JPH1064979A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. マスクを露光光で照明し前記マスクに形成されたパターンをステージ上の感光基板に転写する露光装置のために、前記感光基板を光学的に位置決めするための光学式プリアライメント装置において、
   前記ステージに載置された前記感光基板の複数のエッジ部をそれぞれ照明するための複数の照明手段と、
   前記感光基板の複数のエッジ部を介した検出光に基づいて前記複数のエッジ部を検出するための検出手段とを備え、
   前記検出手段で検出した前記複数のエッジ部の位置情報に基づいて前記感光基板を位置決めすることを特徴とする光学式プリアライメント装置。
2. 前記複数のエッジ部のうち所望のエッジ部だけを選択的に検出することを特徴とする請求項１に記載の光学式プリアライメント装置。
3. 前記感光基板の複数のエッジ部のうち前記感光基板の特性に応じた所望の複数のエッジ部を介した検出光だけを選択的に前記検出手段へ導くための光選択手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の光学式プリアライメント装置。
4. 前記光選択手段は、前記感光基板の複数のエッジ部のうち前記感光基板の特性に応じた所望の複数のエッジ部だけを選択的に照明するために前記複数の照明手段を切り換えるための照明光切換え手段であることを特徴とする請求項３に記載の光学式プリアライメント装置。
5. 前記感光基板の複数のエッジ部は、第１の組の複数のエッジ部と第２の組の複数のエッジ部とからなり、
   前記検出手段は、前記第１の組の複数のエッジ部の各々を介した検出光と、前記第２の組の複数のエッジ部のうち対応するエッジ部を介した検出光とをそれぞれ合成するための検出光合成手段を有することを特徴とする請求項４に記載の光学式プリアライメント装置。
6. 前記感光基板の複数のエッジ部は、第１の組の複数のエッジ部と第２の組の複数のエッジ部とからなり、
   前記光選択手段は、前記第１の組の複数のエッジ部を介した検出光と前記第２の組の複数のエッジ部を介した検出光とのうちいずれか一方を選択的に前記検出手段へ導くための検出光選択手段であることを特徴とする請求項３に記載の光学式プリアライメント装置。
7. 前記複数の照明手段は、前記ステージにそれぞれ取り付けられ、前記露光光とは異なる所定波長の照明光で前記感光基板の複数のエッジ部を透過照明し、
   各照明手段と前記感光基板との間の光路中には、前記露光光を反射し前記照明光を透過させる特性を有する露光光遮光手段が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学式プリアライメント装置。
8. 所定のパターンが形成されたマスクを露光光で照明するための照明光学系と、前記マスクを介した露光光に基づいて感光基板上に前記マスクのパターン像を形成するための投影光学系と、前記感光基板を支持し前記投影光学系に対して移動可能なステージと、前記感光基板を光学的に位置決めするための光学式プリアライメント装置とを備えた露光装置において、
   前記光学式プリアライメント装置は、
   前記ステージに載置された前記感光基板の複数のエッジ部をそれぞれ照明するための複数の照明手段と、
   前記感光基板の複数のエッジ部を介した検出光に基づいて前記複数のエッジ部を検出するための検出手段とを有し、
   前記検出手段で検出した前記複数のエッジ部の位置情報に基づいて前記感光基板を位置決めすることを特徴とする露光装置。
9. 前記光学式プリアライメント装置は、前記複数のエッジ部のうち所望のエッジ部だけを選択的に検出することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
10. 前記感光基板の複数のエッジ部のうち前記感光基板の特性に応じた所望の複数のエッジ部を介した検出光だけを選択的に前記検出手段へ導くための光選択手段をさらに備えていることを特徴とする請求項８または９に記載の露光装置。