JPH1082U

JPH1082U - ピンカードデータ自動取得装置用パフォーマンスボード。

Info

Publication number: JPH1082U
Application number: JP6623193U
Authority: JP
Inventors: 慶一高橋; 昌満南谷
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1993-11-17
Filing date: 1993-11-17
Publication date: 1998-03-31

Abstract

(57)【要約】【目的】ピンカードの特性データを、自動取得するた
めの装置において、高周波領域での測定精度を向上さ
せ、測定効率も格段に向上させられるピンカードデータ
自動取得装置用のパフォーマンスボードを得る。【構成】プリント基板４にスルーホール10を設け、ス
ルーホール10の両側に接点材料を用いたパッド２を設
け、ピンカード７のポゴピン６のピッチ及びプローバ５
のピッチとに整合させたパッド２の配列を設けた構成と
する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子計測技術分野において、半導体IC試験装置のテストヘッドに使用されるピンエレクトロニクスカードの特性データを自動取得するための装置に用いるパフォーマンスボードに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体IC試験装置によって、ICメモリなどのICデバイスの特性を測定する場合、ICデバイスに高周波領域の測定用信号を加える必要がある。それは、該試験装置のパフォーマンスボード（Performance Board）のテストヘッド（Test Head ）に対しピンカード（Pin Electronics Card）によって加えられる。（図３参照）そして、該ピンカード群は、該試験装置のメーカー側からユーザ側に提供している。その際には、該パフォーマンスボードを介してICデバイスに加えられる信号波形などの特性データが、ICデバイスの測定周波数全領域にわたって仕様規格（Specification）に合致しているかどうか確認を行って提供せねばならない。

【０００３】従来は、ユーザ側に提供され実際に使用されるパフォーマンスボードを利用して、実使用状態に近似した状況の中で、サンプリングオシロスコープなどによって確認していた。しかも、該オシロスコープのプローバを手で持って、パフォーマンスボードのスルーホールパターンに逐一接触させることにより、信号波形の特性データを取得していた。しかし、ICデバイスの高集積、高機能化に伴い、試験装置が必要とする機能も格段に高まり、高周波領域（1.3ns〜500ps）に広がり、チャンネル数も1000chに及び、取得すべき特性データは20項目にも達しており、従来の技術による方法では、あまりにも測定に長時間を要して非効率であり、高周波領域での測定であるために、ピンカードの出力特性（例えば波形）の測定精度が得られないという問題点を有していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】上記問題点を解決するために、本考案では、ピンカードが持つ特性を測定する精度を向上させ、尚、かつ膨大となったチャンネル数と測定項目数のために長時間を要する測定作業を効率化させる、ことを目的とした。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するために、ユーザに提供するパフォーマンスボードのように、スルーホールパターンのみしかないと、測定用プローバの接触繰り返し精度が得にくいので、スルーホールパターンのまわりにより大きなパッド（PAD）を設け、人手によらないことにより効率を上げ、かつ、人体による測定系への影響を排除するために、X-Y 軸移動可能なプローバによって自動的に、しかも長時間無人運転できる装置によるものとした。つまり、ユーザに提供するパフォーマンスボードとは別に、自動化し易いパターンの配列とし、さらに、プローバの接触が繰り返し確実に行えるように、接点材料（例えば、金メッキ）を用いて大きいパッドを設けた、ピンカード特性測定専用のパフォーマンスボードによることとした。

【０００６】

【作用】

（1）ユーザに提供されるパフォーマンスボードは、ユーザからの仕様に準拠するカスタムメイドが殆どであり、必ずしもそのテストヘッド部の構成は、本考案の目的とする、高精度で、高効率にピンカードの特性データを取得するのには不都合であった。（2）ユーザに提供されるパフォーマンスボードを用いて、他の目的であるピンカードのデータを取得することをなくしたので、商品でもあり高額な、該ボードのパターンに損傷を与えることもない。（3）ピンカードデータ自動取得装置用の専用のパフォーマンスボードは、ユーザに提供されるパフォーマンスボードと同一条件の誘電体とすることにより、インピーダンスの相違による測定値の過誤は防止できる。

【０００７】

【実施例】（1）図１に、本考案の実施例を示す。ピンカード特性データ取得専用パフォーマンスボード１は、ユーザに提供されるカスタムのパフォーマンスボード９と同様に、プリント基板４にスルーホール10 が設けられ、その両端のスルーホールパターン３の周囲にパッド２を設ける。それらは、ピンカード７のポゴピン（Pogo Pin）６のピッチ（Pitch）に合わせられている。（2）ピンカード７は、ピンカード群（図２・２B）となりテストヘッド８としてパフォーマンスボード１の下部に設置される（図２・２A）が、該専用パフォーマンスボード１のパッド２は、自動測定用プローバ５が効率良く長時間動作できて、確実に接触できるような配置と大きさに設定されている。（3）本考案の、該専用パフォーマンスボードは、図１に示すような四角形に限らず、円形、三角形或いは、ユーザに提供されるカスタム仕様のパフォーマンスボード10との特性（例えば、インピーダンスマッチング）上等の都合で、他の形状や大きさとすることもできる。

【０００８】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。（1）ピンカードの特性を、自動取得装置によって取得できる専用パフォーマンスボードを実現したことで、人手によらず長時間の稼働が自動的にできるようになり、効率が格段に向上した。（2）また、同時に、プローバと測定点であるパッドとの繰り返しの接触動作も確実となり、かつ、高周波領域においても測定精度が向上し、ピンカードの出荷品質の保証が確実にできるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による実施例のピンカード特性データ取
得専用パフォーマンスボードの平面図と同断面図を示
す。

【図２】（２A）：本考案のピンカード特性データ取得
専用パフォーマンスボードを用いてピンカードの特性デ
ータを取得する状況を示す概念図で
ある。（２B）：ピンカードが複数収納されてテストヘッドを
構成する状況を示す概念図である。

【図３】（３A）：ユーザに提供されるパフォーマンス
ボードの概念を示す。（３B）：同じく、同パフォーマンスボードの下部にピ
ンカードがテストヘッドとして取り付けられている状況
を示す断面図である。

【符号の説明】

１専用パフォーマンスボード２パッド３スルーホールパターン４プリント基板５プローバ６ポゴピン７ピンカード８テストヘッド９カスタムパフォーマンスボード 10 スルーホール

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ピンカード（Pin Electronics Card）デ
ータの自動取得装置用パフォーマンスボードの構造にお
いて、プリント基板（４）にスルーホール（10）を設
け、スルーホール（１０）の両側に、接点材料を用いた
測定用のパッド（２）を設け、ピンカード（７）のポゴ
ピン（６）とプローバ（５）のピッチとに整合させてパ
ッド（２）を配列することを特徴とするピンカードデー
タ自動取得装置用パフォーマンスボード。