JPH1078419A

JPH1078419A - 超音波検査装置

Info

Publication number: JPH1078419A
Application number: JP23435396A
Authority: JP
Inventors: Fumito Iwasaki; 史十岩▲崎▼; Yasuo Hayakawa; 泰夫早川; Soji Sasaki; 荘二佐々木; Tamio Hayasaka; 民雄早坂; Yasuhiko Morinaga; 泰彦森永
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1996-09-04
Filing date: 1996-09-04
Publication date: 1998-03-24

Abstract

(57)【要約】【目的】超音波伝播媒質の漏洩が少なく、短時間で検
査をすることができる超音波検査装置を提供する。【構成】検査時には被検体１５０の被検体面により塞
がれる開口が形成された筐体１０１と、筐体１０１に収
納され、開口を介して超音波を送受信する超音波探触子
１０４と、筐体１０１を開口と超音波探触子１０４との
間で分割する分割膜ＳＦと、分割膜ＳＦと開口との間に
形成された下部水室ＤＰへ水を供給する給水管１１４ａ
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波による非破壊
検査、とくに大型構造物の検査に好適な超音波検査装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】超音波を利用した非破壊の検査方法が知
られている。この方法は被検体に超音波を当てて、その
反射波を分析することにより被検体内部の状態を検査す
るものである。このような超音波を用いた検査方法に
は、超音波探触子を直接被検体に接触させる直接接触法
のほか、両者を離した状態で検査を行う非接触式の検査
方法がある。

【０００３】従来、非接触式の超音波検査方法として、
図５に示すように、被検体５１を液槽５２の液中に沈
めて超音波探触子５３で検査する全没液浸法や、図６
に示すように、液槽５２の底部から水を供給してオーバ
ーフローさせ、液槽５２の上面を移動する被検体５１を
液槽５２に水没させた超音波探触子５３で検査する局部
液浸法、図７に示すように、超音波探触子５３の周囲
に一体に形成した液溜５４の上部から水を供給しながら
被検体５１の上面を移動させて検査するギャップ法が知
られている（非破壊検査第３７巻第１２号（１９８
８）、９１９〜９２８頁）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超音波検査方法を大型構造物に適用する場合には以下の
問題がある。まず、直接接触法ではグリセリンや水ガラ
スなどを構造物の検査面に塗布したうえで超音波探触子
を接触させ検査を行うので、作業が煩雑であるととも
に、超音波探触子と被検体間を完全に上述の塗布物質で
満たすことは困難なため、超音波の伝搬が安定せず正確
な検査ができないという問題がある。

【０００５】また、上述の全没液浸法は被検体の全体を
入れる液槽が必要となるため、とくに大型構造物の検査
には不向きである。

【０００６】局部液浸法やギャップ法は、被検体全体を
液浸する必要がないため大型構造物にも適用できるが、
液槽５２あるいは液槽５４内には比較的大量の水が溜ま
る構造となっており（図６、図７）、誤って内部の水を
たれ流す可能性がある。このため水を嫌う、例えば錆を
発生させるような被検体には適用が困難である。また液
槽５２、５４の容量がある程度大きなものとされている
ので、液槽５２、５４の水の供給および排出に時間がか
かり、検査を短時間で終了させることができないという
問題もある。

【０００７】本発明の目的は、超音波伝播媒質の漏洩が
少なく、短時間で検査をすることができる超音波検査装
置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
に対応付けて説明すると、請求項１に記載の発明は、超
音波伝搬媒質を介して被検体１５０に向けて超音波を送
出するとともに被検体１５０で反射された超音波の情報
に基づいて被検体１５０の検査を行う超音波検査装置に
適用される。そして、検査時には被検体１５０の被検体
面により塞がれる開口が形成された液槽１０１と、液槽
１０１に収納され、開口を介して超音波を送受信する超
音波送受信装置１０４と、液槽１０１を開口と超音波送
受信装置１０４との間で分割する分割膜ＳＦと、分割膜
ＳＦと開口との間に形成された開口側液室ＤＰへ超音波
伝搬媒質を供給する媒質供給装置１１４ａとを備えるこ
とにより上述の目的が達成される。請求項２に記載の発
明は、請求項１に記載の超音波検査装置において、媒質
供給装置１１４ａを制御する供給制御手段１３２を、液
槽１０１に取付けたものである。請求項３に記載の発明
は、請求項１に記載の超音波検査装置において、開口側
液室ＤＰから媒質を排出する媒質排出装置１１４ｂをさ
らに備えるものである。請求項４に記載の発明は、請求
項３に記載の超音波検査装置において、開口側液室ＤＰ
の媒質の供給・排出を制御する給排出制御スイッチを液
槽１０１にさらに取付けたものである。請求項５に記載
の発明は、請求項１に記載の超音波検査装置において、
超音波送受信装置１０４（３０４）を液槽１０１（３０
１）に対して駆動する駆動機構１０６，１１０（３０６
Ａ，３０６Ｂ，３１０）をさらに備えるものである。請
求項６に記載の発明は、請求項５に記載の超音波検査装
置において、駆動機構１０６，１１０（３０６Ａ，３０
６Ｂ，３１０）を制御する駆動制御手段１３３（３３
４）を、液槽１０１（３０１）に取付けたものである。

【０００９】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が
実施の形態に限定されるものではない。

【００１０】

【発明の実施の形態】

−第１の実施の形態− 以下、図１および図２を用いて、本発明による超音波検
査装置の第１の実施の形態について説明する。

【００１１】図１（ａ）において、筐体１０１は下方に
向けて開口しており、その開口の周りに開口端１０１ａ
が形成されている。筐体１０１の中央部には筐体１０１
の内部を上下に区画する区画板１０１ｂが設けられ、区
画板１０１ｂの下方には、アレイ型の超音波探触子１０
４が設けられている。

【００１２】図３に示すように、超音波探触子１０４に
は多数の微小な超音波送受信素子１０４ａが配列して設
けられ、超音波送受信動作を行なう一定面積の素子群１
０４ＸがＸ方向に順次移動するように電子的な切換えを
行なうことにより、超音波ビームＢ３がＸ方向に走査さ
れる。素子群１０４Ｘを構成する各素子１０４ａの振動
の位相差および超音波送受信素子１０４ａに取付けられ
た音響レンズ１０４ｂの機能によって、送出された超音
波ビームＢ３は焦点に向って集束される。

【００１３】超音波探触子１０４は筐体１０１に回転可
能に取付けられた雄ねじ１０６と螺合されるとともに、
雄ねじ１０６と平行に設けられたガイドレール１０５に
対して摺動可能に取付けられている。

【００１４】雄ねじ１０６は筐体１０１の側壁に貫通し
て取付けられ、その側壁から突出した雄ねじ１０６の先
端にはプーリ１０７が取付けられている。一方、区画板
１０１ｂの上方にはモータ１１０が設けられ、筐体１０
１を貫通して設けられたモータ１１０の回転軸１１１の
先端にはプーリ１０９が取付けられている。これらプー
リ１０７および１０９にはベルト１０８が掛け回され、
プーリ１０７、１０９およびベルト１０８は筐体１０１
に取付けられたカバー１０２内に収納されている。

【００１５】モータ１１０が回転すると、モータ１１０
の回転力はプーリ１０９、ベルト１０８およびプーリ１
０７を介して雄ねじ１０６に伝達され、雄ねじ１０６の
回転に伴って雄ねじ１０６に螺合した超音波探触子１０
４がガイドレール１０５に案内されてＹ軸方向に摺動す
る。モータ１１０にはモータ１１０の回転角を読取るエ
ンコーダ１１２が取付けられ、エンコーダ１１２の出力
信号１１２Ａに基づいて超音波探触子１０４のＹ座標が
算出される。

【００１６】超音波探触子１０４の側面には、取付部材
１３１が周状に取付けられ、柔軟で伸縮性に富み、かつ
水密性のベローズ状部材１３０が取付部材１３１と筐体
１０１の下段の内部との間に水封的に取付けられてい
る。ベローズ状部材１３０は水封性を維持したまま超音
波探触子１０４の移動に応じて変形する。

【００１７】開口端１０１ａに接触した被検体１５０
と、筐体１０１内に収納された超音波探触子１０４との
間には、被検体１５０の被検体面とほぼ平行に分割膜Ｓ
Ｆが取付けられている。分割膜ＳＦは筐体１０１内を上
下に水封的に分離し、図１に示すように、分割膜ＳＦ、
筐体１０１、ベローズ状部材１３０、取付部材１３１お
よび超音波探触子１０４により取り囲まれた上部水室Ｕ
Ｐと、分割膜ＳＦ、筐体１０１および被検体１５０の被
検体面により取り囲まれた下部水室ＤＰとが形成されて
いる。分割膜ＳＦは開口端１０１ａに近接した位置に設
けられているので、下部水室ＤＰの容積は極く小さいも
のとされている。

【００１８】分割膜ＳＦは超音波探触子１０４から送出
される超音波を極力減衰させずに透過させる必要がある
ため、分割膜ＳＦは超音波の反射が起きにくいように音
響インピーダンスが水と同等の材質のものを用い、減衰
量を抑制するためにその厚みを小さくすることが望まし
い。分割膜ＳＦとして、例えば５０μｍ程度の厚みのポ
リイミドフィルム等を用いることができる。

【００１９】超音波探触子１０４の周囲に取付けられた
取付部材１３１には供給管１１３が貫通されており、供
給管１１３を介して上部水室ＵＰに蒸留水等の液体が供
給される。上部水室ＵＰは供給管１１３のみを通じて外
部と接続されているので、一旦、供給管１１３を介して
上部水室ＵＰに液体を満たした後、供給管１１３を閉じ
れば、充填された液体は漏洩することなく上部水室ＵＰ
内に維持される。上部水室ＵＰに充填された液体は、超
音波探触子１０４から送出された超音波を伝搬させる媒
質として機能する。

【００２０】下部水室ＤＰには、筐体１０１を貫通して
給水管１１４ａおよび排水管１１４ｂが接続されてお
り、下部水室ＤＰの給排水が給水管１１４ａおよび排水
管１１４ｂを介して行われる。図１（ｂ）に示すよう
に、下部水室ＤＰは給水管１１４ａが接続された側から
徐々に幅が広がってゆき、排水管１１４ｂに向けて再び
幅が小さくなるような略六角形形状をしている。下部水
室ＤＰをこのような形状に形成することにより、水の流
れをスムーズにし、下部水室ＤＰ内の空気を効率よく除
去するようにしている。

【００２１】図１（ａ）に示すように、給水管１１４ａ
は筐体１０１の上部に取付けられた給水制御弁１３２を
介して不図示の給水ポンプと接続されており、給水制御
弁１３２を操作することにより下部水室ＤＰへの給水が
制御される。また、筐体１０１の上部には給水制御弁１
３２と並んでスキャン制御スイッチ１３３が取付けられ
ており、スキャン制御スイッチ１３３を操作することに
よりモータ１１０が回転を始める。これにより超音波探
触子１０４の走査が開始され、例えば１ライン走査が終
了すると、自動的に開始位置に戻って停止する。あるい
はスキャン制御スイッチ１３３の操作毎に開始と停止を
繰返すように設定することもできる。

【００２２】図１（ａ）および図２に示すように、超音
波探触子１０４は信号線１１９を介して筐体１０１の外
部に設けられた超音波送受信機１２０と接続されてい
る。超音波送受信機１２０の送信部１２１から出力され
た送信パルス１２１Ａは超音波探触子１０４の振動素子
１０４ａに入力され、超音波探触子１０４の受信信号１
０４Ａは超音波送受信機１２０の受信部１２２に入力さ
れる。さらに受信部１２２の出力信号１２２Ａおよびモ
ータ１１０の回転角を読取るエンコーダ１１２の信号１
１２Ａは信号表示部１２３に入力され、探傷画像１２４
が表示される。

【００２３】以上のように構成された本実施の形態の超
音波検査装置を用いて被検体１５０の検査を行う場合の
動作について、次に説明する。検査に際して供給管１１
３を介して上部水室ＵＰ内に蒸留水を充填させ、供給管
１１３の弁（不図示）を閉じる。これにより、上部水室
ＵＰに蒸留水が充填された状態が維持される。

【００２４】次に、筐体１０１の開口端１０１ａを被検
体１５０の被検体面に接触させた状態で給水制御弁１３
２を操作することにより、給水管１１４ａを介して下部
水室ＤＰ内に給水する。下部水室ＤＰの容量は極く小さ
な値とされているので、給水を開始すると間もなく下部
水室ＤＰが水で満たされ、下部水室ＤＰ内の空気が排出
される。下部水室ＤＰを水で満たした後、給水制御弁１
３２を操作して下部水室ＤＰへの給水を停止する。

【００２５】上部水室ＵＰおよび下部水室ＤＰの両者が
蒸留水あるいは水により充填された後、超音波探触子１
０４から超音波を送出すると、送出された超音波は上部
水室ＵＰ、分割膜ＳＦおよび下部水室ＤＰを透過して被
検体１５０に到達する。被検体１５０に到達した超音波
は被検体１５０の表面あるいは内部で反射され、再び下
部水室ＤＰ、分割膜ＳＦおよび上部水室ＵＰを経由して
超音波探触子１０４で受信される。

【００２６】超音波探触子１０４の送出する超音波は、
各素子１０４ａの動作の電子的切替えによりＸ方向に、
ボールねじ１０６の回転に応じた超音波探触子１０４の
運動によりＹ方向に、それぞれ走査されるので、筐体１
０１を固定したまま被検体面の所定の範囲について２次
元的な走査が可能とされている。このように、第１の実
施の形態では超音波探触子１０４を走査する際に筐体１
０１ごと移動させる必要がないので、下部水室ＤＰの水
を入替える作業が不要となり、検査時間を短縮できる。
また、被検体１５０の周辺を不用意に濡らすこともな
い。なお、開口端１０１ａはそれ自体弾性材で形成する
か、あるいは被検体１５０と接触する面に弾性材を貼り
付ける構成とすることが望ましい。

【００２７】超音波探触子１０４の位置はエンコーダ１
１２によってモータ１１０の回転角を介してリアルタイ
ムで読取られる。超音波探触子１０４に到達した超音波
は超音波探触子１０４により電気信号に変換され、超音
波送受信機１２０において処理される。超音波送受信機
１２０を経由した電気信号およびエンコーダ１１２の信
号は信号表示部１２３に入力され、信号表示部１２３に
おいて被検体１５０の探傷映像が表示される。

【００２８】検査部位を移動させるには、筐体１０１を
次の検査部材に移動させる必要があるが、下部水室ＤＰ
の容量は極く小さくされているので、移動前の排水動作
を省略しても被検体１５０に残留する水の量はわずかで
あり、各検査部位に付着した水をタオル等で拭取るよう
にしてもよい。

【００２９】なお、図１では、被検体１５０としてスポ
ット溶接部１５３で接合された金属板１５１と金属板１
５２とからなるものを例示しているが、例えばスポット
溶接部１５３の部位について検査したい場合には、超音
波探触子１０４から発した超音波ビームＢ１がスポット
溶接部１５３の深さで焦点を結ぶように、検査前に被検
体１５０と超音波探触子１０４の距離を調節しておけば
よい。

【００３０】第１の実施の形態では、給水制御弁１３２
を筐体１０１に取付けているので、下部水室ＤＰの給排
水の操作を容易に行うことができ、超音波検査の作業負
担が低減されるとともに、検査時間を短縮できる。

【００３１】なお、筐体１０１にさらに給排水制御スイ
ッチを設け、給水制御弁１３２の操作とともに不図示の
ポンプの回転方向の制御を行い、下部水室ＤＰの媒質の
給排水を行う構成としてもよい。この場合、例えば検査
部位の移動時に予め媒質の排出を行うようにすれば、媒
質の漏洩をより少なくすることができる。

【００３２】第１の実施の形態の装置では、下部水室Ｄ
Ｐの容積が小さくされているので、検査前後の給排水の
作業が短時間で済み、検査時間全体を短縮することがで
きる。また下部水室ＤＰの容量が小さいので、検査時の
誤操作等により水を大量に流出させるおそれがなく、水
を嫌う被検体の検査に好適である。

【００３３】また、第１の実施の形態の超音波検査装置
では上部水室ＵＰ内の液体が漏洩しない構造となってい
るので、上部水室ＵＰの液体を検査の度に入替える必要
がない。したがって蒸留水やフロン系溶媒等の高性能で
あるが高価な液体を上部水室ＵＰの超音波伝搬媒質とし
て利用することが可能である。

【００３４】さらに、超音波探触子１０４の走査を制御
するスキャン制御スイッチ１３３を筐体１０１に取付け
ているので、超音波探触子１０４の走査の開始あるいは
停止を簡単な操作で行うことができる。また、第１の実
施の形態では超音波探触子１０４を一方向にのみ駆動可
能としているが、例えば２次元的に被検体面に即して走
査できるようにしてもよい。なお、第１の実施の形態で
は、給水制御弁１３２およびスキャン制御スイッチ１３
３を筐体１０１の上面に取付けるようにしているが、給
水制御弁１３２およびスキャン制御スイッチ１３３は検
査時にオペレーターが容易に操作できる位置に設けられ
ていればよく、例えば筐体１０１の側面に取付けてもよ
い。

【００３５】第１の実施の形態では、アレイ型の超音波
探触子１０４を用い、筐体１０１を固定したまま２次元
的に超音波を走査することができるようにされている
が、アレイ型の超音波探触子を使用する代りに、単素子
型の超音波探触子を用いてもよい。単素子型の探触子を
直線上に移動させる機構を設けることにより、１次元的
な走査が可能となる。また２次元スキャナを設けること
により、第１の実施の形態と同様に２次元的な走査が可
能となる。

【００３６】−第２の実施の形態− 以下、図４を用いて本発明による超音波検査装置の第２
の実施の形態について説明する。

【００３７】図４に示すように、筐体３０１には下向き
に突出した突出部３０１ａが設けられ、突出部３０１ａ
の先端部には例えば矩形の開口３０１ｂが形成されてい
る。第２の実施の形態の検査装置では、開口３０１ｂを
被検体面に押し付けるようにして被検体の検査を行う。
筐体３０１には音響レンズ３０４ａを備える超音波探触
子３０４が収納され、超音波探触子３０４と開口３０１
ｂの内周との間には柔軟で伸縮性に富むベローズ状部材
３３０が水封的に介装されている。また、開口３０１ｂ
と超音波探触子３０４との間には、筐体３０１の内部を
上下に水封的に分離する分割膜ＳＦが開口３０１ｂに近
接して設けられ、超音波探触子３０４、ベローズ状部材
３３０および分割膜ＳＦに取り囲まれて上部水室ＵＰ
が、分割膜ＳＦ、筐体３０１、および開口３０１ｂを塞
ぐ被検体（不図示）により取り囲まれて下部水室ＤＰ
が、それぞれ形成されている。

【００３８】上部水室ＵＰには不図示の供給管を介して
蒸留水が充填される。また、下部水室ＤＰには給水管３
１４ａおよび排水管３１４ｂが接続され、給水管３１４
ａを介して下部水室ＤＰへの給水が、排水管３１４ｂを
介して下部水室ＤＰからの排水がそれぞれ行われる。な
お、図４に示すように、給水管３１４ａおよび排水管３
１４ｂは、それぞれ筐体３０１の突出部３０１ａの形状
に即して引き回されて下部水室ＤＰに接続されている。

【００３９】筐体３０１の上部には給水制御弁３３２が
取付けられ、給水管３１４ａが給水制御弁３３２を介し
て不図示の給水ポンプと接続されている。給水制御弁３
３２を操作することにより下部水室ＤＰへの給水の開始
および停止を制御することができる。

【００４０】筐体３０１に収納されたモータ３１０の回
転軸にはピニオン３０６Ａが取付けられ、ピニオン３０
６Ａと噛合されたラック３０６Ｂが筐体３０１内部に摺
動可能に設けられている。ラック３０６Ｂには超音波探
触子３０４が取付けられており、モータ３１０を回転す
るとピニオン３０６Ａが回転し、ピニオン３０６Ａと噛
合されたラックがＡＢ方向に移動する。これによりラッ
ク３０６Ｂに取付けられた超音波探触子３０４がＡＢ方
向に走査される。超音波探触子３０４の移動に伴い、ベ
ローズ状部材３３０は水封性を維持したまま柔軟に変形
する。

【００４１】筐体３０１の上部には、給水制御弁３３２
と並んでスキャン制御スイッチ３３４が取付けられてい
る。スキャン制御スイッチ３３４はモータ３１０を制御
する不図示のモータ制御回路と接続されており、スキャ
ン制御スイッチ３３４を操作することによりモータ３１
０が回転を始め、超音波探触子３０４の走査が開始され
る。

【００４２】開口３０１ｂを被検体の検査面で塞ぐよう
にして筐体３０１を被検体に接触させ、下部水室ＤＰへ
の給水を開始すると、間もなく下部水室ＤＰに水が充填
される。給水制御弁３３２を操作して下部水室ＤＰへの
給水を止めた後、スキャン制御スイッチ３３４を操作す
ると超音波探触子３０４の走査が開始される。超音波探
触子３０４から送出された超音波は、上部水室ＵＰ、分
割膜ＳＦおよび下部水室ＤＰを透過して被検体に到達す
る。被検体の表面あるいは内部で反射された超音波は、
往路を逆方向に辿って超音波探触子３０４において受信
される。超音波探触子３０４をＡＢ方向に走査しつつ、
電気信号に変換された受信波を処理することにより、第
１の実施の形態と同様に被検体の探傷像を得ることがで
きる。

【００４３】第２の実施の形態の検査装置では、第１の
実施の形態と同様、給水制御弁３３２を筐体３０１に取
付けているので、下部水室ＤＰの給排水作業が容易に行
える。また、超音波探触子３０４の走査を制御するスキ
ャン制御スイッチ３３４が筐体３０１に取付けられてい
るので、簡単な操作により超音波探触子３０４の走査を
開始させることができる。したがって、第２の実施の形
態の検査装置では、筐体３０１を被検体に接触させた後
の動作、すなわち給水開始、給水停止、そして超音波探
触子３０４の走査に至る一連の動作を作業者の簡単な操
作により行うことができる。

【００４４】第２の実施の形態では、超音波探触子３０
４の駆動をラック３０６Ｂおよびピニオン３０６Ａを用
いて行うようにしているので、駆動機構のサイズを小さ
くすることができ、筐体３０１をコンパクトにできる。
また、図４に示すように、筐体３０１の中心線からずれ
た位置に開口３０１ｂを形成しているので、被検体の形
状に応じて筐体３０１の向きを選択することで開口３０
１ｂが被検体に対して接触することができる範囲を広げ
ることができ、これにより被検体の検査可能な検査部位
を拡大させることができる。なお、超音波探触子３０４
は単素子型の探触子でも、あるいはアレイ型の探触子で
もよいことは当然である。

【００４５】発明の実施の形態および請求項の記載にお
いて、筐体１０１および筐体３０１が液槽に、超音波探
触子１０４が超音波送受信装置に、給水管１１４ａが媒
質供給装置に、排水管１１４ｂが媒質排出装置に、給水
制御弁１３２が供給制御手段に、スキャン制御スイッチ
１３３が駆動制御手段に、モータ１１０およびボールね
じ１０６が駆動機構に、モータ３１０、ピニオン３０６
Ａおよびラック３０６Ｂが駆動機構に、スキャン制御ス
イッチ３３４が駆動制御手段に、下部水室ＤＰが開口側
液室に、それぞれ対応する。

【００４６】

【発明の効果】請求項１に記載の発明では、液槽を分割
膜により分割することにより開口側液室の容量を小さく
することができるので、超音波伝播媒質の漏洩が少な
く、また検査時間を短縮することができる。請求項２に
記載の発明では、供給制御手段を液槽に取付けたので、
開口側液室への給水作業が容易になる。請求項３に記載
の発明では、媒質排出装置を備えるので、開口側液室に
媒質が供給されたか否か確認でき、被検体に残留する水
の量をさらに低減することができる。請求項４に記載の
発明では、給排出制御スイッチを液槽に取付けたので、
開口側液室の媒質の給排出作業が容易になる。請求項５
に記載の発明では、超音波送受信装置を液槽に対して駆
動する駆動機構を備えるので、液槽を移動させないで超
音波探触子を走査することができる。請求項６に記載の
発明では、駆動制御手段を液槽に取付けたので、超音波
探触子の走査の制御が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超音波検査装置の第１の実施の形
態を示す図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）
におけるｂ−ｂ方向から見た下部水室の部分を示す図。

【図２】第１の実施の形態の超音波検査装置を示すブロ
ック図。

【図３】第１の実施の形態の装置のアレイ型超音波探触
子を示す図。

【図４】本発明による超音波検査装置の第２の実施の形
態を示す図。

【図５】従来の全没液浸法を示す断面図である。

【図６】従来の局部液浸法を示す断面図である。

【図７】従来のギャップ法を示す断面図である。

【符号の説明】

１０１筐体１０４超音波探触子１０６ボールねじ１１０モータ１１４ａ給水管１１４ｂ排水管１３２供給制御弁１３３スキャン制御スイッチ１５０被検体３０１筐体３０４超音波探触子３０６Ａピニオン３０６Ｂラック３１０モータ３３４スキャン制御スイッチＳＦ分割膜ＤＰ下部水室

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波伝搬媒質を介して被検体に向けて
超音波を送出するとともに前記被検体で反射された前記
超音波の情報に基づいて前記被検体の検査を行う超音波
検査装置において、検査時には前記被検体の被検体面により塞がれる開口が
形成された液槽と、前記液槽に収納され、前記開口を介して超音波を送受信
する超音波送受信装置と、前記液槽を前記開口と前記超音波送受信装置との間で分
割する分割膜と、前記分割膜と前記開口との間に形成された開口側液室へ
前記超音波伝搬媒質を供給する媒質供給装置とを備える
ことを特徴とする超音波検査装置。
【請求項２】前記媒質供給装置を制御する供給制御手
段を前記液槽に取付けたことを特徴とする請求項１に記
載の超音波検査装置。
【請求項３】前記開口側液室から前記媒質を排出する
媒質排出装置をさらに備えることを特徴とする請求項１
に記載の超音波検査装置。
【請求項４】前記開口側液室の前記媒質の供給・排出
を制御する給排出制御スイッチを前記液槽にさらに取付
けたことを特徴とする請求項３に記載の超音波検査装
置。
【請求項５】前記超音波送受信装置を前記液槽に対し
て駆動する駆動機構をさらに備えることを特徴とする請
求項１に記載の超音波検査装置。
【請求項６】前記駆動機構を制御する駆動制御手段を
前記液槽に取付けたことを特徴とする請求項５に記載の
超音波検査装置。