JPH1075149A - 弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタ - Google Patents
弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタInfo
- Publication number
- JPH1075149A JPH1075149A JP22864696A JP22864696A JPH1075149A JP H1075149 A JPH1075149 A JP H1075149A JP 22864696 A JP22864696 A JP 22864696A JP 22864696 A JP22864696 A JP 22864696A JP H1075149 A JPH1075149 A JP H1075149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- upper electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズを大きくすることなく多数の共振周波
数を選択することができる弾性表面波デバイスを提供す
る。 【解決手段】 長方形状の非導電性の基板１の上面に下
部電極２が形成され、その上に強誘電体薄膜３が形成さ
れている。この基板１の長手方向の中央に細幅の第１の
上部電極４１が形成され、第１の上部電極４１同士の間
に細幅の第２の上部電極４２が形成されている。上部電
極４１，４２よりなる上部電極群中央にしてその両側に
それぞれ反射器５が設けられている。各上部電極４１は
コンデンサ６１を介して端子７１に接続されている。ま
た、各上部電極４１は、切替スイッチ８を介して電池９
又は１０に接続可能とされている。各上部電極４２もコ
ンデンサ６２を介して端子７２に接続されている。ま
た、各上部電極４２は、切替スイッチ８を介して電池９
又は１０に接続可能とされている。
数を選択することができる弾性表面波デバイスを提供す
る。 【解決手段】 長方形状の非導電性の基板１の上面に下
部電極２が形成され、その上に強誘電体薄膜３が形成さ
れている。この基板１の長手方向の中央に細幅の第１の
上部電極４１が形成され、第１の上部電極４１同士の間
に細幅の第２の上部電極４２が形成されている。上部電
極４１，４２よりなる上部電極群中央にしてその両側に
それぞれ反射器５が設けられている。各上部電極４１は
コンデンサ６１を介して端子７１に接続されている。ま
た、各上部電極４１は、切替スイッチ８を介して電池９
又は１０に接続可能とされている。各上部電極４２もコ
ンデンサ６２を介して端子７２に接続されている。ま
た、各上部電極４２は、切替スイッチ８を介して電池９
又は１０に接続可能とされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は共振子又はフィルタ
として用いるのに好適な弾性表面波デバイスに係り、特
に共振周波数を可変とした弾性表面波デバイスに関す
る。
として用いるのに好適な弾性表面波デバイスに係り、特
に共振周波数を可変とした弾性表面波デバイスに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波回路素子で用いられている変
換器は、基板の圧電効果を利用したすだれ状電極（Inte
rdigital Transducer , IDT ) である。
換器は、基板の圧電効果を利用したすだれ状電極（Inte
rdigital Transducer , IDT ) である。
【０００３】すだれ状電極の電極指に高周波電圧を印加
すると、圧電効果により基板表面近傍に周期的な歪みが
生ずる。弾性表面波の波長λが、すだれ状電極の電極周
期２ｄに一致する周波数ｆ0 （＝Ｖ／２ｄ，Ｖ：表面波
速度）で各電極指から励起された表面波が同相に加わる
ので、送受間の感度が最も高くなる。
すると、圧電効果により基板表面近傍に周期的な歪みが
生ずる。弾性表面波の波長λが、すだれ状電極の電極周
期２ｄに一致する周波数ｆ0 （＝Ｖ／２ｄ，Ｖ：表面波
速度）で各電極指から励起された表面波が同相に加わる
ので、送受間の感度が最も高くなる。
【０００４】このように、弾性表面波デバイスにおいて
は、この電極の間隔（電極周期）によって共振周波数ｆ
0 が定まるのであるが、この弾性表面デバイスの共振周
波数を可変とできれば、可変型の共振器型発振器やフィ
ルタ等を構成する上できわめて有効である。
は、この電極の間隔（電極周期）によって共振周波数ｆ
0 が定まるのであるが、この弾性表面デバイスの共振周
波数を可変とできれば、可変型の共振器型発振器やフィ
ルタ等を構成する上できわめて有効である。
【０００５】複数種類の共振周波数を有する弾性表面波
発振器として、特開平２−２２６８０６号公報には、同
一の圧電体基板上に共振周波数の異なる複数の弾性表面
波共振器を構成し、電子的な切り替えスイッチを用いて
１つの弾性表面波共振器を選択するようにしたものが記
載されている。
発振器として、特開平２−２２６８０６号公報には、同
一の圧電体基板上に共振周波数の異なる複数の弾性表面
波共振器を構成し、電子的な切り替えスイッチを用いて
１つの弾性表面波共振器を選択するようにしたものが記
載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】かかる特開平２−２２
６８０６号公報のものでは、必要とする種類数の弾性表
面波共振器を同一の圧電体基板上に設ける必要があり、
弾性表面波共振器の数が多くなるほど、発振器のサイズ
が大きくなってしまう。
６８０６号公報のものでは、必要とする種類数の弾性表
面波共振器を同一の圧電体基板上に設ける必要があり、
弾性表面波共振器の数が多くなるほど、発振器のサイズ
が大きくなってしまう。
【０００７】本発明は、サイズを大きくすることなく多
数の共振周波数を選択することができる弾性表面波デバ
イスを提供することを目的とする。
数の共振周波数を選択することができる弾性表面波デバ
イスを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波デバ
イスは、基板上に下部電極及び強誘電体薄膜がこの順に
積層状に形成され、該強誘電体薄膜上に複数の細幅の第
１の上部電極が平行に設けられ、該第１の上部電極の間
にそれぞれ細幅の第２の上部電極が設けられ、これら第
１及び第２の上部電極よりなり、各上部電極に対し正又
は負の電圧を切り替えて印加できる電圧印加装置を備え
てなるものである。なお、基板が導電性の場合は、基板
自体を下部電極として用いても良い。
イスは、基板上に下部電極及び強誘電体薄膜がこの順に
積層状に形成され、該強誘電体薄膜上に複数の細幅の第
１の上部電極が平行に設けられ、該第１の上部電極の間
にそれぞれ細幅の第２の上部電極が設けられ、これら第
１及び第２の上部電極よりなり、各上部電極に対し正又
は負の電圧を切り替えて印加できる電圧印加装置を備え
てなるものである。なお、基板が導電性の場合は、基板
自体を下部電極として用いても良い。
【０００９】かかる弾性表面波デバイスにおいては、あ
る上部電極と下部電極との間に電圧を印加すると、該上
部電極と下部電極との間の強誘電体薄膜が分極する。こ
の分極方向は、この印加電圧の正負により任意に選択で
きる。
る上部電極と下部電極との間に電圧を印加すると、該上
部電極と下部電極との間の強誘電体薄膜が分極する。こ
の分極方向は、この印加電圧の正負により任意に選択で
きる。
【００１０】この電圧印加を解除しても、残留分極によ
り強誘電体薄膜の分極がそのまま残留する。
り強誘電体薄膜の分極がそのまま残留する。
【００１１】各上部電極と下部電極との間の分極を行う
ことにより、弾性表面波デバイスの共振周波数が定ま
り、この弾性表面波デバイスを共振子又はフィルタとし
て用いることができる。
ことにより、弾性表面波デバイスの共振周波数が定ま
り、この弾性表面波デバイスを共振子又はフィルタとし
て用いることができる。
【００１２】なお、強誘電体薄膜の膜厚は、第１の上部
電極と第２の上部電極との間の幅よりも小さいことが好
ましい。
電極と第２の上部電極との間の幅よりも小さいことが好
ましい。
【００１３】こうすることにより、上部電極と下部電極
との間の強誘電体薄膜を確実に薄膜厚さ方向に分極させ
ることができる。
との間の強誘電体薄膜を確実に薄膜厚さ方向に分極させ
ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１（ａ）は実施の形態に係る弾
性表面波デバイスの平面図であり、図１（ｂ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
性表面波デバイスの平面図であり、図１（ｂ）は図１
（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【００１５】長方形状の非導電性の基板１の上面に下部
電極２が形成され、その上に強誘電体薄膜３が形成され
ている。
電極２が形成され、その上に強誘電体薄膜３が形成され
ている。
【００１６】この基板１の長手方向の中央に細幅の第１
の上部電極４１が形成され、第１の上部電極４１同士の
間に細幅の第２の上部電極４２が形成されている。各上
部電極４１，４２は基板１の短辺と平行方向に延在して
いる。上部電極４１，４２は等間隔に設けられている。
強誘電体薄膜３の膜厚は、上部電極４１，４２同士の間
隔Ｐよりも小さい。
の上部電極４１が形成され、第１の上部電極４１同士の
間に細幅の第２の上部電極４２が形成されている。各上
部電極４１，４２は基板１の短辺と平行方向に延在して
いる。上部電極４１，４２は等間隔に設けられている。
強誘電体薄膜３の膜厚は、上部電極４１，４２同士の間
隔Ｐよりも小さい。
【００１７】上部電極４１，４２よりなる上部電極群中
央にしてその両側にそれぞれ反射器５が設けられてい
る。この反射器５は、上部電極４１，４２と平行な複数
の反射部５ａと、この反射部５ａ同士をつなぐ橋絡部５
ｂとからなる。反射部５ａ同士の配列ピッチは、上部電
極４１，４２……の配列ピッチと等しくなっている。
央にしてその両側にそれぞれ反射器５が設けられてい
る。この反射器５は、上部電極４１，４２と平行な複数
の反射部５ａと、この反射部５ａ同士をつなぐ橋絡部５
ｂとからなる。反射部５ａ同士の配列ピッチは、上部電
極４１，４２……の配列ピッチと等しくなっている。
【００１８】各上部電極４１はコンデンサ６１を介して
端子１１に接続されている。また、各上部電極４１は、
コイル７１及び切替スイッチ８１を介して電池９又は１
０に接続可能とされている。なお、電池９は正極が上部
電極４１に接続され、電池１０は負極が上部電極４１に
接続される。
端子１１に接続されている。また、各上部電極４１は、
コイル７１及び切替スイッチ８１を介して電池９又は１
０に接続可能とされている。なお、電池９は正極が上部
電極４１に接続され、電池１０は負極が上部電極４１に
接続される。
【００１９】各上部電極４２もコンデンサ６２を介して
端子１２に接続されている。また、各上部電極４２は、
コイル７２及び切替スイッチ８２を介して電池９又は１
０に接続可能とされている。なお、電池９は正極が上部
電極４２に接続され、電池１０は負極が上部電極４２に
接続される。
端子１２に接続されている。また、各上部電極４２は、
コイル７２及び切替スイッチ８２を介して電池９又は１
０に接続可能とされている。なお、電池９は正極が上部
電極４２に接続され、電池１０は負極が上部電極４２に
接続される。
【００２０】このように構成された弾性表面波デバイス
においては、各上部電極４１，４２に正又は負のいずれ
の電圧をも印加しうる。この弾性表面波デバイスを発振
させると、上部電極群で発生した振動が各反射器５で反
射され、定在波が形成されることにより共振が生じる。
この共振周波数は上部電極４１，４２に印加する電圧に
よって定まる。
においては、各上部電極４１，４２に正又は負のいずれ
の電圧をも印加しうる。この弾性表面波デバイスを発振
させると、上部電極群で発生した振動が各反射器５で反
射され、定在波が形成されることにより共振が生じる。
この共振周波数は上部電極４１，４２に印加する電圧に
よって定まる。
【００２１】すべての上部電極４１，４２に正の電圧を
印加した下記Ｎｏ．１の場合（又はすべての上部電極４
１，４２に負の電圧を印加した場合）の共振周波数をｆ
とすると、上部電極４１に正の電圧を印加し上部電極４
２に負の電圧を印加した下記Ｎｏ．２の共振周波数は２
ｆとなる。さらに上部電極４１，４２への電圧印加の組
み合わせを変えることにより次のように共振周波数を変
えることができる。 Ｎｏ．１ ＋＋＋＋＋＋＋の場合 ｆ Ｎｏ．２ ＋−＋−＋−＋の場合 ２ｆ Ｎｏ．３ ＋＋−−＋＋−の場合 ｆ／２ Ｎｏ．４ ＋＋＋−−−＋＋＋−−−の場合 ｆ／３ なお、Ｎ≧２（Ｎ：上部電極の同極の数）のとき、Ｎ個
の＋とＮ個の−とを交互に配置した組み合わせにおいて
は、共振周波数はｆ／Ｎとなる。
印加した下記Ｎｏ．１の場合（又はすべての上部電極４
１，４２に負の電圧を印加した場合）の共振周波数をｆ
とすると、上部電極４１に正の電圧を印加し上部電極４
２に負の電圧を印加した下記Ｎｏ．２の共振周波数は２
ｆとなる。さらに上部電極４１，４２への電圧印加の組
み合わせを変えることにより次のように共振周波数を変
えることができる。 Ｎｏ．１ ＋＋＋＋＋＋＋の場合 ｆ Ｎｏ．２ ＋−＋−＋−＋の場合 ２ｆ Ｎｏ．３ ＋＋−−＋＋−の場合 ｆ／２ Ｎｏ．４ ＋＋＋−−−＋＋＋−−−の場合 ｆ／３ なお、Ｎ≧２（Ｎ：上部電極の同極の数）のとき、Ｎ個
の＋とＮ個の−とを交互に配置した組み合わせにおいて
は、共振周波数はｆ／Ｎとなる。
【００２２】各上部電極４１，４２に電池９，１０によ
って電圧を印加した後、電池９，１０を切り離しても、
強誘電体薄膜３の分極は残留するので上記の特性が維持
される。もちろん、その後、逆の電圧を維持することに
より分極を反転させ、別の共振周波数を得ることもでき
る。
って電圧を印加した後、電池９，１０を切り離しても、
強誘電体薄膜３の分極は残留するので上記の特性が維持
される。もちろん、その後、逆の電圧を維持することに
より分極を反転させ、別の共振周波数を得ることもでき
る。
【００２３】上記実施の形態では基板１が非導電性とな
っているが、導電性基板の場合には、絶縁層を形成して
から下部電極を形成しても良く、基板を下部電極として
そのまま用いても良い。
っているが、導電性基板の場合には、絶縁層を形成して
から下部電極を形成しても良く、基板を下部電極として
そのまま用いても良い。
【００２４】本発明では、基板の材質としては、シリコ
ン，ＧａＡｓ，ＳｒＴｉＯ3 ，ＭｇＯ，サファイアなど
を用いることができる。強誘電体薄膜としては、ＰＺＴ
などが好適である。電極材料としてはＡｌなどを用いる
ことができる。
ン，ＧａＡｓ，ＳｒＴｉＯ3 ，ＭｇＯ，サファイアなど
を用いることができる。強誘電体薄膜としては、ＰＺＴ
などが好適である。電極材料としてはＡｌなどを用いる
ことができる。
【００２５】
【実施例】４ｉｎｃｈのシリコン基板上にゾル・ゲル法
により厚さ１μｍのＰＺＴ薄膜を形成した。その後、Ｐ
ＺＴ薄膜上に線幅及び間隔４μｍとなるように厚さ０．
１μｍのＡｌ電極４１，４２を図１のパターンとなるよ
うに形成した。また、反射部同士が同じ線幅及び間隔と
なるように反射器５を形成した。電池９，１０は３０Ｖ
とした。
により厚さ１μｍのＰＺＴ薄膜を形成した。その後、Ｐ
ＺＴ薄膜上に線幅及び間隔４μｍとなるように厚さ０．
１μｍのＡｌ電極４１，４２を図１のパターンとなるよ
うに形成した。また、反射部同士が同じ線幅及び間隔と
なるように反射器５を形成した。電池９，１０は３０Ｖ
とした。
【００２６】このように構成された弾性表面波デバイス
において、各上部電極４１，４２に正の電圧を印加し、
次いで電圧印加を解除した後、発振させたところ、２０
０ＭＨｚで発振した。いずれの場合も設定コード通りの
信号波形が出力された。電圧印加を上記Ｎｏ．２とする
ことにより共振周波数は４００ＭＨｚとなり、電圧印加
を上記Ｎｏ．３とすることにより共振周波数は１００Ｍ
Ｈｚとなり、電圧印加を上記Ｎｏ．４とすることにより
共振周波数は６６ＭＨｚとなった。
において、各上部電極４１，４２に正の電圧を印加し、
次いで電圧印加を解除した後、発振させたところ、２０
０ＭＨｚで発振した。いずれの場合も設定コード通りの
信号波形が出力された。電圧印加を上記Ｎｏ．２とする
ことにより共振周波数は４００ＭＨｚとなり、電圧印加
を上記Ｎｏ．３とすることにより共振周波数は１００Ｍ
Ｈｚとなり、電圧印加を上記Ｎｏ．４とすることにより
共振周波数は６６ＭＨｚとなった。
【００２７】基板をＭｇＯとし、下部電極を厚さ０．２
μｍのＰｔ層にて形成した。その他は上記と同様にして
弾性表面波デバイスを製造した。このデバイスも上記と
同じ共振周波数を有していた。
μｍのＰｔ層にて形成した。その他は上記と同様にして
弾性表面波デバイスを製造した。このデバイスも上記と
同じ共振周波数を有していた。
【００２８】
【発明の効果】以上の通り、本発明によると、共振周波
数の選択が可能であり、しかもこの共振周波数設定のた
めの電圧印加を解除しても作動する弾性表面波デバイス
が提供される。この弾性表面波デバイスは、多数の共振
周波数を設定することができる。
数の選択が可能であり、しかもこの共振周波数設定のた
めの電圧印加を解除しても作動する弾性表面波デバイス
が提供される。この弾性表面波デバイスは、多数の共振
周波数を設定することができる。
【００２９】この弾性表面波デバイスは、共振周波数設
定後は電圧印加装置と切り離して弾性表面波デバイス単
体として作動させることができ、小型軽量なものとな
る。
定後は電圧印加装置と切り離して弾性表面波デバイス単
体として作動させることができ、小型軽量なものとな
る。
【図１】実施の形態に係る弾性表面波デバイスの構成を
示すものであり、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）
図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
示すものであり、（ａ）図は平面図、（ｂ）図は（ａ）
図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
１ 基板 ２ 下部電極 ３ 強誘電体薄膜 ４１ 第１の上部電極 ４２ 第２の上部電極 ５ 反射器 ６１，６２ コンデンサ ７１，７２ 端子 ８ 切替スイッチ ９，１０ 電池
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に下部電極及び強誘電体薄膜がこ
の順に積層状に形成され、 該強誘電体薄膜上に複数の細幅の第１の上部電極が平行
に設けられ、 該第１の上部電極の間にそれぞれ細幅の第２の上部電極
が設けられ、 各上部電極に対し正又は負の電圧を切り替えて印加でき
る電圧印加装置を備えてなる弾性表面波デバイス。 - 【請求項２】 導電性の基板上に強誘電体薄膜が形成さ
れ、 該強誘電体薄膜上に複数の細幅の第１の上部電極が平行
に設けられ、 該第１の上部電極の間にそれぞれ細幅の第２の上部電極
が設けられ、 各上部電極に対し正又は負の電圧を切り替えて印加でき
る電圧印加装置を備えてなる弾性表面波デバイス。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、強誘電体の膜
厚は前記第１の上部電極と第２の上部電極との間の幅よ
りも小さいことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項におい
て、前記第１及び第２の上部電極よりなる上部電極群の
電極配列方向の両側に弾性波の反射器が設けられている
ことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項に記載
の弾性表面波デバイスを利用した共振子。 - 【請求項６】 請求項１ないし４のいずれか１項に記載
の弾性表面波デバイスを利用したフィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22864696A JPH1075149A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタ |
| DE1997112496 DE19712496A1 (de) | 1996-03-26 | 1997-03-25 | Piezoelektrische Dünnfilm-Bauelemente |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22864696A JPH1075149A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1075149A true JPH1075149A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16879605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22864696A Withdrawn JPH1075149A (ja) | 1996-03-26 | 1996-08-29 | 弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1075149A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6870446B2 (en) | 2001-09-21 | 2005-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | High frequency filter |
| KR100520335B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2005-10-12 | 가부시끼가이샤 도시바 | 전압 제어 발진기 |
| KR100537128B1 (ko) * | 2001-09-21 | 2005-12-19 | 가부시끼가이샤 도시바 | 압전박막 공진기 및 그러한 공진기를 이용하는 주파수가변 공진기 |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP22864696A patent/JPH1075149A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6870446B2 (en) | 2001-09-21 | 2005-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | High frequency filter |
| KR100537128B1 (ko) * | 2001-09-21 | 2005-12-19 | 가부시끼가이샤 도시바 | 압전박막 공진기 및 그러한 공진기를 이용하는 주파수가변 공진기 |
| KR100541895B1 (ko) * | 2001-09-21 | 2006-01-16 | 가부시끼가이샤 도시바 | 고주파 필터 |
| KR100520335B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2005-10-12 | 가부시끼가이샤 도시바 | 전압 제어 발진기 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4410823A (en) | Surface acoustic wave device employing reflectors | |
| JP2790177B2 (ja) | 電歪共振素子 | |
| US6437484B1 (en) | Piezoelectric resonator | |
| JP3229336B2 (ja) | 表面がマイクロ機械加工された音響波ピエゾ電気結晶 | |
| EP0064506B2 (en) | Improvements in or relating to methods of producing devices comprising metallised regions on dielectric substrates | |
| JPS60126907A (ja) | 単一応答複合圧電振動素子 | |
| GB2083695A (en) | Ultrasonic transducer | |
| CN119678367A (zh) | 弹性波装置 | |
| Nakamura et al. | Piezoelectric transformers using LiNbO3 single crystals | |
| JPH07263998A (ja) | 端面反射型表面波共振子 | |
| JPH06252688A (ja) | 圧電共振装置 | |
| NL1010853C2 (nl) | Piezo-elektrische resonator ingericht voor het opwekken van een harmonische golf in een in dikte varierende vibratiemode. | |
| US20050231072A1 (en) | Piezoelectric resonator and electronic component provided therewith | |
| JP3677384B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH1093379A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
| JPH1075149A (ja) | 弾性表面波デバイス、共振子及びフィルタ | |
| JPH0396005A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| US20240097643A1 (en) | Piezoelectric bulk wave device and method for manufacturing the same | |
| JPS6261170B2 (ja) | ||
| JP3147834B2 (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| US20230246626A1 (en) | Electrode-defined unsuspended acoustic resonator | |
| JP2644241B2 (ja) | 圧電体多層膜およびその製造方法 | |
| US6842087B2 (en) | Three-terminal filter using area flexural vibration mode | |
| JPS58687B2 (ja) | デンキキカイテキキヨウシンソウチ | |
| JPH10215140A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |