JPH1063005A - 両面印刷配線板露光装置 - Google Patents

両面印刷配線板露光装置

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JPH1063005A
JPH1063005A JP9123777A JP12377797A JPH1063005A JP H1063005 A JPH1063005 A JP H1063005A JP 9123777 A JP9123777 A JP 9123777A JP 12377797 A JP12377797 A JP 12377797A JP H1063005 A JPH1063005 A JP H1063005A
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    • G03F7/2032—Simultaneous exposure of the front side and the backside
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 両面印刷配線板露光装置を提供する。 【解決手段】 本発明は、第１および第２図版を通して
位置づけマークを備えた両面印刷配線板を露光する装置
に関するものである。この露光装置は、水平面に配置さ
れた第１および第２固定支持構造と、それぞれ前記第１
および第２支持構造と協働する第１および第２図版の第
１および第２支持体と、前記印刷配線板と前記第１およ
び第２支持体との間の配置誤差を検出する光学手段と、
一方の前記支持体を他方の支持体に対して、その面に対
して垂直に移動させる手段と、前記支持体と前記印刷配
線板とから成るユニットの外部に配置されて、その面に
固定された前記印刷配線板を前記支持構造に対して保持
する手段（２６、２８）と、検出された配置誤差に対応
して前記第１支持体（１２）と前記第２支持体とを前記
印刷配線板に対して独立に移動させる手段（２０、２
２）とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は図版を通して両面印
刷配線板を露光する露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】公知のよ
うに、印刷配線板の露光に必要な操作は特に条導体のフ
ォトエッチング解像のための露光段階を含む。フィルム
または感光性レジストで被覆された印刷配線板を図版を
通して所定時間、紫外線に露出し、図版によって画成さ
れたレジストまたは感光性フィルムの対応部分を露光す
るための露光装置が使用される。
【０００３】もちろんこの操作の基本点は、露光される
印刷配線板に対する図版の正確な配置を得るにある事は
理解されよう。
【０００４】この型の大部分の装置は印刷配線板の一方
の側面の紫外線露出を可能とするにすぎない。しかしま
すます使用されるようになった両側面型の印刷配線板の
場合、このような露光装置はその中に印刷配線板を２回
通す必要があり、支持体上の図版を印刷配線板に対して
２回配置する操作が必要なので、必ずしも適当でない。
【０００５】このような問題点を解決するため、印刷配
線板の両側面を図版を通して同時的に露光する事のでき
る露光装置がすでに提案されている。このような装置は
特に米国特許第５、３３７、１５１号および欧州特願Ｅ
Ｐ第６１８，５０５号に記載されている。
【０００６】前記の米国特許に記載の装置は、機械的定
心手段によって図版の下方支持体と上方支持体とを配置
し、図版の上支持体と下支持体とから成るユニットに対
して前記図版を相互に連接された一対の指部によって移
動させる原理に基づいている。
【０００７】この装置は多くの問題点があるが、特に上
図版が下方図版に対して正確に配置されず、また印刷配
線板を移動させる際に指部の曲がる危険の故に印刷配線
板を一対の連結指部によって所望のように正確に移動さ
せる事ができない。
【０００８】さらにこの装置は、印刷配線板の上側面に
対する上方図版の配置と印刷配線板の下側面に対する下
方図版の配置とを別々に実施する事ができない。しかし
このような可能性は二、三の場合に有効である。
【０００９】前記の欧州特願に記載の装置は、印刷配線
板が下方図版と上方図版とに対して２つの別個の指部に
よって移動させられて印刷配線板を正確に配置できるの
で有効な装置である。またこの特願に記載の装置におい
ては、下方図版に対して上方図版を配置する事ができ
る。しかしこの装置は、上方図版を印刷配線板の上側面
に対して、また下方図版を印刷配線板の下側面に対して
別々に配置する事ができない。さらにこの装置は印刷配
線板の配置のために使用される指部が曲がって配置誤差
を生じる危険がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】これらの問題点を解決す
るため、本発明の目的は前記の問題点を解決する事がで
き、特に必要に応じて図版の上方支持体と下方支持体を
印刷配線板に対して別々に配置する事のできる両面印刷
配線板の露光装置を提供するにある。
【００１１】この目的を達成するため、本発明は、位置
づけマークを備え、第１および第２図版を通して両面印
刷配線板を露光する装置において、水平面に配置された
第１および第２固定支持構造と、それぞれ前記第１およ
び第２支持構造と協働する第１および第２図版の第１お
よび第２支持体と、位置づけマークを備えた前記印刷配
線板を前記第１および第２図版支持体の間に配置する手
段と、前記印刷配線板と前記第１および第２支持体との
間の配置誤差を検出する光学手段と、一方の前記支持体
を他方の支持体に対して、その面に対して垂直に移動さ
せる手段と、光源と、前記光源から放出された光ビーム
を各図版支持体に向かって同時的に指向する光学手段
と、前記支持体と前記印刷配線板とから成るユニットの
外部に配置されて、その面に固定された前記印刷配線板
を前記支持構造に対して保持する手段と、検出された配
置誤差に対応して、前記第１支持体と前記第２支持体と
を前記印刷配線板に対して独立に移動させる手段とを含
む露光装置を提供する。
【００１２】この露光装置の特殊構造の故に、印刷配線
板が装置の支持構造に対して固定的に保持され、従って
印刷配線板の移動手段、特に指部が固定されていてその
曲げによる不正確な配置のリスクを避け、また第１支持
体と第２支持体を印刷配線板に対して別個に移動させる
手段が備えられているので、印刷配線板に対して上方図
版と下方図版を別々に配置する事ができる事が理解され
よう。
【００１３】本発明の第１実施態様によれば、前記印刷
配線板を固定状態に保持する手段は、水平面において下
方支持構造と一体を成し、前記下方支持構造を通して自
由に挿通され、それぞれの末端が前記印刷配線板中の相
互に整列されない対応の配置オリフィスの中に入る事の
できる定心指部を形成する第１、第２および第３手段を
含む。
【００１４】この実施態様により、下方支持構造と一体
を成す固定定心指部が印刷配線板を装置の支持構造に対
して、従って上方図版と下方図版とに対して非常に正確
に安定に配置できる事が理解されよう。
【００１５】本発明の第２実施態様によれば、前記印刷
配線板を固定状態に保持する手段が、第１および第２締
付ユニットを含み、各締付ユニットは、第１支持構造と
一体を成し第１支持体を自由に通過する第１締付部材
と、第２支持構造と一体を成し第２支持体を自由に通過
する第２締付部材と、前記第１および第２締付部材が垂
直方向に相互に対向しこれらの締付部材を相互の方向に
相対的に移動させて印刷配線板を締付ける手段とを含
む。
【００１６】この実施態様において、それぞれ上方およ
び下方支持構造と一体を成す２つの締付部材の間に印刷
配線板が締付られる事が理解されよう。このようにし
て、露光装置の支持構造に対する印刷配線板の非常に正
確で安定した配置が得られる。従って印刷配線板のこの
ような配置により、上方図版支持体と下方図版支持体を
別々に移動手段によって配置する事ができる。
【００１７】以下、本発明を図面に示す実施例について
詳細に説明するが本発明はこれに限定されない。
【００１８】
【発明の実施の形態】この型の露光装置においては、第
１段階として図版支持体に対する印刷配線板の予備的配
置が伸縮自在の配置用指部によって実施される事は公知
である。上方および下方の図版支持体に対するこのよう
な印刷配線板の予備的配置が終了すると、これらの３部
品の配置誤差が光学手段によって測定される。これらの
位置誤差測定値から、１０ミクロン以下の配置誤差に対
応しなければならない最終的配置を成すように移動モー
タが制御される。本発明は予備的配置に対応する誤差測
定から最終的配置を生じる設定部分に関するものであ
る。
【００１９】配置誤差の光学検出は欧州特願第６１８，
５０５号に詳細に記載されている。この設定部分に関し
ては、本発明の一部を成すとみなされるこの特願の説明
を参照されたい。予備的誤差の光学検出システムの種々
の実施態様およびその使用法については単に補充的に説
明する。
【００２０】まず図１と図２について述べれば、この露
光装置の各部、特に下方図版および印刷配線板を支持す
るための装置の下部を示す。
【００２１】図１は装置の固定下方支持構造１０および
図版の下方支持体１２を示す。この下方支持体１２は長
方形金属フレーム１４から成り、このフレーム１４上に
ガラス１６が固着され、このガラスの上に下方図版が載
置される。
【００２２】好ましくは、この露光装置においては下方
図版支持体１２が支持構造１０の上側面に直接に載置さ
れる。図版支持体１２を移動させるため、この支持体は
支持構造１０上にボールシステム１８によって載置され
る。この実施例において、支持はフレーム１４の４辺上
に配置された４ボールによって実施される。下記におい
てさらに詳細に説明されるこのボールシステムは、支持
構造が非常に低い摩擦で下方図版支持体全体を機械的に
支持する事を可能にする。この構造の故に、下方支持体
１４を移動させるために加えられる力が非常に低減さ
れ、これは移動のためのモータの出力とサイズとを低減
させる事は理解されよう。
【００２３】またこの図は下方支持体１２をそれぞれＸ
方向およびＸＹ方向に移動させる装置２０と２２を概略
図示している。すでに説明したように、支持構造１０と
一体を成す移動テーブルは支持機能をまったく有せず、
支持体を支持構造に対して移動させるためにのみ使用さ
れる。これらの２部品間の摩擦が非常に低く、またボー
ルの存在の故に必要エネルギーが低いからである。また
図１は電磁ブレーキまたはその他任意の類似の制動シス
テム２４を図示している。これらの制動システム２４は
フレーム１４全体の上に規則的に分布されて、正確な配
置が実施された時にフレーム１４、従って下方図版支持
体全体１２を支持構造１０に対して固定させる。支持構
造と下方支持体との間の無摩擦連接の故に、また移動テ
ーブル２０、２２を移動させるのに使用されるモータの
非常に低い出力の故に、このような制動装置２４が必要
とされる。
【００２４】図１は印刷配線板を下方支持構造１０に対
して固定する２つの部品を示す。これらの部品を２６と
２８で表示する。
【００２５】下方支持構造１０が水平面と垂直面とにお
いて静止している事以外、装置の上部は下方支持構造１
０とまったく同様の構造を有する。もちろん上方構造は
水平面において静止しするが、上方図版を印刷配線板と
下方図版との上に当接させるために垂直面において可動
である。
【００２６】図２は露光装置全体の断面を概略図示す
る。下方図版１２ａを支持するための下方支持体１２を
載置される固定下方支持構造１０が図示されている。ま
たこの図は上方支持構造３０を示し、この上方支持構造
はその全体を上下させるピニオン・ラックシステムなど
の機構３２によって支持されている。しかしもちろんこ
の支持構造３０は水平面において固定されている。上方
支持体３２は下方支持体１２と類似であって上方図版３
２ａを受けるためのものであって、上方図版がこの上方
支持体３２上に載置される。図２はそれぞれＸ方向およ
びＸＹ方向移動モータ３４、３６を概略図示し、これら
の移動モータは上方支持構造３０に対して移動する図版
支持体３２を制御する。
【００２７】本発明による露光装置の全体的動作を下記
に説明する。
【００２８】第１段階において、上方支持構造３０は無
視され図版１２ａと３２ａが配置された状態で、露光さ
れる印刷配線板が支持体１２と３２との間に配置され
る。露光される印刷配線板が固定装置（図示されていな
い）によって保持され、印刷配線板を上方および下方の
支持構造に対して水平面に固定させる。光学装置（図示
されていない）によって、印刷配線板に対する下方支持
体１２と上方支持体３２の予備配置誤差が測定される。
印刷配線板の静止状態において、この印刷配線板と上支
持体３２と下支持体１２との３部品を整列させまたは場
合によっては上方支持体３２を印刷配線板の上側面と整
列させまた下方支持体１２を印刷配線板の下側面と整列
させるために、モータ２０、２２および３４、３６によ
って上方支持体３２と下方支持体１２の適当な移動を制
御する。
【００２９】図３について、固定装置、例えば装置２６
の第１実施態様を説明する。この第１実施態様におい
て、印刷配線板４０の縁４０ａを選択的に締付ける事に
よって固定が実施される。締付装置は本質的に、下方支
持構造１０と一体を成す第１部品４２と、上方支持構造
３０と一体を成す第２部品４４とから成る。これらの締
付部品４２と４４はそれぞれの支持構造１０と３０に対
して垂直方向に可動である。締付部品４２、４４は印刷
配線板４０の両側面に当接される平坦な締付側面４６、
４７を末端に備える。下方締付部品４２はロッド４９を
備え、このロッドは垂直方向に並進可能であって尖端４
８に終わる。休止位置において尖端４８は側面４６に対
して引き込まれているが、移動システム５０によって側
面４６から突出する事ができる。
【００３０】露光装置の上方支持体と下方支持体の配置
段階において、尖端４８は部品４２から突出する。印刷
配線板４０を所定の位置に配置した後に、締付部品４４
が下降させられると、印刷配線板４０の縁４０ａが上方
締付部品４４の側面４７と尖端４８との間に配置され
る。このようにして印刷配線板はこの時点で尖端４８に
対応する非常に限定された表面において固定される。さ
らに尖端４８はガラス１６の上側面と同一水準を成す面
４６から突出しているので、印刷配線板は少なくともそ
の外周部分において持ち上げられ、従ってガラスを印刷
配線板に対して移動させる事ができる。もちろん印刷配
線板４０を確実に締付るために、部品４２と４４の末端
がそれぞれ下ガラス１６と上ガラス１６’の中に備えら
れたオリフィス５２と５４の中を通る。これらのオリフ
ィス５２、５４は、支持体１４、１４’を整列のために
移動させる事のできる程度に大きな直径を有する。２つ
の固定装置２６と２８が協働して印刷配線板４０を装置
の支持構造に対して厳密に保持する事ができる。
【００３１】図４と図５には、固定装置の第２実施態様
２６’を示す。この固定装置は印刷配線板４０のオリフ
ィス６０の中に固定指部６２を導入するにある。指部６
２は、下方支持構造１０と一体を成す部品６４に対して
垂直方向に可動となるように取付けられている。従って
固定指部６２は垂直方向には可動であるが、水平面にお
いては静止している。オリフィス６０の中に指部６２の
末端を導入する事により、下方支持構造に対する印刷配
線板４０の対応部分の固定が成される。印刷配線板全体
の固定を実施するためには、印刷配線板の縁４０ａにそ
って、相互に整列していない３固定装置２６’を備える
必要がある。
【００３２】図５は固定指部６２の好ましい実施態様を
示す。指部６２の本体から弾性ゆがみを示す膨張性部分
６４が延在し、この膨張性部分６４全体が固定指部の尖
端を成す。下方支持体を移動させるように印刷配線板の
縁を一時的に持ち上げるためにショルダ６２ａが使用さ
れる。指部６２の内部において、ヘッド６８を備えた膨
張性ロッド６６が移動できる。ヘッド６８が高い位置に
ある時、指部の末端部分６４が膨張させられ、従って固
定オリフィス６０が完全に口径を調整されていなくて
も、印刷配線板のこの部分の厳密な固定が実施される。
【００３３】図３と図４の固定手段の実施態様は同一の
結果を生じる事は理解されよう。しかし図３の場合、印
刷配線板の縁の近くにオリフィスを備える必要がないの
で、印刷配線板の使用されない区域が約８ｍｍのオーダ
まで縮小される。これに対して図４の実施態様において
は、オリフィスの存在により、この使用されない側面区
域が当然に少し大きくなる。
【００３４】さらに付け加えれば、このような印刷配線
板の固定システムの故に、下方支持体１２の移動中に印
刷配線板の位置が厳密に保持される。実際に、固定指部
６２と締付部品４２、４４はいずれも静止状態にあるの
で、曲げ力が加えられない。
【００３５】図６について述べれば、下方支持構造１０
と下方支持体１２のフレーム１４との締結装置２４の実
施態様を示す。上方支持体３２を上方支持構造３０に固
着するために同様の装置を使用する事ができよう。この
固定システムは本質的に電磁ヘッド７０から成り、この
電磁ヘッドが生かされた時に、下方支持体１２のフレー
ム１４の下側面と一体を成す強磁性板７２と協働する。
電磁ヘッド７０を生かすと、下方支持構造１０が下方支
持体１２と一体を成す。電磁ヘッド７０は弾性システム
７４とボールシステム７６とを介して取付けられてい
る。これらの締結装置は、上方支持体を下降させて２つ
の図版と印刷配線板４０の側面とを接触させる際に、上
方支持体と下方支持体の厳密な配置を保持する事ができ
る。
【００３６】前述の電磁装置は望ましい締結手段である
が、支持体を支持構造に固着するために加圧システムま
たは吸引システムを使用する事もできる。
【００３７】図７について述べれば、支持体をそれぞれ
下方および上方支持構造に対して支持しまたは持ち上げ
る支持ボールシステム１８の実施態様を説明する。図７
は上方支持体１２’のフレーム１４’を上方支持構造３
０に連接するための持ち上げ装置１８を示す。このボー
ルシステムは、トグル継手を成すようにケージ８２の中
に取付けられた金属ボール８０から成る。ケージ８２は
クランプ８４によって上方支持体のフレーム１４’に対
して連接される。そのため、クランプの軸８６、８８が
上方支持構造３０の孔９０に挿通される。走行を改良し
従って摩擦を低減するために、ボール８０が支持構造３
０の上側面と一体を成す走行面９２と協働する。
【００３８】下方支持体のフレーム１４’が支持構造３
０によって支持される場合、同一のボールシステムを使
用するが、その軸線が逆転されて、ボール８０のケージ
８２が下方支持構造１０と一体を成し、ボール８０が下
方支持体１２のフレーム１４の下側面と協働する。また
図版支持体のフレームの支持はエアクッション装置によ
って実施する事もできる。
【００３９】図８について述べれば、各支持体を対応の
支持構造に対して最終的に配置する事のできる移動装置
２０、２２または３４、３６について説明する。図８は
一例として、下方支持体１２をＸ方向およびＹ方向に移
動させる移動装置２２を示す。上方支持構造３０につい
ても同様の移動システムを使用する事ができる。移動シ
ステム２２は支持構造１０と一体を成すハウジング１０
０を有する。Ｘ移動とＹ移動についてそれぞれ支持構造
１００と一体を成すモータ１０２が使用される。このモ
ータの軸１０４はその末端にカム１０６を備え、このカ
ムが第１テーブル１０８をＸ方向に移動させる事ができ
る。第２テーブル１１０が第１テーブル１０８と協働
し、またこの第２テーブル１１０は、第１テーブル１０
８と一体を成す第２モータ（図示されていない）と組合
わされて、Ｙ方向移動を制御する。機械的伝動装置１１
２、１１４によって、Ｘ方向とＹ方向の結合移動が部品
１１８に対して加えられ、この部品１１８は校正された
垂直孔１１８ａを画成する。フレーム１４と一体を成す
垂直ピン１１６が孔１１８ａの中に自由に入るが、水平
面においてはこれらの部品の間隙は非常に小さく、しか
し締付は生じない。またピン１１６を第２テーブルと一
体化し、垂直孔１１８ａを支持体のフレーム１４の中に
設ける事もできよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】露光装置の主要部材を示す図。
【図２】印刷配線板を固定する締付装置を示す装置の部
分図。
【図３】印刷配線板を指部によって固定する手段を示す
詳細図。
【図４】図３の固定指部の端部を示す詳細図。
【図５】図版支持体を支持構造に対して固着するための
締付装置の立面図。
【図６】図版支持体を支持構造に対して支持する支持手
段の詳細図。
【図７】下方図版支持体または上方図版支持体を固定支
持構造に対して移動させるモータの実施態様を示す詳細
図。
【符号の説明】
１０ 下方支持構造 １２ 下方支持体 １２ａ 下方図版 ３０ 上方支持構造 ３２ 上方支持体 ３２ａ 上方図版 １８ ボールシステム ８０ ボール ２０、２２ 移動システム ２４ 制動（締結）システム ２８ 印刷配線板固定システム ３４ Ｘ方向移動モータ ３６ ＸＹ方向移動モータ ４０ 印刷配線板 ４２、４６ 締付部品 ４９ ロッド ６０ オリフィス ６２ 固定指部 ６４ 膨張性部分 ６６ ロッド ７０ 電磁ヘッド ７２ 強磁性板 ８４ 締付システム １００ 支持構造ハウジング １０２ モータ １０４ モータ軸 １０６ カム １０８ 第１テーブル １１０ 第２テーブル １１２、１１４ 伝動システム １１６ ピン １１８ａ 孔

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】位置づけマークを備え、第１および第２図
    版を通して両面印刷配線板を露光する装置において、 水平面に配置された第１および第２固定支持構造と、 それぞれ前記第１および第２支持構造と協働する第１お
    よび第２図版の第１および第２支持体と、 位置づけマークを備えた前記印刷配線板を前記第１およ
    び第２図版支持体の間に配置する手段と、 前記印刷配線板と前記第１および第２支持体との間の配
    置誤差を検出する光学手段と、 一方の前記支持体を他方の支持体に対して、その面に対
    して垂直に移動させる手段と、 光源と、 前記光源から放出された光ビームを各図版支持体に向か
    って同時的に指向する光学手段と、 前記支持体と前記印刷配線板とから成るユニットの外部
    に配置されて、その面に固定された前記印刷配線板を前
    記支持構造に対して保持する手段と、 検出された配置誤差に対応して、前記第１支持体と前記
    第２支持体とを前記印刷配線板に対して独立に移動させ
    る手段とを含む事を特徴とする露光装置。
  2. 【請求項２】固定された前記印刷配線板を保持する手段
    は、 水平面において下方支持構造と一体を成し、前記下方支
    持構造を通して自由に挿通され、それぞれの末端が前記
    印刷配線板中の相互に整列されない対応の配置オリフィ
    スの中に入る事のできる定心指部を形成する第１、第２
    および第３手段を含む事を特徴とする請求項１に記載の
    印刷配線板固定手段。
  3. 【請求項３】各指部形成手段の末端が膨張性である事を
    特徴とする請求項２に記載の装置。
  4. 【請求項４】固定された前記印刷配線板を保持する手段
    が、 第１および第２締付ユニットを含み、各締付ユニット
    は、 第１支持構造と一体を成し第１支持体を自由に通過する
    第１締付部材と、第２支持構造と一体を成し第２支持体
    を自由に通過するとともに前記第１締付部材と垂直方向
    に相互に対向する第２締付部材と、これらの締付部材を
    相互の方向に相対的に移動させて印刷配線板を締付ける
    手段とを含む事を特徴とする請求項１に記載の装置。
  5. 【請求項５】各締付部材が平坦な締付面を画成する端部
    を有し、締付ユニットの下方締付部材がさらに、この部
    材中において垂直に滑動し前記締付面に突出する尖端を
    有するロッドと、前記締付部材に対する前記尖端の移動
    を制御する手段とを含む事を特徴とする請求項４に記載
    の装置。
  6. 【請求項６】前記移動手段は、前記第１支持体を前記第
    １支持構造に対して移動させるように前記第１支持構造
    と一体を成す２つの駆動手段と、前記第２支持体を前記
    第２支持構造に対して移動させるように前記第２支持構
    造と一体を成す２つの駆動手段とを含む事を特徴とする
    請求項１乃至５のいずれかに記載の装置。
  7. 【請求項７】前記移動手段はさらに、前記下方支持体を
    前記下方支持構造に対して無摩擦的に支持する手段と、
    前記上方支持体を前記上方支持構造に対して無摩擦的に
    持ち上げる手段とを含む事を特徴とする請求項６に記載
    の装置。
  8. 【請求項８】前記移動手段はさらに、水平面において下
    方支持体を下方支持構造に対して、また上方支持体を上
    方支持構造に対して独立に固着する制御可能システムを
    含む事を特徴とする請求項７に記載の装置。
  9. 【請求項９】前記図版支持体はガラスおよび金属フレー
    ムを含み、また前記支持手段は下方支持構造と前記フレ
    ームとの間に介在させられた複数のボールを含み、また
    前記持ち上げ装置は上方支持構造と上方支持体のフレー
    ムと一体を成すクランプとの間に介在させられた複数の
    ボールを含む事を特徴とする請求項７または８のいずれ
    かに記載の装置。
  10. 【請求項１０】前記締付手段が前記フレームと一体を成
    す強磁性素子と協働するように支持構造と一体を成す電
    磁制動手段を含む事を特徴とする請求項７乃至９のいず
    れかに記載の装置。
  11. 【請求項１１】各モータ手段が軸の末端にカムを備え、
    このカムが支持体オリフィスの中に可動的に係合したピ
    ンと確動的に協働する事を特徴とする請求項６乃至１０
    に記載の装置。
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