JPH1064126A - スタンパー用ホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスクの検査装置を用いてスタンパーを
検査することができなかった。 【解決手段】 光ディスク４１が着脱可能なディスクク
ランプ４０と、ディスククランプ４０に装着された光デ
ィスク４１の記録面を走査させる光ピックアップ４２と
を備えた光ディスク検査装置５０に対して、光ディスク
４１の代わりにスタンパー２をディスククランプ４０に
装着させるためのスタンパー用ホルダ１であって、スタ
ンパー２を吸着させる面を一方の面１０ａに有し、ディ
スククランプ４０に着脱可能な非磁性体プレート１０
と、非磁性体プレート１０の他方の面１０ｂに設けられ
て、非磁性体プレート１０を介してスタンパー２を吸引
するスタンパー吸引マグネット２０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクの記録
面に凹凸パターンを転写させるためのスタンパーを光デ
ィスク検査装置に装着させることのできるスタンパー用
ホルダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、スタンパーの凹凸面における欠陥
の検査は、スタンパーを載置するためのターンテーブル
を備えたスタンパー検査装置で行っていた。この検査装
置のターンテーブルの表面には微細な孔が多数形成され
ており、これらの孔からエアー吸引が行われ、スタンパ
ーはターンテーブル上に確実に固定される。したがっ
て、ターンテーブルが回転しても、ターンテーブル上の
スタンパーがずれることはなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光ディスク
の記録面を検査する光ディスク検査装置が従来より商品
化されている。この光ディスク検査装置と上述のスタン
パー検査装置とは、共に表面の状態を検査する装置なの
で構成がほぼ共通する。しかしながら、光ディスクを固
定する部材には光ディスクの中心部を把持するディスク
クランプが用いられるが、スタンパーを固定する部材に
はスタンパー全面を支持できるターンテーブルが用いら
れており、この構成が光ディスク検査装置とスタンパー
検査装置とで相違する。即ち、光ディスクは厚みがある
ので、ディスククランプで光ディスクの中心部を固定す
るだけで全体が支持できるが、スタンパーは厚さが約
０．３ｍｍと非常に薄いため、スタンパー全面を支持で
きるターンテーブルで支える必要がある。

【０００４】このように、光ディスクとスタンパーとを
固定させる部材がそれぞれ異なるので、光ディスクの検
査装置を用いてスタンパーを検査することはできなかっ
た。光ディスクを製造するユーザは、その製造過程で、
光ディスクの検査とスタンパーの検査とを順次行わなけ
ればならない。このため、光ディスク検査装置を既に所
有しているユーザは、更にスタンパー検査装置を購入し
なければならなかった。

【０００５】本発明は、このような問題を解決し、光デ
ィスク検査装置を用いてスタンパーの検査を行うため
に、この光ディスク検査装置にスタンパーを装着させる
ためのスタンパー用ホルダを提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のスタンパー用ホルダは、光ディスクが着脱
可能なディスククランプと、ディスククランプに装着さ
れた光ディスクの記録面を走査させる光ピックアップと
を備えた光ディスク検査装置に対して、光ディスクの代
わりに磁性体からなるスタンパーをディスククランプに
装着させるためのスタンパー用ホルダであって、スタン
パーを吸着させる面を一方の面に有し、ディスククラン
プに脱着可能な非磁性体プレートと、非磁性体プレート
の他方の面に設けられて、非磁性体プレートを介してス
タンパーを吸引するスタンパー吸引マグネットとを備え
ることを特徴とする。

【０００７】本発明はこのように構成されているので、
非磁性体プレートの他方の面に設けられたスタンパー吸
引マグネットの磁力によって、スタンパーは非磁性体プ
レートの一方の面に吸着される。そして、この状態で、
光ディスク検査装置のディスククランプに非磁性体プレ
ートを装着させることにより、光ピックアップでスタン
パーの凹凸面を走査させることが可能となる。その結
果、光ディスク検査装置を用いてスタンパーの凹凸面に
おける欠陥の検査を行うことができるようになった。

【０００８】ここで、スタンパー吸引マグネットは、非
磁性体プレートの他方の面に配列された複数のマグネッ
ト片であることが好ましい。このような構成を採用した
場合、非磁性体プレートには小形のマグネット片が複数
個配置されるので、非磁性体プレートの他方の面全体に
貼付された板状のマグネットに比べて、スタンパー吸引
マグネットは軽量になる。その結果、ディスククランプ
に対する非磁性体プレートの着脱が容易になる。

【０００９】また、本発明のスタンパー用ホルダは、非
磁性体プレートの他方の面上に設けられて、スタンパー
吸着マグネットを収容するマグネット収容孔が形成され
たマグネットカバーを更に備えることが好ましい。この
ような構成を採用した場合、マグネットカバーのマグネ
ット収容孔にスタンパー吸着マグネットが収容されてい
るので、スタンパー吸着マグネットは外部の埃等から保
護される。さらに、スタンパー吸着マグネットは、マグ
ネット収容孔で位置合わせされるので、スタンパーを吸
着するのに最も適した位置にスタンパー吸着マグネット
を配置することができる。また、マグネット収容孔の深
さがスタンパー吸着マグネットの厚さより大きい場合に
は、マグネット収容孔の底面と非磁性体プレートとのい
ずれにスタンパー吸着マグネットを固定するかによっ
て、スタンパー吸着マグネットとスタンパーとの距離を
選択することができる。その結果、スタンパーにかかる
吸着力を調整することができる。

【００１０】さらに、非磁性体プレートの周縁には、ス
タンパーを面方向に摺動させる際に作業者の指を案内す
るガイド溝が形成されていることが好ましい。このよう
な構成を採用した場合、作業者がガイド溝に指を差し込
んで、指でスタンパーの側面を押圧しつつ、ガイド溝に
沿って指を移動させることにより、スタンパーは非磁性
体プレートの面方向に摺動する。このため、スタンパー
と非磁性体プレートとの接触面積が少なくなり、スタン
パー吸着マグネットによる吸引力が低下する。その結
果、非磁性体プレートからスタンパーを容易に引き剥が
すことができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るスタンパー用
ホルダの好適な実施形態について添付図面を参照して説
明する。

【００１２】図１は本実施形態であるスタンパー用ホル
ダ１を示す断面図である。また、図２はスタンパー用ホ
ルダ１を示す平面図である。図１及び図２に示すよう
に、スタンパー用ホルダ１は、ガラスやセラミックなど
を用いた円盤状の非磁性体プレート１０を備えている。
非磁性体プレート１０の下面（一方の面）１０ａは、ス
タンパー２を吸着できるように平坦になっている。ま
た、非磁性体プレート１０の上面（他方の面）１０ｂに
は、複数のスタンパー吸着マグネット２０が環状に配置
され、各スタンパー吸着マグネット２０は非磁性体プレ
ート１０の上面１０ｂに接着剤で固定されている。各ス
タンパー吸着マグネット２０は直径が約５ｍｍの円柱形
状を有しており、フェライト磁石や希土類磁石などが用
いられている。さらに、非磁性体プレート１０の上面１
０ｂには、プラスチックやカーボンなどを用いた円盤状
のマグネットカバー３０が取り付けられている。

【００１３】マグネットカバー３０の下面３０ａには、
スタンパー吸着マグネット２０に対応した位置に、それ
ぞれマグネット収容孔３１が形成され、各マグネット収
容孔３１にはスタンパー吸着マグネット２０が収容され
ている。このように、スタンパー吸着マグネット２０は
マグネットカバー３０で保護されているので、スタンパ
ー吸着マグネット２０に外部の埃などが付着したり、物
がぶつかって傷が付いたりすることはない。また、スタ
ンパー吸着マグネット２０はマグネット収容孔３１で位
置合わせすることができ、磁性体からなるスタンパー２
を磁気吸着するのに最も適した位置にスタンパー吸着マ
グネット２０を配置することができる。ここで、スタン
パー２は、光ディスク基板成形用の金型であり、ニッケ
ル又は銀等の金属薄膜にニッケルメッキを積層した約
０．３ｍｍの板厚のニッケル板が用いられる。

【００１４】さらに、マグネット収容孔３１の深さがス
タンパー吸着マグネット２０の厚さより大きい場合に
は、マグネット収容孔３１の底面と非磁性体プレート１
０とのいずれにスタンパー吸着マグネット２０を接着さ
せるかによって、スタンパー吸着マグネット２０とスタ
ンパー２との距離を選択することができる。その結果、
スタンパー２にかかる吸着力を調整することができる。

【００１５】また、マグネットカバー３０の上面３０ｂ
には、上方に起立する一対の着脱用取っ手３２が設けら
れている。これらの着脱用取っ手３２を作業者が把持す
ることにより、作業者の指がスタンパー２に接触するこ
となく、スタンパー用ホルダ１を持ち上げることができ
る。

【００１６】図２に示すように、スタンパー吸引マグネ
ット２０は、非磁性体プレート１０の上面１０ｂに２重
の環状に配列された複数のマグネット片２１を備えてい
る。マグネット片２１は、非磁性体プレート１０の全面
を覆う板状のマグネットに比べて小型軽量である。その
結果、ディスククランプ４０に対する非磁性体プレート
１０の着脱が容易になる。また、板状のマグネットとし
ては磁性体のゴムシートが一般的であるが、ゴムシート
は耐久性が低いのでスタンパー吸引マグネット２０には
適さない。

【００１７】さらに、非磁性体プレート１０の中央部に
は支持孔１０ｃが形成され、この支持孔１０ｃの部分
で、光ディスク検査装置のディスククランプ４０に装着
できるようになっている。図３に示すように、光ディス
ク検査装置５０は、光ディスク４１が着脱可能なディス
ククランプ４０と、ディスククランプ４０に装着された
光ディスク４１の記録面を走査させる光ピックアップ４
２とを備え、光ピックアップ４１からの出力信号に基づ
いて光ディスク４１を検査することができる。

【００１８】本実施形態のスタンパー用ホルダ１は、光
ディスク４１の代わりにスタンパー２をディスククラン
プ４０に装着するための固定用冶具である。即ち、非磁
性体プレート１０の下面１０ａにスタンパー２を近づけ
ると、スタンパー吸着マグネット２０の磁力によって、
スタンパー２は非磁性体プレート１０の下面１０ａに吸
着される。この状態で、スタンパー用ホルダ１をディス
ククランプ４０に装着すると、スタンパー２の凹凸面２
ａと光ピックアップ４２とが対峙する。その結果、光デ
ィスク検査装置５０を用いてスタンパー２の凹凸面２ａ
の欠陥検査を行うことができる。このように、本実施形
態のスタンパー用ホルダ１を用いれば、一台の検査装置
で光ディスク４１とスタンパー２との両方を検査するこ
とができる。

【００１９】図４は、スタンパー用ホルダ１の周縁にガ
イド溝６０を設けた例を示す平面図である。このガイド
溝６０は、スタンパー２を面方向に摺動させる際に作業
者の指を案内させるためのもので、スタンパー用ホルダ
１の周縁に等間隔に４ヶ所形成されている。即ち、作業
者がガイド溝６０に指を差し込んで、指でスタンパー２
の側面を押圧しつつ、ガイド溝６０に沿って指を移動さ
せることにより、スタンパー２は非磁性体プレート１０
の面方向に摺動する。このため、スタンパー２と非磁性
体プレート１０との接触面積が少なくなり、スタンパー
吸着マグネット２０による吸引力が低下する。その結
果、非磁性体プレート１０からスタンパー２を容易に引
き剥がすことができる。

【００２０】図５に示すように、非磁性体プレート１０
にスタンパー２を吸着させる際には、スタンパセンタリ
ング用冶具７０を用いて、非磁性体プレート１０とスタ
ンパー２との中心を一致させている。スタンパセンタリ
ング用冶具７０は円錐台形状を有しており、スタンパセ
ンタリング用冶具７０の底面部７０ａの径と、スタンパ
ー２の中央部に形成された開口２ｂの径とを一致させて
いる。また、スタンパセンタリング用冶具７０の底面部
７０ａには円柱状の突起片７１が形成され、この突起片
７１の径と非磁性体プレート１０の支持孔１０ｃの径と
を一致させている。そして、スタンパセンタリング用冶
具７０の突起片７１を非磁性体プレート１０の支持孔１
０ｃに挿入させると共に、スタンパセンタリング用冶具
７０の底面部７０ａをスタンパー２の開口２ｂに挿入さ
せることにより、非磁性体プレート１０とスタンパー２
との中心を一致させることができる。スタンパーの開口
２ｂの径には、３５．４ｍｍ、３７．４ｍｍ、３７．６
ｍｍなどの様々なサイズがあるが、これらのサイズに合
わせたスタンパセンタリング用冶具７０を用いることに
より、様々なサイズの径を持つスタンパーをスタンパー
用ホルダ１に装着することができる。

【００２１】なお、特開平５−１８５０２１号公報に
は、ターンテーブル自体を磁性体材料で製造して、ター
ンテーブルにスタンパーを吸着させる保護膜形成装置が
開示されている。この従来例と本実施形態とは、磁石で
スタンパーを吸着する点で技術が近似しているが、ター
ンテーブルは装置に固定されており着脱できるものでは
ない。本実施形態は、着脱可能なスタンパー用ホルダ１
に関するもので、このスタンパー用ホルダ１を用いるこ
とによって、スタンパー２の検査と光ディスク４１の検
査とが一台の検査装置で行えるようになる。このような
特徴は、上述の従来例で発揮されることはなく、この従
来例と本実施形態とは全く異なるものである。

【００２２】また、本発明は上記実施形態に限定される
ことなく、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内において
変更することも可能である。例えば、スタンパー吸着マ
グネット２０をマグネット収容孔３１内で上下方向（非
磁性体プレート１０と直交する方向）に摺動可能に支持
してもよい。このような構成にした場合、スタンパー吸
着マグネット２０を上方に摺動させることにより、スタ
ンパー吸着マグネット２０の吸引力が弱くなって、非磁
性体プレート１０からスタンパー２を容易に引き剥がせ
るようになる。スタンパー吸着マグネット２０を摺動さ
せる機構としては、押しボタン或いはレバーでスタンパ
ー吸着マグネット２０を上下動させる機構や、円盤型の
ダイヤルを回転させてスタンパー吸着マグネット２０を
上下動させる機構などがある。

【００２３】

【発明の効果】本発明によるスタンパー用ホルダは、デ
ィスククランプに脱着可能な非磁性体プレートと、非磁
性体プレートを介してスタンパーを吸引するスタンパー
吸引マグネットとを備えている。このため、スタンパー
吸引マグネットの磁力によって、スタンパーは非磁性体
プレートに吸着される。そして、この状態で、光ディス
ク検査装置のディスククランプに非磁性体プレートを装
着させることにより、光ピックアップでスタンパーの凹
凸面を走査させることができる。その結果、光ディスク
検査装置を用いてスタンパーの凹凸面における欠陥の検
査を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスタンパー用ホルダの一実施形態
を示す断面図である。

【図２】図１のスタンパー用ホルダを示す平面図であ
る。

【図３】光ディスク検査装置を示す側面図である。

【図４】ガイド溝を有するスタンパー用ホルダを示す平
面図である。

【図５】スタンパセンタリング用冶具を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１…スタンパー用ホルダ、２…スタンパー、１０…非磁
性体プレート、１０ａ…一方の面、１０ｂ…他方の面、
２０…スタンパー吸引マグネット、２１…マグネット
片、３０…マグネットカバー、３１…マグネット収容
孔、４０…ディスククランプ、４１…光ディスク、４２
…光ピックアップ、５０…光ディスク検装置、６０…ガ
イド溝。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスクが着脱可能なディスククラン
   プと、前記ディスククランプに装着された前記光ディス
   クの記録面を走査させる光ピックアップとを備えた光デ
   ィスク検査装置に対して、前記光ディスクの代わりに磁
   性体からなるスタンパーを前記ディスククランプに装着
   させるためのスタンパー用ホルダであって、 前記スタンパーを吸着させる面を一方の面に有し、前記
   ディスククランプに着脱可能な非磁性体プレートと、 前記非磁性体プレートの他方の面に設けられて、前記非
   磁性体プレートを介して前記スタンパーを吸引するスタ
   ンパー吸引マグネットとを備えることを特徴としたスタ
   ンパー用ホルダ。
2. 【請求項２】 前記スタンパー吸引マグネットは、前記
   非磁性体プレートの他方の面に配列された複数のマグネ
   ット片であることを特徴とした請求項１記載のスタンパ
   ー用ホルダ。
3. 【請求項３】 前記非磁性体プレートの他方の面上に設
   けられて、前記スタンパー吸着マグネットを収容するマ
   グネット収容孔が形成されたマグネットカバーを更に備
   えることを特徴とした請求項１又は請求項２に記載のス
   タンパー用ホルダ。
4. 【請求項４】 前記非磁性体プレートの周縁には、前記
   スタンパーを面方向に摺動させる際に作業者の指を案内
   するガイド溝が形成されていることを特徴とした請求項
   １から請求項３のいずれか一項記載のスタンパー用ホル
   ダ。