JPH1069637A - ピット露光装置 - Google Patents
ピット露光装置Info
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- JPH1069637A JPH1069637A JP8228173A JP22817396A JPH1069637A JP H1069637 A JPH1069637 A JP H1069637A JP 8228173 A JP8228173 A JP 8228173A JP 22817396 A JP22817396 A JP 22817396A JP H1069637 A JPH1069637 A JP H1069637A
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
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- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光ビームのビーム条件最適化を可能とし、
ピットの再生信号品質向上を可能にすること。 【解決手段】 プリフォーマット信号ａを出力する信号
生成部１０と、レーザビーム１を出力する光源９と、プ
リフォーマット信号ａに基づいてレーザビーム１を変調
する光変調部２と、この光変調部２から出力される露光
ビーム３を回転するフォトレジスト円板７上に集光する
合焦集光手段６とを備えている。また、プリフォーマッ
ト信号ａのパルス幅を予め設定された補正量ΔＴ１，Ｔ
２をもって補正するパルス幅調整回路４と、プリフォー
マット信号ａの信号レベルを予め設定された補正量ΔＰ
１，ΔＰ２をもって補正する信号レベル調整回路５とを
備えた。
ピットの再生信号品質向上を可能にすること。 【解決手段】 プリフォーマット信号ａを出力する信号
生成部１０と、レーザビーム１を出力する光源９と、プ
リフォーマット信号ａに基づいてレーザビーム１を変調
する光変調部２と、この光変調部２から出力される露光
ビーム３を回転するフォトレジスト円板７上に集光する
合焦集光手段６とを備えている。また、プリフォーマッ
ト信号ａのパルス幅を予め設定された補正量ΔＴ１，Ｔ
２をもって補正するパルス幅調整回路４と、プリフォー
マット信号ａの信号レベルを予め設定された補正量ΔＰ
１，ΔＰ２をもって補正する信号レベル調整回路５とを
備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ピット露光装置に
係り、特に、フォトレジスト円板上にプリフォーマット
パターンを露光するピット露光装置に関する。
係り、特に、フォトレジスト円板上にプリフォーマット
パターンを露光するピット露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】φ９０ｍｍ、φ１３０ｍｍＩＳＯ標準連
続サーボ方式（ＣＣＳ）の光ディスクは、オンランドパ
ターンとして、複数のＶグルーブと、これらＶグルーブ
間のランド部分に形成されたプリフォーマット部とを備
えている。
続サーボ方式（ＣＣＳ）の光ディスクは、オンランドパ
ターンとして、複数のＶグルーブと、これらＶグルーブ
間のランド部分に形成されたプリフォーマット部とを備
えている。
【０００３】プリフォーマット部は、長いピットを連ね
た列で構成されるセクターマーク部と、短いピットを連
ねた列で構成されるＶＦＯ，アドレス部とから構成され
る。
た列で構成されるセクターマーク部と、短いピットを連
ねた列で構成されるＶＦＯ，アドレス部とから構成され
る。
【０００４】従来、プリフォーマット部は、露光レーザ
ビームを光変調器等を介してＯＮ／ＯＦＦし、当該断続
的な露光レーザビームを回転するフォトレジスト円板上
に合焦集光することで形成される。
ビームを光変調器等を介してＯＮ／ＯＦＦし、当該断続
的な露光レーザビームを回転するフォトレジスト円板上
に合焦集光することで形成される。
【０００５】しかし、この方法では、形成されるセクタ
マークピットの幅とＶＦＯピットの幅とが異なってしま
うだけでなく、ピット幅が広くなることによりＶグルー
ブ形状を悪くし、信号再生時のトラッキングを不安定に
したり、更に、プリフォーマット部を再生して得られる
ピット信号の変調度も十分とれなくなるという不都合が
あった。
マークピットの幅とＶＦＯピットの幅とが異なってしま
うだけでなく、ピット幅が広くなることによりＶグルー
ブ形状を悪くし、信号再生時のトラッキングを不安定に
したり、更に、プリフォーマット部を再生して得られる
ピット信号の変調度も十分とれなくなるという不都合が
あった。
【０００６】一方、この不都合を解決するためにセクタ
マークピットの露光パワーとＶＦＯピットの露光パワー
を異なる値に設定してプリフォーマットピットの幅をコ
ントロールする方法も提案されている。
マークピットの露光パワーとＶＦＯピットの露光パワー
を異なる値に設定してプリフォーマットピットの幅をコ
ントロールする方法も提案されている。
【０００７】例えば、特開平１−２８６１４３号公報
「光ディスク原盤製造方法および装置」に記載された発
明では、セクタマークピットの露光パワーを小さく、Ｖ
ＦＯピットの露光パワーを大きく設定している。
「光ディスク原盤製造方法および装置」に記載された発
明では、セクタマークピットの露光パワーを小さく、Ｖ
ＦＯピットの露光パワーを大きく設定している。
【０００８】また、特開平５−２９０４１１号公報「光
ディスク原盤製造方法及び製造装置」に記載の発明で
は、セクタマーク部の露光ビーム形状とＶＦＯ部の露光
ビーム形状とを異なる形状に設定する方法が提案されて
いる。即ち、ビーム形状が円形であるセクタマーク用の
露光ビームと、ビーム形状がピットの長さ方向に短軸を
有する楕円形であるＶＦＯ用の露光ビームとを、切り替
えて露光する方法である。これによると、図５下段に示
すようにＶＦＯピットＶＰの信号振幅を幾分大きくする
ことができる。
ディスク原盤製造方法及び製造装置」に記載の発明で
は、セクタマーク部の露光ビーム形状とＶＦＯ部の露光
ビーム形状とを異なる形状に設定する方法が提案されて
いる。即ち、ビーム形状が円形であるセクタマーク用の
露光ビームと、ビーム形状がピットの長さ方向に短軸を
有する楕円形であるＶＦＯ用の露光ビームとを、切り替
えて露光する方法である。これによると、図５下段に示
すようにＶＦＯピットＶＰの信号振幅を幾分大きくする
ことができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者で
は、図３に示すように、セクターマーク部ＳをＶＦＯ部
Ｖよりも大きな露光パワーで露光すると、ＶＦＯピット
ＶＰの幅が狭くなりピット全体も小さくなってしまう。
従って、ＶＦＯピットＶＰの再生信号も図３下段に示す
ように小さくなり、再生信号が不安定になる。
は、図３に示すように、セクターマーク部ＳをＶＦＯ部
Ｖよりも大きな露光パワーで露光すると、ＶＦＯピット
ＶＰの幅が狭くなりピット全体も小さくなってしまう。
従って、ＶＦＯピットＶＰの再生信号も図３下段に示す
ように小さくなり、再生信号が不安定になる。
【００１０】また、図４に示すように、セクターマーク
部Ｓの露光パワーよりもＶＦＯ部Ｖの露光パワーを大き
く設定すると、ＶＦＯピットＶＰが大きくなるので、Ｖ
ＦＯピットＶＰの再生信号は波形干渉を起こして信号振
幅が小さくなり、また、再生信号レベルも図４下段のよ
うに低下する。また、Ｖグルーブの形状も悪化するので
トラッキングにも悪影響を及ぼす。
部Ｓの露光パワーよりもＶＦＯ部Ｖの露光パワーを大き
く設定すると、ＶＦＯピットＶＰが大きくなるので、Ｖ
ＦＯピットＶＰの再生信号は波形干渉を起こして信号振
幅が小さくなり、また、再生信号レベルも図４下段のよ
うに低下する。また、Ｖグルーブの形状も悪化するので
トラッキングにも悪影響を及ぼす。
【００１１】一方、後者では、セクタマーク部の露光パ
ワーとＶＦＯ部の露光パワーとを等しく設定していたか
ら、セクタマークピットが大きくなり当該ピット脇のＶ
グルーブ形状が悪化する不都合があった。また、セクタ
ーマークピット幅が広くなり再生ビームのビーム径に近
づくため、セクタマーク波形の下部に跳ね返りを生じ、
再生信号の振幅が小さくなる不都合があった。更に、Ｖ
ＦＯ部Ｖの露光ビーム形状をピットの長さ方向が短い楕
円ビームとしたから、ＶＦＯピット脇のＶグルーブ形状
を悪くし、再生信号波形を乱す結果としてトラッキング
ノイズ等の増大につながる不都合があった。また、露光
ビームを楕円形状にした場合でもピットの露光時間との
関係があるため露光時間のコントロールを行わない場合
は形成されるピット形状を楕円形状とすることは難しい
不都合があった。
ワーとＶＦＯ部の露光パワーとを等しく設定していたか
ら、セクタマークピットが大きくなり当該ピット脇のＶ
グルーブ形状が悪化する不都合があった。また、セクタ
ーマークピット幅が広くなり再生ビームのビーム径に近
づくため、セクタマーク波形の下部に跳ね返りを生じ、
再生信号の振幅が小さくなる不都合があった。更に、Ｖ
ＦＯ部Ｖの露光ビーム形状をピットの長さ方向が短い楕
円ビームとしたから、ＶＦＯピット脇のＶグルーブ形状
を悪くし、再生信号波形を乱す結果としてトラッキング
ノイズ等の増大につながる不都合があった。また、露光
ビームを楕円形状にした場合でもピットの露光時間との
関係があるため露光時間のコントロールを行わない場合
は形成されるピット形状を楕円形状とすることは難しい
不都合があった。
【００１２】以上要するに、従来の技術においてセクタ
マークより大きなパワーでＶＦＯを露光した場合、ＶＦ
Ｏピットの幅方向が広くなる。また、セクタマークピッ
トとＶＦＯピットのパワーを同じにして、セクタマーク
ピットを円形ビームで露光し、ＶＦＯピットを長さ方向
が短い楕円ビームで露光した場合はセクタマークピット
の幅が広くなるだけでなくＶＦＯピットも幅方向が広い
ピット形状となってしまうため、Ｖグルーブ形状の悪化
を招いてしまいピット長さ方向の最適化を行うことがで
きない。従って、セクタマークピットとＶＦＯピットの
再生信号の信号振幅を大きくすることができない。
マークより大きなパワーでＶＦＯを露光した場合、ＶＦ
Ｏピットの幅方向が広くなる。また、セクタマークピッ
トとＶＦＯピットのパワーを同じにして、セクタマーク
ピットを円形ビームで露光し、ＶＦＯピットを長さ方向
が短い楕円ビームで露光した場合はセクタマークピット
の幅が広くなるだけでなくＶＦＯピットも幅方向が広い
ピット形状となってしまうため、Ｖグルーブ形状の悪化
を招いてしまいピット長さ方向の最適化を行うことがで
きない。従って、セクタマークピットとＶＦＯピットの
再生信号の信号振幅を大きくすることができない。
【００１３】露光ビームのビーム条件を最適化すること
によりピット再生信号品質を良好にするピット露光方法
を提供する。
によりピット再生信号品質を良好にするピット露光方法
を提供する。
【００１４】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、特に、露光ビームのビーム条件最適化を可能
とし、ピットの再生信号品質向上を可能にするピット露
光装置を提供することを、その目的とする。
を改善し、特に、露光ビームのビーム条件最適化を可能
とし、ピットの再生信号品質向上を可能にするピット露
光装置を提供することを、その目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、プリフォーマット信号を
出力する信号生成部と、レーザビームを出力する光源
と、プリフォーマット信号に基づいてレーザビームを変
調する光変調部と、この光変調部から出力される露光ビ
ームを回転するフォトレジスト円板上に集光する合焦集
光手段とを備えている。また、プリフォーマット信号の
パルス幅を予め設定された補正量をもって補正するパル
ス幅調整回路と、プリフォーマット信号の信号レベルを
予め設定された補正量をもって補正する信号レベル調整
回路とを備えた、という構成を採っている。
め、請求項１記載の発明では、プリフォーマット信号を
出力する信号生成部と、レーザビームを出力する光源
と、プリフォーマット信号に基づいてレーザビームを変
調する光変調部と、この光変調部から出力される露光ビ
ームを回転するフォトレジスト円板上に集光する合焦集
光手段とを備えている。また、プリフォーマット信号の
パルス幅を予め設定された補正量をもって補正するパル
ス幅調整回路と、プリフォーマット信号の信号レベルを
予め設定された補正量をもって補正する信号レベル調整
回路とを備えた、という構成を採っている。
【００１６】本発明では、既製のプリフォーマット信号
のパルス幅がパルス幅調整回路において補正され、信号
レベルが信号レベル調整回路において補正された後、当
該補正後の信号が光変更部に入力され、露光パワー及び
出力時間の補正された露光ビームがフォトレジスト基板
上に集光されて、セクタマークピット及びＶＦＯピット
の露光が行われる。
のパルス幅がパルス幅調整回路において補正され、信号
レベルが信号レベル調整回路において補正された後、当
該補正後の信号が光変更部に入力され、露光パワー及び
出力時間の補正された露光ビームがフォトレジスト基板
上に集光されて、セクタマークピット及びＶＦＯピット
の露光が行われる。
【００１７】請求項２記載の発明では、パルス幅調整回
路は、入力されるプリフォーマット信号がセクタマーク
部である場合とＶＦＯ部である場合とで補正量を異なる
値に設定する切替回路を備えている、という構成を採っ
ている。
路は、入力されるプリフォーマット信号がセクタマーク
部である場合とＶＦＯ部である場合とで補正量を異なる
値に設定する切替回路を備えている、という構成を採っ
ている。
【００１８】本発明では、パルス幅調整回路に入力され
るプリフォーマット信号がセクタマーク部からＶＦＯ部
に切り替わると、切替回路によりパルス幅の補正量が切
り替えられる。
るプリフォーマット信号がセクタマーク部からＶＦＯ部
に切り替わると、切替回路によりパルス幅の補正量が切
り替えられる。
【００１９】請求項３記載の発明では、信号レベル調整
回路は、入力されるプリフォーマット信号がセクタマー
ク部である場合とＶＦＯ部である場合とで補正量を異な
る値に設定する切替回路を備えている、という構成を採
っている。
回路は、入力されるプリフォーマット信号がセクタマー
ク部である場合とＶＦＯ部である場合とで補正量を異な
る値に設定する切替回路を備えている、という構成を採
っている。
【００２０】本発明では、信号レベル調整回路に入力さ
れるプリフォーマット信号がセクタマーク部からＶＦＯ
部に切り替わると、切替回路により信号レベルの補正量
が切り替えられる。
れるプリフォーマット信号がセクタマーク部からＶＦＯ
部に切り替わると、切替回路により信号レベルの補正量
が切り替えられる。
【００２１】これらにより、前述した目的を達成しよう
とするものである。
とするものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図２に基づいて説明する。
乃至図２に基づいて説明する。
【００２３】図１に示すピット露光装置は、光源９から
照射されたレーザビーム１を光変調する光変調器２と、
信号生成部１０から出力されるピット信号ａ（プリフォ
ーマット信号）のパルス幅を調整するパルス幅調整回路
４と、このパルス幅調整回路４から出力されるパルス幅
補正後信号ｂの信号レベルを調整したレベル補正後信号
ｃを出力する信号レベル調整回路５とを備えている。ま
た、レベル補正後信号ｃに応じてレーザビーム１を光変
調し、所定の露光パワーを有する露光ビーム３を断続的
に出力する光変調部２と、露光ビーム３をミラーを介し
てスピンドル８上のフォトレジスト円板７に合焦集光す
る合焦集光手段６とを備えている。
照射されたレーザビーム１を光変調する光変調器２と、
信号生成部１０から出力されるピット信号ａ（プリフォ
ーマット信号）のパルス幅を調整するパルス幅調整回路
４と、このパルス幅調整回路４から出力されるパルス幅
補正後信号ｂの信号レベルを調整したレベル補正後信号
ｃを出力する信号レベル調整回路５とを備えている。ま
た、レベル補正後信号ｃに応じてレーザビーム１を光変
調し、所定の露光パワーを有する露光ビーム３を断続的
に出力する光変調部２と、露光ビーム３をミラーを介し
てスピンドル８上のフォトレジスト円板７に合焦集光す
る合焦集光手段６とを備えている。
【００２４】信号生成部１０からは、セクタマーク部の
形成信号とＶＦＯ部の形成信号がピット信号ａとして連
続的に出力されるとともに、セクタマーク部の形成信号
の出力中とＶＦＯ部の形成信号の出力中とを区別するた
めの信号（切替信号）ＳK が同時に出力されるようにな
っている。ここで、ピット信号ａは、信号生成部１０
（ピットパターン発生器）からのディジタル信号であ
る。
形成信号とＶＦＯ部の形成信号がピット信号ａとして連
続的に出力されるとともに、セクタマーク部の形成信号
の出力中とＶＦＯ部の形成信号の出力中とを区別するた
めの信号（切替信号）ＳK が同時に出力されるようにな
っている。ここで、ピット信号ａは、信号生成部１０
（ピットパターン発生器）からのディジタル信号であ
る。
【００２５】また、パルス幅調整回路４には、セクタマ
ーク部の形成信号のパルス幅を補正するためのセクタマ
ークパルス幅補正量ΔＴ１と、ＶＦＯ部の形成信号のパ
ルス幅を補正するためのＶＦＯパルス幅補正量ΔＴ２と
が各別に予め設定されており、信号生成部１０から出力
される切替信号ＳK に応じて補正量ΔＴ１，ΔＴ２を切
り替える切替回路を具備している。また、各補正量ΔＴ
１，ΔＴ２は、可変抵抗器による設定変更が可能となっ
ている。
ーク部の形成信号のパルス幅を補正するためのセクタマ
ークパルス幅補正量ΔＴ１と、ＶＦＯ部の形成信号のパ
ルス幅を補正するためのＶＦＯパルス幅補正量ΔＴ２と
が各別に予め設定されており、信号生成部１０から出力
される切替信号ＳK に応じて補正量ΔＴ１，ΔＴ２を切
り替える切替回路を具備している。また、各補正量ΔＴ
１，ΔＴ２は、可変抵抗器による設定変更が可能となっ
ている。
【００２６】一方、信号レベル調整回路５には、セクタ
マーク部の形成信号の信号レベルを補正するためのセク
タマークパルス幅補正量ΔＰ１と、ＶＦＯ部の形成信号
の信号レベルを補正するためのＶＦＯ信号レベル補正量
ΔＰ２とが各別に予め設定されており、信号生成部１０
から出力される切替信号ＳK に応じて補正量ΔＰ１，Δ
Ｐ２を切り替える切替回路を具備している。また、各補
正量ΔＰ１，ΔＰ２は、可変抵抗器による設定変更が可
能となっている。
マーク部の形成信号の信号レベルを補正するためのセク
タマークパルス幅補正量ΔＰ１と、ＶＦＯ部の形成信号
の信号レベルを補正するためのＶＦＯ信号レベル補正量
ΔＰ２とが各別に予め設定されており、信号生成部１０
から出力される切替信号ＳK に応じて補正量ΔＰ１，Δ
Ｐ２を切り替える切替回路を具備している。また、各補
正量ΔＰ１，ΔＰ２は、可変抵抗器による設定変更が可
能となっている。
【００２７】また、光変調部２には、例えばＡ／Ｏ変換
器を用いることができる。合焦集光手段６は、公知のフ
ォーカスサーボ手段を使用した光ヘッド等を用いること
ができる。
器を用いることができる。合焦集光手段６は、公知のフ
ォーカスサーボ手段を使用した光ヘッド等を用いること
ができる。
【００２８】次に、本実施形態の動作を説明する。
【００２９】フォトレジスト円板７をスピンドル８によ
り例えばＣＡＶで回転させ、円板７の内周から外周に向
けてピットを露光する。このとき、従来一般的なように
露光半径位置に対する円板７の線速度に応じて信号生成
部１０から出力されるピット信号ａの制御が行われるも
のとする。
り例えばＣＡＶで回転させ、円板７の内周から外周に向
けてピットを露光する。このとき、従来一般的なように
露光半径位置に対する円板７の線速度に応じて信号生成
部１０から出力されるピット信号ａの制御が行われるも
のとする。
【００３０】信号生成部１０からピット信号ａが出力さ
れると、ピット信号ａは、パルス幅調整回路４に入力さ
れ、信号生成部１０からの切替信号ＳK に応じた所定の
補正量をもって所定のパルス幅に補正された後、パルス
幅補正後信号ｂとして出力され、信号レベル調整回路５
への入力信号となる。パルス幅補正後信号ｂが信号レベ
ル調整回路５に入力されると、信号生成部１０からの切
替信号ＳK に応じた所定の補正量をもって所定の信号レ
ベルに補正された後、Ｄ／Ａ変換されたレベル補正後信
号ｃとして出力され、駆動電圧信号として光変調部２に
印加される。
れると、ピット信号ａは、パルス幅調整回路４に入力さ
れ、信号生成部１０からの切替信号ＳK に応じた所定の
補正量をもって所定のパルス幅に補正された後、パルス
幅補正後信号ｂとして出力され、信号レベル調整回路５
への入力信号となる。パルス幅補正後信号ｂが信号レベ
ル調整回路５に入力されると、信号生成部１０からの切
替信号ＳK に応じた所定の補正量をもって所定の信号レ
ベルに補正された後、Ｄ／Ａ変換されたレベル補正後信
号ｃとして出力され、駆動電圧信号として光変調部２に
印加される。
【００３１】そして、露光ビーム３は、パルス幅補正と
信号レベル補正のなされたＯＮ／ＯＦＦ信号として出力
され、合焦集光手段６を介し、スピンドル８によりＣＡ
Ｖ回転されたフォトレジスト円板７上に絞り込まれる。
これにより、ピットの露光が行われる。
信号レベル補正のなされたＯＮ／ＯＦＦ信号として出力
され、合焦集光手段６を介し、スピンドル８によりＣＡ
Ｖ回転されたフォトレジスト円板７上に絞り込まれる。
これにより、ピットの露光が行われる。
【００３２】図２は、図１で示したパルス幅調整回路４
と信号レベル調整回路５の動作を説明するためのタイミ
ング図であり、ピット信号ａ、パルス幅補正信号ｂ、レ
ベル補正後信号ｃのタイミングを示している。ここに、
ピット信号ａは、セクタマーク信号領域Ｔ１とＶＦＯ領
域Ｔ２とで構成される。
と信号レベル調整回路５の動作を説明するためのタイミ
ング図であり、ピット信号ａ、パルス幅補正信号ｂ、レ
ベル補正後信号ｃのタイミングを示している。ここに、
ピット信号ａは、セクタマーク信号領域Ｔ１とＶＦＯ領
域Ｔ２とで構成される。
【００３３】パルス幅調整回路４は、ピット信号ａ及び
切替信号ＳK が入力されると、セクタマーク信号領域Ｔ
１ではセクタマークパルス幅を補正量△Ｔ１で補正す
る。また、ＶＦＯ信号領域Ｔ２ではＶＦＯパルス幅を補
正量△Ｔ２で補正する。そして、パルス幅補正後信号ｂ
を出力する。
切替信号ＳK が入力されると、セクタマーク信号領域Ｔ
１ではセクタマークパルス幅を補正量△Ｔ１で補正す
る。また、ＶＦＯ信号領域Ｔ２ではＶＦＯパルス幅を補
正量△Ｔ２で補正する。そして、パルス幅補正後信号ｂ
を出力する。
【００３４】一方、信号レベル調整回路５は、パルス幅
補正信号ｂ及び切替信号ＳK が入力されると、セクタマ
ーク信号レベルＰを補正量ΔＰ１で補正する（図２では
ΔＰ１＝０である）。また、ＶＦＯ信号レベルを、セク
タマーク信号レベルＰにＶＦＯ信号レベル補正量△Ｐを
加えた値Ｐ＋△Ｐに補正する。そして、レベル補正後信
号ｃを出力する。
補正信号ｂ及び切替信号ＳK が入力されると、セクタマ
ーク信号レベルＰを補正量ΔＰ１で補正する（図２では
ΔＰ１＝０である）。また、ＶＦＯ信号レベルを、セク
タマーク信号レベルＰにＶＦＯ信号レベル補正量△Ｐを
加えた値Ｐ＋△Ｐに補正する。そして、レベル補正後信
号ｃを出力する。
【００３５】これによると、ピット信号ａにパルス幅補
正と信号レベル補正を行うことにより露光ビーム３はピ
ットの長さ方向の制御と幅方向の制御が可能となるため
ＩＳＯ標準のオンランドパターンにおけるＶグルーブ形
状の悪化を防ぐと共に再生して得られるＶＦＯピット信
号振幅の最適化を図ることが可能となる。
正と信号レベル補正を行うことにより露光ビーム３はピ
ットの長さ方向の制御と幅方向の制御が可能となるため
ＩＳＯ標準のオンランドパターンにおけるＶグルーブ形
状の悪化を防ぐと共に再生して得られるＶＦＯピット信
号振幅の最適化を図ることが可能となる。
【００３６】ここで、信号レベル調整回路５とパルス幅
調整回路４の接続順は逆でも良い。
調整回路４の接続順は逆でも良い。
【００３７】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、原盤パターンの再生信号品質を
良好にすることが可能となる。その理由は、ピット信号
に対しパルス幅補正と信号レベル補正を行い、当該補正
後の信号に応じて光変調した露光ビームによりピット幅
とピット長さの最適化が可能になるからである。従っ
て、ＩＳＯ標準のオンランドパターンにおけるＶグルー
ブ形状への影響を小さくすることが可能となり、再生し
て得られるＶＦＯ信号振幅を良好とすることも可能とな
る。特に、セクタマーク部とＶＦＯ部とで補正量を異な
る値に設定する場合は、Ｖグルーブ形状への影響をより
小さくすることが可能となり、再生して得られるＶＦＯ
信号振幅もより良好とすることが可能となる、という従
来にない優れたピット露光装置を提供することができ
る。
るので、これによると、原盤パターンの再生信号品質を
良好にすることが可能となる。その理由は、ピット信号
に対しパルス幅補正と信号レベル補正を行い、当該補正
後の信号に応じて光変調した露光ビームによりピット幅
とピット長さの最適化が可能になるからである。従っ
て、ＩＳＯ標準のオンランドパターンにおけるＶグルー
ブ形状への影響を小さくすることが可能となり、再生し
て得られるＶＦＯ信号振幅を良好とすることも可能とな
る。特に、セクタマーク部とＶＦＯ部とで補正量を異な
る値に設定する場合は、Ｖグルーブ形状への影響をより
小さくすることが可能となり、再生して得られるＶＦＯ
信号振幅もより良好とすることが可能となる、という従
来にない優れたピット露光装置を提供することができ
る。
【図１】本発明の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１で示したパルス幅調整回路と信号レベル調
整回路の動作を説明するためのタイミング図である。
整回路の動作を説明するためのタイミング図である。
【図３】従来例の課題を示すための説明図である。
【図４】他の従来例の課題を示すための説明図である。
【図５】更に他の従来例の課題を示すための説明図であ
る。
る。
１ レーザビーム ２ 光変調部 ３ 露光ビーム ４ パルス幅調整回路 ５ 信号レベル調整回路 ６ 合焦集光手段 ７ フォトレジスト円板 ８ スピンドル ９ 光源 １０ 信号生成部 ａ ピット信号 ｂ パルス幅補正後信号 ｃ レベル補正後信号 Ｐ ピット信号レベル Ｔ１ セクタマーク信号領域 Ｔ２ ＶＦＯ信号領域 △Ｐ ＶＦＯ信号レベル補正量 △Ｔ１ セクタマークパルス幅補正量 △Ｔ２ ＶＦＯパルス幅補正量 ＳK 切替信号
Claims (3)
- 【請求項１】 プリフォーマット信号を出力する信号生
成部と、レーザビームを出力する光源と、前記プリフォ
ーマット信号に基づいて前記レーザビームを変調する光
変調部と、この光変調部から出力される露光ビームを回
転するフォトレジスト円板上に集光する合焦集光手段と
を備えたピット露光装置において、 前記プリフォーマット信号のパルス幅を予め設定された
補正量をもって補正するパルス幅調整回路と、前記プリ
フォーマット信号の信号レベルを予め設定された補正量
をもって補正する信号レベル調整回路とを備えたことを
特徴とするピット露光装置。 - 【請求項２】 前記パルス幅調整回路は、入力されるプ
リフォーマット信号がセクタマーク部である場合とＶＦ
Ｏ部である場合とで前記補正量を異なる値に設定する切
替回路を備えていることを特徴とした請求項１記載のピ
ット露光装置。 - 【請求項３】 前記信号レベル調整回路は、入力される
プリフォーマット信号がセクタマーク部である場合とＶ
ＦＯ部である場合とで前記補正量を異なる値に設定する
切替回路を備えていることを特徴とした請求項１記載の
ピット露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228173A JPH1069637A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | ピット露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228173A JPH1069637A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | ピット露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1069637A true JPH1069637A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16872370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8228173A Pending JPH1069637A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | ピット露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1069637A (ja) |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP8228173A patent/JPH1069637A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981027 |