JPH1074823A - ウエーハの検知方法 - Google Patents
ウエーハの検知方法Info
- Publication number
- JPH1074823A JPH1074823A JP23182196A JP23182196A JPH1074823A JP H1074823 A JPH1074823 A JP H1074823A JP 23182196 A JP23182196 A JP 23182196A JP 23182196 A JP23182196 A JP 23182196A JP H1074823 A JPH1074823 A JP H1074823A
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- JP
- Japan
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- wafer
- cassette
- wafers
- detection sensor
- detection method
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 65
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ウエーハと一括検知センサとが相互に接触して
摩擦損傷するのを防止するに好適なウエーハの検知方
法。 【解決手段】ウエーハ１０をウエーハカセット１内の溝
１ａの一方、例えば、向かって右側に偏って静止するよ
うに装填してから、整列した複数のウエーハ１０の間に
一括検知センサを挿入する。
摩擦損傷するのを防止するに好適なウエーハの検知方
法。 【解決手段】ウエーハ１０をウエーハカセット１内の溝
１ａの一方、例えば、向かって右側に偏って静止するよ
うに装填してから、整列した複数のウエーハ１０の間に
一括検知センサを挿入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエーハカセット
内に収容された複数のウエーハの成膜処理工程における
数量・位置状態などの確認検査のために、一括検知セン
サによる検知を行なう半導体製造装置におけるウエーハ
の一括検知方法に関する。
内に収容された複数のウエーハの成膜処理工程における
数量・位置状態などの確認検査のために、一括検知セン
サによる検知を行なう半導体製造装置におけるウエーハ
の一括検知方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）、（ｂ）は、従来技術による
ウエーハカセットに収容されたウエーハの一括検知を示
す図である。図３に示すように、カセット内に収容され
た複数のウエーハ１０を一括検知するには、ウエーハ１
０面が垂直になるようカセットステージ２上にウエーハ
カセット１を載置すると共に、カセットステージ２が水
平、または２°〜５°の範囲の所定角度だけ傾けた状態
で、その下方から一括検知センサ３を上方、すなわち矢
印Ｕ方向、に挿入しウエーハ１０の２５枚〜２６枚を一
括して検知するようになっている。
ウエーハカセットに収容されたウエーハの一括検知を示
す図である。図３に示すように、カセット内に収容され
た複数のウエーハ１０を一括検知するには、ウエーハ１
０面が垂直になるようカセットステージ２上にウエーハ
カセット１を載置すると共に、カセットステージ２が水
平、または２°〜５°の範囲の所定角度だけ傾けた状態
で、その下方から一括検知センサ３を上方、すなわち矢
印Ｕ方向、に挿入しウエーハ１０の２５枚〜２６枚を一
括して検知するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図２（ａ）は、従来技
術におけるウエーハカセット内のウエーハ列を示す図で
ある。上記従来技術においては、前記の所定角度傾斜し
た状態におけるウエーハ１０面は、図２（ａ）に示すよ
うに、ウエーハカセット１に設けられた溝１ａの左側、
または、右側の何れに偏っているかは一定せず、このた
め、整列した複数のウエーハ１０の間に一括検知センサ
３を挿入する際、ウエーハサイズが５インチ、または、
６インチの場合には、各ウエーハ１０間のピッチは４．
７６ｍｍと狭いため、ウエーハ１０とセンサ３とが互い
に摩擦接触する可能性があった。本発明はウエーハ１０
の一括検知方法におけるウエーハ１０と一括検知センサ
３とが相互に接触して摩擦損傷するのを防止することを
目的としてなされたものである。
術におけるウエーハカセット内のウエーハ列を示す図で
ある。上記従来技術においては、前記の所定角度傾斜し
た状態におけるウエーハ１０面は、図２（ａ）に示すよ
うに、ウエーハカセット１に設けられた溝１ａの左側、
または、右側の何れに偏っているかは一定せず、このた
め、整列した複数のウエーハ１０の間に一括検知センサ
３を挿入する際、ウエーハサイズが５インチ、または、
６インチの場合には、各ウエーハ１０間のピッチは４．
７６ｍｍと狭いため、ウエーハ１０とセンサ３とが互い
に摩擦接触する可能性があった。本発明はウエーハ１０
の一括検知方法におけるウエーハ１０と一括検知センサ
３とが相互に接触して摩擦損傷するのを防止することを
目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めには、図２（ｂ）に示すように、ウエーハ１０をウエ
ーハカセット１内の溝１ａの一方、例えば、向かって右
側に偏って静止するように装填してから、整列した複数
のウエーハ１０の間に一括検知センサ３を挿入すればよ
い。すなわち、本発明の目的は、ウエーハ面を垂直の状
態にしてウエーハカセット内に複数のウエーハを並列に
収容したのち、一括検知センサを挿入して前記ウエーハ
の一括検知を行なうウエーハの検知方法において、前記
ウエーハ面が前記垂直の状態から水平の状態になるま
で、前記ウエーハカセットを概ね９０°正方向に回動さ
せるステップと、前記ウエーハ面の水平の状態から逆方
向に前記ウエーハカセットを回動させるステップと、前
記逆方向への回動により、前記ウエーハ面が、鉛直線よ
り所定の角度だけ手前の角度位置で停止させるステップ
とを有することを特徴とするウエーハの検知方法によっ
て達成される。
めには、図２（ｂ）に示すように、ウエーハ１０をウエ
ーハカセット１内の溝１ａの一方、例えば、向かって右
側に偏って静止するように装填してから、整列した複数
のウエーハ１０の間に一括検知センサ３を挿入すればよ
い。すなわち、本発明の目的は、ウエーハ面を垂直の状
態にしてウエーハカセット内に複数のウエーハを並列に
収容したのち、一括検知センサを挿入して前記ウエーハ
の一括検知を行なうウエーハの検知方法において、前記
ウエーハ面が前記垂直の状態から水平の状態になるま
で、前記ウエーハカセットを概ね９０°正方向に回動さ
せるステップと、前記ウエーハ面の水平の状態から逆方
向に前記ウエーハカセットを回動させるステップと、前
記逆方向への回動により、前記ウエーハ面が、鉛直線よ
り所定の角度だけ手前の角度位置で停止させるステップ
とを有することを特徴とするウエーハの検知方法によっ
て達成される。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の手順を示
す図、図２（ｂ）は、本発明によるウエーハカセット内
のウエーハ列を示す図である。
いて説明する。図１は、本発明の実施の形態の手順を示
す図、図２（ｂ）は、本発明によるウエーハカセット内
のウエーハ列を示す図である。
【０００６】まず図１において、ウエーハカセット１を
カセットステージ２上に載置（ａ）した後、カセットス
テージ２を矢印Ａ方向に約９０度回転させ、ウエーハ１
０を水平の姿勢に保持する（ｂ）。次いでカセットステ
ージ２を矢印Ｂ方向に逆回転させ、ウエーハ１０面が鉛
直、または鉛直位置より概ね５°程度手前の位置に停止
させた（ｃ）後、一括検知センサ３を挿入して（ｄ）一
括検知を行なう。これにより、ウエーハカセット１内の
ウエーハ１０は、図２（ｂ）に示すように、溝１ａの一
方、すなわち図２（ｂ）における向かって右側に偏って
静止するため、一括検知センサ３とウエーハ１０との摩
擦接触を防止することができる。
カセットステージ２上に載置（ａ）した後、カセットス
テージ２を矢印Ａ方向に約９０度回転させ、ウエーハ１
０を水平の姿勢に保持する（ｂ）。次いでカセットステ
ージ２を矢印Ｂ方向に逆回転させ、ウエーハ１０面が鉛
直、または鉛直位置より概ね５°程度手前の位置に停止
させた（ｃ）後、一括検知センサ３を挿入して（ｄ）一
括検知を行なう。これにより、ウエーハカセット１内の
ウエーハ１０は、図２（ｂ）に示すように、溝１ａの一
方、すなわち図２（ｂ）における向かって右側に偏って
静止するため、一括検知センサ３とウエーハ１０との摩
擦接触を防止することができる。
【０００７】
【発明の効果】本発明の実施により、一括検知センサが
ウエーハと摩擦接触することによるウエーハ検知センサ
の故障、ウエーハの不純物汚染の防止、並びにパーティ
クル発生による歩留まり低下を防止することができる。
ウエーハと摩擦接触することによるウエーハ検知センサ
の故障、ウエーハの不純物汚染の防止、並びにパーティ
クル発生による歩留まり低下を防止することができる。
【図１】本発明に係るウエーハの検知方法の実施の形態
の手順を示す図である。
の手順を示す図である。
【図２】従来技術によるウエーハカセット内のウエーハ
列を示す図（ａ）、及び、本発明のウエーハカセット内
のウエーハ列を示す図（ｂ）である。
列を示す図（ａ）、及び、本発明のウエーハカセット内
のウエーハ列を示す図（ｂ）である。
【図３】従来技術によるウエーハカセット内に収容され
たウエーハの一括検知を示す図である。
たウエーハの一括検知を示す図である。
【図４】ウエーハの一括検知センサを示す実寸図であ
る。
る。
１…ウエーハカセット １ａ…溝 ２…カセットステージ ３…一括検知センサ ４…センサ検知部 １０…ウエーハ
Claims (1)
- 【請求項１】ウエーハ面を垂直の状態にしてウエーハカ
セット内に複数のウエーハを並列に収容したのち、一括
検知センサを挿入して前記ウエーハの一括検知を行なう
ウエーハの検知方法において、 前記ウエーハ面が前記垂直の状態から水平の状態になる
まで、前記ウエーハカセットを概ね９０°正方向に回動
させるステップと、 前記ウエーハ面の水平の状態から逆方向に前記ウエーハ
カセットを回動させるステップと、 前記逆方向への回動により、前記ウエーハ面が、鉛直線
より所定の角度だけ手前の角度位置で停止させるステッ
プとを有することを特徴とするウエーハの検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23182196A JPH1074823A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | ウエーハの検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23182196A JPH1074823A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | ウエーハの検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074823A true JPH1074823A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16929554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23182196A Pending JPH1074823A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | ウエーハの検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1074823A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030032746A (ko) * | 2001-10-19 | 2003-04-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 수량 확인장치 |
| KR20070070846A (ko) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 주식회사 케이씨텍 | 웨이퍼 정렬장치 및 그 제어방법 |
-
1996
- 1996-09-02 JP JP23182196A patent/JPH1074823A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030032746A (ko) * | 2001-10-19 | 2003-04-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 제조설비의 웨이퍼 수량 확인장치 |
| KR20070070846A (ko) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 주식회사 케이씨텍 | 웨이퍼 정렬장치 및 그 제어방법 |
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