JPH1082U - Performance board for automatic pin card data acquisition device. - Google Patents

Performance board for automatic pin card data acquisition device.

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Publication number
JPH1082U
JPH1082U JP6623193U JP6623193U JPH1082U JP H1082 U JPH1082 U JP H1082U JP 6623193 U JP6623193 U JP 6623193U JP 6623193 U JP6623193 U JP 6623193U JP H1082 U JPH1082 U JP H1082U
Authority
JP
Japan
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performance board
pin card
measurement
pin
acquisition device
Prior art date
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Pending
Application number
JP6623193U
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
慶一 高橋
昌満 南谷
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Priority to JP6623193U priority Critical patent/JPH1082U/en
Publication of JPH1082U publication Critical patent/JPH1082U/en
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ピンカードの特性データを、自動取得するた
めの装置において、高周波領域での測定精度を向上さ
せ、測定効率も格段に向上させられるピンカードデータ
自動取得装置用のパフォーマンスボードを得る。 【構成】 プリント基板4にスルーホール10を設け、ス
ルーホール10の両側に接点材料を用いたパッド2を設
け、ピンカード7のポゴピン6のピッチ及びプローバ5
のピッチとに整合させたパッド2の配列を設けた構成と
する。
(57) [Summary] [Purpose] In an apparatus for automatically acquiring characteristic data of a pin card, the precision of measurement in a high frequency region is improved and the measurement efficiency is remarkably improved. Get a performance board. A through-hole is provided on a printed circuit board, a pad using contact material is provided on both sides of the through-hole, a pitch of pogo pins of a pin card and a prober.
The arrangement of the pads 2 matched with the pitch of the pad 2 is provided.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、電子計測技術分野において、半導体IC試験装置のテストヘッドに使 用されるピンエレクトロニクスカードの特性データを自動取得するための装置に 用いるパフォーマンスボードに関する。 The present invention relates to a performance board used in a device for automatically acquiring characteristic data of a pin electronics card used in a test head of a semiconductor IC test device in the field of electronic measurement technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

半導体IC試験装置によって、ICメモリなどのICデバイスの特性を測定する場合 、ICデバイスに高周波領域の測定用信号を加える必要がある。それは、該試験装 置のパフォーマンスボード(Performance Board)のテストヘッド(Test Head )に対しピンカード(Pin Electronics Card)によって加えられる。(図3参照 )そして、該ピンカード群は、該試験装置のメーカー側からユーザ側に提供して いる。その際には、該パフォーマンスボードを介してICデバイスに加えられる信 号波形などの特性データが、ICデバイスの測定周波数全領域にわたって仕様規格 (Specification)に合致しているかどうか確認を行って提供せねばならない。 When measuring the characteristics of an IC device such as an IC memory using a semiconductor IC test apparatus, it is necessary to apply a measurement signal in a high frequency range to the IC device. It is applied to the test head of a test board (Performance Board) of the test apparatus by a pin card (Pin Electronics Card). (See FIG. 3) The pin card group is provided from the manufacturer of the test apparatus to the user. At that time, provide the data by confirming that the characteristic data such as the signal waveform applied to the IC device via the performance board conforms to the specifications over the entire measurement frequency range of the IC device. I have to.

【0003】 従来は、ユーザ側に提供され実際に使用されるパフォーマンスボードを利用し て、実使用状態に近似した状況の中で、サンプリングオシロスコープなどによっ て確認していた。しかも、該オシロスコープのプローバを手で持って、パフォー マンスボードのスルーホールパターンに逐一接触させることにより、信号波形の 特性データを取得していた。しかし、ICデバイスの高集積、高機能化に伴い、試 験装置が必要とする機能も格段に高まり、高周波領域(1.3ns〜500ps)に広がり 、チャンネル数も1000chに及び、取得すべき特性データは20項目にも達しており 、従来の技術による方法では、あまりにも測定に長時間を要して非効率であり、 高周波領域での測定であるために、ピンカードの出力特性(例えば波形)の測定 精度が得られないという問題点を有していた。Conventionally, a performance board provided to a user and actually used has been used to check with a sampling oscilloscope or the like in a situation similar to an actual use state. Moreover, by holding the prober of the oscilloscope by hand and making contact with the through-hole pattern of the performance board one by one, the characteristic data of the signal waveform has been obtained. However, with the increasing integration and functionality of IC devices, the functions required by test equipment have also increased dramatically, extending to the high-frequency range (1.3 ns to 500 ps), the number of channels has increased to 1000 channels, and the characteristic data to be acquired has to be acquired. Has reached 20 items, and the conventional method requires too much time for measurement and is inefficient. Since the measurement is performed in a high frequency range, the output characteristics of the pin card (eg, waveform) However, there was a problem that the measurement accuracy of the measurement could not be obtained.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】 上記問題点を解決するために、本考案では、ピンカードが持つ特性を測定す る精度を向上させ、尚、かつ膨大となったチャンネル数と測定項目数のために 長時間を要する測定作業を効率化させる、ことを目的とした。[Problem to be solved by the present invention] In order to solve the above problems, the present invention improves the accuracy of measuring the characteristics of the pin card, and furthermore, the number of channels and the number of measurement items become enormous. The purpose was to improve the efficiency of measurement work that required a long time.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

前記目的を達成するために、ユーザに提供するパフォーマンスボードのよう に、スルーホールパターンのみしかないと、測定用プローバの接触繰り返し精度 が得にくいので、スルーホールパターンのまわりにより大きなパッド(PAD) を 設け、人手によらないことにより効率を上げ、かつ、人体による測定系への影 響を排除するために、X-Y 軸移動可能なプローバによって自動的に、しかも長時 間無人運転できる装置によるものとした。つまり、ユーザに提供するパフォーマ ンスボードとは別に、自動化し易いパターンの配列とし、さらに、プローバの接 触が繰り返し確実に行えるように、接点材料(例えば、金メッキ)を用いて大き いパッドを設けた、ピンカード特性測定専用のパフォーマンスボードによること とした。 In order to achieve the above purpose, if there is only a through-hole pattern like a performance board provided to the user, it is difficult to obtain the contact repeatability of the measurement prober. Therefore, a larger pad (PAD) is required around the through-hole pattern. In order to increase efficiency by eliminating the need for manual operation and to eliminate the influence of the human body on the measurement system, a device that can be operated automatically and for a long time by unmanned operation using a prober that can move on the XY axis. did. In other words, apart from the performance board provided to the user, an array of patterns that can be easily automated is provided, and large pads are provided using contact materials (for example, gold plating) so that the prober can be repeatedly contacted with certainty. And a performance board dedicated to pin card characteristics measurement.

【0006】[0006]

【作用】[Action]

(1) ユーザに提供されるパフォーマンスボードは、ユーザからの仕様に準拠 するカスタムメイドが殆どであり、必ずしもそのテストヘッド部の構成は、本考 案の目的とする、高精度で、高効率にピンカードの特性データを取得するのには 不都合であった。 (2) ユーザに提供されるパフォーマンスボードを用いて、他の目的であるピ ンカードのデータを取得することをなくしたので、商品でもあり高額な、該ボー ドのパターンに損傷を与えることもない。 (3) ピンカードデータ自動取得装置用の専用のパフォーマンスボードは、ユ ーザに提供されるパフォーマンスボードと同一条件の誘電体とすることにより、 インピーダンスの相違による測定値の過誤は防止できる。 (1) Most of the performance boards provided to users are custom-made according to the specifications of the users, and the configuration of the test head is not necessarily high precision and high efficiency as the purpose of the present invention. It was inconvenient to obtain pincard characteristics data. (2) The use of the performance board provided to the user eliminates the need to acquire pin card data for other purposes, so it is a commodity and does not damage the expensive pattern of the board. . (3) If the dedicated performance board for the automatic pin card data acquisition device is made of a dielectric material under the same conditions as the performance board provided to the user, errors in the measured values due to differences in impedance can be prevented.

【0007】[0007]

【実施例】 (1)図1に、本考案の実施例を示す。 ピンカード特性データ取得専用パフォーマンスボード1は、ユーザに提供される カスタムのパフォーマンスボード9と同様に、プリント基板4にスルーホール10 が設けられ、その両端のスルーホールパターン3の周囲にパッド2を設ける。そ れらは、ピンカード7のポゴピン(Pogo Pin)6のピッチ(Pitch) に合わせら れている。 (2)ピンカード7は、ピンカード群(図2・2B)となりテストヘッド8とし てパフォーマンスボード1の下部に設置される(図2・2A) が、該専用パフォ ーマンスボード1のパッド2は、自動測定用プローバ5が効率良く長時間動作で きて、確実に接触できるような配置と大きさに設定されている。 (3) 本考案の、該専用パフォーマンスボードは、図1に示すような四角形に 限らず、円形、三角形或いは、ユーザに提供されるカスタム仕様のパフォーマン スボード10との特性(例えば、インピーダンスマッチング)上等の都合で、他の 形状や大きさとすることもできる。Embodiment (1) FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. The performance board 1 for exclusive use of pin card characteristic data acquisition is provided with through holes 10 on the printed circuit board 4 and the pads 2 around the through hole patterns 3 at both ends, similarly to the custom performance board 9 provided to the user. . They are adjusted to the pitch of the pogo pin 6 of the pin card 7. (2) The pin card 7 becomes a group of pin cards (FIG. 2.2B) and is installed as a test head 8 below the performance board 1 (FIG. 2.2A), but the pad 2 of the dedicated performance board 1 is The arrangement and the size are set so that the automatic measurement prober 5 can operate efficiently for a long time and can surely make contact. (3) The dedicated performance board of the present invention is not limited to the square as shown in FIG. 1, but may be circular, triangular, or may have characteristics (eg, impedance matching) with the custom-designed performance board 10 provided to the user. For other reasons, other shapes and sizes can be used.

【0008】[0008]

【考案の効果】[Effect of the invention]

本考案は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような 効果を奏する。 (1) ピンカードの特性を、自動取得装置によって取得できる専用パフォーマン スボードを実現したことで、人手によらず長時間の稼働が自動的にできるように なり、効率が格段に向上した。 (2) また、同時に、プローバと測定点であるパッドとの繰り返しの接触動作も 確実となり、かつ、高周波領域においても測定精度が向上し、ピンカードの出荷 品質の保証が確実にできるようになった。 Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. (1) The realization of a dedicated performance board that can acquire the characteristics of a pin card using an automatic acquisition device has made it possible to automatically operate for a long period of time without human intervention, greatly improving efficiency. (2) At the same time, repeated contact operation between the prober and the pad, which is the measurement point, is also ensured, and the measurement accuracy is improved even in the high-frequency range, so that the pin card shipping quality can be assured. Was.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案による実施例のピンカード特性データ取
得専用パフォーマンスボードの平面図と同断面図を示
す。
FIG. 1 is a plan view and a cross-sectional view of a performance board dedicated to acquiring pin card characteristic data according to an embodiment of the present invention.

【図2】(2A):本考案のピンカード特性データ取得
専用パフォーマンスボードを用いてピンカードの特性デ
ータを取得する状況を示す概念図 で
ある。 (2B):ピンカードが複数収納されてテストヘッドを
構成する状況を示す概念図である。
FIG. 2 (2A) is a conceptual diagram showing a situation in which pin card characteristic data is acquired using the pin card characteristic data acquisition dedicated performance board of the present invention. (2B): It is a conceptual diagram showing the situation where a plurality of pin cards are stored to constitute a test head.

【図3】(3A):ユーザに提供されるパフォーマンス
ボードの概念を示す。 (3B):同じく、同パフォーマンスボードの下部にピ
ンカードがテストヘッドとして取り付けられている状況
を示す断面図である。
FIG. 3A shows a concept of a performance board provided to a user. (3B): Similarly, it is sectional drawing which shows the situation in which the pin card is attached as a test head under the same performance board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 専用パフォーマンスボード 2 パッド 3 スルーホールパターン 4 プリント基板 5 プローバ 6 ポゴピン 7 ピンカード 8 テストヘッド 9 カスタムパフォーマンスボード 10 スルーホール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dedicated performance board 2 Pad 3 Through hole pattern 4 Printed circuit board 5 Prober 6 Pogo pin 7 Pin card 8 Test head 9 Custom performance board 10 Through hole

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Utility model registration claims] 【請求項1】 ピンカード(Pin Electronics Card)デ
ータの自動取得装置用パフォーマンスボードの構造にお
いて、プリント基板(4)にスルーホール(10)を設
け、スルーホール(10)の両側に、接点材料を用いた
測定用のパッド(2)を設け、ピンカード(7)のポゴ
ピン(6)とプローバ(5)のピッチとに整合させてパ
ッド(2)を配列することを特徴とするピンカードデー
タ自動取得装置用パフォーマンスボード。
In a structure of a performance board for an automatic acquisition device for pin card (Pin Electronics Card) data, a through hole (10) is provided in a printed board (4), and contact materials are provided on both sides of the through hole (10). A pin pad (2) for measurement, wherein the pads (2) are arranged in alignment with the pogo pins (6) of the pin card (7) and the pitch of the prober (5). Performance board for acquisition device.
JP6623193U 1993-11-17 1993-11-17 Performance board for automatic pin card data acquisition device. Pending JPH1082U (en)

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JP6623193U JPH1082U (en) 1993-11-17 1993-11-17 Performance board for automatic pin card data acquisition device.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1082U true JPH1082U (en) 1998-03-31

Family

ID=13309877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6623193U Pending JPH1082U (en) 1993-11-17 1993-11-17 Performance board for automatic pin card data acquisition device.

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JP (1) JPH1082U (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61172798U (en) * 1985-04-17 1986-10-27
WO2004027437A1 (en) * 2002-09-17 2004-04-01 Advantest Corporation Performance board and test system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61172798U (en) * 1985-04-17 1986-10-27
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