JPH1079418A - 基板搬送用アダプタ - Google Patents
基板搬送用アダプタInfo
- Publication number
- JPH1079418A JPH1079418A JP23437996A JP23437996A JPH1079418A JP H1079418 A JPH1079418 A JP H1079418A JP 23437996 A JP23437996 A JP 23437996A JP 23437996 A JP23437996 A JP 23437996A JP H1079418 A JPH1079418 A JP H1079418A
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- JP
- Japan
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- adapter
- shape
- mask
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスク、半導体ウエハなどの基板の大きさあ
るいは形状が変わっても、低コストかつ容易にこれらを
搬送する。 【解決手段】 アダプタ１に異なる大きさの座繰り部
３，４を形成し、この座繰り部３，４内にマスク、半導
体ウエハなどの基板を載置する。そして基板が載置され
たアダプタ１を露光装置にセットし、アダプタ１ごと基
板を搬送する。
るいは形状が変わっても、低コストかつ容易にこれらを
搬送する。 【解決手段】 アダプタ１に異なる大きさの座繰り部
３，４を形成し、この座繰り部３，４内にマスク、半導
体ウエハなどの基板を載置する。そして基板が載置され
たアダプタ１を露光装置にセットし、アダプタ１ごと基
板を搬送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスクや半導体ウ
エハなどの基板を搬送する際に用いる基板搬送用アダプ
タに関する。
エハなどの基板を搬送する際に用いる基板搬送用アダプ
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マスクパターンが形成されたマス
クや半導体ウエハ（以下基板とする）は、基板搬送装置
により露光装置などに搬送される。このように基板を搬
送する装置としては、例えば基板が載置されている場所
から露光装置まで移動可能に構成されたロボットが用い
られる。ロボットの搬送アームの先端には、基板の大き
さに応じた位置に吸引孔が形成されており、この吸引孔
を真空引きすることにより基板を吸着して搬送するもの
である。
クや半導体ウエハ（以下基板とする）は、基板搬送装置
により露光装置などに搬送される。このように基板を搬
送する装置としては、例えば基板が載置されている場所
から露光装置まで移動可能に構成されたロボットが用い
られる。ロボットの搬送アームの先端には、基板の大き
さに応じた位置に吸引孔が形成されており、この吸引孔
を真空引きすることにより基板を吸着して搬送するもの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、基板に
は円形状あるいは矩形など種々の形状のものがあるた
め、上述した搬送アームにより形状が異なる基板を搬送
する場合は、基板の形状に応じた吸引孔が形成された複
数種類の搬送アームを用意する必要がある。また、複数
種類の搬送アームを用いると搬送アームの取り替えが面
倒なものとなる。この場合、基板の形状に適合するよう
に搬送アームに複数の吸引孔を形成することも考えられ
るが、複数の吸引孔を形成した場合、搬送アーム内に吸
引孔を真空引きするための空気通路を複数形成する必要
があるため、搬送アームの製造コストが上昇する。
は円形状あるいは矩形など種々の形状のものがあるた
め、上述した搬送アームにより形状が異なる基板を搬送
する場合は、基板の形状に応じた吸引孔が形成された複
数種類の搬送アームを用意する必要がある。また、複数
種類の搬送アームを用いると搬送アームの取り替えが面
倒なものとなる。この場合、基板の形状に適合するよう
に搬送アームに複数の吸引孔を形成することも考えられ
るが、複数の吸引孔を形成した場合、搬送アーム内に吸
引孔を真空引きするための空気通路を複数形成する必要
があるため、搬送アームの製造コストが上昇する。
【０００４】本発明の目的は、基板の形状や大きさが変
更されても、コストを上昇させることなく容易に基板を
搬送することができる基板搬送用アダプタを提供するこ
とにある。
更されても、コストを上昇させることなく容易に基板を
搬送することができる基板搬送用アダプタを提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
を参照して説明すると、請求項１の発明は、基板を載置
して、基板を搬送する搬送装置に取り付けられるアダプ
タ１であって、基板の周囲を規制する規制部材３，４を
備えたことにより上記目的を達成する。請求項２の発明
は、規制部材３，４が、異なる大きさおよび／または形
状の基板の周囲を規制可能とされている。
を参照して説明すると、請求項１の発明は、基板を載置
して、基板を搬送する搬送装置に取り付けられるアダプ
タ１であって、基板の周囲を規制する規制部材３，４を
備えたことにより上記目的を達成する。請求項２の発明
は、規制部材３，４が、異なる大きさおよび／または形
状の基板の周囲を規制可能とされている。
【０００６】請求項１の発明によれば、基板は規制部材
３，４によりその周囲を規制されてアダプタ１上に載置
される。そして基板が載置されたアダプタ１を搬送装置
により搬送する。請求項２の発明によれば、アダプタ１
は大きさおよび／または形状が異なる基板の周囲を規制
して基板を載置するため、基板の大きさおよび／または
形状が異なっても基板をアダプタ上に載置することがで
きる。
３，４によりその周囲を規制されてアダプタ１上に載置
される。そして基板が載置されたアダプタ１を搬送装置
により搬送する。請求項２の発明によれば、アダプタ１
は大きさおよび／または形状が異なる基板の周囲を規制
して基板を載置するため、基板の大きさおよび／または
形状が異なっても基板をアダプタ上に載置することがで
きる。
【０００７】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る基板搬送用アダプタの構成を示す平面図である。図
１に示すように、本実施の形態に係る基板搬送用アダプ
タ１は、マスクを搬送するものであり、図２にも示され
るように、略中央部に矩形の孔２が形成され、孔２の周
囲には、矩形の座繰り部３が、さらに座繰り部３の周囲
には座繰り部３よりも広い面積を有する座繰り部４が形
成されている。そしてこれにより、座繰り部３および座
繰り部４の形状に適合した２種類の矩形のマスクの周囲
を規制してアダプタ１に載置することができる。さら
に、図１の仮想線で示すように、座繰り部３および座繰
り部４の形状に適合した２種類の大きさの円形状のマス
クの周囲をも規制してアダプタ１に載置することができ
る。このように形成されたアダプタ１は、図２に示すよ
うに後述する露光装置のマスクローダに用いられるスト
ッカ５に形成された溝部５Ａに複数挿入されて使用され
る。
の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態に
係る基板搬送用アダプタの構成を示す平面図である。図
１に示すように、本実施の形態に係る基板搬送用アダプ
タ１は、マスクを搬送するものであり、図２にも示され
るように、略中央部に矩形の孔２が形成され、孔２の周
囲には、矩形の座繰り部３が、さらに座繰り部３の周囲
には座繰り部３よりも広い面積を有する座繰り部４が形
成されている。そしてこれにより、座繰り部３および座
繰り部４の形状に適合した２種類の矩形のマスクの周囲
を規制してアダプタ１に載置することができる。さら
に、図１の仮想線で示すように、座繰り部３および座繰
り部４の形状に適合した２種類の大きさの円形状のマス
クの周囲をも規制してアダプタ１に載置することができ
る。このように形成されたアダプタ１は、図２に示すよ
うに後述する露光装置のマスクローダに用いられるスト
ッカ５に形成された溝部５Ａに複数挿入されて使用され
る。
【０００９】次いで、本実施の形態に係る基板搬送用ア
ダプタ１が使用される露光装置のマスクローダについて
説明する。図３はマスクローダの構成を示す概略図であ
る。図３に示すように、マスクローダ１０は、基台１１
上に設置された縦スライダ１２を備え、縦スライダ１２
に沿って摺動自在にスライダ１３が取り付けられてい
る。縦スライダ１２の近傍にはスカラー型ロボットハン
ド２１が設置される。スカラー型ロボットハンド２１
は、ベース１６と、ベース１６上においてＸＹ平面に垂
直なＺ方向に伸縮するＺ軸移動部１７と、Ｚ軸移動部１
７の中心を軸として回転するθ軸回転部１８と、θ軸回
転部１８の先端に回転自在に設けられたＲ軸回転部１９
と、Ｒ軸回転部１９の先端に回転自在に設けられたハン
ド部２０とから構成される。ハンド部２０にはアダプタ
１を吸着するための吸引孔（不図示）が形成されてい
る。スカラー型ロボット２１の近傍には上記図２に示す
ストッカ５が設置される。
ダプタ１が使用される露光装置のマスクローダについて
説明する。図３はマスクローダの構成を示す概略図であ
る。図３に示すように、マスクローダ１０は、基台１１
上に設置された縦スライダ１２を備え、縦スライダ１２
に沿って摺動自在にスライダ１３が取り付けられてい
る。縦スライダ１２の近傍にはスカラー型ロボットハン
ド２１が設置される。スカラー型ロボットハンド２１
は、ベース１６と、ベース１６上においてＸＹ平面に垂
直なＺ方向に伸縮するＺ軸移動部１７と、Ｚ軸移動部１
７の中心を軸として回転するθ軸回転部１８と、θ軸回
転部１８の先端に回転自在に設けられたＲ軸回転部１９
と、Ｒ軸回転部１９の先端に回転自在に設けられたハン
ド部２０とから構成される。ハンド部２０にはアダプタ
１を吸着するための吸引孔（不図示）が形成されてい
る。スカラー型ロボット２１の近傍には上記図２に示す
ストッカ５が設置される。
【００１０】次いで、本実施の形態の動作について説明
する。まず、本実施の形態に係る基板搬送用アダプタ１
の座繰り部３あるいは座繰り部４にマスクを載置する。
そしてマスクが載置されたアダプタ１をストッカ５に収
容する。次いで、スカラー型ロボットハンド２１を駆動
し、そのハンド部２０によりマスクが載置されたアダプ
タ１を真空吸着してストッカ５から取り出す。そしてこ
のようにして取り出されたアダプタ１を縦スライダ１２
に設置されたスライダ１３に渡す。その後、スライダ１
３はアダプタ１を真空吸着により保持した状態で縦スラ
イダ１２に沿って移動し、マスクローダ１０に近接して
配された露光装置のマスクホルダにアダプタ１を設置す
る。
する。まず、本実施の形態に係る基板搬送用アダプタ１
の座繰り部３あるいは座繰り部４にマスクを載置する。
そしてマスクが載置されたアダプタ１をストッカ５に収
容する。次いで、スカラー型ロボットハンド２１を駆動
し、そのハンド部２０によりマスクが載置されたアダプ
タ１を真空吸着してストッカ５から取り出す。そしてこ
のようにして取り出されたアダプタ１を縦スライダ１２
に設置されたスライダ１３に渡す。その後、スライダ１
３はアダプタ１を真空吸着により保持した状態で縦スラ
イダ１２に沿って移動し、マスクローダ１０に近接して
配された露光装置のマスクホルダにアダプタ１を設置す
る。
【００１１】一方、マスクを交換する際は、マスクホル
ダから取り出されたアダプタ１がスライダ１３およびス
カラー型ロボットハンド２１を介してストッカ５に戻さ
れる。
ダから取り出されたアダプタ１がスライダ１３およびス
カラー型ロボットハンド２１を介してストッカ５に戻さ
れる。
【００１２】なお、上記実施の形態においては、基板搬
送用アダプタ１をマスクを搬送するものとして説明した
が、本発明に係るアダプタをレチクル、シリコンウエハ
あるいはガラスウエハを搬送する際に用いてもよい。こ
こで、ガラスウエハを搬送する場合は、表面に導電性パ
ターンが形成されるため、ウエハが帯電することがな
く、したがって、アダプタ１を任意の材料にて構成する
ことができるが、シリコンウエハを搬送する場合は、帯
電を防止するために導電性を有する材料にてアダプタ１
を構成することが好ましい。
送用アダプタ１をマスクを搬送するものとして説明した
が、本発明に係るアダプタをレチクル、シリコンウエハ
あるいはガラスウエハを搬送する際に用いてもよい。こ
こで、ガラスウエハを搬送する場合は、表面に導電性パ
ターンが形成されるため、ウエハが帯電することがな
く、したがって、アダプタ１を任意の材料にて構成する
ことができるが、シリコンウエハを搬送する場合は、帯
電を防止するために導電性を有する材料にてアダプタ１
を構成することが好ましい。
【００１３】また、上記実施の形態においては、基板搬
送アダプタ１に２種類の大きさの座繰り部３，４を形成
して基板の周囲を規制しているが、１種類あるいは３種
類以上の大きさの座繰り部を形成してもよい。なお、１
種類のみの座繰り部を形成した場合は、大きさが異なる
基板を載置することができないが、形状の異なる基板
（例えば矩形と円形）を載置することができる。さら
に、座繰り部３，４の形状は矩形に限定されるものでは
なく、円形あるいは搬送する基板の形状に適合したもの
であれば、いかなる形状であってもよい。
送アダプタ１に２種類の大きさの座繰り部３，４を形成
して基板の周囲を規制しているが、１種類あるいは３種
類以上の大きさの座繰り部を形成してもよい。なお、１
種類のみの座繰り部を形成した場合は、大きさが異なる
基板を載置することができないが、形状の異なる基板
（例えば矩形と円形）を載置することができる。さら
に、座繰り部３，４の形状は矩形に限定されるものでは
なく、円形あるいは搬送する基板の形状に適合したもの
であれば、いかなる形状であってもよい。
【００１４】さらに、上記実施の形態においては、アダ
プタ１に座繰り部３，４を形成しているが、例えば図４
に示すように、アダプタ１の表面に基板の形状あるいは
大きさに適合する壁部６を形成し、この壁部６により基
板の周囲を規制してもよい。なお、図４に示す壁部６に
よっては、大きさが異なる基板を載置することができな
いが、形状の異なる基板（例えば矩形と円形）を載置す
ることができる。
プタ１に座繰り部３，４を形成しているが、例えば図４
に示すように、アダプタ１の表面に基板の形状あるいは
大きさに適合する壁部６を形成し、この壁部６により基
板の周囲を規制してもよい。なお、図４に示す壁部６に
よっては、大きさが異なる基板を載置することができな
いが、形状の異なる基板（例えば矩形と円形）を載置す
ることができる。
【００１５】以上の実施の形態と請求項との対応におい
て、座繰り部３，４および壁部６が規制部材を構成す
る。
て、座繰り部３，４および壁部６が規制部材を構成す
る。
【００１６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
発明によれば、基板は規制部材によりその周囲を規制さ
れてアダプタ上に載置されるため、規制部材の形状を種
々変更することにより、複数種類の搬送アームを用意す
ることなく、また複数の吸引孔を形成することなく種々
の形状あるいは大きさの基板をアダプタ上に載置して搬
送することができる。したがって、低コストで様々な形
状の基板を搬送することが可能となる。請求項２の発明
によれば、規制部材は大きさおよび／または形状が異な
る基板をの周囲を規制して基板を載置するため、基板の
大きさ、形状が異なっても基板をアダプタ上に載置する
ことができる。
発明によれば、基板は規制部材によりその周囲を規制さ
れてアダプタ上に載置されるため、規制部材の形状を種
々変更することにより、複数種類の搬送アームを用意す
ることなく、また複数の吸引孔を形成することなく種々
の形状あるいは大きさの基板をアダプタ上に載置して搬
送することができる。したがって、低コストで様々な形
状の基板を搬送することが可能となる。請求項２の発明
によれば、規制部材は大きさおよび／または形状が異な
る基板をの周囲を規制して基板を載置するため、基板の
大きさ、形状が異なっても基板をアダプタ上に載置する
ことができる。
【図１】本発明に係る基板搬送用アダプタの構成を示す
平面図
平面図
【図２】本発明に係る基板搬送用アダプタをストッカに
収容した状態を示す断面図
収容した状態を示す断面図
【図３】本発明に係る基板搬送用アダプタを搬送する装
置の構成を示す図
置の構成を示す図
【図４】本発明に係る基板搬送用アダプタの他の実施の
形態の構成を示す斜視図
形態の構成を示す斜視図
１ アダプタ ２ 孔 ３，４ 座繰り部 ５ ストッカ ６ 壁部 １０ マスクローダ
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を載置して、該基板を搬送する搬送
装置に取り付けられるアダプタであって、 前記基板の周囲を規制する規制部材を備えたことを特徴
とする基板搬送用アダプタ。 - 【請求項２】 前記規制部材が、異なる大きさおよび／
または形状の前記基板の周囲を規制可能とされているこ
とを特徴とする請求項１記載の基板搬送用アダプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23437996A JPH1079418A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 基板搬送用アダプタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23437996A JPH1079418A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 基板搬送用アダプタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1079418A true JPH1079418A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16970089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23437996A Pending JPH1079418A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 基板搬送用アダプタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1079418A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009272349A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-19 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 保持容器及び保持容器ユニット |
| JP2013239507A (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-28 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| WO2014162627A1 (ja) | 2013-04-02 | 2014-10-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体プロセス用キャリア |
| KR20200082173A (ko) * | 2018-12-28 | 2020-07-08 | 주식회사 선익시스템 | 웨이퍼 취급 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치 |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23437996A patent/JPH1079418A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009272349A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-19 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | 保持容器及び保持容器ユニット |
| JP2013239507A (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-28 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| WO2014162627A1 (ja) | 2013-04-02 | 2014-10-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体プロセス用キャリア |
| KR20200082173A (ko) * | 2018-12-28 | 2020-07-08 | 주식회사 선익시스템 | 웨이퍼 취급 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치 |
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