JPH1068672A - 液晶評価装置 - Google Patents
液晶評価装置Info
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- JPH1068672A JPH1068672A JP22655496A JP22655496A JPH1068672A JP H1068672 A JPH1068672 A JP H1068672A JP 22655496 A JP22655496 A JP 22655496A JP 22655496 A JP22655496 A JP 22655496A JP H1068672 A JPH1068672 A JP H1068672A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶ピッチ測定及び透過率/電圧特性測定を
精度よく効率的に行うことができる液晶評価装置を提供
する。 【解決手段】 微小隙間を有して対面する液晶基板2,
3、液晶基板3を微動ステージ20と共に平行移動又は
傾動させる圧電アクチュエータ38,40、液晶基板3
の移動量及び傾き角を測定する変位計42,43、光を
照射する光源62、液晶基板2に生起するディスクリミ
ネーションラインの間隔を測定すると共に液晶基板2の
微小特定エリアの輝度を測定するCCDカメラ65及び
画像処理装置66、液晶基板2,3の透明電極膜に可変
の直流電圧を印加する電源57等を備えて、液晶評価装
置を構成する。
精度よく効率的に行うことができる液晶評価装置を提供
する。 【解決手段】 微小隙間を有して対面する液晶基板2,
3、液晶基板3を微動ステージ20と共に平行移動又は
傾動させる圧電アクチュエータ38,40、液晶基板3
の移動量及び傾き角を測定する変位計42,43、光を
照射する光源62、液晶基板2に生起するディスクリミ
ネーションラインの間隔を測定すると共に液晶基板2の
微小特定エリアの輝度を測定するCCDカメラ65及び
画像処理装置66、液晶基板2,3の透明電極膜に可変
の直流電圧を印加する電源57等を備えて、液晶評価装
置を構成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶材料の特性を評
価するための液晶評価装置に関し、液晶ピッチや透過率
/電圧特性を測定する場合に適用して有用なものであ
る。
価するための液晶評価装置に関し、液晶ピッチや透過率
/電圧特性を測定する場合に適用して有用なものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶材料の評価項目として液
晶ピッチの測定がある。この液晶ピッチとは、液晶材料
に固有のものであって、液晶分子鎖が360°ねじれる
のに必要な距離のことである。
晶ピッチの測定がある。この液晶ピッチとは、液晶材料
に固有のものであって、液晶分子鎖が360°ねじれる
のに必要な距離のことである。
【0003】液晶材料メーカーでは、液晶材料の研究開
発、品質管理及び出荷検査において液晶ピッチの測定を
行う。
発、品質管理及び出荷検査において液晶ピッチの測定を
行う。
【0004】液晶表示装置メーカーでは、液晶材料の受
入れ検査で液晶ピッチの測定を行うのみならず、実用に
供せられている15000種類以上の液晶材料の中か
ら、混合して自社の液晶表示パネルに採用する液晶材料
の種類及び混合比を変えて、液晶表示性能を高めるため
の研究開発を行っており、その過程で、混合された液晶
材料の液晶ピッチの測定が不可欠である。
入れ検査で液晶ピッチの測定を行うのみならず、実用に
供せられている15000種類以上の液晶材料の中か
ら、混合して自社の液晶表示パネルに採用する液晶材料
の種類及び混合比を変えて、液晶表示性能を高めるため
の研究開発を行っており、その過程で、混合された液晶
材料の液晶ピッチの測定が不可欠である。
【0005】従来、この液晶ピッチの測定は、図7に示
すようなクサビ型セル1を用いて行われている。同図に
示すように、クサビ型セル1は、上側液晶基板2と下側
液晶基板3とをスペーサ4を介し傾斜して重ね合わせ、
これらの左右両端部を接着剤5,6で固めた上で、上側
液晶基板2と下側液晶基板3との微小間隙7に液晶分子
8を浸透させた構造になっている。上側液晶基板2は、
偏光板9、ガラス板10、配向膜11を積層してなる積
層板となっており、下側液晶基板3は、配向膜12、ガ
ラス板13、偏光板14を積層してなる積層板となって
いる。配向膜11,12は、液晶分子鎖8等の端部の姿
勢を強制する作用を有する。また、説明の便宜のため、
偏光板9,14の偏光方向は一致しているものとする。
すようなクサビ型セル1を用いて行われている。同図に
示すように、クサビ型セル1は、上側液晶基板2と下側
液晶基板3とをスペーサ4を介し傾斜して重ね合わせ、
これらの左右両端部を接着剤5,6で固めた上で、上側
液晶基板2と下側液晶基板3との微小間隙7に液晶分子
8を浸透させた構造になっている。上側液晶基板2は、
偏光板9、ガラス板10、配向膜11を積層してなる積
層板となっており、下側液晶基板3は、配向膜12、ガ
ラス板13、偏光板14を積層してなる積層板となって
いる。配向膜11,12は、液晶分子鎖8等の端部の姿
勢を強制する作用を有する。また、説明の便宜のため、
偏光板9,14の偏光方向は一致しているものとする。
【0006】従って、このクサビ型セル1の裏面(下側
液晶基板3側)から白色光15を照射し、図7(a)中
に示すA視の方向から上側液晶基板2を見ると、同図
(b)に示すように一定間隔で黒線として表れるディス
クリミネーションライン16,17,18が観察され
る。これらのディスクリミネーションライン16,1
7,18の発生理由は次の通りである。
液晶基板3側)から白色光15を照射し、図7(a)中
に示すA視の方向から上側液晶基板2を見ると、同図
(b)に示すように一定間隔で黒線として表れるディス
クリミネーションライン16,17,18が観察され
る。これらのディスクリミネーションライン16,1
7,18の発生理由は次の通りである。
【0007】即ち、偏光板9,14の偏光方向が一致し
ているため、クサビ型セル1を透過する白色光15の透
過率は液晶分子鎖8のねじれ角が90°の偶数倍の場合
に最大となる一方、液晶分子鎖8のねじれ角が90°の
奇数倍の場合に最小となり、ディスクリミネーションラ
イン16,17,18は、後者の場合に相当する。
ているため、クサビ型セル1を透過する白色光15の透
過率は液晶分子鎖8のねじれ角が90°の偶数倍の場合
に最大となる一方、液晶分子鎖8のねじれ角が90°の
奇数倍の場合に最小となり、ディスクリミネーションラ
イン16,17,18は、後者の場合に相当する。
【0008】そこで、かかるディスクリミネーションラ
イン16,17,18の間隔Lを画像処理やその他の測
定手段で測定すると、クサビ型セル1の上側液晶基板2
と下側液晶基板3とのなす傾き角(クサビ角)Θを与件
として、液晶ピッチPは、次の第1式で計算される。 P=2LtanΘ ・・・・・ (第1式)
イン16,17,18の間隔Lを画像処理やその他の測
定手段で測定すると、クサビ型セル1の上側液晶基板2
と下側液晶基板3とのなす傾き角(クサビ角)Θを与件
として、液晶ピッチPは、次の第1式で計算される。 P=2LtanΘ ・・・・・ (第1式)
【0009】そして、液晶表示装置メーカーでは、上式
によって液晶ピッチPを求めた後、図7に示す上下の液
晶基板2,3を平行に配設し、これらの隙間にマイクロ
プラスティックボールと液晶材料とを混合して充満さ
せ、このマイクロプラスティックボールの径を設定隙間
として選定し、液晶基板2,3の4辺を接着して、図示
しないフッラト型セルを製作し、このフッラト型セルを
用いて透過率/電圧特性(詳細後述)などの評価、即
ち、点灯ON/OFF時の応答性、コントラスト比、視
野角などを評価するが、このときのフッラト型セルにお
ける上側液晶基板2と下側液晶基板3との液晶封入隙間
(セルギャップ)は、液晶ピッチ測定の結果に基づくも
のである。従って、液晶ピッチ測定の精度は、液晶表示
性能評価試験の信頼性に重大な影響を与える。
によって液晶ピッチPを求めた後、図7に示す上下の液
晶基板2,3を平行に配設し、これらの隙間にマイクロ
プラスティックボールと液晶材料とを混合して充満さ
せ、このマイクロプラスティックボールの径を設定隙間
として選定し、液晶基板2,3の4辺を接着して、図示
しないフッラト型セルを製作し、このフッラト型セルを
用いて透過率/電圧特性(詳細後述)などの評価、即
ち、点灯ON/OFF時の応答性、コントラスト比、視
野角などを評価するが、このときのフッラト型セルにお
ける上側液晶基板2と下側液晶基板3との液晶封入隙間
(セルギャップ)は、液晶ピッチ測定の結果に基づくも
のである。従って、液晶ピッチ測定の精度は、液晶表示
性能評価試験の信頼性に重大な影響を与える。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ク
サビ型セル1を用いる従来の液晶ピッチ測定方法では、
次のような数多くの不具合があり、このため、作業効率
や評価の信頼性の点で問題が多い。
サビ型セル1を用いる従来の液晶ピッチ測定方法では、
次のような数多くの不具合があり、このため、作業効率
や評価の信頼性の点で問題が多い。
【0011】(1) 測定の準備に手間がかかる。即
ち、クサビ型セル1の組立・接着は手作業であり、時間
がかかる。
ち、クサビ型セル1の組立・接着は手作業であり、時間
がかかる。
【0012】(2) 液晶ピッチの測定精度劣化要因が
多い。例えば、図7のクサビ型セル1におけるスペーサ
4の取付位置誤差は、傾き角Θの誤差となり、上記第1
式から分かるように、液晶ピッチPの計算誤差となる。
また、一般にガラス板10,13には反りがあり、これ
も誤差要因となる。特にSTN液晶では液晶ピッチが小
さくなるため、従来のクサビ型セル1による方法では、
液晶ピッチの高精度測定は困難である。
多い。例えば、図7のクサビ型セル1におけるスペーサ
4の取付位置誤差は、傾き角Θの誤差となり、上記第1
式から分かるように、液晶ピッチPの計算誤差となる。
また、一般にガラス板10,13には反りがあり、これ
も誤差要因となる。特にSTN液晶では液晶ピッチが小
さくなるため、従来のクサビ型セル1による方法では、
液晶ピッチの高精度測定は困難である。
【0013】(3) 点灯ON/OFF時の応答性、コ
ントラスト比、視野角等の液晶表示性能評価の信頼性を
低下させる。即ち、液晶封入隙間(セルギャップ)は液
晶ピッチの測定結果に基づいて決定されるため、上記の
如く液晶ピッチの測定精度が悪いと、セルギャップの設
定が不適切なものとなり、このことによって液晶表示性
能評価試験そのものの信頼性が低下する。
ントラスト比、視野角等の液晶表示性能評価の信頼性を
低下させる。即ち、液晶封入隙間(セルギャップ)は液
晶ピッチの測定結果に基づいて決定されるため、上記の
如く液晶ピッチの測定精度が悪いと、セルギャップの設
定が不適切なものとなり、このことによって液晶表示性
能評価試験そのものの信頼性が低下する。
【0014】(4) 液晶ピッチの測定と透過率/電圧
特性の測定とを個別の装置(クサビ型セルとフラット型
セル)によって行うため、両測定が別行程となり、作業
効率が悪い。
特性の測定とを個別の装置(クサビ型セルとフラット型
セル)によって行うため、両測定が別行程となり、作業
効率が悪い。
【0015】従って本発明は上記従来技術に鑑み、液晶
ピッチ測定及び透過率/電圧特性測定を精度よく効率的
に行うことができる液晶評価装置を提供することを課題
とする。
ピッチ測定及び透過率/電圧特性測定を精度よく効率的
に行うことができる液晶評価装置を提供することを課題
とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の液晶評価装置の第1の構成は、評価対象の液晶材料
を入れる微小隙間を有して対面する第1及び第2の液晶
基板と、これら第1又は第2の液晶基板を略平行に微小
移動して前記微小隙間を変化せしめる平行移動手段と、
この移動手段によって略平行に微小移動される前記第1
又は第2の液晶基板の移動量を測定する移動量測定手段
と、前記第1又は第2の液晶基板側から光を照射する光
源と、この光源による光の照射側と反対側に位置する前
記第2又は第1の液晶基板の微小特定エリアの輝度を測
定する輝度測定手段とを備えたことを特徴とする。
明の液晶評価装置の第1の構成は、評価対象の液晶材料
を入れる微小隙間を有して対面する第1及び第2の液晶
基板と、これら第1又は第2の液晶基板を略平行に微小
移動して前記微小隙間を変化せしめる平行移動手段と、
この移動手段によって略平行に微小移動される前記第1
又は第2の液晶基板の移動量を測定する移動量測定手段
と、前記第1又は第2の液晶基板側から光を照射する光
源と、この光源による光の照射側と反対側に位置する前
記第2又は第1の液晶基板の微小特定エリアの輝度を測
定する輝度測定手段とを備えたことを特徴とする。
【0017】また第2の構成は、上記第1の構成におい
て、前記第1又は第2の液晶基板を傾斜せしめる傾動手
段と、この傾動手段により前記第1又は第2の液晶基板
を傾斜せしめることによって生起する前記第1の液晶基
板と第2の液晶基板とのなす傾き角を測定する傾き角測
定手段と、前記光源による光の照射側と反対側の前記第
2又は第1の液晶基板に生起するディスクリミネーショ
ンラインの間隔を測定する間隔測定手段とを備えたこと
を特徴とする。
て、前記第1又は第2の液晶基板を傾斜せしめる傾動手
段と、この傾動手段により前記第1又は第2の液晶基板
を傾斜せしめることによって生起する前記第1の液晶基
板と第2の液晶基板とのなす傾き角を測定する傾き角測
定手段と、前記光源による光の照射側と反対側の前記第
2又は第1の液晶基板に生起するディスクリミネーショ
ンラインの間隔を測定する間隔測定手段とを備えたこと
を特徴とする。
【0018】また第3の構成は、上記第1又は第2の構
成において、前記第1の液晶基板と第2の液晶基板の透
明電極に可変の直流電圧を印加する電圧印加手段を備え
たことを特徴とする。
成において、前記第1の液晶基板と第2の液晶基板の透
明電極に可変の直流電圧を印加する電圧印加手段を備え
たことを特徴とする。
【0019】従って、上記第1の構成の液晶評価装置に
よれば、光源により第1又は第2の液晶基板側から光を
照射すると共に平行移動手段により第1又は第2の液晶
基板を略平行に微小移動し、このときの第1又は第2の
液晶基板の移動量と第2又は第1の液晶基板の微小特定
エリアの輝度とを移動量測定手段と輝度測定手段とによ
って各々測定する。そして、この結果得られる前記輝度
(透過率)の極大値と極大値との間隔(又は極小値と極
小値との間隔)から、液晶基板の反りや厚みのばらつき
等を除去した高精度な液晶ピッチを求めることができ
る。
よれば、光源により第1又は第2の液晶基板側から光を
照射すると共に平行移動手段により第1又は第2の液晶
基板を略平行に微小移動し、このときの第1又は第2の
液晶基板の移動量と第2又は第1の液晶基板の微小特定
エリアの輝度とを移動量測定手段と輝度測定手段とによ
って各々測定する。そして、この結果得られる前記輝度
(透過率)の極大値と極大値との間隔(又は極小値と極
小値との間隔)から、液晶基板の反りや厚みのばらつき
等を除去した高精度な液晶ピッチを求めることができ
る。
【0020】また、上記第2の構成の液晶評価装置によ
れば、上記のようにして高精度に液晶ピッチを測定する
前に、予め液晶ピッチの近似値を求め、この近似値に基
づいて、液晶ピッチの高精度測定を効率よく行うことが
できる。以下に、その手順を説明する。
れば、上記のようにして高精度に液晶ピッチを測定する
前に、予め液晶ピッチの近似値を求め、この近似値に基
づいて、液晶ピッチの高精度測定を効率よく行うことが
できる。以下に、その手順を説明する。
【0021】 傾動手段により第1又は第2の液晶基
板を傾斜せしめてこれらの液晶基板に傾き角Θを与える
と共に、光源により第1又は第2の液晶基板側から光を
照射し、このときに第2又は第1の液晶基板に生起する
ディスクリミネーションラインの間隔Lを間隔測定手段
によって測定する。そして、前記間隔Lと前記傾き角Θ
とから、次の第2式によって液晶ピッチの近似値P1 を
算出する。 P1 =2LtanΘ ・・・・・ (第2式)
板を傾斜せしめてこれらの液晶基板に傾き角Θを与える
と共に、光源により第1又は第2の液晶基板側から光を
照射し、このときに第2又は第1の液晶基板に生起する
ディスクリミネーションラインの間隔Lを間隔測定手段
によって測定する。そして、前記間隔Lと前記傾き角Θ
とから、次の第2式によって液晶ピッチの近似値P1 を
算出する。 P1 =2LtanΘ ・・・・・ (第2式)
【0022】 次に、傾動手段により第1の液晶基板
と第2の液晶基板とを平行にした後、平行移動手段によ
り両液晶基板の間隔を除々に小さくしていき、このとき
に第2又は第1の液晶基板の微小特定エリアの輝度を輝
度測定手段によって測定する。この輝度の測定は、次の
ように3段階に分けて行う。
と第2の液晶基板とを平行にした後、平行移動手段によ
り両液晶基板の間隔を除々に小さくしていき、このとき
に第2又は第1の液晶基板の微小特定エリアの輝度を輝
度測定手段によって測定する。この輝度の測定は、次の
ように3段階に分けて行う。
【0023】第1段階では、平行移動手段による第1又
は第2の液晶基板の移動速度を大きくして、輝度レベル
が最大(又は最小)となる概略位置を把握する。第2段
階では、平行移動手段による第1又は第2の液晶基板の
移動速度を小さくして、輝度レベルが最大(又は最小)
となる位置を正確に把握する。第3段階では、液晶ピッ
チの近似値P1 のデータに基づき、平行移動手段により
第1又は第2の液晶基板を移動速度を大きくしてP1 だ
け移動させた後、この位置の前後に移動速度を小さくし
て移動させ、輝度レベルが最大(又は最小)となる位置
を正確に把握する。輝度レベルが最大(又は最小)とな
る位置から、再び最大(又は最小)となる位置までの第
1又は第2の液晶基板の移動距離、即ち隙間の変化量が
正確な液晶ピッチの値となる。
は第2の液晶基板の移動速度を大きくして、輝度レベル
が最大(又は最小)となる概略位置を把握する。第2段
階では、平行移動手段による第1又は第2の液晶基板の
移動速度を小さくして、輝度レベルが最大(又は最小)
となる位置を正確に把握する。第3段階では、液晶ピッ
チの近似値P1 のデータに基づき、平行移動手段により
第1又は第2の液晶基板を移動速度を大きくしてP1 だ
け移動させた後、この位置の前後に移動速度を小さくし
て移動させ、輝度レベルが最大(又は最小)となる位置
を正確に把握する。輝度レベルが最大(又は最小)とな
る位置から、再び最大(又は最小)となる位置までの第
1又は第2の液晶基板の移動距離、即ち隙間の変化量が
正確な液晶ピッチの値となる。
【0024】また、上記第3の構成の液晶評価装置によ
れば、液晶ピッチ測定後、引き続いて同一装置により、
以下のようにして透過率/電圧特性を測定することがで
きる。
れば、液晶ピッチ測定後、引き続いて同一装置により、
以下のようにして透過率/電圧特性を測定することがで
きる。
【0025】 平行移動手段により第1又は第2の液
晶基板を移動させて微小特定エリアの輝度が極小値とな
る位置に設定する。 電圧印加手段により直流電圧(可変)を印加し、こ
の電圧値を除々に上昇させていく。 輝度測定手段により微小特定エリアの輝度を測定
し、この輝度(透過率)と印加電圧値との関係を求め、
透過率/電圧特性を得る。 この透過率/電圧特性から、コントラスト比等を求
める。
晶基板を移動させて微小特定エリアの輝度が極小値とな
る位置に設定する。 電圧印加手段により直流電圧(可変)を印加し、こ
の電圧値を除々に上昇させていく。 輝度測定手段により微小特定エリアの輝度を測定
し、この輝度(透過率)と印加電圧値との関係を求め、
透過率/電圧特性を得る。 この透過率/電圧特性から、コントラスト比等を求
める。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。
に基づき詳細に説明する。
【0027】図1は本発明の実施の形態に係る液晶評価
装置の構成を示す断面図、図2は図1に示す液晶評価装
置に備えた液晶基板の構成図、図3は液晶ピッチの近似
値測定の説明図、図4及び図5は液晶ピッチの高精度測
定の説明図、図6は透過率/電圧特性測定の説明図であ
る。
装置の構成を示す断面図、図2は図1に示す液晶評価装
置に備えた液晶基板の構成図、図3は液晶ピッチの近似
値測定の説明図、図4及び図5は液晶ピッチの高精度測
定の説明図、図6は透過率/電圧特性測定の説明図であ
る。
【0028】図1に示すように、下側液晶基板3と上側
液晶基板2とは、微小隙間δを有して対面している。下
側液晶基板3は、排気穴21,22を介して真空引きさ
れている凹部23,24にて吸着されることにより、微
動ステージ20に固定されている。上側液晶基板2は、
排気穴25,26を介して真空引きされている凹部2
7,28にて吸着されることにより、上側保持部材29
に固定されている。
液晶基板2とは、微小隙間δを有して対面している。下
側液晶基板3は、排気穴21,22を介して真空引きさ
れている凹部23,24にて吸着されることにより、微
動ステージ20に固定されている。上側液晶基板2は、
排気穴25,26を介して真空引きされている凹部2
7,28にて吸着されることにより、上側保持部材29
に固定されている。
【0029】ここで図2(a)に基づいて液晶基板2,
3の構造を説明する。なお同図は液晶基板2,3の構造
を拡大・誇張して示したものである。同図に示すよう
に、上側液晶基板2は、偏光板9、ガラス板10、透明
電極膜55及び配向膜11を積層してなる積層板となっ
ており、下側液晶基板3は、配向膜12、ガラス板1
3、透明電極膜56及び偏光板14を積層してなる積層
板となっている。ここでは説明の便宜のために、偏光板
9,14の偏光方向は同一とし、また配向膜11,12
の配向方向も同一とする。そして、上側液晶基板2と下
側液晶基板3との微小隙間δには、液晶材料30が表面
張力によって流出することなく充満しており、液晶基板
2,3と液晶材料30とでテストセル31を構成してい
る。
3の構造を説明する。なお同図は液晶基板2,3の構造
を拡大・誇張して示したものである。同図に示すよう
に、上側液晶基板2は、偏光板9、ガラス板10、透明
電極膜55及び配向膜11を積層してなる積層板となっ
ており、下側液晶基板3は、配向膜12、ガラス板1
3、透明電極膜56及び偏光板14を積層してなる積層
板となっている。ここでは説明の便宜のために、偏光板
9,14の偏光方向は同一とし、また配向膜11,12
の配向方向も同一とする。そして、上側液晶基板2と下
側液晶基板3との微小隙間δには、液晶材料30が表面
張力によって流出することなく充満しており、液晶基板
2,3と液晶材料30とでテストセル31を構成してい
る。
【0030】図1に示すように、微動ステージ20に
は、y軸方向に可撓性のあるばね部32,33と34,
35とが左右対称に設けられると共に、y軸方向に多数
の圧電素子を積層してなる圧電アクチュエータ38と4
1とがx軸方向に可撓性のあるばね部36,37と3
9,40とを介して左右対称に組み込まれている。
は、y軸方向に可撓性のあるばね部32,33と34,
35とが左右対称に設けられると共に、y軸方向に多数
の圧電素子を積層してなる圧電アクチュエータ38と4
1とがx軸方向に可撓性のあるばね部36,37と3
9,40とを介して左右対称に組み込まれている。
【0031】従って、圧電アクチュエータ38,41の
両端部に電圧を印加すると、x軸方向に可撓性のあるば
ね部36,37又は39、40を介して微動ステージ2
0にy軸方向の力が伝達され、このy軸方向に可撓性の
あるばね部32,33又は34,35が弾性変形するこ
とによって、微動ステージ20(下側液晶基板3)が、
平行に上下方向に微小移動し又は微回動して傾斜するよ
うになっている。つまり、圧電アクチュエータ38,4
1に印加する電圧の値が、等しいときには平行移動し、
異なるときには傾斜する。また微動ステージ20(下側
液晶基板3)の微小移動量又は傾き角は、左右対称に配
設された一対の静電容量式又は渦電流式の変位計42,
43によって検出されるようになっている。
両端部に電圧を印加すると、x軸方向に可撓性のあるば
ね部36,37又は39、40を介して微動ステージ2
0にy軸方向の力が伝達され、このy軸方向に可撓性の
あるばね部32,33又は34,35が弾性変形するこ
とによって、微動ステージ20(下側液晶基板3)が、
平行に上下方向に微小移動し又は微回動して傾斜するよ
うになっている。つまり、圧電アクチュエータ38,4
1に印加する電圧の値が、等しいときには平行移動し、
異なるときには傾斜する。また微動ステージ20(下側
液晶基板3)の微小移動量又は傾き角は、左右対称に配
設された一対の静電容量式又は渦電流式の変位計42,
43によって検出されるようになっている。
【0032】また、微動ステージ20は基盤部材44に
設置される一方、上側保持部材29は、ストッパー板4
5,46及び47,48を介して、基盤部材44の上部
に位置決めされている。更に、上側保持部材29の左右
両端部には、ボールブッシュ49,50が嵌着されてお
り、これらのボールブッシュ49,50には基盤部材4
4に立設された案内軸51,52がy軸方向に摺動自在
に挿通されている。従って、上側保持部材29は、図示
しないエアーシリダーに駆動されると共に案内軸51,
52に案内されて、矢印a,b方向に上下移動する。
設置される一方、上側保持部材29は、ストッパー板4
5,46及び47,48を介して、基盤部材44の上部
に位置決めされている。更に、上側保持部材29の左右
両端部には、ボールブッシュ49,50が嵌着されてお
り、これらのボールブッシュ49,50には基盤部材4
4に立設された案内軸51,52がy軸方向に摺動自在
に挿通されている。従って、上側保持部材29は、図示
しないエアーシリダーに駆動されると共に案内軸51,
52に案内されて、矢印a,b方向に上下移動する。
【0033】上側保持部材29の中央部の貫通穴には、
ガラスフランジ53が嵌着され、微動ステージ20の中
央部の上部貫通穴には、ガラスフランジ54が嵌着され
ている。ガラスフランジ53,54は、それぞれ隙間を
介して下或いは上の液晶基板2と3とに対面している。
なお、図2(a)で示すガラス板10,13に施工され
ている偏光板9,14は、図2(b)に示す如く、それ
ぞれガラスフランジ53,54に施工してもよく、図1
は後者の場合で示している。また、上側液晶基板2と下
側液晶基板3のそれぞれの透明電極55,56は、取付
け時に配向膜を介して直流電源57とスイッチ58に接
続された電極91,92に接続されるようになってい
る。
ガラスフランジ53が嵌着され、微動ステージ20の中
央部の上部貫通穴には、ガラスフランジ54が嵌着され
ている。ガラスフランジ53,54は、それぞれ隙間を
介して下或いは上の液晶基板2と3とに対面している。
なお、図2(a)で示すガラス板10,13に施工され
ている偏光板9,14は、図2(b)に示す如く、それ
ぞれガラスフランジ53,54に施工してもよく、図1
は後者の場合で示している。また、上側液晶基板2と下
側液晶基板3のそれぞれの透明電極55,56は、取付
け時に配向膜を介して直流電源57とスイッチ58に接
続された電極91,92に接続されるようになってい
る。
【0034】ガラスフランジ54の下方には、レンズ5
9、絞り板60、レンズ61、光源62が設置されてい
る。光源62の光63は、レンズ61によって絞り板6
0の穴64に集光される。レンズ59の焦点位置は穴6
4の位置になるように設定されているため、この穴64
を近似点光源として発せられる光は、レンズ59によっ
て平行光に近くなり、上下の液晶基板2,3を透過し
て、CCDカメラ65で受光されるようになっている。
CCDカメラ65の出力は画像処理装置66で処理さ
れ、この画像処理データがパソコン67に転送されるよ
うになっている。
9、絞り板60、レンズ61、光源62が設置されてい
る。光源62の光63は、レンズ61によって絞り板6
0の穴64に集光される。レンズ59の焦点位置は穴6
4の位置になるように設定されているため、この穴64
を近似点光源として発せられる光は、レンズ59によっ
て平行光に近くなり、上下の液晶基板2,3を透過し
て、CCDカメラ65で受光されるようになっている。
CCDカメラ65の出力は画像処理装置66で処理さ
れ、この画像処理データがパソコン67に転送されるよ
うになっている。
【0035】次に、本液晶評価装置の使用方法と作用と
を、(1)測定準備、(2)液晶ピッチの近似測定、
(3)液晶ピッチの高精度測定、(4)透過率/電圧特
性の測定、の順に従って説明する。
を、(1)測定準備、(2)液晶ピッチの近似測定、
(3)液晶ピッチの高精度測定、(4)透過率/電圧特
性の測定、の順に従って説明する。
【0036】(1) 測定準備 初期状態:上部保持部材29は、矢印a方向に移動
されて、上昇端にある。 テストサンプルのセット:上下の液晶基板2,3を
上部保持部材29と微動ステージ20とにセットする。
このとき、排気穴25,26,21,22を介して真空
引きすることより、液晶基板2,3を吸着する。次に、
下側液晶基板3の表面に液晶材料30を滴下する。 液晶基板の重ね合せ:上部保持部材29を矢印b方
向に移動させて下降端とする。このとき、液晶基板2,
3は微小隙間(ギャップ)δで対面し、液晶材料30は
表面張力によって微小隙間δ内を充満したまま保持され
る。
されて、上昇端にある。 テストサンプルのセット:上下の液晶基板2,3を
上部保持部材29と微動ステージ20とにセットする。
このとき、排気穴25,26,21,22を介して真空
引きすることより、液晶基板2,3を吸着する。次に、
下側液晶基板3の表面に液晶材料30を滴下する。 液晶基板の重ね合せ:上部保持部材29を矢印b方
向に移動させて下降端とする。このとき、液晶基板2,
3は微小隙間(ギャップ)δで対面し、液晶材料30は
表面張力によって微小隙間δ内を充満したまま保持され
る。
【0037】(2) 液晶ピッチの近似値測定 後述する「液晶ピッチの高精度測定」の測定効率を高め
るために、以下の手順で液晶ピッチの近似値測定を行
う。
るために、以下の手順で液晶ピッチの近似値測定を行
う。
【0038】 微動ステージの微回動(傾動):圧電
アクチュエータ38又は40の何れか一方に電圧を印加
して、微動ステージ20を微小傾き角Θとなるまで傾斜
させる。この傾き角Θは、変位計42,43の検出値か
ら算出される。 ディスクリミネーションライン間隔の測定:図3に
示すように、液晶分子鎖68のねじれ角が90°の奇数
倍となる位置で透過率が最小となるため、16,17等
のディスクリミネーションラインが発生する。このディ
スクリミネーションラインの間隔Lは、CCDカメラ6
5の映像を画像処理装置66で濃淡画像処理を施すこと
によって算出される。液晶ピッチの近似値P1 は、前記
第2式で算出される。この第2式の右辺の傾き角Θにお
いては、ガラス板10,13の反りや初期角度設定誤差
も含まれている。
アクチュエータ38又は40の何れか一方に電圧を印加
して、微動ステージ20を微小傾き角Θとなるまで傾斜
させる。この傾き角Θは、変位計42,43の検出値か
ら算出される。 ディスクリミネーションライン間隔の測定:図3に
示すように、液晶分子鎖68のねじれ角が90°の奇数
倍となる位置で透過率が最小となるため、16,17等
のディスクリミネーションラインが発生する。このディ
スクリミネーションラインの間隔Lは、CCDカメラ6
5の映像を画像処理装置66で濃淡画像処理を施すこと
によって算出される。液晶ピッチの近似値P1 は、前記
第2式で算出される。この第2式の右辺の傾き角Θにお
いては、ガラス板10,13の反りや初期角度設定誤差
も含まれている。
【0039】(3) 液晶ピッチの高精度測定 液晶基板の平行設定:圧電アクチュエータ38,4
1に電圧を印加して、微動ステージ20を初期平行状態
に戻す。即ち、図2に示すように、上側液晶基板2と下
側液晶基板3とを平行にする。但し、ここでいう「平
行」とは、厳密な意味での平行ではなく、ガラス板1
0,13の反りや厚みのばらつきや初期角度設定誤差も
含んでいる。 下側液晶基板の高精度平行移動:圧電アクチュエー
タ38,41の印加電圧を除々に変え、且つ微動ステー
ジ20の微動量を変位計42,43でモニターしなが
ら、微動ステージ20を左右の不同差0.1μm以下の
精度でy軸方向に平行移動させる。但し、この微動ステ
ージ20の微動制御は、図示しない制御装置とパソコン
67によって行うものとする。
1に電圧を印加して、微動ステージ20を初期平行状態
に戻す。即ち、図2に示すように、上側液晶基板2と下
側液晶基板3とを平行にする。但し、ここでいう「平
行」とは、厳密な意味での平行ではなく、ガラス板1
0,13の反りや厚みのばらつきや初期角度設定誤差も
含んでいる。 下側液晶基板の高精度平行移動:圧電アクチュエー
タ38,41の印加電圧を除々に変え、且つ微動ステー
ジ20の微動量を変位計42,43でモニターしなが
ら、微動ステージ20を左右の不同差0.1μm以下の
精度でy軸方向に平行移動させる。但し、この微動ステ
ージ20の微動制御は、図示しない制御装置とパソコン
67によって行うものとする。
【0040】 透過光の輝度の極値測定:図2に示す
状態の下側液晶基板3をy軸方向に平行移動したとき
の、図4に示す上側液晶基板2の微小特定エリアS1 の
透過光の輝度レベルを、CCDカメラ65及び画像処理
装置66で測定する。その結果、図5に示すように、液
晶基板2,3間の微小隙間δの変化、即ち微動ステージ
20の移動量に応じて、極大値と極小値とをもって変化
する輝度レベルが測定される。 液晶ピッチ測定:図5に示す極大値と極大値との間
又は極小値と極小値との間の微動ステージ20の移動量
は、液晶ピッチの1/2を表す。
状態の下側液晶基板3をy軸方向に平行移動したとき
の、図4に示す上側液晶基板2の微小特定エリアS1 の
透過光の輝度レベルを、CCDカメラ65及び画像処理
装置66で測定する。その結果、図5に示すように、液
晶基板2,3間の微小隙間δの変化、即ち微動ステージ
20の移動量に応じて、極大値と極小値とをもって変化
する輝度レベルが測定される。 液晶ピッチ測定:図5に示す極大値と極大値との間
又は極小値と極小値との間の微動ステージ20の移動量
は、液晶ピッチの1/2を表す。
【0041】図4に示す上側液晶基板2の微小特定エリ
アS1 と微小特定エリアS2 とにおける液晶基板2,3
の隙間は、ガラス板10,13の反りや初期角度設定誤
差等が原因となって、必ずしも一致しない。このため図
5に実線と破線とで示すように、微小特定エリアS1 と
微小特定エリアS2 とでは輝度の極大値(極小値)の位
相はずれるものの、極大値と極大値との間(又は極小値
と極小値との間)の微動ステージ20の移動量は等しく
なる。従って、微動ステージ20を高精度でy軸方向に
平行移動したときの、上側液晶基板2の特定微小エリア
の輝度の極大値から極大値までの間(又は極小値から極
小値までの間)の移動量を把握すれば、ガラス板10,
13の反りや初期角度設定誤差等の影響を除去して、液
晶ピッチを高精度で測定することができる。
アS1 と微小特定エリアS2 とにおける液晶基板2,3
の隙間は、ガラス板10,13の反りや初期角度設定誤
差等が原因となって、必ずしも一致しない。このため図
5に実線と破線とで示すように、微小特定エリアS1 と
微小特定エリアS2 とでは輝度の極大値(極小値)の位
相はずれるものの、極大値と極大値との間(又は極小値
と極小値との間)の微動ステージ20の移動量は等しく
なる。従って、微動ステージ20を高精度でy軸方向に
平行移動したときの、上側液晶基板2の特定微小エリア
の輝度の極大値から極大値までの間(又は極小値から極
小値までの間)の移動量を把握すれば、ガラス板10,
13の反りや初期角度設定誤差等の影響を除去して、液
晶ピッチを高精度で測定することができる。
【0042】ところで、液晶ピッチを高精度、例えば
0.1μmの誤差で測定しようとする場合、粗くても
0.05μmピッチで微動ステージ20を平行移動させ
たときの微小特定エリアの輝度を評価する必要があり、
従って単に微動ステージ20を0.05μmピッチで平
行移動させるだけでは測定時間が長くなってしまう。
0.1μmの誤差で測定しようとする場合、粗くても
0.05μmピッチで微動ステージ20を平行移動させ
たときの微小特定エリアの輝度を評価する必要があり、
従って単に微動ステージ20を0.05μmピッチで平
行移動させるだけでは測定時間が長くなってしまう。
【0043】しかし、液晶基板2,3の厚さ、初期設定
隙間δを与件として、液晶ピッチの近似値P1 を用いる
ことによって、輝度の極大値(又は極小値)を与える微
動ステージ20の移動座標値を予測することができる。
従って、この予測された移動座標直の前後で、0.05
ピッチで平行移動させて極大値(又は極小値)探索を行
うことにより、測定時間を短縮することができる。即
ち、次のように3段階に分けて輝度の測定を行う。
隙間δを与件として、液晶ピッチの近似値P1 を用いる
ことによって、輝度の極大値(又は極小値)を与える微
動ステージ20の移動座標値を予測することができる。
従って、この予測された移動座標直の前後で、0.05
ピッチで平行移動させて極大値(又は極小値)探索を行
うことにより、測定時間を短縮することができる。即
ち、次のように3段階に分けて輝度の測定を行う。
【0044】第1段階では、微動ステージ20(下側液
晶基板3)の移動速度を大きくして、輝度レベルが最大
(又は最小)となる概略位置を把握する。第2段階で
は、微動ステージ20(下側液晶基板3)の移動速度を
小さくして(0.05以下のピッチで)、輝度レベルが
最大(又は最小)となる位置を正確に把握する。第3段
階では、液晶ピッチの近似値P1 のデータに基づき、微
動ステージ20(下側液晶基板3)を移動速度を大きく
してP1 だけ移動させた後、この位置の前後に移動速度
を小さくして移動させ、輝度レベルが最大(又は最小)
となる位置を正確に把握する。輝度レベルが最大(又は
最小)となる位置から、再び最大(又は最小)となる位
置までの微動ステージ20(下側液晶基板3)の移動距
離、即ち微小隙間δの変化量が正確な液晶ピッチの値と
なる。
晶基板3)の移動速度を大きくして、輝度レベルが最大
(又は最小)となる概略位置を把握する。第2段階で
は、微動ステージ20(下側液晶基板3)の移動速度を
小さくして(0.05以下のピッチで)、輝度レベルが
最大(又は最小)となる位置を正確に把握する。第3段
階では、液晶ピッチの近似値P1 のデータに基づき、微
動ステージ20(下側液晶基板3)を移動速度を大きく
してP1 だけ移動させた後、この位置の前後に移動速度
を小さくして移動させ、輝度レベルが最大(又は最小)
となる位置を正確に把握する。輝度レベルが最大(又は
最小)となる位置から、再び最大(又は最小)となる位
置までの微動ステージ20(下側液晶基板3)の移動距
離、即ち微小隙間δの変化量が正確な液晶ピッチの値と
なる。
【0045】(4) 透過率/電圧特性の測定 従来、透過率/電圧特性の測定は、図7に示したような
クサビ型セル1を用いて液晶ピッチを測定した後に、図
2に示すものと同様な構成のフラット型セルを作成して
行っている。即ち、前述の如く、図2に示す微小隙間δ
に等しい径のプラスティックボールを液晶材料に混入し
て、微小隙間δの均一化を図った後に、透過率/電圧特
性の測定を行っている。そして、この場合には、液晶ピ
ッチの測定誤差のために、微小隙間δの設定が適切でな
く、透過率/電圧特性の測定そのものの信頼性が低下す
る。また、液晶ピッチ測定と透過率/電圧特性測定とが
別行程となる。
クサビ型セル1を用いて液晶ピッチを測定した後に、図
2に示すものと同様な構成のフラット型セルを作成して
行っている。即ち、前述の如く、図2に示す微小隙間δ
に等しい径のプラスティックボールを液晶材料に混入し
て、微小隙間δの均一化を図った後に、透過率/電圧特
性の測定を行っている。そして、この場合には、液晶ピ
ッチの測定誤差のために、微小隙間δの設定が適切でな
く、透過率/電圧特性の測定そのものの信頼性が低下す
る。また、液晶ピッチ測定と透過率/電圧特性測定とが
別行程となる。
【0046】これに対し、本液晶評価装置では、液晶ピ
ッチ測定後、同一行程で、同一の液晶評価装置によって
引き続き透過率/電圧特性の測定を行うことができる。
以下に、その測定手順を説明する。
ッチ測定後、同一行程で、同一の液晶評価装置によって
引き続き透過率/電圧特性の測定を行うことができる。
以下に、その測定手順を説明する。
【0047】 微動ステージの座標設定:図4に示す
微小特定エリアS1 の輝度が極小値となる位置、例えば
図5のCの座標に微動ステージ20を設定する。 電圧印加:図1に示すスイッチ58を導通させ、電
源57の直流電圧(可変)を徐々に上昇させていく。 輝度の測定:印加電圧を上昇させたときの微小特定
エリアS1 の輝度を測定して、印加電圧(V)と微小特
定エリアS1 の輝度との対応をグラフ化し、図6に示す
ような透過率/電圧特性を得る。図6の縦軸の透過率
は、輝度と対応する。 透過率/電圧特性の評価:得られた透過率/電圧特
性から、次のようにコントラスト比等を評価する。 TON/TOFF :コントラスト比 勾配α :シャープネス
微小特定エリアS1 の輝度が極小値となる位置、例えば
図5のCの座標に微動ステージ20を設定する。 電圧印加:図1に示すスイッチ58を導通させ、電
源57の直流電圧(可変)を徐々に上昇させていく。 輝度の測定:印加電圧を上昇させたときの微小特定
エリアS1 の輝度を測定して、印加電圧(V)と微小特
定エリアS1 の輝度との対応をグラフ化し、図6に示す
ような透過率/電圧特性を得る。図6の縦軸の透過率
は、輝度と対応する。 透過率/電圧特性の評価:得られた透過率/電圧特
性から、次のようにコントラスト比等を評価する。 TON/TOFF :コントラスト比 勾配α :シャープネス
【0048】
【発明の効果】以上発明の実施の形態と共に具体的に説
明したように、本発明の液晶評価装置によれば、第1及
び第2の液晶基板と、平行移動手段と、移動量測定手段
と、光源と、輝度測定手段とを備えることにより、クサ
ビ型セル等の作成が不要となって作業が容易になるのは
勿論のこと、ガラス板の反りや角度設定誤差等の影響を
除外して液晶ピッチを高精度で測定することができる。
明したように、本発明の液晶評価装置によれば、第1及
び第2の液晶基板と、平行移動手段と、移動量測定手段
と、光源と、輝度測定手段とを備えることにより、クサ
ビ型セル等の作成が不要となって作業が容易になるのは
勿論のこと、ガラス板の反りや角度設定誤差等の影響を
除外して液晶ピッチを高精度で測定することができる。
【0049】また、傾動手段と、傾き角測定手段と、間
隔測定手段とを備えることにより、高精度な液晶ピッチ
の測定を効率よく行うことができる。
隔測定手段とを備えることにより、高精度な液晶ピッチ
の測定を効率よく行うことができる。
【0050】また、一対の透明電極と、電圧印加手段と
を備えることにより、液晶ピッチ測定後、引き続いて同
一の液晶評価装置によって透過率/電圧特性を測定する
ことができる。このため透過率/電圧特性の測定を効率
よく行うことができる。
を備えることにより、液晶ピッチ測定後、引き続いて同
一の液晶評価装置によって透過率/電圧特性を測定する
ことができる。このため透過率/電圧特性の測定を効率
よく行うことができる。
【0051】そして、上記のような効果によって、液晶
材料特性及び液晶表示性能の評価の信頼性を高めること
ができ、また、液晶材料及び液晶表示装置の開発工数を
低減して開発期間の短縮を図ることができる。
材料特性及び液晶表示性能の評価の信頼性を高めること
ができ、また、液晶材料及び液晶表示装置の開発工数を
低減して開発期間の短縮を図ることができる。
【図1】本発明の実施の形態に係る液晶評価装置の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図2】図1に示す液晶評価装置に備えた液晶基板の構
成図である。
成図である。
【図3】液晶ピッチの近似値測定の説明図である。
【図4】液晶ピッチの高精度測定の説明図である。
【図5】液晶ピッチの高精度測定の説明図である。
【図6】透過率/電圧特性測定の説明図である。
【図7】従来の液晶ピッチ測定に供せられるクサビ型セ
ルの構成と従来の液晶ピッチ測定法の説明図である。
ルの構成と従来の液晶ピッチ測定法の説明図である。
2 上側液晶基板 3 下側液晶基板 9,14 偏光板 10,13 ガラス板 11,12 配向膜 16,17,18 ディスクリミネーションライン 20 微動ステージ 23,24,27,28 凹部 25,26 排気穴 29 上側保持部材 30 液晶材料 31 テストセル 32,33,34,35 y軸方向に可撓性のあるばね
部 36,37,39、40 x軸方向に可撓性のあるばね
部 38,41 圧電アクチュエータ 42,43 変位計 44 基盤部材 45,46,47,48 ストッパー板 49,50 ボールブッシュ 51,52 案内軸 53,54 ガラスフランジ 55,56 透明電極膜 57 直流電源 58 スイッチ 59,61 レンズ 60 絞り板 62 光源 63 光 64 穴 65 CCDカメラ 66 画像処理装置 67 パソコン δ 上側液晶基板と下側液晶基板との隙間 S1 ,S2 微小特定エリア
部 36,37,39、40 x軸方向に可撓性のあるばね
部 38,41 圧電アクチュエータ 42,43 変位計 44 基盤部材 45,46,47,48 ストッパー板 49,50 ボールブッシュ 51,52 案内軸 53,54 ガラスフランジ 55,56 透明電極膜 57 直流電源 58 スイッチ 59,61 レンズ 60 絞り板 62 光源 63 光 64 穴 65 CCDカメラ 66 画像処理装置 67 パソコン δ 上側液晶基板と下側液晶基板との隙間 S1 ,S2 微小特定エリア
Claims (3)
- 【請求項1】 評価対象の液晶材料を入れる微小隙間を
有して対面する第1及び第2の液晶基板と、 これら第1又は第2の液晶基板を略平行に微小移動して
前記微小隙間を変化せしめる平行移動手段と、 この移動手段によって略平行に微小移動される前記第1
又は第2の液晶基板の移動量を測定する移動量測定手段
と、 前記第1又は第2の液晶基板側から光を照射する光源
と、 この光源による光の照射側と反対側に位置する前記第2
又は第1の液晶基板の微小特定エリアの輝度を測定する
輝度測定手段とを備えたことを特徴とする液晶評価装
置。 - 【請求項2】 請求項1に記載する液晶評価装置におい
て、 前記第1又は第2の液晶基板を傾斜せしめる傾動手段
と、 この傾動手段により前記第1又は第2の液晶基板を傾斜
せしめることによって生起する前記第1の液晶基板と第
2の液晶基板とのなす傾き角を測定する傾き角測定手段
と、 前記光源による光の照射側と反対側の前記第2又は第1
の液晶基板に生起するディスクリミネーションラインの
間隔を測定する間隔測定手段とを備えたことを特徴とす
る液晶評価装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載する液晶評価装置
において、 前記第1の液晶基板と第2の液晶基板の透明電極に可変
の直流電圧を印加する電圧印加手段を備えたことを特徴
とする液晶評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22655496A JPH1068672A (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 液晶評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22655496A JPH1068672A (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 液晶評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1068672A true JPH1068672A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16846987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22655496A Withdrawn JPH1068672A (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | 液晶評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1068672A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000333047A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Rohm Co Ltd | 光学的撮像装置および光学的撮像方法 |
| JP2002365162A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Seiko Epson Corp | 光学特性評価装置 |
-
1996
- 1996-08-28 JP JP22655496A patent/JPH1068672A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000333047A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-11-30 | Rohm Co Ltd | 光学的撮像装置および光学的撮像方法 |
| JP2002365162A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Seiko Epson Corp | 光学特性評価装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |