JPH1065242A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH1065242A JPH1065242A JP8223414A JP22341496A JPH1065242A JP H1065242 A JPH1065242 A JP H1065242A JP 8223414 A JP8223414 A JP 8223414A JP 22341496 A JP22341496 A JP 22341496A JP H1065242 A JPH1065242 A JP H1065242A
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- Japan
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- gas laser
- laser
- oscillation device
- power supply
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- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、大気リークなどの外乱による異常
放電から発振器構成部品を安全に保護するためのガスレ
ーザ発振装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 レーザ光と出力を検出する光検出器６
と、レーザ光検出信号を所定の増幅率で増幅した値が指
令出力信号の設定比以下になった場合にその時間をカウ
ントするタイマ１３と、タイマ設定時間以上になったと
きに直流高電圧電源２を停止する制御装置１４を備えた
ガスレーザ発振装置。
放電から発振器構成部品を安全に保護するためのガスレ
ーザ発振装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 レーザ光と出力を検出する光検出器６
と、レーザ光検出信号を所定の増幅率で増幅した値が指
令出力信号の設定比以下になった場合にその時間をカウ
ントするタイマ１３と、タイマ設定時間以上になったと
きに直流高電圧電源２を停止する制御装置１４を備えた
ガスレーザ発振装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は外乱による異常放電
から安全に保護するためのガスレーザ発振装置に関する
ものである。
から安全に保護するためのガスレーザ発振装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ装置を図３に沿って説
明する。図３において、１は気体レーザ媒質、２は直流
高電圧電源、３ａ，３ｂはそれぞれ前記直流高電圧電源
２に接続された放電電極、４は光増幅しレーザ光を取出
す部分透過型反射ミラ、５は光検出器６へ入射する微少
なレーザ光を取出す部分透過型反射ミラ、７はレーザ
管、８は光検出器６からのレーザ光検出信号を増幅する
増幅器、９は指令出力信号を出力する指令出力設定器、
１０は光検出器６からのレーザ出力検出信号を増幅器８
で増幅し、増幅した信号と指令出力を比較し、直流高電
圧電源２にフィードバックをかける制御装置である。
明する。図３において、１は気体レーザ媒質、２は直流
高電圧電源、３ａ，３ｂはそれぞれ前記直流高電圧電源
２に接続された放電電極、４は光増幅しレーザ光を取出
す部分透過型反射ミラ、５は光検出器６へ入射する微少
なレーザ光を取出す部分透過型反射ミラ、７はレーザ
管、８は光検出器６からのレーザ光検出信号を増幅する
増幅器、９は指令出力信号を出力する指令出力設定器、
１０は光検出器６からのレーザ出力検出信号を増幅器８
で増幅し、増幅した信号と指令出力を比較し、直流高電
圧電源２にフィードバックをかける制御装置である。
【０００３】次に従来のガスレーザ発振装置の動作につ
いて説明する。まず直流高電圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電させる。これにより気体レーザ
媒質１は放電エネルギーを得て励起され、その励起され
た気体レーザ媒質は、部分透過反射ミラ４，５により形
成された光共振器で共振状態となり部分透過反射型ミラ
４よりレーザ光が出力される。このレーザ光が溶接や切
断などの加工に用いられる。また部分透過型ミラ５によ
り微少なレーザ光を取出し光検出器７で検出し、そのレ
ーザ出力信号と指令出力設定器からの指令出力信号を制
御装置により比較演算し、所定のレーザ出力が得られる
ようにパワーフィードバック制御を行っている。
いて説明する。まず直流高電圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電させる。これにより気体レーザ
媒質１は放電エネルギーを得て励起され、その励起され
た気体レーザ媒質は、部分透過反射ミラ４，５により形
成された光共振器で共振状態となり部分透過反射型ミラ
４よりレーザ光が出力される。このレーザ光が溶接や切
断などの加工に用いられる。また部分透過型ミラ５によ
り微少なレーザ光を取出し光検出器７で検出し、そのレ
ーザ出力信号と指令出力設定器からの指令出力信号を制
御装置により比較演算し、所定のレーザ出力が得られる
ようにパワーフィードバック制御を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成のガス
レーザ発振装置においては、大気リークやレーザガスボ
ンベの接続、ミスなどの外乱によりレーザ媒質の状態が
変化し、放電状態が不安定となり、その不安定状態を維
持し続ける問題点を有していた。
レーザ発振装置においては、大気リークやレーザガスボ
ンベの接続、ミスなどの外乱によりレーザ媒質の状態が
変化し、放電状態が不安定となり、その不安定状態を維
持し続ける問題点を有していた。
【０００５】本発明は前記従来の問題点を解消すること
を目的とする。
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明はレーザ光の出力を検出する光検出器と、前
記光検出器のレーザ光検出信号を所定の増幅率で増幅し
た値が指令出力の設定比以下になった場合にその時間を
カウントするタイマと、タイマ設定時間以上になったと
きに直流高電圧電源を停止する制御装置を備えたもので
ある。
に、本発明はレーザ光の出力を検出する光検出器と、前
記光検出器のレーザ光検出信号を所定の増幅率で増幅し
た値が指令出力の設定比以下になった場合にその時間を
カウントするタイマと、タイマ設定時間以上になったと
きに直流高電圧電源を停止する制御装置を備えたもので
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記構成により、本発明のガスレ
ーザ発振装置は、外乱によりレーザ媒質の状態が変化
し、放電が不安定になった場合、それを検知し、放電を
停止する作用を有する。以下、本発明の実施の形態につ
き、図１および図２に沿って説明する。図１において、
符号１ないし１０は従来と同じであるので、説明を省略
する。
ーザ発振装置は、外乱によりレーザ媒質の状態が変化
し、放電が不安定になった場合、それを検知し、放電を
停止する作用を有する。以下、本発明の実施の形態につ
き、図１および図２に沿って説明する。図１において、
符号１ないし１０は従来と同じであるので、説明を省略
する。
【０００８】１１は指令出力設定器９からの指令出力信
号Ｐ１を設定比ａに減衰する減衰器、１２は前記減衰器
１１からの指令出力信号（Ｐ１×ａ）と、レーザ光検出
信号Ｐ２を増幅器８により所定の増幅比ｂで増幅したレ
ーザ光検出信号（Ｐ２×ｂ）とを比較する比較器で、
（イ）Ｐ１×ａ≧Ｐ２×ｂまたは（ロ）Ｐ１×ａ＜Ｐ２
×ｂのいずれかの比較出力信号を出力する。１３はノイ
ズによる誤動作を防ぐため設定時間ｔ（例えば３秒）を
カウントするタイマで、Ｐ１×ａ≧Ｐ２×ｂが（ハ）設
定時間ｔ以上の場合、または（ニ）設定時間ｔ未満の場
合のいずれかの比較出力信号を出力する。１４は比較器
１２からの比較出力信号（ロ）あるいはタイマ１３から
の比較出力信号（ハ），（ニ）により、直流高電圧電源
２を制御する装置で、制御出力信号（ハ）の場合は直流
高電圧電源２をＯＦＦし、比較出力信号（ロ），（ニ）
の場合は直流高電圧電源２をＯＮし続けるものである。
号Ｐ１を設定比ａに減衰する減衰器、１２は前記減衰器
１１からの指令出力信号（Ｐ１×ａ）と、レーザ光検出
信号Ｐ２を増幅器８により所定の増幅比ｂで増幅したレ
ーザ光検出信号（Ｐ２×ｂ）とを比較する比較器で、
（イ）Ｐ１×ａ≧Ｐ２×ｂまたは（ロ）Ｐ１×ａ＜Ｐ２
×ｂのいずれかの比較出力信号を出力する。１３はノイ
ズによる誤動作を防ぐため設定時間ｔ（例えば３秒）を
カウントするタイマで、Ｐ１×ａ≧Ｐ２×ｂが（ハ）設
定時間ｔ以上の場合、または（ニ）設定時間ｔ未満の場
合のいずれかの比較出力信号を出力する。１４は比較器
１２からの比較出力信号（ロ）あるいはタイマ１３から
の比較出力信号（ハ），（ニ）により、直流高電圧電源
２を制御する装置で、制御出力信号（ハ）の場合は直流
高電圧電源２をＯＦＦし、比較出力信号（ロ），（ニ）
の場合は直流高電圧電源２をＯＮし続けるものである。
【０００９】つぎに、図２に沿ってその動作を説明す
る。まず、指令出力を信号Ｐ１（例えば１ｋｗ）減衰器
１１により設定比ａ（例えば１／１０）に設定する。外
乱により放電がアーク状になった場合には、放電励起は
ほとんど行われず、レーザ出力光検出信号Ｐ２（例えば
２０ｗ）が約０ｗとなるため、設定比１／１０で比較器
１２で比較した結果レーザ光検出信号Ｐ２×ｂが指令出
力信号Ｐ１の１／１０以上であれば、直流高電圧電源２
をＯＮ状態に維持し、１／１０未満であれば、タイマ１
３によりカウントを行い、設定時間ｔ（例えば３秒）以
上になると、放電を直流高電圧電源２をＯＦＦし放電を
停止させる。
る。まず、指令出力を信号Ｐ１（例えば１ｋｗ）減衰器
１１により設定比ａ（例えば１／１０）に設定する。外
乱により放電がアーク状になった場合には、放電励起は
ほとんど行われず、レーザ出力光検出信号Ｐ２（例えば
２０ｗ）が約０ｗとなるため、設定比１／１０で比較器
１２で比較した結果レーザ光検出信号Ｐ２×ｂが指令出
力信号Ｐ１の１／１０以上であれば、直流高電圧電源２
をＯＮ状態に維持し、１／１０未満であれば、タイマ１
３によりカウントを行い、設定時間ｔ（例えば３秒）以
上になると、放電を直流高電圧電源２をＯＦＦし放電を
停止させる。
【００１０】以上の動作により、大気リーク等により放
電が不安定になったことを検出し、直流高電圧電源２を
ＯＦＦにして放電を停止することができる。
電が不安定になったことを検出し、直流高電圧電源２を
ＯＦＦにして放電を停止することができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明のガスレーザ発振装置は、レーザ
光の出力を検出する光検出器と、前記検出器のレーザ光
検出信号を所定の増幅率で増幅した値が指定出力の設定
比以下になった場合に、その時間をカウントするタイマ
と、タイマ設定時間以上になったときに直流高電圧電源
を停止する制御装置を備えたもので、大気リーク等によ
る外乱による放電の不安定を検出し、放電を停止させる
ことができるので、ガスレーザ発振装置の構成部品の損
傷を防止する優れた効果を奏するものである。
光の出力を検出する光検出器と、前記検出器のレーザ光
検出信号を所定の増幅率で増幅した値が指定出力の設定
比以下になった場合に、その時間をカウントするタイマ
と、タイマ設定時間以上になったときに直流高電圧電源
を停止する制御装置を備えたもので、大気リーク等によ
る外乱による放電の不安定を検出し、放電を停止させる
ことができるので、ガスレーザ発振装置の構成部品の損
傷を防止する優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施の形態におけるガスレーザ発振装
置の概略ブロック構成図
置の概略ブロック構成図
【図２】同実施の形態におけるフローチャート
【図３】従来例におけるガスレーザ発振装置の概略ブロ
ック図
ック図
６ 光検出器 ８ 増幅器 ９ 指令出力設定器 １１ 減衰器 １２ 比較器 １３ タイマ １４ 制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】ガスレーザ媒質を高圧直流電源で放電励起
し、連続またはパルス状にレーザ光を発生するガスレー
ザ発振装置であって、そのレーザ光の出力を検出する光
検出器と、前記光検出器のレーザ光検出信号を所定の増
幅率で増幅した値が指令出力信号の設定比率以下になっ
た場合にその時間をカウントするタイマと、タイマ設定
時間以上になったときに直流高電圧電源を停止する制御
装置を備えたガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8223414A JPH1065242A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8223414A JPH1065242A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1065242A true JPH1065242A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16797779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8223414A Pending JPH1065242A (ja) | 1996-08-26 | 1996-08-26 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1065242A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014170885A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fanuc Ltd | レーザガス容器の密閉性を推定可能なレーザ装置 |
-
1996
- 1996-08-26 JP JP8223414A patent/JPH1065242A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014170885A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fanuc Ltd | レーザガス容器の密閉性を推定可能なレーザ装置 |
| US9490602B2 (en) | 2013-03-05 | 2016-11-08 | Fanuc Corporation | Laser system able to estimate hermetic seal of laser gas container |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040705 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040921 |