JPH1082898A - 分光素子位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分光素子の分解能の向上を図る。 【解決手段】 基板１８，２８の一端部に固着された支
持ブロック１９，２９に弾性ヒンジ２０，３０を介して
一端部が連なる傾動板２１，３１と、傾動板２１，３１
を基板１８，２８に対して傾動させるアクチュエータ２
２，３２とを備えた複数の傾動機構１７，２７を備え、
傾動機構１７，２７のそれぞれにおける弾性ヒンジ２
０，３０から微小移動アクチュエータ２２，３２までの
距離Ｗ₁，Ｗ₂を異なる値に設定して、傾動板２１，３１
の最小設定角を相違させ、また、隣接する傾動機構１
７，２７の一方における弾性ヒンジ２０が他方における
弾性ヒンジ３０の反対側に位置するように傾動機構１
７，２７を縦列配置して、傾動板２１，３１の最小設定
角の一部を相殺し、最端部に位置する傾動機構１７の傾
動板２１に支持させた分光素子３７の分解能の向上を図
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は分光素子位置決め装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波（光）放出する。

【０００３】図３は放射光発生手段の一例を示すもの
で、１は線形加速装置であり、該線形加速装置１は、電
子（荷電粒子）ｅを射出する電子発生装置２と、一端が
電子発生装置２に接続された直管状の加速ダクト３と、
該加速ダクト３の内部を移動する電子ｅに高周波を付与
して該電子ｅを加速する高周波加速装置４とを有してい
る。

【０００４】加速ダクト３の他端には、湾曲管状の偏向
ダクト５の一端が接続されており、偏向ダクト５には、
その内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電
磁石６が設けられている。

【０００５】７はシンクロトロン（電子蓄積リング）で
あり、該シンクロトロン７は、電子ｅに周回軌道を形成
させるための無端状ダクト８を有しており、該無端状ダ
クト８の所要箇所には、前記の偏向ダクト５の他端が接
続されている。

【０００６】この無端状ダクト８の湾曲部分には、その
内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電磁石
９が設けられ、無端状ダクト８の所要箇所には、該無端
状ダクト８の内部を移動する電子ｅに高周波を付与して
該電子ｅを加速する高周波加速装置１０が設けられてい
る。

【０００７】また、無端状ダクト８の所要箇所の湾曲部
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電子
ｅの進行方向が曲げられることにより放出される放射光
ビームＳを、無端状ダクト８の外部へ導くためのビーム
ライン１１の一端が接続され、ビームライン１１の他端
には、放射光ビームＳを照射光源とする実験を行う実験
装置１２が設けられている。

【０００８】更に、ビームライン１１の他端には、ビー
ムライン１１の内部を真空状態に保持するためのベリリ
ウム窓（図示せず）が設けられている。

【０００９】図３に示す放射光発生手段によって放射光
ビームＳを放出させる際には、加速ダクト３、偏向ダク
ト５、無端状ダクト８、ビームライン１１の内部を超高
真空状態に減圧して、電子ｅが光速に近い速度で移動で
きる状態とした後、電子発生装置２から電子ｅを射出さ
せる。

【００１０】電子発生装置２より射出される電子ｅは、
高周波加速装置４によって加速され、更に、偏向電磁石
６により軌道を曲げられることにより無端状ダクト８に
入射する。

【００１１】無端状ダクト８に入射する電子ｅは、高周
波加速装置１０により加速されるとともに、偏向電磁石
９により各湾曲部において軌道を曲げられ、これによ
り、電子ｅから該電子ｅの軌道の接線方向へ放射光ビー
ムＳが放出される。

【００１２】無端状ダクト８の所定箇所の湾曲部におい
て放出される放射光ビームＳは、ビームライン１１を経
て実験装置１２に入射する。

【００１３】この放射光ビームＳは、無端状ダクト８を
集会する電子ｅの軌道上を発光点として進行方向に広が
る発散光であり、また、可視領域からＸ線領域にわたる
波長の電磁波を含んでいる。

【００１４】一方、放射光ビームＳに含まれているＸ線
領域等の特定波長の電磁波を実験装置１２における照射
光源とする場合には、ビームライン１１に分光器を組み
込むようにしている。

【００１５】図４は分光器（二結晶分光器）の一例を示
すもので、この分光器は、放射光ビームＳに含まれてい
るＸ線領域の電磁波を、シリコンあるいはゲルマニウム
の結晶を平板状に加工した２箇の分光素子１３，１４に
よりブラッグ反射させ、Ｘ線領域の電磁波を単色光ビー
ムＸとして分光するものである。

【００１６】分光素子１３，１４は、それぞれ冷却媒体
が外部から連続的に供給されるホルダ（図示せず）に装
着されている。

【００１７】一方の分光素子１３は、分光面に放射光ビ
ームＳが入射し得るように配置され、ホルダとともにＸ
線領域の電磁波を分光すべき放射光ビームＳに対して直
交する方向に延びる回転軸１５を中心に傾動し得るよう
に支持されている。

【００１８】この一方の分光素子１３を傾動させて、該
分光素子１３の分光面に対する放射光ビームＳの入射
角、すなわち、ブラッグ角を所定値に設定すると、分光
素子１３に入射する放射光ビームＳに含まれているＸ線
領域の電磁波が、単色光ビームＸとして分光素子１３か
ら出射される。

【００１９】他方の分光素子１４は、分光面に前記の一
方の分光素子１３から出射される単色光ビームＸが入射
し得るように配置され、ホルダとともに一方の分光素子
１３の回動中心である回転軸１５と平行な回転軸１６を
中心に傾動し得られ且つ該回転軸１６が回転軸１５に対
して放射光ビームＳの光軸方向に近接離反し得るように
支持されている。

【００２０】この他方の分光素子１４の傾動中心である
回転軸１６と一方の分光素子１３の傾動中心である回転
軸１５との間隔を調整したうえ、分光素子１４を傾動さ
せて、該分光素子１４の分光面に対する単色光ビームＸ
の入射角、すなわち、ブラッグ角を所定値に設定する
と、分光素子１３に入射する放射光ビームＳと平行に単
色光ビームＸが分光素子１４から出射される。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】一方、ビームの拡がり
が小さい高輝度の放射光ビームＳから単色光ビームＸを
分光する場合には、分光素子１３，１４の分解能（分光
素子がほとんど等しい波長の２つのスペクトルを分離す
ることができる能力の尺度）を５／１００００秒以下に
する必要がある。

【００２２】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、分光素子の分解能の向上を図り得る分光素子位置決
め装置を提供することを目的としている。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に記載の分光素子位置決め装置で
は、基板１８，２８の一側面に所定の間隔を隔てて対向
し且つ該基板１８，２８の一端部に固着された支持ブロ
ック１９，２９に弾性ヒンジ２０，３０を介して一端部
が連なる傾動板２１，３１と、基板１８，２８の他端部
と傾動板２１，３１の他端部との間に介在し且つ基板１
８，２８に対して傾動板２１，３１を近接離反させる微
小移動アクチュエータ２２，３２とをそれぞれ有する複
数の傾動機構１７，２７を備え、該傾動機構１７，２７
のそれぞれにおける弾性ヒンジ２０，３０から微小移動
アクチュエータ２２，３２までの距離Ｗ₁，Ｗ₂を異なる
値に設定し、隣接する傾動機構１７，２７の一方におけ
る基板１８が他方における傾動板３１に当接し且つ隣接
する傾動機構１７，２７の一方における弾性ヒンジ２０
が他方における弾性ヒンジ３０の反対側に位置するよう
に複数の傾動機構１７，２７を縦列配置し、最端部に位
置する傾動機構１７の傾動板２１に分光素子３７を支持
させている。

【００２４】また、本発明の請求項２に記載の分光素子
位置決め装置では、本発明の請求項１に記載の分光素子
位置決め装置における微小移動アクチュエータ２２，３
２に圧電駆動素子を適用している。

【００２５】更に、本発明の請求項３に記載の分光素子
位置決め装置では、本発明の請求項１あるいは請求項２
に記載の分光素子位置決め装置の各傾動機構１７，２７
に、基板１８，２８の他端部と傾動板２１，３１との間
隔を計測する位置検出センサ２６，３６を設けている。

【００２６】本発明の請求項１から請求項３に記載の分
光素子位置決め装置のいずれにおいても、傾動機構１
７，２７のそれぞれにおける弾性ヒンジ２０，３０から
微小移動アクチュエータ２２，３２までの距離Ｗ₁，Ｗ₂
を異なる値に設定して、各傾動機構１７，２７における
傾動板２１，３１の最小設定角を相違させ、また、隣接
する傾動機構１７，２７の一方における弾性ヒンジ２０
が他方における弾性ヒンジ３０の反対側に位置するよう
に複数の傾動機構１７，２７を縦列配置して、上記の傾
動板２１，３１の最小設定角の一部を相殺し、最端部に
位置する傾動機構１７の傾動板２１に支持させた分光素
子３７の分解能の向上を図る。

【００２７】また、本発明の請求項２に記載の分光素子
の位置決め装置では、微小移動アクチュエータ２２，３
２に圧電駆動素子を適用することにより、傾動機構１
７，２７における基板１８，２８と傾動板２１，３１と
の最小設定角を小さくし分光素子３７の分解能の向上を
効果的に図る。

【００２８】更に、本発明の請求項３に記載の分光素子
位置決め装置では、位置検出センサ２６，３６によって
傾動機構１７，２７における基板１８，２８の他端部と
傾動板２１，３１との間隔を計測し、分光素子３７の傾
動角度が適切な状態になっているか否かを容易に検知す
る。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。

【００３０】図１及び図２は本発明の分光素子位置決め
装置の実施の形態の一例を示すものであり、この分光素
子位置決め装置は、第１の傾動機構１７と第２の傾動機
構２７とを備えている。

【００３１】第１の傾動機構１７は、略平板状の第１の
基板１８と、該第１の基板１８の一端部上面にボルト締
結により固着された第１の支持ブロック１９と、一端部
が弾性ヒンジ２０を介して第１の支持ブロック１９に連
なり且つ第１の基板１８の上面に所定の間隔を隔てて対
向する略平板状の第１の傾動板２１と、第１の基板１８
の他端部と第１の傾動板２１の他端部との間に介在し且
つ第１の基板１８の他端部に対して第１の傾動板２１の
他端部を近接離反させる微小移動アクチュエータ２２と
を有している。

【００３２】第１の支持ブロック１９、弾性ヒンジ２
０、第１の傾動板２１は、金属素材から一体的に切削加
工されたもので、弾性ヒンジ２０は、第１の支持ブロッ
ク１９と第１の傾動板２１との取合い部分の両側面を溝
状に欠き取ることにより形成され、この弾性ヒンジ２０
によって第１の傾動板２１が第１の支持ブロック１９に
片持ち支持されている。

【００３３】第１の傾動板２１の他端近傍部分に上下に
貫通するように穿設したボルト孔２３には、第１の基板
１８の上面に先端部が当接するように支持ボルト２４が
螺合されており、該支持ボルト２４が第１の基板１８の
上面に当接している状態においては、第１の傾動板２１
が第１の基板１８に対して平行に位置するようになって
いる。

【００３４】微小移動アクチュエータ２２は、第１の基
板１８の他端部にボルト締結した取付座２５に基端部が
取り付けられて、第１の傾動板２１の他端部下面に先端
部が当接するようになっている。

【００３５】上記の微小移動アクチュエータ２２には、
電流を通電すると電圧値に応じて５ｎｍ±１ｎｍの精度
（ただし±１ｎｍは外乱によるドリフトの見込み分）で
伸張し且つ電流の通電を中断すると初期状態まで縮小す
るピエゾ素子（圧電駆動素子）が適用されている。

【００３６】すなわち、微小移動アクチュエータ２２に
電流が通電された場合には、微小移動アクチュエータ２
２の伸張量に比例して弾性ヒンジ２０を中心とする第１
の傾動板２１の傾動角が大きくなり、微小移動アクチュ
エータ２２に電流が通電されていない場合には、第１の
傾動板２１が第１の基板１８に対して平行に位置するこ
とになる。

【００３７】また、第１の傾動板２１の他端部には、前
記の取付座２５のまで間隔の増減を検出する非接触式の
位置検出センサ２６が取り付けられている。

【００３８】第２の傾動機構２７は、先に述べた第１の
傾動機構１７における第１の基板１８よりもやや大きい
略平板状の第２の基板２８と、該第２の基板２８の一端
部上面にボルト締結により固着された第２の支持ブロッ
ク２９と、一端部が弾性ヒンジ３０を介して第２の支持
ブロック２９に連なり且つ第２の基板２８の上面に所定
の間隔を隔てて対向する略平板状の第２の傾動板３１
と、第２の基板２８の他端部と第２の傾動板３１の他端
部との間に介在し且つ第２の基板２８の他端部に対して
第２の傾動板３１の他端部を近接離反させる微小移動ア
クチュエータ３２とを有している。

【００３９】第２の支持ブロック２９、弾性ヒンジ３
０、第２の傾動板３１は、金属素材から一体的に切削加
工されたもので、弾性ヒンジ３０は、第２の支持ブロッ
ク２９と第２の傾動板３１との取合い部分の両側面を溝
状に欠き取ることにより形成され、この弾性ヒンジ３０
によって第２の傾動板３１が第２の支持ブロック２９に
片持ち支持されている。

【００４０】また、第２の傾動板３１は、上面が第２の
支持ブロック２９よりも上方へ突出するように形成され
ている。

【００４１】第２の傾動板３１の他端近傍部分に上下に
貫通するように穿設したボルト孔３３には、第２の基板
２８の上面に先端部が当接するように支持ボルト３４が
螺合されており、該支持ボルト３４が第２の基板２８の
上面に当接している状態においては、第２の傾動板３１
が第２の基板２８に対して平行に位置するようになって
いる。

【００４２】微小移動アクチュエータ３２は、第２の基
板２８の他端部にボルト締結した取付座３５に基端部が
取り付けられて、第２の傾動板３１の他端部下面に先端
部が当接するようになっている。

【００４３】第２の傾動機構２７における弾性ヒンジ３
０の中心から微小移動アクチュエータ３２の中心までの
距離Ｗ₁は、先に述べた第１の傾動機構１７における弾
性ヒンジ２０の中心から微小移動アクチュエータ２２の
中心までの距離Ｗ₂よりも長く設定されている。

【００４４】上記の微小移動アクチュエータ３２には、
電流を通電すると電圧値に応じて５ｎｍ±１ｎｍの精度
（ただし±１ｎｍは外乱によるドリフトの見込み分）で
伸張し且つ電流の通電を中断すると初期状態まで縮小す
るピエゾ素子（圧電駆動素子）が適用されている。

【００４５】すなわち、微小移動アクチュエータ３２に
電流が通電された場合には、微小移動アクチュエータ３
２の伸張量に比例して弾性ヒンジ３０を中心とする第２
の傾動板３１の傾動角が大きくなり、微小移動アクチュ
エータ３２に電流が通電されていない場合には、第２の
傾動板３１が第２の基板２８に対して平行に位置するこ
とになる。

【００４６】また、第２の傾動板３１の他端部には、前
記の取付座３５のまで間隔の増減を検出する非接触式の
位置検出センサ３６が取り付けられている。

【００４７】この第２の傾動機構２７及び先に述べた第
１の傾動機構１７は、第１の傾動機構１７における第１
の基板１８の下面が第２の傾動機構２７における第２の
傾動板３１の上面に当接し且つ第１の傾動機構１７の弾
性ヒンジ２０が第２の傾動機構２７の弾性ヒンジ３０の
反対側に位置するように縦列配置され、第１の基板１８
と第２の傾動板３１とがボルト締結によって相互に固着
されている。

【００４８】第２の傾動機構２７における第２の基板２
８は、Ｘ−Ｙ移動機構のテーブル（図示せず）あるいは
架台（図示せず）にボルト締結によって固着されてい
る。

【００４９】第１の傾動機構１７における第１の傾動板
２１の上面には、シリコンあるいはゲルマニウムの結晶
を平板状に加工した分光素子３７を装着し且つ冷却媒体
が外部から連続的に供給され得るホルダ３８が取り付け
られている。

【００５０】更に、図２に示すように、分光素子３７の
分解能Δθを２／１００００秒以下にするために、第１
の傾動機構１７の弾性ヒンジ２０の中心Ｐ₁から微小移
動アクチュエータ２２の中心Ｑ₁までの距離Ｗ₁、第１の
基板１８の他端部上面に対する第１の傾動板２１の他端
部下面の最小変位量ΔＬ₁、第２の基板２８の他端部上
面に対する第２の傾動板３１の他端部下面の最小変位量
ΔＬ₂に基づき、第２の傾動機構２７の弾性ヒンジ３０
の中心Ｐ₂から微小移動アクチュエータ３２の中心Ｑ₂ま
での距離Ｗ₂を設定している。

【００５１】第１の傾動機構１７の弾性ヒンジ２０の中
心Ｐ₁から微小移動アクチュエータ２２の中心Ｑ₁までの
距離Ｗ₁が０．２０７ｍに設定されているとすると、第
１の基板１８の他端部上面に対する第１の傾動板２１の
他端部下面の最小変位量ΔＬ1、すなわち、微小移動ア
クチュエータ２２の精度が５ｎｍ±１ｎｍであるので、
第１の基板１８と第１の傾動板２１とがなす最小設定角
Δθ₁は、下記の式１により求められる。

【００５２】

【数１】Δθ₁＝ΔＬ₁／Ｗ₁ （ΔＬ₁＝５×１０^-9ｍ±１×１０^-9ｍ、Ｗ₁＝０．２０
７ｍ）

【００５３】従って、第１の傾動機構１７における第１
の基板１８と第１の傾動板２１とがなす最小設定角Δθ
₁は、下記の式２の範囲に含まれることになる。

【００５４】

【数２】１．９３×１０^-8ｒａｄ＜Δθ₁＜２．９×１
０^-8ｒａｄ

【００５５】第２の傾動機構２７の弾性ヒンジ３０の中
心Ｐ₂から微小移動アクチュエータ３２の中心Ｑ₂までの
距離Ｗ₂、第２の基板２８の他端部上面に対する第２の
傾動板３１の他端部下面の最小変位量ΔＬ₂、第２の基
板２８と第２の傾動板２１とがなす最小設定角Δθ₂の
関係は、下記の式３のようになる。

【００５６】

【数３】Δθ₂＝ΔＬ₂／Ｗ₂

【００５７】すなわち、第２の傾動機構２７の弾性ヒン
ジ３０の中心Ｐ₂から微小移動アクチュエータ３２の中
心Ｑ₂までの距離Ｗ₂は、下記の式４のように表される。

【００５８】

【数４】Ｗ₂＝ΔＬ₂／Δθ₂

【００５９】また、分解能Δθ、第１の傾動機構１７に
おける最小設定角Δθ₁、第２の傾動機構２７における
最小設定角Δθ₂の関係は、下記の式５のようになる。

【００６０】

【数５】Δθ＝Δθ₁−Δθ₂

【００６１】すなわち、第２の傾動機構２７における最
小設定角Δθ₂は、下記の式６のように表される。

【００６２】

【数６】Δθ₂＝Δθ₁−Δθ

【００６３】従って、第２の傾動機構２７における第２
の基板２８と第２の傾動板３１とがなす最小設定角Δθ
₂は、式２の条件によって下記の式７に含まれることに
なる。

【００６４】

【数７】１．８４×１０^-8ｒａｄ＜Δθ₂＜２．８×１
０^-8ｒａｄ

【００６５】更に、第２の基板２８の他端部上面に対す
る第２の傾動板３１の他端部下面の最小変位量ΔＬ₂、
すなわち、微小移動アクチュエータ３２の精度が５ｎｍ
±１ｎｍであり、分解能Δθの目標値である２／１００
００秒を弧度法に換算すると、９．７×１０^-10ｒａｄ
になるので、第２の傾動機構２７の弾性ヒンジ３０の中
心Ｐ₂から微小移動アクチュエータ３２の中心Ｑ₂までの
距離Ｗ₂は、式４と式６とを組み合わせた下記の式８、
及び式７の条件により求められる。

【００６６】

【数８】Ｗ₂＝ΔＬ₂／Δθ₂ （ΔＬ₂＝５×１０^-9ｍ±１×１０^-9ｍ）

【００６７】従って、計算上の距離Ｗ₂は、下記の式９
の範囲に含まれることになる。

【００６８】

【数９】０．１３４ｍ＜Ｗ₂＜０．３２６ｍ

【００６９】一方、先に述べたように、第２の傾動機構
２７の弾性ヒンジ３０の中心Ｐ₂から微小移動アクチュ
エータ３２の中心Ｑ₂までの距離Ｗ₂を、第１の傾動機構
１７の弾性ヒンジ２０の中心Ｐ₁から微小移動アクチュ
エータ２２の中心Ｑ₁までの距離Ｗ₁よりも長くすること
が、図１に示す分光素子位置決め装置の設計条件である
ので、距離Ｗ₂は下記の式１０に示す範囲に設定される
ことになる。

【００７０】

【数１０】０．２０７ｍ＜Ｗ₂＜０．３２６ｍ

【００７１】図１に示す分光素子位置決め装置におい
て、分光素子３７のブラッグ角を調整する際には、所定
の電圧値の電流をピエゾ素子である微小移動アクチュエ
ータ２２，３２のそれぞれに通電し、該微小移動アクチ
ュエータ２２，３２を５ｎｍ±１ｎｍの精度で伸張させ
る。

【００７２】微小移動アクチュエータ２２が伸張する
と、第１の傾動機構１７における第１の基板１８の他端
部に対して第１の傾動板２１の他端部が離反することに
より、該第１の傾動板２１が弾性ヒンジ２０を中心に傾
動し、第１の基板１８と第１の傾動板２１とがなす角度
が増大し、前記の第１の基板１８の他端部に対する第１
の傾動板２１の他端部の離反に伴い、位置検出センサ２
６から出力される信号が変化する。

【００７３】また、微小移動アクチュエータ３２が伸張
すると、第２の傾動機構２７における第２の基板２８の
他端部に対して第２の傾動板３１の他端部が離反するこ
とにより、該第２の傾動板３１が弾性ヒンジ３０を中心
に傾動し、第２の基板２８と第２の傾動板３１とがなす
角度が増大し、前記の第２の基板２８の他端部に対する
第２の傾動板３１の他端部の離反に伴い、位置検出セン
サ３６から出力される信号が変化する。

【００７４】このとき、微小移動アクチュエータ２２，
３２の伸張量が同一であると、第２の傾動機構２７の弾
性ヒンジ３０の中心Ｐ₂から微小移動アクチュエータ３
２の中心Ｑ₂までの距離Ｗ₂が０．２０７ｍ以上且つ０．
３２６ｍ未満に設定され、第１の傾動機構１７の弾性ヒ
ンジ２０の中心Ｐ₁から微小移動アクチュエータ２２の
中心Ｑ₁までの距離Ｗ₁が０．２０７ｍに設定されている
ことに起因して、第１の傾動機構１７における第１の基
板１８と第１の傾動板２１とがなす角度のほうが、第２
の傾動機構２７における第２の基板２８と第２の傾動板
３１とがなす角度よりも大きくなる。

【００７５】また、第１の傾動機構１７と第２の傾動機
構２７とは、第１の傾動機構１７の弾性ヒンジ２０が第
２の傾動機構２７の弾性ヒンジ３０の反対側に位置する
ように縦列配置されているので、第１の傾動機構１７の
第１の傾動板２１と第２の傾動機構２７の第２の基板２
８とがなす角度は、上述した第１の基板１８、第１の傾
動板２１がなす角度と第２の基板２８、第２の傾動板３
１がなす角度との差に等しくなり、よって、第１の傾動
機構１７の弾性ヒンジ２０の中心Ｐ₁から微小移動アク
チュエータ２２の中心Ｑ₁までの距離Ｗ₁及び第２の傾動
機構２７の弾性ヒンジ３０の中心Ｐ₂から微小移動アク
チュエータ３２の中心Ｑ₂までの距離Ｗ₂の双方を長大化
することなく、第１の傾動板２１にホルダ３８を介して
支持されている分光素子３７の分解能Δθを２／１００
００秒以下に保持することができる。

【００７６】このように、図１に示す分光素子位置決め
装置においては、分光素子の分解能の向上図れるので、
ビームの拡がりが小さい高輝度の放射光ビームＳから単
色光ビームＸ（図４参照）を効率よく分光することが可
能になる。

【００７７】なお、本発明の分光素子位置決め装置は上
述した実施の形態のみに限定されるものではなく、２基
以上の傾動機構を隣接するものの弾性ヒンジが反対側に
位置するように縦列配置した構成とすること、その他、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え
得ることは勿論である。

【００７８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の分光素子位
置決め装置においては、下記のような種々の優れた効果
を奏し得る。

【００７９】（１）本発明の請求項１から請求項３に記
載の分光素子位置決め装置のいずれにおいても、傾動機
構１７，２７のそれぞれにおける弾性ヒンジ２０，３０
から微小移動アクチュエータ２２，３２までの距離
Ｗ₁，Ｗ₂を異なる値に設定して、各傾動機構１７，２７
における傾動板２１，３１の最小設定角を相違させ、ま
た、隣接する傾動機構１７，２７の一方における弾性ヒ
ンジ２０が他方における弾性ヒンジ３０の反対側に位置
するように複数の傾動機構１７，２７を縦列配置して、
上記の傾動板２１，３１の最小設定角の一部を相殺する
ので、最端部に位置する傾動機構１７の傾動板２１に支
持させた分光素子３７の分解能の向上を図ることがで
き、よって、ビームの拡がりが小さい高輝度の放射光ビ
ームから単色光ビームを効率よく分光することが可能に
なる。

【００８０】（２）本発明の請求項２に記載の分光素子
の位置決め装置では、圧電駆動素子を微小移動アクチュ
エータ２２，３２に適用しているので、傾動機構１７，
２７における基板１８，２８と傾動板２１，３１との最
小設定角を小さくすることができ、分光素子３７の分解
能を効果的に向上させることができる。

【００８１】（３）本発明の請求項３に記載の分光素子
位置決め装置では、傾動機構１７，２７における基板１
８，２８の他端部と傾動板２１，３１との間隔を計測す
る位置検出センサ２６，３６を設けているので、分光素
子３７の傾動角度が適切な状態になっているか否かを容
易に検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の分光素子位置決め装置の実施の形態の
一例を示す側面図である。

【図２】図１に示す分光素子位置決め装置を構成する傾
動機構のそれぞれにおける弾性ヒンジから微小移動アク
チュエータまでの距離、及び基板の他端部に対する傾動
板の他端部下面の最小変位量の関係を示す概念図であ
る。

【図３】放射光発生手段の一例を示す概念図である。

【図４】二結晶分光器における分光素子の配置を示す斜
視図である。

【符号の説明】

１７ 第１の傾動機構 １８ 第１の基板 １９ 第１の支持ブロック ２０ 弾性ヒンジ ２１ 第１の傾動板 ２２ 微小移動アクチュエータ ２６ 位置検出センサ ２７ 第２の傾動機構 ２８ 第２の基板 ２９ 第２の支持ブロック ３０ 弾性ヒンジ ３１ 第２の傾動板 ３２ 微小移動アクチュエータ ３６ 位置検出センサ ３７ 分光素子 Ｗ₁ 距離 Ｗ₂ 距離

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板（１８）（２８）の一側面に所定の
   間隔を隔てて対向し且つ該基板（１８）（２８）の一端
   部に固着された支持ブロック（１９）（２９）に弾性ヒ
   ンジ（２０）（３０）を介して一端部が連なる傾動板
   （２１）（３１）と、基板（１８）（２８）の他端部と
   傾動板（２１）（３１）の他端部との間に介在し且つ基
   板（１８）（２８）に対して傾動板（２１）（３１）を
   近接離反させる微小移動アクチュエータ（２２）（３
   ２）とをそれぞれ有する複数の傾動機構（１７）（２
   ７）を備え、該傾動機構（１７）（２７）のそれぞれに
   おける弾性ヒンジ（２０）（３０）から微小移動アクチ
   ュエータ（２２）（３２）までの距離（Ｗ₁）（Ｗ₂）を
   異なる値に設定し、隣接する傾動機構（１７）（２７）
   の一方における基板（１８）が他方における傾動板（３
   １）に当接し且つ隣接する傾動機構（１７）（２７）の
   一方における弾性ヒンジ（２０）が他方における弾性ヒ
   ンジ（３０）の反対側に位置するように複数の傾動機構
   （１７）（２７）を縦列配置し、最端部に位置する傾動
   機構（１７）の傾動板（２１）に分光素子（３７）を支
   持させたことを特徴とする分光素子位置決め装置。
2. 【請求項２】 微小移動アクチュエータ（２２）（３
   ２）に圧電駆動素子を適用した請求項１に記載の分光素
   子位置決め装置。
3. 【請求項３】 各傾動機構（１７）（２７）に、基板
   （１８）（２８）の他端部と傾動板（２１）（３１）と
   の間隔を計測する位置検出センサ（２６）（３６）を設
   けた請求項１あるいは請求項２に記載の分光素子位置決
   め装置。