語句「タングステンカーバイド」は、実質上他の
金属を含有しないタングステンカーバイドのみならず、
コバルト等を含有するタングステンカーバイド合金を含
有する)から形成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】而して、特開平6−2
18677号公報に開示されている上記ハンマーには、
(1)鋼から形成されている頭の基部とタングステンカ
ーバイドから形成されている打撃部との相互連結が必ず
しも充分ではなく、短期間の使用により打撃部が離脱し
てしまう、(2)合成樹脂外殻による封入操作は比較的
煩雑であり、製造コストが高価になる、等の問題が存在
する。
【0005】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術的課題は、シリコンが不純物によ
って汚染されることを充分に防止してシリコン塊の破砕
を遂行することを可能にすることに加えて、耐久性に優
れ且つ比較的容易に製造することができる、新規且つ改
良されたハンマーを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記主たる技術的課題を
解決するために、本発明においては、鋼の如き適宜の材
料から形成され柄と直接的に接続されている頭の基部と
タングステンカーバイド製の打撃部とを、柄の長手方向
に柄から遠ざかるに従って柄の長手方向中心線に近づく
方向に傾斜している第一の傾斜面とこの第一の傾斜面に
続いて柄の長手方向に柄から遠ざかるに従って柄の長手
方向中心線から離れる方向に傾斜している第二の傾斜面
とから成る、或いは柄の長手方向に柄から遠ざかるに従
って柄の長手方向中心線から離れる方向にに傾斜してい
る第一の傾斜面とこの第一の傾斜面に続いて柄の長手方
向に柄から遠ざかるに従って柄の長手方向中心線に近づ
く方向に傾斜している第二の傾斜面とから成る境界面を
介して相互に接合する。
【0007】即ち、本発明の第一の局面によれば、上記
技術的課題を達成するハンマーとして、細長く延びる柄
と、該柄の先端に位置し且つ該柄の長手方向に対して横
方向に延びる頭とを具備し、該頭は該柄部の先端に直接
的に接続されている基部と該基部の少なくとも片端に配
設された打撃部とから形成されており、該打撃部はタン
グステンカーバイド製であるハンマーにおいて、該基部
と該打撃部とは、該柄の長手方向に該柄から遠ざかるに
従って該柄の長手方向中心線に近づく方向に傾斜してい
る第一の傾斜面と該第一の傾斜面に続いて該柄の長手方
向に該柄から遠ざかるに従って該柄の長手方向中心線か
ら離れる方向に傾斜している第二の傾斜面とから成る境
界面を介して相互に接合されている、ことを特徴とする
ハンマーが提供される。
【0008】本発明の第二の局面によれば、細長く延び
る柄と、該柄の先端に位置し且つ該柄の長手方向に対し
て横方向に延びる頭とを具備し、該頭は該柄の先端に直
接的に接続されている基部と該基部の少なくとも片端に
配設された打撃部とから形成されており、該打撃部はタ
ングステンカーバイド製であるハンマーにおいて、該基
部と該打撃部とは、該柄の長手方向に該柄から遠ざかる
に従って該柄の長手方向中心線から離れる方向に傾斜し
ている第一の傾斜面と該第一の傾斜面に続いて該柄の長
手方向に該柄から遠ざかるに従って該柄の長手方向中心
線に近づく方向に傾斜している第二の傾斜面とから成る
境界面を介して相互に接合されている、ことを特徴とす
るハンマーが提供される。
【0009】該第一の傾斜面と該第二の傾斜面とが形成
する角度は100乃至150度であるのが好適である。
該第一の傾斜面と該第二の傾斜面とは平面でよい。好適
形態においては、該柄と該頭の該基部とは鋼から一体に
形成されており、該打撃部は該基部に蝋付けされてい
る。該打撃部は円筒状側面と球表面の一部をなす先端面
とを有するのが好ましい。該柄は実質上真直に延び、該
頭は実質上真直に且つ該柄に対して実質上垂直に延び、
該頭の該基部の両端に該打撃部が配設されており、該頭
は該柄の長手方向中心軸線に関して線対称形状であるの
が好都合である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適実施形態を図
示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【0011】図1乃至図4は、本発明に従って構成され
たハンマーの好適実施形態を図示している。図示のハン
マーは柄2とこの柄2の先端に位置せしめられている頭
4とから構成されている。柄2は実質上真直に細長く延
在せしめられており、頭4は柄2に対して実質上垂直に
且つ実質上真直に延在せしめられている。従って、柄2
の長手方向中心軸線6に対して頭4の長手方向中心軸線
8は実質上垂直に延びている。所望ならば、特に頭4の
両端部ではなくて片端部のみに打撃部(打撃部について
は後に詳細な説明する)が配設される場合には、柄2に
対して頭4を後方又は前方に幾分傾斜せしめることもで
きる。図1を参照することによって明確に理解されると
おり、頭4は基部10とかかる基部10の両端に配設さ
れた打撃部12a及び12bとから形成されている。基
部10は柄2に直接的に接続されており、打撃部12a
及び12bは柄2及び基部10とは別個に形成されて基
部10に接合されている。頭4の基部10を柄2と別個
に形成して柄2の先端に適宜の手段によって接合するこ
ともできるが、頭4の基部10は柄2と一体に形成され
ているのが好適である。図2及び図4を参照することに
よって理解される如く、基部10並びに打撃部12a及
び12bから構成されている頭4は、柄2の長手方向中
心軸線6に関して線対称形状に形成されている。
【0012】図1乃至図4を参照して説明を続けると、
柄2は細長く延びる中実棒形状であり、その断面形状は
上面部と下面部に円弧状表面を有し両側部(図3におい
て左右両側部)に平面を有する形態である。柄2の先端
部には先端に向かって漸次太くなる増大部14が形成さ
れている。柄2の先端に柄2と一体に形成せしめられて
いる、頭4の基部10は、八角形状の主部16とこの主
部16の両端に形成されている突出部18a及び18b
とを含んでいる。突出部18a及び18bの各々の側面
20a及び20bは円筒形状である。突出部18a及び
18bの各々の端面(即ち突出部18aの下面及び突出
部18bの上面)は、第一の傾斜面22a及び22bと
第二の傾斜面24a及び24bとを含んでいる。第一の
傾斜面22a及び22bと第二の傾斜面24a及び24
bとの間には、両者を円滑に接続する曲面23a及び2
3bが存在する。第一の傾斜面22a及び22bは柄2
の長手方向に柄2から遠ざかる(即ち図2において左に
進行する)に従って柄2の長手方向中心軸線6に近づく
(即ち図2において夫々上方及び下方に向かう)方向に
傾斜して延びる平面であり、第二の傾斜面24a及び2
4bは第一の傾斜面22a及び22bに続いて柄2の長
手方向に柄2から遠ざかる(即ち図2において左に進行
する)に従って柄2の長手方向中心軸線6から離れる
(即ち図2において夫々下方及び上方に向かう)方向に
傾斜して延びる平面である。第一の傾斜面22a及び2
2bと第二の傾斜面24b及び24bとが成す角度θは
100乃至150度、特に115乃至125度、である
のが好適である(その理由については後に言及する)。
一体に形成される柄2と頭4の基部10とは、充分な強
度を有する鋼の如き適宜の材料から形成することができ
る。好ましい材料としては、破砕すべきシリコンに偶発
的に接触せしめらることがあっても後工程でエッチング
と呼ばれるシリコン表面の化学研磨を行うことにより除
去が容易なクロムモリブデン鋼を挙げることができる。
【0013】頭4の打撃部12a及び12bの各々は円
筒状側面26a及び26bを有し、かかる側面26a及
び26bの外径は基部10の突出部18a及び18bの
側面20a及び20bの外径と実質上同一にせしめられ
ている。打撃部12a及び12bの基端面(即ち打撃部
12aの上面及び打撃部12bの下面)は、第一の傾斜
面28a及び28bと第二の傾斜面30a及び30bと
を含んでいる。第一の傾斜面28a及び28bと第二の
傾斜面30a及び30bとの間には、両者を円滑に接続
する曲面29a及び29bが存在する。第一の傾斜面2
8a及び28bは上述した突出部18a及び18bの第
一の傾斜面22a及び22bに対応した平面であり、柄
2の長手方向に柄2から遠ざかる(即ち図2において左
に進行する)に従って柄2の長手方向中心軸線6に近づ
く(即ち図2において夫々上方及び下方に向かう)方向
に傾斜して延びており、第二の傾斜面30a及び30b
は上述した突出部18a及び18bの第二の傾斜面24
a及び24bに対応した平面であり、第一の傾斜面28
a及び28bに続いて柄2の長手方向に柄2から遠ざか
る(即ち図2において左に進行する)に従って柄2の長
手方向中心軸線6から離れる(即ち図2において夫々下
方及び上方に向かう)方向に傾斜して延びている。曲面
29a及び29bは上述した突出部18a及び18bの
曲面23a及び23bに対応している。第一の傾斜面2
8a及び28bと第二の傾斜面30a及び30bとは上
述した角度θをなす。打撃部12a及び12bの先端面
32a及び32bは頭4の長手方向中心軸線8上に曲率
中心を有する球表面の一部をなすのが好都合である。上
記球表面の曲率半径Rは、柄2の長手方向中心軸線6か
ら打撃部12a及び12bの先端までの長さをLとする
と、0.8L≦R≦1.2Lであるのが好適である。図
示の実施形態においては、R=Lに設定されており、従
って先端面32a及び32bの双方の曲率中心は柄2の
長手方向中心軸線6と頭4の長手方向中心軸線8との交
点である。破砕すべきシリコン塊に衝突せしめられる打
撃部12a及び12bは、シリコンに接触せしめられて
もシリコンを汚染することが皆無に近いタングステンカ
ーバイドから形成されていることが重要である。特に、
シリコンに対する汚染性及び衝撃に対する靱性の点か
ら、コバルトを8乃至18重量%、特に12乃至15重
量%含有したタングステンカーバイドから形成されてい
るのが好適である。
【0014】図2及び図4から理解される如く、打撃部
12a及び12bは、夫々、第一の傾斜面28a及び2
8b、曲面29a及び29b並びに第二の傾斜面30a
及び30bを基部10の突出部18a及び18bの第一
の傾斜面22a及び22b、曲面23a及び23b並び
に第二の傾斜面24a及び24bに接合せしめることに
よって、基部10に堅固に連結される。かかる接合は蝋
付けによって遂行するのが好適であり、好適蝋材として
は銀蝋を挙げることができる。所望ならば、反応型合成
樹脂接着材の如き適宜の接着材によって打撃部12a及
び12bを基部10に接合することもできる。
【0015】上記のとおりにして構成されたハンマーは
操作者が柄2を把持して、大工工事における釘打ち用ハ
ンマーと略同様にして使用するものであり、かような使
用様式に適した寸法に形成される。各種寸法の一例を挙
げると、ハンマーの全長FLは274mmで、柄2の長
さHLは240mmで、頭4の全長BLは100mm
で、打撃部12a及び12bの外径ODは32mmで、
打撃部12a及び12bの露呈長さELは16.5mm
である。
【0016】ハンマーの打撃部12a及び12bをシリ
コン塊に衝突せしめてシリコン塊を破砕する際に、タン
グステンカーバイド以外の金属から形成されている柄2
及び頭4の基部10が破砕すべきシリコン塊或いは破砕
されたシリコン片に接触するのを確実に回避するため
に、所望ならば、図2に二点鎖線で簡略に図示する如
く、柄2及び頭4の基部10を塩化ビニルフィルムの如
き適宜の合成樹脂フィルム34によって包み込むことも
できる。
【0017】本発明者の分析によれば、操作者がハンマ
ーの打撃部12aをシリコン塊に衝突せしめてシリコン
塊を破砕する場合、打撃部12aの先端面32aは球表
面の一部をなす故に、シリコン塊から打撃部12aに加
えられる反力は、通常、図2においてαで示す略40度
の角度範囲において打撃部12aの先端面32aの曲率
中心向きに作用する。打撃部12aの先端面32aと側
面26aとの境界領域がシリコン塊に衝突せしめられた
場合も考慮すると、打撃部12aに作用する反力の角度
範囲は幾分広がり、打撃部12aと基部10との境界に
おける第一の傾斜面22a及び28aと第二の傾斜面2
4a及び30aとの境界、従って曲面23a及び29a
の中心線を中心としたβで示す略90度の角度範囲にな
る。然るに、本発明に従って構成されたハンマーの好適
実施形態においては、第一の傾斜面22a及び28aと
第二の傾斜面24a及び30aとが成す角度θが100
乃至150度、特に115乃至125度に設定されてい
る故に、打撃部12aに作用する上述したとおりの反力
は、打撃部12aと基部10との主接合面(即ち第一の
傾斜面22a及び28a並びに第二の傾斜面24a及び
30a)に平行に作用することがなく、主接合面に対し
て相当な角度(例えば20乃至110度)をなして作用
する。従って、打撃部12aに作用する反力は基部10
の突出部18aに形成されている第一の傾斜面22a及
び第二の傾斜面24aによって確実に受けられ、打撃部
12aに作用する反力に起因して基部10に対する打撃
部12aの接合が短期間の内に毀損されてしまうことは
ない。破砕すべきシリコン塊に打撃部12bが衝突せし
められる場合も同様であり、打撃部12bに作用する反
力に起因して基部10に対する打撃部12bの接合が短
期間の内に毀損されてしまうこともない。
【0018】図5は、本発明に従って構成されたハンマ
ーの変形例を図示している。図5に図示する変形例にお
いては、頭4の基部10における突出部18a及び18
bの端面を規定している第一の傾斜面22a及び22b
並びに第二の傾斜面24a及び24bの傾斜方向、第一
の傾斜面22a及び22bと第二の傾斜面24a及び2
4bとを接続する曲面23a及び23bの湾曲方向、そ
してまた打撃部12a及び12bの基端面を規定してい
る第一の傾斜面28a及び28b並びに第二の傾斜面3
0a及び30bの傾斜方向、第一の傾斜面28a及び2
8bと第二の傾斜面30a及び30bとを接続する曲面
29a及び29bの湾曲方向が、図1乃至図4を参照し
て説明したハンマーの場合と逆にせしめられている。即
ち、図5に図示する変形例においては、第一の傾斜面2
2a及び22b並びに28a及び28bは、柄2の長手
方向に柄2から遠ざかる(即ち図5において左に進行す
る)に従って柄2の長手方向中心軸線6から離れる(即
ち図5において夫々下方及び上方に向かう)方向に傾斜
して延びる平面であり、第二の傾斜面24a及び24b
並びに30a及び30bは第一の傾斜面22a及び22
b並びに28a及び28bに続いて柄2の長手方向に柄
2から遠ざかる(即ち図5において左に進行する)に従
って柄2の長手方向中心軸線6に近づく(即ち図5にお
いて夫々上方及び下方に向かう)方向に傾斜して延びる
平面である。図5に図示する変形例のその他の構成は図
1乃至図4を参照して説明したハンマーと実質上同一で
ある。
【0019】上述した好適実施形態及びその変形例にお
いては、第一の傾斜面22a、22b、28a及び28
b並びに第二の傾斜面24a、24b、30a及び30
bは平面であるが、所望ならば、加工工程が煩雑になる
が第一の傾斜面及び第二の傾斜面を曲面にせしめること
もできる。例えば、基部10の突出部18a及び189
bの端面並びに打撃部12a及び12bの基端面を、球
表面の一部或いは円錐台表面によって規定することがで
きる。かような曲面によって基部10の突出部18a及
び18bの端面並びに打撃部12a及び12bの基端面
を規定した場合にも、柄2の長手方向に柄2から遠ざか
るに従って柄2の長手方向中心軸線6に近づく又はこれ
から離れる方向に傾斜して延びる曲面である第一の傾斜
面22aと、かかる第一の傾斜面に続いて柄2の長手方
向に柄2から遠ざかる(即ち図5において左に進行す
る)に従って柄2の長手方向中心軸線6から離れる又は
これに近づく方向に傾斜して延びる曲面である第二の傾
斜面が規定される。
【0020】また、上述した好適実施形態及びその変形
例においては、頭4の基部10の両端に打撃部12a及
び12bを配設しているが、所望ならば、基部10の片
端のみに打撃部を配設することもできる。
【0021】
【発明の効果】本発明のハンマーは、比較的容易に製造
することができるにもかかわらず、充分な耐久性を有
し、シリコンが不純物によって汚染されるのを充分に防
止してシリコン塊を破砕するために、長期間に渡って便
宜に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って構成されたハンマーの好適実施
形態を示す分解斜面図。
【図2】図1のハンマーの正面図。
【図3】図1のハンマーの右側面図。
【図4】図1のハンマーの一部を示す平面図。
【図5】本発明に従って構成されたハンマーの変形例の
一部を示す正面図。
【符号の説明】
2:柄 4:頭 6:柄の長手方向中心軸線 8:頭の長手方向中心軸線 10:頭の基部 12a:打撃部 12b:打撃部 22a:第一の傾斜面 22b:第一の傾斜面 24a:第二の傾斜面 24b:第二の傾斜面 26a:打撃部の側面 26b:打撃部の側面 28a:第一の傾斜面 28b:第一の傾斜面 30a:第二の傾斜面 30b:第二の傾斜面 32a:打撃部の先端面 32b:打撃部の先端面

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 細長く延びる柄と、該柄の先端に位置し
    且つ該柄の長手方向に対して横方向に延びる頭とを具備
    し、該頭は該柄の先端に直接的に接続されている基部と
    該基部の少なくとも片端に配設された打撃部とから形成
    されており、該打撃部はタングステンカーバイド製であ
    るハンマーにおいて、 該基部と該打撃部とは、該柄の長手方向に該柄から遠ざ
    かるに従って該柄の長手方向中心線に近づく方向に傾斜
    している第一の傾斜面と該第一の傾斜面に続いて該柄の
    長手方向に該柄から遠ざかるに従って該柄の長手方向中
    心線から離れる方向に傾斜している第二の傾斜面とから
    成る境界面を介して相互に接合されている、ことを特徴
    とするハンマー。
  2. 【請求項2】 細長く延びる柄と、該柄の先端に位置し
    且つ該柄の長手方向に対して横方向に延びる頭とを具備
    し、該頭は該柄の先端に直接的に接続されている基部と
    該基部の少なくとも片端に配設された打撃部とから形成
    されており、該打撃部はタングステンカーバイド製であ
    るハンマーにおいて、 該基部と該打撃部とは、該柄の長手方向に該柄から遠ざ
    かるに従って該柄の長手方向中心線から離れる方向に傾
    斜している第一の傾斜面と該第一の傾斜面に続いて該柄
    の長手方向に該柄から遠ざかるに従って該柄の長手方向
    中心線に近づく方向に傾斜している第二の傾斜面とから
    成る境界面を介して相互に接合されている、ことを特徴
    とするハンマー。
  3. 【請求項3】 該第一の傾斜面と該第二の傾斜面とが形
    成する角度は100乃至150度である、請求項1又は
    2記載のハンマー。
  4. 【請求項4】 該第一の傾斜面と該第二の傾斜面とは平
    面である、請求項1から3までのいずれかに記載のハン
    マー。
  5. 【請求項5】 該柄と該頭の該基部とは鋼から一体に形
    成されており、該打撃部は該基部に蝋付けされている、
    請求項1から4までのいずれかに記載のハンマー。
  6. 【請求項6】 該打撃部は円筒状側面と球表面の一部を
    なす先端面とを有する、請求項1から5までのいずれか
    に記載のハンマー。
  7. 【請求項7】 該柄は実質上真直に延び、該頭は実質上
    真直に且つ該柄に対して実質上垂直に延び、該頭の該基
    部の両端に該打撃部が配設されており、該頭は該柄の長
    手方向中心軸線に関して線対称形状である、請求項1か
    ら6までのいずれかに記載のハンマー。
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