JPH1073794A - 光信号の波長選択用偏光独立型同調可能音響光導波路デバイス - Google Patents
光信号の波長選択用偏光独立型同調可能音響光導波路デバイスInfo
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- JPH1073794A JPH1073794A JP9164087A JP16408797A JPH1073794A JP H1073794 A JPH1073794 A JP H1073794A JP 9164087 A JP9164087 A JP 9164087A JP 16408797 A JP16408797 A JP 16408797A JP H1073794 A JPH1073794 A JP H1073794A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光リトグラフ・マスクの位置決めに高い精度
が要求され、陽子交換プロセスの諸パラメータは公差が
小さい。更に、偏光子のスペクトル特性における時間的
な不安定が観察された。TM通過型またはTE通過型の
いずれの偏光子の製造も、偏光子のタイプごとに異なり
かつ音響光デバイスの他の構成要素の製造に要するもの
と異なる特定のプロセス工程を必要とし、製造プロセス
が長く複雑なものになる。 【解決手段】 2つの偏光変換段(3、103)と、1
つの偏光選択入力要素(4)と、1つの偏光選択出力要
素(105)と、第1の変換段(3)の出力と第2の変
換段(103)の入力とに配置された2つの中間偏光選
択要素(5、104)とをそれぞれ備え、中間偏光選択
要素(5、104)が、一緒に接続された分岐(18、
110)に対して反対側に配置された一緒に接続された
2つの分岐(18、110)と一緒に接続されない2つ
の分岐(16、111)とを有する光信号の波長選択の
ための音響光導波路デバイス。
が要求され、陽子交換プロセスの諸パラメータは公差が
小さい。更に、偏光子のスペクトル特性における時間的
な不安定が観察された。TM通過型またはTE通過型の
いずれの偏光子の製造も、偏光子のタイプごとに異なり
かつ音響光デバイスの他の構成要素の製造に要するもの
と異なる特定のプロセス工程を必要とし、製造プロセス
が長く複雑なものになる。 【解決手段】 2つの偏光変換段(3、103)と、1
つの偏光選択入力要素(4)と、1つの偏光選択出力要
素(105)と、第1の変換段(3)の出力と第2の変
換段(103)の入力とに配置された2つの中間偏光選
択要素(5、104)とをそれぞれ備え、中間偏光選択
要素(5、104)が、一緒に接続された分岐(18、
110)に対して反対側に配置された一緒に接続された
2つの分岐(18、110)と一緒に接続されない2つ
の分岐(16、111)とを有する光信号の波長選択の
ための音響光導波路デバイス。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光信号の波長選択
のための偏光独立型同調可能な音響光導波路装置(po
larization independent,tu
nable,acousto−optical wav
eguide device)に関する。
のための偏光独立型同調可能な音響光導波路装置(po
larization independent,tu
nable,acousto−optical wav
eguide device)に関する。
【0002】
【従来の技術】波長分離多重化(wavelength
−division multiplexing;WD
M)による遠隔通信回路網においては、相互に独立的な
複数の光送信信号あるいは幾つかのチャンネルが、通常
は光ファイバからなる同じ回線で送信される。波長多重
化は、異なる波長での信号の同時の送信に存在する。送
信信号またはチャンネルは、ディジタルかアナログのい
ずれかであり得、これらは、その各々が特定の波長と関
連させられるので相互に弁別される。受信局において
は、個々の送信信号またはチャンネルを分離するため、
チャンネルの波長を中心としかつ隣接チャンネルをブロ
ックするに充分に狭い波長帯域を送信することが可能な
フィルタが用いられる。
−division multiplexing;WD
M)による遠隔通信回路網においては、相互に独立的な
複数の光送信信号あるいは幾つかのチャンネルが、通常
は光ファイバからなる同じ回線で送信される。波長多重
化は、異なる波長での信号の同時の送信に存在する。送
信信号またはチャンネルは、ディジタルかアナログのい
ずれかであり得、これらは、その各々が特定の波長と関
連させられるので相互に弁別される。受信局において
は、個々の送信信号またはチャンネルを分離するため、
チャンネルの波長を中心としかつ隣接チャンネルをブロ
ックするに充分に狭い波長帯域を送信することが可能な
フィルタが用いられる。
【0003】複屈折および光弾性材料の基板と表面弾性
波(surface acoustical wave
s:SAW)を生成可能な少なくとも1つの電気音響ト
ランスジューサにおいて得られる光導波路を含む集積さ
れた音響光デバイスが公知である。これらの動作は、光
導波路内を伝播する偏光光信号と基板面上を伝播する音
響波間の相互作用に基いている。
波(surface acoustical wave
s:SAW)を生成可能な少なくとも1つの電気音響ト
ランスジューサにおいて得られる光導波路を含む集積さ
れた音響光デバイスが公知である。これらの動作は、光
導波路内を伝播する偏光光信号と基板面上を伝播する音
響波間の相互作用に基いている。
【0004】このような音響光デバイスは、波長選択の
ために用いることができる(音響光フィルタ)。実際に
は、音波の周波数を制御することにより、フィルタ帯域
の中心波長を同調することが可能である。このことは、
例えば波長分離多重化による光遠隔通信回路網における
チャンネルに音波を適合させる。
ために用いることができる(音響光フィルタ)。実際に
は、音波の周波数を制御することにより、フィルタ帯域
の中心波長を同調することが可能である。このことは、
例えば波長分離多重化による光遠隔通信回路網における
チャンネルに音波を適合させる。
【0005】これらの音響光フィルタはまた、異なるチ
ャンネルの同時選択をも許容する。基板面を伝播する音
波(acoustical wave)が異なる周波数
における音波の重なりであるならば、フィルタは、音波
の周波数により決定される異なる波長間隔のセットに対
応する多数の通過帯域を呈する。このような周波数の適
切な選択により、選択されたチャンネルに対応する所望
の波長のみを送信するようにフィルタを制御することが
可能である。
ャンネルの同時選択をも許容する。基板面を伝播する音
波(acoustical wave)が異なる周波数
における音波の重なりであるならば、フィルタは、音波
の周波数により決定される異なる波長間隔のセットに対
応する多数の通過帯域を呈する。このような周波数の適
切な選択により、選択されたチャンネルに対応する所望
の波長のみを送信するようにフィルタを制御することが
可能である。
【0006】特に、同調可能なフィルタは、チャンネル
選択を変化することを可能にする。
選択を変化することを可能にする。
【0007】「Journal of Lightwa
ve Technology」の1994年7月第12
巻、第7部1192〜1197ページにおいて、Tia
n等は、偏光独立型の集積された同調可能2段音響光フ
ィルタについて述べている。
ve Technology」の1994年7月第12
巻、第7部1192〜1197ページにおいて、Tia
n等は、偏光独立型の集積された同調可能2段音響光フ
ィルタについて述べている。
【0008】この音響光フィルタは、複屈折ニオブ酸リ
チウム(LiNbO3)の基板を含む。TE通過型およ
びTM通過型の偏光子(polarizer)は、2つ
の平行な導波路に沿って作られる。電気音響トランスジ
ューサが関連させられる音響導波路は、各偏光子を含む
光導波路を含む。1つが入力側にあり1つが出力側にあ
り、直交偏光成分を分け再び組合わせることが可能であ
る2つの偏光スプリッタが、光導波路に接続されてい
る。
チウム(LiNbO3)の基板を含む。TE通過型およ
びTM通過型の偏光子(polarizer)は、2つ
の平行な導波路に沿って作られる。電気音響トランスジ
ューサが関連させられる音響導波路は、各偏光子を含む
光導波路を含む。1つが入力側にあり1つが出力側にあ
り、直交偏光成分を分け再び組合わせることが可能であ
る2つの偏光スプリッタが、光導波路に接続されてい
る。
【0009】TM通過偏光子(TM−pass pol
arizer)は、特に、光導波路に両側で隣接する
1.5mmの長さ領域を含み、これにおいては異常屈折
率が基板の残部におけるよりも大きい。伝播が前記異常
屈折率(extraordinary refract
ive index)により影響を受けるTE偏光成分
は全く導波されないが、伝播が正常屈折率により影響を
受けるTM偏光成分は構造部を通過することができる。
arizer)は、特に、光導波路に両側で隣接する
1.5mmの長さ領域を含み、これにおいては異常屈折
率が基板の残部におけるよりも大きい。伝播が前記異常
屈折率(extraordinary refract
ive index)により影響を受けるTE偏光成分
は全く導波されないが、伝播が正常屈折率により影響を
受けるTM偏光成分は構造部を通過することができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】異常屈折率における増
加は、陽子の交換によって得られる。この手法は、可能
な以後のサーマル・アニール工程(thermal a
nnealing step)において基板のLi+イ
オンの一部のH+での置換を生じるように、光リトグラ
フ・マスクを用いること、および予め選択された時間上
記領域を適切な温度の酸溶液に接触させることにある。
加は、陽子の交換によって得られる。この手法は、可能
な以後のサーマル・アニール工程(thermal a
nnealing step)において基板のLi+イ
オンの一部のH+での置換を生じるように、光リトグラ
フ・マスクを用いること、および予め選択された時間上
記領域を適切な温度の酸溶液に接触させることにある。
【0011】特に、上記のデバイスにおいては、陽子の
交換は、250℃の希釈した安息香酸中において15.
5時間で行われ、その後330℃で4時間サーマル・ア
ニールが行われる。
交換は、250℃の希釈した安息香酸中において15.
5時間で行われ、その後330℃で4時間サーマル・ア
ニールが行われる。
【0012】幅が20μmで長さが1.5mmのTE通
過偏光子は、17nmのY2O3と100nmのAlのサ
ンドイッチ層からなる。この層は、光導波路の表面に真
空蒸着される。このような構造では、TM偏光成分は強
く減衰された表面プラズマ波を励起して損失を生じる
が、TE偏光成分は僅かに影響を受けるのみである。
過偏光子は、17nmのY2O3と100nmのAlのサ
ンドイッチ層からなる。この層は、光導波路の表面に真
空蒸着される。このような構造では、TM偏光成分は強
く減衰された表面プラズマ波を励起して損失を生じる
が、TE偏光成分は僅かに影響を受けるのみである。
【0013】本出願人により行われた実験は、陽子交換
による偏光子の製造が非常に厳しいことを示した。特
に、光リトグラフ・マスクの位置決めに高い精度が要求
される。更に、陽子交換プロセスの諸パラメータは公差
が小さい。
による偏光子の製造が非常に厳しいことを示した。特
に、光リトグラフ・マスクの位置決めに高い精度が要求
される。更に、陽子交換プロセスの諸パラメータは公差
が小さい。
【0014】更に、偏光子のスペクトル特性における時
間的な不安定が観察された。
間的な不安定が観察された。
【0015】更にまた、TM通過型またはTE通過型の
いずれの偏光子の製造も、偏光子のタイプごとに異なり
かつ音響光デバイスの他の構成要素の製造に要するもの
と異なる特定のプロセス工程を必要とする。このこと
は、製造プロセスを長く複雑なものにする。
いずれの偏光子の製造も、偏光子のタイプごとに異なり
かつ音響光デバイスの他の構成要素の製造に要するもの
と異なる特定のプロセス工程を必要とする。このこと
は、製造プロセスを長く複雑なものにする。
【0016】米国特許出願第5,002,349号は、
同一のx−カットLiNbO3基板上に作られた2つの
カスケード状の1段偏光独立型フィルタを含む周波数不
変音響光デバイスに関するものである。第1段の出力に
結合された1つの第1の導波路は、1mmの間隔で導波
路を単に遮断する如き光遮蔽部で終る。第2の導波路
は、各段間に連続している。第2段の入力に結合された
第3の導波路は、光遮蔽部に近い端部を有する。この第
3の導波路は、ゼロ信号を有すると言われる。
同一のx−カットLiNbO3基板上に作られた2つの
カスケード状の1段偏光独立型フィルタを含む周波数不
変音響光デバイスに関するものである。第1段の出力に
結合された1つの第1の導波路は、1mmの間隔で導波
路を単に遮断する如き光遮蔽部で終る。第2の導波路
は、各段間に連続している。第2段の入力に結合された
第3の導波路は、光遮蔽部に近い端部を有する。この第
3の導波路は、ゼロ信号を有すると言われる。
【0017】しかし、本出願人は、当該デバイスでは、
光吸収部(optical absorber)が存在
する場合でさえ、導波路端部間の短い距離のゆえにスプ
リアス(spurious)光信号の結合が前記第1と
第3の導波路間に生じる結果となることを観察した。
光吸収部(optical absorber)が存在
する場合でさえ、導波路端部間の短い距離のゆえにスプ
リアス(spurious)光信号の結合が前記第1と
第3の導波路間に生じる結果となることを観察した。
【0018】
【課題を解決するための手段】複屈折および光弾性材料
の基板を含む光信号の波長選択のための偏光独立型の同
調可能な音響光導波路デバイスにより上記の短所の克服
が可能であることが判った。この基板上には、 a)予め選択された波長の少なくとも1つの光信号の第
1および第2の偏光変換段と、 b)前記第1の偏光変換段の入力と前記第2の偏光変換
段の出力とにそれぞれ接続された偏光選択入力導波路要
素と偏光選択出力導波路要素と、 c)前記第1の偏光変換段の出力と前記第2の偏光変換
段の入力とにそれぞれ接続された第1および第2の中間
偏光選択導波路要素と、が形成される偏光独立型同調可
能音響光導波路デバイスであって、 d)前記中間偏光選択導波路要素が、一緒に接続された
2つの分岐と、一緒には接続されず基板で終る2つの分
岐とを有し、一緒に接続されないこれら2つの分岐が一
緒に接続された前記2つの分岐とは反対側に配置される
ことを特徴とする。むしろ、前記第1および第2の偏光
変換段が互いにコリニア(collinear)でな
い。
の基板を含む光信号の波長選択のための偏光独立型の同
調可能な音響光導波路デバイスにより上記の短所の克服
が可能であることが判った。この基板上には、 a)予め選択された波長の少なくとも1つの光信号の第
1および第2の偏光変換段と、 b)前記第1の偏光変換段の入力と前記第2の偏光変換
段の出力とにそれぞれ接続された偏光選択入力導波路要
素と偏光選択出力導波路要素と、 c)前記第1の偏光変換段の出力と前記第2の偏光変換
段の入力とにそれぞれ接続された第1および第2の中間
偏光選択導波路要素と、が形成される偏光独立型同調可
能音響光導波路デバイスであって、 d)前記中間偏光選択導波路要素が、一緒に接続された
2つの分岐と、一緒には接続されず基板で終る2つの分
岐とを有し、一緒に接続されないこれら2つの分岐が一
緒に接続された前記2つの分岐とは反対側に配置される
ことを特徴とする。むしろ、前記第1および第2の偏光
変換段が互いにコリニア(collinear)でな
い。
【0019】本文および特許請求の範囲において用いら
れる如き用語「コリニアでない(not collin
ear)」とは、前記第1および第2の偏光変換段が直
線に整合されないことを意味する。望ましくは、これら
の段は相互に平行に側方にずらされている。
れる如き用語「コリニアでない(not collin
ear)」とは、前記第1および第2の偏光変換段が直
線に整合されないことを意味する。望ましくは、これら
の段は相互に平行に側方にずらされている。
【0020】本発明により提供される光信号の波長選択
のための音響光導波路デバイスの主な利点の1つは、全
ての光学的構成要素が光導波路構成要素でありかつこれ
により1つの工程で同時に形成される非常に簡単な製造
プロセスにより得ることができることにある。
のための音響光導波路デバイスの主な利点の1つは、全
ての光学的構成要素が光導波路構成要素でありかつこれ
により1つの工程で同時に形成される非常に簡単な製造
プロセスにより得ることができることにある。
【0021】本発明によるデバイスの他の利点は、この
デバイスが拡張された同調範囲を持ち、かつ時間的に非
常に安定であるスペクトル特性を呈することにある。
デバイスが拡張された同調範囲を持ち、かつ時間的に非
常に安定であるスペクトル特性を呈することにある。
【0022】更に、中間偏光選択要素間の千鳥状の接続
が、光導波路分岐から隣接する光導波路分岐への残留信
号と関連する光パワーの転送を制限してクロストーク現
象(crosstalk phenomena)の低減
を可能にする。
が、光導波路分岐から隣接する光導波路分岐への残留信
号と関連する光パワーの転送を制限してクロストーク現
象(crosstalk phenomena)の低減
を可能にする。
【0023】本発明の特徴および利点については、添付
図面における限定でない事例として示される実施の形態
に関して、次に示される。
図面における限定でない事例として示される実施の形態
に関して、次に示される。
【0024】
【発明の実施の形態】図1には、本発明により作られた
光信号の波長選択のための偏光独立型の同調可能な音響
光導波路デバイスが示される。このデバイスは、x軸に
対して直角にカットされ、かつ光放射がy軸に沿って伝
播するニオブ酸リチウム(LiNbO3)結晶の基板2
を含んでいる。
光信号の波長選択のための偏光独立型の同調可能な音響
光導波路デバイスが示される。このデバイスは、x軸に
対して直角にカットされ、かつ光放射がy軸に沿って伝
播するニオブ酸リチウム(LiNbO3)結晶の基板2
を含んでいる。
【0025】基板2には、全体として3および103で
示される2つの偏光変換段と、全体として4で示される
1つの入力偏光選択要素と、全体として5および104
で示される2つの中間偏光選択要素と、全体として10
5で示される1つの出力偏光選択要素とが形成される。
示される2つの偏光変換段と、全体として4で示される
1つの入力偏光選択要素と、全体として5および104
で示される2つの中間偏光選択要素と、全体として10
5で示される1つの出力偏光選択要素とが形成される。
【0026】偏光変換段3、103は、相互に実質的に
平行に側方にずらされている(相互にコリニアでな
い)。
平行に側方にずらされている(相互にコリニアでな
い)。
【0027】偏光変換段3は直線状かつ平行な2つの光
導波路23、24を含み、1つの音波導波路25が2つ
の光導波路23、24を含み、1つの音波導波路26が
1つの電気音響トランスジューサ27を含む。
導波路23、24を含み、1つの音波導波路25が2つ
の光導波路23、24を含み、1つの音波導波路26が
1つの電気音響トランスジューサ27を含む。
【0028】偏光変換段103は直線状かつ平行な2つ
の光導波路123、124を含み、1つの音波導波路1
25が2つの光導波路123、124を含み、1つの音
波導波路126が電気音響トランスジューサ127を含
む。
の光導波路123、124を含み、1つの音波導波路1
25が2つの光導波路123、124を含み、1つの音
波導波路126が電気音響トランスジューサ127を含
む。
【0029】偏光選択要素4、5、104および105
(または、偏光スプリッタ)は、2つの端部で各分岐に
接続された各1個の多モード(望ましくは、2モード)
の光導波路、あるいは接続導波路10、11、12、1
3;14、15、16、18;110、111、11
2、113;114、115、116、118を含む。
偏光選択要素は、異なる出力分岐(例えば、選択要素4
の場合には12、13)に向けて1つの分岐(10)に
対する入力に存在する光信号の直交偏光成分TMおよび
TEを分けることができ、かつ1つの出力分岐(例え
ば、選択要素5の場合には18)に向けて、多モード導
波路(8)の同じ端部に接続された分岐(15、14)
における入力に存在する偏光TMおよびTE(pola
rization TM and TE)をそれぞれ含
む光信号を送出することができる。
(または、偏光スプリッタ)は、2つの端部で各分岐に
接続された各1個の多モード(望ましくは、2モード)
の光導波路、あるいは接続導波路10、11、12、1
3;14、15、16、18;110、111、11
2、113;114、115、116、118を含む。
偏光選択要素は、異なる出力分岐(例えば、選択要素4
の場合には12、13)に向けて1つの分岐(10)に
対する入力に存在する光信号の直交偏光成分TMおよび
TEを分けることができ、かつ1つの出力分岐(例え
ば、選択要素5の場合には18)に向けて、多モード導
波路(8)の同じ端部に接続された分岐(15、14)
における入力に存在する偏光TMおよびTE(pola
rization TM and TE)をそれぞれ含
む光信号を送出することができる。
【0030】接続分岐10は入力ゲート19に接続さ
れ、分岐118は出力ゲート22に接続される。
れ、分岐118は出力ゲート22に接続される。
【0031】本発明の特定の一実施形態においては、図
1の破線で示されるように、接続分岐11は入力ゲート
119に接続され、接続分岐116は出力ゲート122
に接続される。
1の破線で示されるように、接続分岐11は入力ゲート
119に接続され、接続分岐116は出力ゲート122
に接続される。
【0032】本発明によれば、中間偏光スプリッタ5お
よび104は、直列に接続された分岐18、110の各
々を介して相互に接続される。しかし、直列に接続され
た偏光スプリッタ5の分岐16と偏光スプリッタ104
の分岐111とは基板2で終り、あるいは、望ましい実
施形態では、図1における破線で示されるように、音波
導波路(後で述べる)を包囲する領域の内側部分28
a、128aで終る。
よび104は、直列に接続された分岐18、110の各
々を介して相互に接続される。しかし、直列に接続され
た偏光スプリッタ5の分岐16と偏光スプリッタ104
の分岐111とは基板2で終り、あるいは、望ましい実
施形態では、図1における破線で示されるように、音波
導波路(後で述べる)を包囲する領域の内側部分28
a、128aで終る。
【0033】一緒に接続された分岐18、110に対し
て反対側の接続分岐16、111の位置は、分岐16と
111間のスプリアス放射の結合を限定し、これにより
分岐自身間に得られるクロストークを非常に低くするこ
とを可能にする。本出願人により観察されたことによれ
ば、偏光スプリッタの一緒に接続されない分岐間で得ら
れるクロストークの低減は、特に異なる波長における通
信チャンネル間のクロストークにおいて、デバイスの全
体性能の改善を可能にする。
て反対側の接続分岐16、111の位置は、分岐16と
111間のスプリアス放射の結合を限定し、これにより
分岐自身間に得られるクロストークを非常に低くするこ
とを可能にする。本出願人により観察されたことによれ
ば、偏光スプリッタの一緒に接続されない分岐間で得ら
れるクロストークの低減は、特に異なる波長における通
信チャンネル間のクロストークにおいて、デバイスの全
体性能の改善を可能にする。
【0034】電気音響トランスジューサ27、127
は、偏光変換段3、103において音響光フィルタのゲ
ート19を介して入る光信号とコリニアである無線周波
数で表面弾性波を生成することが可能である集積電極に
よって形成される。
は、偏光変換段3、103において音響光フィルタのゲ
ート19を介して入る光信号とコリニアである無線周波
数で表面弾性波を生成することが可能である集積電極に
よって形成される。
【0035】音波導波路25、26および125、12
6は、音波に対する増加された速度の領域28a、28
bおよび128a、128bにより包囲されている(音
響クラッディング)。音波導波路26、126の端部
に、音響吸収部29、129のが各々配置されている。
音波導波路26、126は、それぞれ音波導波路25、
125の側にあり、これらと共に音響結合器を形成す
る。音波導波路25、26間、および音波導波路12
5、126間の音響結合器は、導波路25、125に沿
った表面弾性波の強さのプロフィールがこのような導波
路の中心部に最大値を、また導波路自体の端部に2つの
最小値を有するように作られる。光導波路23、24お
よび光導波路123、124に沿って伝播する光信号
は、予め選択された相互作用長さを有する領域において
前記導波路に沿って約半分まで増加しかつ導波路の他の
半分に減少する強さ音波と相互に作用する。
6は、音波に対する増加された速度の領域28a、28
bおよび128a、128bにより包囲されている(音
響クラッディング)。音波導波路26、126の端部
に、音響吸収部29、129のが各々配置されている。
音波導波路26、126は、それぞれ音波導波路25、
125の側にあり、これらと共に音響結合器を形成す
る。音波導波路25、26間、および音波導波路12
5、126間の音響結合器は、導波路25、125に沿
った表面弾性波の強さのプロフィールがこのような導波
路の中心部に最大値を、また導波路自体の端部に2つの
最小値を有するように作られる。光導波路23、24お
よび光導波路123、124に沿って伝播する光信号
は、予め選択された相互作用長さを有する領域において
前記導波路に沿って約半分まで増加しかつ導波路の他の
半分に減少する強さ音波と相互に作用する。
【0036】音響結合器を持つ音響光フィルタそれ自体
は、例えば、H.Herrmann、K.Schaef
er、W.Sohlerの「テーパ状の音響指向性結合
器を持つ偏光独立型の集積光音響同調可能な波長フィル
タ/スイッチ(Polarization indep
endent,integrated optical
acoustically tunable wav
elength filters/switches
with tapered acoustical d
irectional coupler)」(Phot
onics Technol.Lett.,第6巻、
S.1192〜1194(1994年)およびU.Ru
st,K.Schaeferの「加重結合器を持つ集積
音響光モード・コンバータ用のテーパ状音響指向性結合
器(Tapered acoustical dire
ctional couplers for inte
grated acousto−optical mo
de converterswith weighte
d coupling)」(状態.Lightwave
Technol.13、S.364〜374(199
5年)の論文から公知である。
は、例えば、H.Herrmann、K.Schaef
er、W.Sohlerの「テーパ状の音響指向性結合
器を持つ偏光独立型の集積光音響同調可能な波長フィル
タ/スイッチ(Polarization indep
endent,integrated optical
acoustically tunable wav
elength filters/switches
with tapered acoustical d
irectional coupler)」(Phot
onics Technol.Lett.,第6巻、
S.1192〜1194(1994年)およびU.Ru
st,K.Schaeferの「加重結合器を持つ集積
音響光モード・コンバータ用のテーパ状音響指向性結合
器(Tapered acoustical dire
ctional couplers for inte
grated acousto−optical mo
de converterswith weighte
d coupling)」(状態.Lightwave
Technol.13、S.364〜374(199
5年)の論文から公知である。
【0037】入力ゲート19と出力ゲート22とは、図
示しない接続要素によりこれも図示しない回線光ファイ
バに接続されている。
示しない接続要素によりこれも図示しない回線光ファイ
バに接続されている。
【0038】音響光フィルタの動作は下記の通りであ
る。
る。
【0039】偏光変換段3は、オフされた(オフ状態に
ある)時、直結送信条件(バー状態)にある。光信号
は、入力ゲート19を経て進入し、偏光スプリッタ4に
おいては、その直交成分TMおよびTEが分離される。
偏光成分は、個々に光導波路23、24を伝播し,結合
器として働く偏光スプリッタ5で再び組合わされ、分岐
16を通って基板2で発散状態のままとなり、ここでこ
れらの成分は光吸収部(図示せず)により、あるいは音
響クラッディング領域128aで吸収され得る。
ある)時、直結送信条件(バー状態)にある。光信号
は、入力ゲート19を経て進入し、偏光スプリッタ4に
おいては、その直交成分TMおよびTEが分離される。
偏光成分は、個々に光導波路23、24を伝播し,結合
器として働く偏光スプリッタ5で再び組合わされ、分岐
16を通って基板2で発散状態のままとなり、ここでこ
れらの成分は光吸収部(図示せず)により、あるいは音
響クラッディング領域128aで吸収され得る。
【0040】適切な信号を電気音響トランスジューサ2
7、127の電極へ印加すると、偏光変換段3はオン
(オン状態)にされて、交差伝送条件(クロス状態)で
動作する。変換段3、103においては、直交偏光成分
TMおよびTEの偏光変換が起生する。光信号は、ゲー
ト19を経て進入し、これら信号の直交偏光成分TMお
よびTEは偏光スプリッタ4で分離され、これら成分は
偏光変換段3の導波路23、24に個々に伝播し、ここ
でこれら成分はトランスジューサ27により発射される
表面弾性波と相互作用して、直交偏光状態TM→TEお
よびTE→TMにおける偏光変換を受ける。
7、127の電極へ印加すると、偏光変換段3はオン
(オン状態)にされて、交差伝送条件(クロス状態)で
動作する。変換段3、103においては、直交偏光成分
TMおよびTEの偏光変換が起生する。光信号は、ゲー
ト19を経て進入し、これら信号の直交偏光成分TMお
よびTEは偏光スプリッタ4で分離され、これら成分は
偏光変換段3の導波路23、24に個々に伝播し、ここ
でこれら成分はトランスジューサ27により発射される
表面弾性波と相互作用して、直交偏光状態TM→TEお
よびTE→TMにおける偏光変換を受ける。
【0041】偏光変換段3の出力において、直交偏光成
分TMおよびTEが偏光スプリッタ5で再び組合わされ
て分岐18により形成される中間クロス状態出力を経て
出る。再組合わせ形態における偏光成分は、クロス状態
出力18により偏光スプリッタ104に接続された分岐
110により構成される偏光変換段103の入力へ送ら
れる。偏光スプリッタ104において、光信号の直交偏
光成分TMおよびTEが分離され、これら成分は偏光変
換段103の光導波路123、124に個々に伝播し、
ここでこれらはトランスジューサ127により発射され
る表面弾性波と相互作用して、直交偏光状態TM→TE
およびTE→TMにおける偏光変換を受ける。
分TMおよびTEが偏光スプリッタ5で再び組合わされ
て分岐18により形成される中間クロス状態出力を経て
出る。再組合わせ形態における偏光成分は、クロス状態
出力18により偏光スプリッタ104に接続された分岐
110により構成される偏光変換段103の入力へ送ら
れる。偏光スプリッタ104において、光信号の直交偏
光成分TMおよびTEが分離され、これら成分は偏光変
換段103の光導波路123、124に個々に伝播し、
ここでこれらはトランスジューサ127により発射され
る表面弾性波と相互作用して、直交偏光状態TM→TE
およびTE→TMにおける偏光変換を受ける。
【0042】偏光変換段103の出力において、直交偏
光成分TEおよびTMが偏光スプリッタ105において
再び組合わされて、クロス状態出力ゲート22に接続さ
れた接続分岐118に伝播する。
光成分TEおよびTMが偏光スプリッタ105において
再び組合わされて、クロス状態出力ゲート22に接続さ
れた接続分岐118に伝播する。
【0043】偏光変換段3では、直交偏光成分TMおよ
びTEが、周波数偏移を伴う直交状態における偏光変換
を受ける。周波数偏移の符号は、光波の伝播方向(コリ
ニアまたはカウンタリニア)に関してトランスジューサ
により生成される表面弾性波の偏光と伝播方向とに依存
する。変換段103へ進入すると、周波数偏移は、トラ
ンスジューサ127により生成される表面弾性波が同じ
方向に伝播してトランスジューサ27により生成される
音波と実質的に同じ周波数を持つので、偏光成分TMお
よびTEの元の偏光状態への逆の変換により補償され
る。同じ周波数は、1つの電気駆動信号を2つのトラン
スジューサ27、127に供給することにより2つの音
波(acoustical wave)に対して得られ
る。
びTEが、周波数偏移を伴う直交状態における偏光変換
を受ける。周波数偏移の符号は、光波の伝播方向(コリ
ニアまたはカウンタリニア)に関してトランスジューサ
により生成される表面弾性波の偏光と伝播方向とに依存
する。変換段103へ進入すると、周波数偏移は、トラ
ンスジューサ127により生成される表面弾性波が同じ
方向に伝播してトランスジューサ27により生成される
音波と実質的に同じ周波数を持つので、偏光成分TMお
よびTEの元の偏光状態への逆の変換により補償され
る。同じ周波数は、1つの電気駆動信号を2つのトラン
スジューサ27、127に供給することにより2つの音
波(acoustical wave)に対して得られ
る。
【0044】トランスジューサ27、127は、偏光変
換TE→TMおよびTM→TEが生じる光の共振波長に
対応する無線周波数fac(1550nmで動作するデバ
イスでは約174±10MHz)の表面弾性波を生成す
る。
換TE→TMおよびTM→TEが生じる光の共振波長に
対応する無線周波数fac(1550nmで動作するデバ
イスでは約174±10MHz)の表面弾性波を生成す
る。
【0045】先に述べた音響光デバイスは、駆動音響周
波数に対応する波長を持つ光信号を選択して同調可能な
帯域通過フィルタとして動作する。
波数に対応する波長を持つ光信号を選択して同調可能な
帯域通過フィルタとして動作する。
【0046】本発明による音響光フィルタは、出力ゲー
ト22が入力ゲートとして使用できかつ入力ゲート19
が出力ゲートとして使用できることを意味する可逆性
(reversible)である利点を有する。
ト22が入力ゲートとして使用できかつ入力ゲート19
が出力ゲートとして使用できることを意味する可逆性
(reversible)である利点を有する。
【0047】本発明による音響光フィルタは、既に述べ
たように、製造プロセスの著しい簡素化を可能にするゆ
えに、公知の音響光フィルタに関する技術的利点を提供
する。
たように、製造プロセスの著しい簡素化を可能にするゆ
えに、公知の音響光フィルタに関する技術的利点を提供
する。
【0048】本発明によるフィルタは、公知技術による
フィルタ(例えば、前掲のTianらの論文に記載され
た形式の)と比較して、下記の性能を有する。
フィルタ(例えば、前掲のTianらの論文に記載され
た形式の)と比較して、下記の性能を有する。
【0049】本発明によるデバイスにおける挿入損は、
光導波路と4つの偏光スプリッタの減衰による。対照的
に、Tianが述べたデバイスの場合は、光導波路と2
つの偏光スプリッタの減衰に加えて、偏光子による損失
がある、特に、TM通過偏光子は、製造時に使用される
光リトグラフ・マスクの完全でない整合によるTM成分
に対する減衰を生じ得るが、TE通過偏光子は、同じT
E成分に対して、それに含まれる金属層による減衰を呈
し得る。
光導波路と4つの偏光スプリッタの減衰による。対照的
に、Tianが述べたデバイスの場合は、光導波路と2
つの偏光スプリッタの減衰に加えて、偏光子による損失
がある、特に、TM通過偏光子は、製造時に使用される
光リトグラフ・マスクの完全でない整合によるTM成分
に対する減衰を生じ得るが、TE通過偏光子は、同じT
E成分に対して、それに含まれる金属層による減衰を呈
し得る。
【0050】本発明によるデバイスの各変換段におい
て、約20dBの応答カーブのサイド・ローブ(sid
elobe)の抑制が生じ、このためフィルタ量の応答
カーブのサイドローブの約40dBへの全抑制が生じ
る。しかし、公知技術のフィルタにおいては、サイドロ
ーブの最適な抑制は、偏光子の位置が適切に選定される
ならば、理論的には約24dBに限定される。
て、約20dBの応答カーブのサイド・ローブ(sid
elobe)の抑制が生じ、このためフィルタ量の応答
カーブのサイドローブの約40dBへの全抑制が生じ
る。しかし、公知技術のフィルタにおいては、サイドロ
ーブの最適な抑制は、偏光子の位置が適切に選定される
ならば、理論的には約24dBに限定される。
【0051】基線は、本発明によるデバイスにおいて
は、(僅かに15dBの分離比の場合、基線は通過帯域
における最大伝送より約30dB低い)最悪の偏光スプ
リッタの分離比の2乗に等しい値を持つが、公知技術の
フィルタでは、基線は最悪の偏光子(worst po
larizer)によって決定される。
は、(僅かに15dBの分離比の場合、基線は通過帯域
における最大伝送より約30dB低い)最悪の偏光スプ
リッタの分離比の2乗に等しい値を持つが、公知技術の
フィルタでは、基線は最悪の偏光子(worst po
larizer)によって決定される。
【0052】同調範囲は、トランスジューサの帯域幅
と、波長に対する偏光スプリッタの依存度とによって決
定されるが、公知技術のフィルタでは、これもまた波長
に対する偏光子の依存度に影響を受ける。
と、波長に対する偏光スプリッタの依存度とによって決
定されるが、公知技術のフィルタでは、これもまた波長
に対する偏光子の依存度に影響を受ける。
【0053】本発明によるフィルタは、時間的な性能の
低下を受けず、このためエージング問題を生じることは
ないが、公知技術のフィルタは、TE通過偏光子の劣化
により数カ月後の消光比における大きな低減を呈する
が、TM通過偏光子の劣化は高い蓄積温度で消光比の低
減を生じ得る。
低下を受けず、このためエージング問題を生じることは
ないが、公知技術のフィルタは、TE通過偏光子の劣化
により数カ月後の消光比における大きな低減を呈する
が、TM通過偏光子の劣化は高い蓄積温度で消光比の低
減を生じ得る。
【0054】図2において、本発明により作られた音響
光フィルタのTM成分(破線)とTE成分(実線)に対
して実験的に観察されるスペクトル伝送カーブが示され
る。y軸上には、x軸におけるナノメートル(nm)単
位の波長に対するデシベル(dB)単位の伝送が示され
る。
光フィルタのTM成分(破線)とTE成分(実線)に対
して実験的に観察されるスペクトル伝送カーブが示され
る。y軸上には、x軸におけるナノメートル(nm)単
位の波長に対するデシベル(dB)単位の伝送が示され
る。
【0055】音響光フィルタは、68mmの全長で作ら
れ、光ファイバに接続された。このフィルタは、独立的
な温度安定回路が設けられた2つの偏光変換段を含むも
のであった。
れ、光ファイバに接続された。このフィルタは、独立的
な温度安定回路が設けられた2つの偏光変換段を含むも
のであった。
【0056】フィルタにおける下記の性能が観察され
た。即ち、 ─挿入損(最悪の偏光): <5dB ─挿入損の偏光依存度: <0.5dB ─半値全幅(FWHM)の帯域幅: ≒2nm ─クロストーク: 3nmのチャンネル間間隔の場合: <−23.5dB 4nmのチャンネル間間隔の場合: <−26.5dB ─基線: <−35dB ─各段当たりの無線周波電力 ≒60mW 本発明による音響光フィルタは、室温における動作に適
している。このフィルタは、1500nmおよび160
0nm間、即ち特に光通信を対象とする波長範囲におけ
る1つ以上の光信号を伝送するように動作させることが
できる。
た。即ち、 ─挿入損(最悪の偏光): <5dB ─挿入損の偏光依存度: <0.5dB ─半値全幅(FWHM)の帯域幅: ≒2nm ─クロストーク: 3nmのチャンネル間間隔の場合: <−23.5dB 4nmのチャンネル間間隔の場合: <−26.5dB ─基線: <−35dB ─各段当たりの無線周波電力 ≒60mW 本発明による音響光フィルタは、室温における動作に適
している。このフィルタは、1500nmおよび160
0nm間、即ち特に光通信を対象とする波長範囲におけ
る1つ以上の光信号を伝送するように動作させることが
できる。
【0057】先に述べたように、基板2は、特に結晶軸
xに直角にカットされたニオブ酸リチウムの結晶からな
り、光導波路23、24、123、124における光経
路が結晶のy軸に沿って指向される。ニオブ酸リチウム
の代わりに、LiTaO3、TeO2、CaMoO4のグ
ループから選定される別の複屈折光弾性材料を使用する
ことができる。
xに直角にカットされたニオブ酸リチウムの結晶からな
り、光導波路23、24、123、124における光経
路が結晶のy軸に沿って指向される。ニオブ酸リチウム
の代わりに、LiTaO3、TeO2、CaMoO4のグ
ループから選定される別の複屈折光弾性材料を使用する
ことができる。
【0058】前記光導波管と偏光スプリッタとは、屈折
率を増すことができる化合物の基板2内の拡散によって
作ることができる。光リトグラフ・マスクを用いると、
例えば、約105nmの厚さを持つTi層のデポジショ
ンと、その後1060℃の温度で8時間の拡散とを実行
することが可能である。導波路23、24、123、1
24と、偏光スプリッタの接続分岐と、この分岐と出力
および入力ゲート間の接続導波路とにおいて、マスク
は、例えば、約7μmの幅を持つ開口を呈する。
率を増すことができる化合物の基板2内の拡散によって
作ることができる。光リトグラフ・マスクを用いると、
例えば、約105nmの厚さを持つTi層のデポジショ
ンと、その後1060℃の温度で8時間の拡散とを実行
することが可能である。導波路23、24、123、1
24と、偏光スプリッタの接続分岐と、この分岐と出力
および入力ゲート間の接続導波路とにおいて、マスク
は、例えば、約7μmの幅を持つ開口を呈する。
【0059】音波導波路25、26、125、126
は、音響クラッディング領域が形成される基板2上の領
域28a、28b、28c、128a、128b、12
8cを画定する光リトグラフ法によって作ることができ
る。前記領域内では、例えば160nmの厚さを持つT
i層のデポジションが生じ、その後に1060℃の温度
の炉内で31時間基板におけるTiの拡散が続く。Ti
の拡散により、領域28a、28b、28c、128
a、128b、128cが導波管25、26、125お
よび126に沿って音波を封じ込むように、音波の速度
は約0.3%だけ増加する。
は、音響クラッディング領域が形成される基板2上の領
域28a、28b、28c、128a、128b、12
8cを画定する光リトグラフ法によって作ることができ
る。前記領域内では、例えば160nmの厚さを持つT
i層のデポジションが生じ、その後に1060℃の温度
の炉内で31時間基板におけるTiの拡散が続く。Ti
の拡散により、領域28a、28b、28c、128
a、128b、128cが導波管25、26、125お
よび126に沿って音波を封じ込むように、音波の速度
は約0.3%だけ増加する。
【0060】導波管6、8、106、108を除く光導
波管は、使用される光波に対して単モードであることが
望ましい。
波管は、使用される光波に対して単モードであることが
望ましい。
【0061】電気音響トランスジューサ27、127
は、例えば、20対以上の相互に組合った電極を含むこ
とができる。この電極の周期は、例えば、約1550n
mの関心光波長においてTMとTEの相互変換を行う表
面弾性波のニオブ酸リチウムにおける波長と関連して選
定される。当事例によるデバイスは、約1500nmな
いし約1600nmの波長範囲において同調させること
ができる。電極は、基板上に金属層、例えば500nm
の厚さを持つアルミニウムを被着することによって作る
ことができる。
は、例えば、20対以上の相互に組合った電極を含むこ
とができる。この電極の周期は、例えば、約1550n
mの関心光波長においてTMとTEの相互変換を行う表
面弾性波のニオブ酸リチウムにおける波長と関連して選
定される。当事例によるデバイスは、約1500nmな
いし約1600nmの波長範囲において同調させること
ができる。電極は、基板上に金属層、例えば500nm
の厚さを持つアルミニウムを被着することによって作る
ことができる。
【図1】本発明により形成される光信号の波長選択のた
めの音響光導波路デバイスを示す概略図である。
めの音響光導波路デバイスを示す概略図である。
【図2】図1の音響光デバイスのスペクトル伝送カーブ
を示すグラフである。
を示すグラフである。
2 基板 3 偏光変換段 4 偏光スプリッタ 5 中間偏光スプリッタ 6 導波管 8 導波管 10 接続分岐 11 接続分岐 18 分岐 19 入力ゲート 22 出力ゲート 23 光導波路 24 光導波路 25 音波導波路 26 音波導波路 27 電気音響トランスジューサ 28a、28b、28c、128a、128b、128
c 領域 29 音響吸収部 103 偏光変換段 104 中間偏光スプリッタ 105 中間偏光スプリッタ 106 導波管 108 導波管 110 分岐 116 接続分岐 118 分岐 119 入力ゲート 122 出力ゲート 123 光導波路 124 光導波路 125 音波導波路 126 音波導波路 127 電気音響トランスジューサ 129 音響吸収部
c 領域 29 音響吸収部 103 偏光変換段 104 中間偏光スプリッタ 105 中間偏光スプリッタ 106 導波管 108 導波管 110 分岐 116 接続分岐 118 分岐 119 入力ゲート 122 出力ゲート 123 光導波路 124 光導波路 125 音波導波路 126 音波導波路 127 電気音響トランスジューサ 129 音響吸収部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 591011856 Pirelli Cavi e Sist emi S.p.A
Claims (2)
- 【請求項1】 複屈折および光弾性材料の基板(2)を
含む光信号の波長選択用の偏光独立型の同調可能音響光
導波路デバイスであって、 a)予め選択された波長を持つ少なくとも1つの光信号
の第1(3)と第2(103)の偏光変換段と、 b)前記第1の偏光変換段(3)と前記第2の偏光変換
段(103)においてそれぞれ接続された偏光選択入力
導波路要素(4)と偏光選択出力導波路要素(105)
と、 c)前記第1の偏光変換段(3)の出力と前記第2の偏
光変換段(103)の入力とでそれぞれ接続された第1
(5)と第2(104)の中間偏光選択導波路要素とが
それぞれ上に形成される基板を有する該偏光独立型の同
調可能音響光導波路デバイスにおいて、 d)前記中間偏光選択導波路要素(5、104)が、一
緒に接続された2つの分岐(18、110)と、一緒に
接続されず基板(2)で終る2つの分岐(16、11
1)とを有し、一緒に接続されない該2つの分岐(1
6、111)が前記一緒に接続された2つの分岐(1
8、110)に対して反対側に配置されることを特徴と
する偏光独立型の同調可能音響光導波路デバイス。 - 【請求項2】 前記第1の偏光変換段(3)と前記第2
の偏光変換段(103)とが実質的に相互にコリニアで
ないことを特徴とする請求項1記載の偏光独立型の同調
可能音響光導波路デバイス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT96109993.4 | 1996-06-20 | ||
| EP96109993A EP0814362A1 (en) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | Polarization-independent, tunable, acousto-optical waveguide device for the wavelength selection of an optical signal |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073794A true JPH1073794A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=8222913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9164087A Pending JPH1073794A (ja) | 1996-06-20 | 1997-06-20 | 光信号の波長選択用偏光独立型同調可能音響光導波路デバイス |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5818980A (ja) |
| EP (1) | EP0814362A1 (ja) |
| JP (1) | JPH1073794A (ja) |
| AR (1) | AR007422A1 (ja) |
| AU (1) | AU716060B2 (ja) |
| BR (1) | BR9702502A (ja) |
| CA (1) | CA2207343C (ja) |
| DE (1) | DE69730083D1 (ja) |
| NZ (1) | NZ328120A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005125274A1 (ja) * | 2004-06-17 | 2005-12-29 | Alps Electric Co., Ltd. | 音波増幅器 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3861395B2 (ja) | 1997-08-11 | 2006-12-20 | 富士通株式会社 | 光導波路デバイス及び光導波路デバイスを用いた光通信システム |
| FR2794534B1 (fr) | 1999-06-04 | 2003-06-27 | Cit Alcatel | Multiplexeur/demultiplexeur optique a trois guides d'ondes |
| IL145320A (en) * | 2001-09-06 | 2006-12-10 | Gilad Optical Switches Ltd | Tunable optical filter |
| US6907169B2 (en) * | 2001-10-30 | 2005-06-14 | Xponent Photonics Inc | Polarization-engineered transverse-optical-coupling apparatus and methods |
| WO2024172847A2 (en) * | 2022-03-01 | 2024-08-22 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Systems and methods for quantum-like gates using acoustic quantum bit analogues |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5002349A (en) * | 1989-11-29 | 1991-03-26 | Bell Communications Research, Inc. | Integrated acousto-optic filters and switches |
| EP0466430B1 (en) * | 1990-07-06 | 1996-01-03 | Nec Corporation | Optical waveguide switch for two wavelengths |
| US5218653A (en) * | 1991-11-08 | 1993-06-08 | Bell Communications Research, Inc. | Polarization converter with apodized acoustic waveguide |
| DE4230300A1 (de) * | 1992-09-10 | 1994-03-17 | Bosch Gmbh Robert | Integriertes akusto-optisches Bauelement |
| IT1263613B (it) * | 1993-02-19 | 1996-08-27 | Pirelli Cavi Spa | Generatore laser a fibra ottica a concatenamento modale attivo |
| DE4326522A1 (de) * | 1993-08-06 | 1995-02-09 | Siemens Ag | Programmierbares optisches Filter und optische Schaltanordnung |
| US5502783A (en) * | 1994-08-18 | 1996-03-26 | Northern Telecom Limited | Polarization independent optical directional coupler wavelength tunable filters/receivers |
| US5455877A (en) * | 1994-10-27 | 1995-10-03 | Bell Communications Research, Inc. | Multi-channel wavelength-routing switch using acousto-optic polarization converters |
| US5539850A (en) * | 1994-12-30 | 1996-07-23 | At&T Corp. | Polarization and wavelength independent optical waveguide tap |
| US5611004A (en) * | 1996-01-30 | 1997-03-11 | Hewlett-Packard Company | Microphotonic polarization independent acousto optical tunable filter and receiver |
-
1996
- 1996-06-20 EP EP96109993A patent/EP0814362A1/en not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-04 US US08/808,043 patent/US5818980A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-09 CA CA002207343A patent/CA2207343C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-14 DE DE69730083T patent/DE69730083D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-16 AU AU24925/97A patent/AU716060B2/en not_active Ceased
- 1997-06-17 NZ NZ328120A patent/NZ328120A/en unknown
- 1997-06-19 AR ARP970102685A patent/AR007422A1/es unknown
- 1997-06-20 JP JP9164087A patent/JPH1073794A/ja active Pending
- 1997-06-20 BR BR9702502A patent/BR9702502A/pt active Search and Examination
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005125274A1 (ja) * | 2004-06-17 | 2005-12-29 | Alps Electric Co., Ltd. | 音波増幅器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2492597A (en) | 1998-01-08 |
| NZ328120A (en) | 1997-11-24 |
| EP0814362A1 (en) | 1997-12-29 |
| DE69730083D1 (de) | 2004-09-09 |
| CA2207343C (en) | 2003-04-08 |
| AR007422A1 (es) | 1999-10-27 |
| BR9702502A (pt) | 1998-06-23 |
| US5818980A (en) | 1998-10-06 |
| AU716060B2 (en) | 2000-02-17 |
| CA2207343A1 (en) | 1997-12-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |