JPH1089903A - ダイヤルゲージ自動検査装置 - Google Patents

ダイヤルゲージ自動検査装置

Info

Publication number
JPH1089903A
JPH1089903A JP24044696A JP24044696A JPH1089903A JP H1089903 A JPH1089903 A JP H1089903A JP 24044696 A JP24044696 A JP 24044696A JP 24044696 A JP24044696 A JP 24044696A JP H1089903 A JPH1089903 A JP H1089903A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
dial gauge
stand
gauge
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24044696A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryoichi Nakane
良一 中根
Kazuo Uenosono
一夫 上之園
Koji Shimada
幸治 島田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP24044696A priority Critical patent/JPH1089903A/ja
Publication of JPH1089903A publication Critical patent/JPH1089903A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 JIS規格で定められたダイヤルゲージの器
差検査を、完全に自動化して確実に、効率良く行えるよ
うにすることである。 【解決手段】 ワークトレー1に入れて待機させた被検
査用ダイヤルゲージAをロボットハンド2で検査スタン
ド4に搬送し、動力駆動のロック装置5で固定する。そ
して、電子マイクロメータヘッド7でゲージのスピンド
ルを押して変位させる。一方でダイヤルゲージの目盛板
をカメラ11で撮してモニタ14に表示し、その画像を
処理してゲージの指針位置が検査点にきたことを読み取
り、そのときにデジタルカウンタ8に表示される電子マ
イクロメータ7の出力値をパーソナルコンピュータに取
込んでコンピュータ内で器差を算出し、併せて精度につ
いての合否判定も行う。また、電子マイクロメータヘッ
ド7はシンブル7aをスピードコントロールモータ9で
検査点以外の位置では高速で、検査点に近づくに従い低
速で回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ダイヤルゲージ
の性能検査を無人で行えるようにした自動検査装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】ダイヤルゲージの検査は、JIS規格に
定められた方法で行われる。JISB 7503−19
92年版 P6〜P9に示された検査要領は以下の内容
となっている。
【0003】検査は、被検査用ダイヤルゲージを、その
ゲージのスピンドルが鉛直かつ下方になるか又は目盛板
と水平になるように保持して以下の項目についてゲージ
の目盛の読みを基準にして行う。
【0004】(1) 広範囲及び狭範囲行き精度 測定単位が0.01mmのダイヤルゲージについては、
基点から1mm間は0.1mmずつ、1mm以上は0.
2mmずつスピンドルを基準器で測定範囲の終点まで押
し込み、各測定点における指針の指示値から基準器の表
示値を差し引いて描いた誤差線図から求める。
【0005】(2) 狭範囲隣接誤差と戻り誤差 行き精度の測定終了後、そのままの状態からスピンドル
を逆方向に戻しながら行き精度の測定時と同一測定点を
測定して得られる行き、戻りの誤差線図から求める。
【0006】(3) 繰り返し精度 測定台上面に測定子を垂直に当て、測定範囲内の任意の
位置で5回スピンドルを急激及び緩やかに作動させ、各
回の指示の最大誤差を求める。
【0007】(4) 測定力 スピンドルを鉛直かつ下方に向けた姿勢でダイヤルゲー
ジを保持してスピンドルを上下各方向に徐々に連続的に
移動させ、測定範囲の基点、中央及び終点における測定
力を調べる。
【0008】上記の検査法に従ったダイヤルゲージの性
能、特に器差(測定精度の誤差)検査は、マイクロメー
タヘッドや測長器などの基準器を検査員が操作して基準
器の測定子でダイヤルゲージのスピンドルを変位させ、
検査点において基準器が示す数値とダイヤルゲージが示
す数値を目視確認する方法で行われていたが、この方法
は、信頼性に欠ける上に効率が悪く、また、多点検査で
あるため検査員の精神的、肉体的負担も大きいなどの問
題があることから、特開昭51−21846号公報は、
作業を機械化した自動検査システムを提案している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
自動検査システムは、ダイヤルゲージの指針が検査点に
きたことをスリット円板のスリットに通した目盛板照明
光の強弱変化によって検出するので、スリット円板に小
間隔で多数のスリットを設ける必要がある場合には、本
来通るべきスリット以外のスリットから受光素子に光が
入り込む恐れがあり、指針位置の確実な検出が難しい。
【0010】また、被検査用ダイヤルゲージのセッティ
ング、取外し、測定精度の合否判定が非機械化の半自動
化装置であるし、測定子の位置(スピンドル変位量)測
定を行う測長軸の駆動もパルスモータにより一定した速
度で行われるようになっているため、検査効率も真に満
足できるものとは言い難い。
【0011】そこで、この発明は、ダイヤルゲージ検査
装置による器差検査の信頼性向上、完全自動化、高効率
化を図ることを課題としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明においては、待機点にある被検査用ダイヤ
ルゲージを検査スタンドに搬送し、検査終了後に元に戻
すコントローラ装備の自動搬送装置と、検査スタンドに
移したダイヤルゲージをスタンドに固定する動力駆動の
ロック装置と、スタンドに固定されたダイヤルゲージの
スピンドルを変位させてその変位量をデジタルカウンタ
から電気信号として出力する基準器及びこの基準器を駆
動するスピードコントロールモータと、検査スタンド上
のダイヤルゲージの目盛板をカメラで撮してモニタに表
示し、この画像を画像処理装置で処理してゲージの指針
位置を読み取る指針読み取り装置と、前記自動搬送装
置、ロック装置、デジタルカウンタ、スピードコントロ
ールモータ、指針読み取り装置の各々を制御するための
インターフェイス及びパーソナルコンピュータとで検査
装置を構成し、前記ダイヤルゲージの指針が検査点にき
たときのデジタルカウンタの出力値を前記インターフェ
イス経由でパーソナルコンピュータに取り込んでパーソ
ナルコンピュータに内蔵された演算、判定回路により各
検査点での器差の算出、及び測定精度についての合否判
定を行い、さらに、前記スピードコントロールモータを
検査点以外は高速で、検査点に近づくに従って低速で駆
動するようにしたのである。
【0013】なお、検査データは、フロッピーディスク
に格納するようにしておくと、データの保存、管理がし
易い。
【0014】
【作用】この発明では、カメラ、モニタを用い、画像処
理を行ってダイヤルゲージの指針位置を読み取るので、
検査点が多くても指針の読み取りを確実に行える。
【0015】また、ダイヤルゲージのセッティング、取
外しを、コントローラ装備の自動搬送装置(いわゆるロ
ボット)とロック装置を用いて行い、さらに、器差の計
算から測定精度についての合否判定までのデータ処理を
パーソナルコンピュータで行うので、器差検査の全自動
化が図れる。
【0016】このほか、ダイヤルゲージのスピンドルを
変位させる基準器を、スピードコントロールモータを用
いて指針が検出点以外の位置にあるときには高速で、検
査点に近づくに従って低速で駆動するようにしたので、
指針の行き過ぎ等を生じさせずに作業を早めることもで
きる。
【0017】
【発明の実施の形態】図1に、この発明のダイヤルゲー
ジ自動検査装置のシステム図を示す。この図は全体の概
念図である。
【0018】図の1は、被検査用ダイヤルゲージAを収
納して所定位置に待機させるワークトレーであり、ここ
では5個入りのトレーとした。
【0019】2はロボットハンド(自動搬送装置)、3
はそのロボットハンドのコントローラ、4は検査スタン
ド、5はロック装置である。
【0020】ロボットハンド2は市販のマイクロロボッ
ト(三菱電機製 RV−M1型)を用いた。このロボッ
トハンド2がワークトレー1内のダイヤルゲージAを掴
んで検査スタンド4に移す。検査スタンド4には、図
2、図3に示すホルダ4aを設けてあり、ダイヤルゲー
ジAは、そのホルダ4aの孔にスピンドルが鉛直かつ下
方になるように挿入されてホルダに支持される。
【0021】ロック装置5は、図3に示すように、ホル
ダ4aの孔に嵌まったダイヤルゲージのステムSを、V
溝を有する加圧子5aで加圧してダイヤルゲージを検査
スタンド4に固定する。このロック装置5のロック力
は、加圧子5aをスプリング5bで付勢して発生させ、
ロックの解除は電磁弁5cで加圧子5aを引き動かして
行うようにしてある。図1の6は、電磁弁5cをON、
OFFさせるリレーボックスである。
【0022】図1の7は、基準器となる電子マイクロメ
ータヘッドであり、検査スタンド4に取付けられてい
る。この電子マイクロメータヘッド7にはデジタルカウ
ンタ8(ここでは分解能0.1μmのものを用いた)が
接続されている。また、検査スタンド4には、電子マイ
クロメータヘッド7のシンブル7aを回転させるスピー
ドコントロールモータ9が設けられている。このモータ
9によるシンブル7aの回転操作は、モータ軸の回転を
シンブル外周に摩擦で伝えて行われる。モータ9は、図
1のモータドライバ10によって制御される。
【0023】図1の11は画像処理装置13及びモニタ
14と組合せて指針読み取り装置を構成するカメラであ
る。このカメラ11は、検査スタンド4の前方に設置さ
れてスタンドに保持されたダイヤルゲージAの目盛板を
撮す。ここでは、好ましい付属要素としてX、Y、Zの
3軸方向に動かせるXYZステージ12を設け、そのス
テージ12上にカメラを設置してステージの変位でカメ
ラ位置を微調整し得るようにしている。また、ダイヤル
ゲージAの目盛板を照らす照明灯(図示せず)も設け
た。カメラ、モニタは244×244画素のものとし、
照明灯にはハロゲンランプリングライトを用いた。
【0024】カメラ11で撮影した画像は画像処理装置
13経由でモニタ14に送られ、このモニタ14に表示
される。モニタ14には目盛の検査点を示すウィンドが
表示され、そのウィンドの中心に指針がきたときに指針
の位置が読み取られるようになっている。ウィンド内に
おける指針位置の読み取りは、指針と目盛板を画像処理
装置で2値化すると指針が黒で目盛板が白になる。そこ
で黒い部分(指針)の重心位置を読み取り、それがウィ
ンドの中心にあるかどうかを判断して行う。ウィンドの
表示は、狭範囲では複数表示、広範囲では1箇所表示に
している。1箇所表示のウィンドは、現在表示している
検査点での検査が終了したら、移動して次の検査点を表
示するが、狭範囲検査で1箇所表示にすると指針の動き
に対して表示が遅れ、その防止のために指針の移動速度
(すなわち検査速度)を下げざるを得なくなるので、狭
範囲では上述したようにウィンド表示を複数にするのが
よい。
【0025】図1の15はパーソナルコンピュータ(以
下パソコンと称す)である。このパソコン15にインタ
ーフェイス16経由でコントローラ3、リレーボックス
6、デジタルカウンタ8、モータドライバ10、画像処
理装置13が接続され、パソコンからの指令でロボット
ハンド2、ロック装置5、デジタルカウンタ8、モータ
9及び前述の指針読み取り装置が制御される。
【0026】図1の17は、第2の検査スタンドであ
る。この第2の検査スタンド17は、検査スタンド4と
同様の構成になっている。ここでは、検査スタンド4で
測定範囲が0〜25mm用のダイヤルゲージを、第2の
検査スタンド17で25〜50mm用のダイヤルゲージ
を各々検査するようにしているが、第2の検査スタンド
17を省略してもこの発明の装置は成立する。
【0027】次に、例示の装置によるダイヤルゲージの
器差検査の手順を記す。
【0028】(1) 準備 被検査用ダイヤルゲージの外観、構造に問題はないか、
又、スピンドルを手でゆっくり押し上げてひっかかりが
ないか、再現性はあるかを確認する。
【0029】(2) 器差検査 a)被検査用ダイヤルゲージAを5個ワークトレー1に
所定の向きにセットする。
【0030】b)パソコン15の操作を開始する。
【0031】c)ロボットハンド2について所定の原点
補正を行う。
【0032】d)この後、ロボットハンド2でワークト
レー1内のダイヤルゲージAを検査スタンド4(又は1
7)に搬送する。
【0033】e)スタンドのホルダの孔に挿入されたダ
イヤルゲージのステムをロック装置5で固定する。
【0034】f)カメラ11が撮したゲージの目盛板が
モニタ14に表示され、モニタに検査点を表すウィンド
が表示される。
【0035】g)その後、電子マイクロメータヘッドの
スピンドルでダイヤルゲージAのスピンドルを押し込ん
で狭範囲行き精度→広範囲行き精度と器差検査が実施さ
れる。手順は、行き精度の測定終了後、そのままの状態
から電子マイクロメータヘッドのシンブル7aを逆転さ
せてスピンドルを逆方向に戻しながら行き精度の測定時
と同一測定点を測定して行き、行き、戻りの器差を算出
する。
【0036】h)シンブル7aは、スピードコントロー
ルモータ9を用いて検査点以外の位置では高速で、検査
点に近づくに従って低速で回転させる。
【0037】i)ダイヤルゲージの指針位置は、モニタ
14に表示されたウィンドの中心部に指針がきたときに
読み取り、その時のデジタルカウンタ8の表示値を検査
値としてインターフェイス16を通じてパソコン15に
取込む。
【0038】j)全ての検査が終了した時点でロボット
ハンド2によりダイヤルゲージAがワークトレー1に元
通りに戻される。
【0039】k)次に、ロボットハンド2が2個目の被
検査用ダイヤルゲージを搬送し、以後d)〜j)の動作
が繰り返される。
【0040】l)パソコン15は、デジタルカウンタ8
から取り込んだ検査値について必要なら演算による補正
処理を行い、処理後の数値とダイヤルゲージの指針が示
す数値の差を精度誤差として求める。そしてさらに、各
検査点での精度誤差が許容範囲内に納まっているかを内
蔵した判定回路で判定して精度についての合否判断も自
動的に行う。また、検査データは逐次フロッピーディス
クに格納する。
【0041】以上が器差検査の手順である。例示の自動
検査装置は、広範囲及び狭範囲行き精度の検査、狭範囲
隣接誤差と戻り誤差の検査を終えると被検査用ダイヤル
ゲージAがロボットハンド2によりワークトレー1に戻
されるようにしてある。なお、信頼性や効率面で問題に
なっていたのは器差検査であるので、ここでは、器差検
査の作業のみを自動化し、繰り返し精度と測定力は別途
検査するようにした。
【0042】図4に、この発明の装置の検査フローを示
す。ここでは、検査結果が不合格のダイヤルゲージにつ
いてはそのまま検査スタンドから外してワークトレーに
戻すようにしたが、再検査を行って再度不合格の判定が
下された段階で正式に不合格にすると言った流れにして
もよい。いずれにしても、検査スタンドへの被検査用ダ
イヤルゲージの搬送、セッティングからワークトレーに
戻すまでの器差検査の無人化が図れる。
【0043】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
カメラで撮した目盛板の画像を処理してダイヤルゲージ
の指針位置を読み取り、このときの基準器出力(デジタ
ルカウンタの出力値)をパソコンに取り込んで各検査点
での器差を計算するので、JISで定める多点検査を正
確に実施でき、信頼性、実用性の高い検査装置を実現で
きる。
【0044】また、被測定用ダイヤルゲージの搬送、セ
ッティング、検査後の戻しを自動搬送装置を用いて行
い、さらに、データ処理は勿論精度についての合否判定
もパソコンで行うようにしたので、器差検査の全自動化
が可能となり、人員の削減、検査効率の更なる向上が図
れる。
【0045】また、スピードコントロールモータを用い
て検査点以外の位置では基準器を高速で操作するように
したので、指針の行き過ぎ等のトラブルを防止して作業
速度を早めることができ、これによる検査効率の改善効
果も期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のダイヤルゲージ自動検査装置を簡略
化して示すシステム図
【図2】(a)検査スタンドとロボットハンドの配置を
示す平面図 (b)同上の配置の正面図
【図3】ロック装置の詳細を示す断面図
【図4】図1の装置の検査手順の一例を示すフローチャ
ート
【符号の説明】
1 ワークトレー 2 ロボットハンド 3 ロボットハンドのコントローラ 4 検査スタンド 4a ホルダ 5 ロック装置 5a 加圧子 5b スプリング 5c 電磁弁 6 リレーボックス 7 電子マイクロメータヘッド 7a シンブル 8 デジタルカウンタ 9 スピードコントロールモータ 10 モータドライバ 11 カメラ 12 X、Y、Zステージ 13 画像処理装置 14 モニタ 15 パーソナルコンピュータ 16 インターフェイス 17 第2の検査スタンド A 被検査用ダイヤルゲージ S ステム

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 待機点にある被検査用ダイヤルゲージを
    検査スタンドに搬送し、検査終了後に元に戻すコントロ
    ーラ装備の自動搬送装置と、検査スタンドに移したダイ
    ヤルゲージをスタンドに固定する動力駆動のロック装置
    と、スタンドに固定されたダイヤルゲージのスピンドル
    を変位させてその変位量をデジタルカウンタから電気信
    号として出力する基準器及びこの基準器を駆動するスピ
    ードコントロールモータと、検査スタンド上のダイヤル
    ゲージの目盛板をカメラで撮してモニタに表示し、この
    画像を画像処理装置で処理してゲージの指針位置を読み
    取る指針読み取り装置と、前記自動搬送装置、ロック装
    置、デジタルカウンタ、スピードコントロールモータ、
    指針読み取り装置の各々を制御するためのインターフェ
    イス及びパーソナルコンピュータを具備し、 前記ダイヤルゲージの指針が検査点にきたときのデジタ
    ルカウンタの出力値を前記インターフェイス経由でパー
    ソナルコンピュータに取り込んでパーソナルコンピュー
    タに内蔵された演算、判定回路により各検査点での器差
    の算出、及び測定精度についての合否判定を行い、さら
    に、前記スピードコントロールモータを検査点以外は高
    速で、検査点に近づくに従って低速で駆動するようにし
    てあるダイヤルゲージ自動検査装置。
JP24044696A 1996-09-11 1996-09-11 ダイヤルゲージ自動検査装置 Pending JPH1089903A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24044696A JPH1089903A (ja) 1996-09-11 1996-09-11 ダイヤルゲージ自動検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24044696A JPH1089903A (ja) 1996-09-11 1996-09-11 ダイヤルゲージ自動検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1089903A true JPH1089903A (ja) 1998-04-10

Family

ID=17059627

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24044696A Pending JPH1089903A (ja) 1996-09-11 1996-09-11 ダイヤルゲージ自動検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1089903A (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012018130A (ja) * 2010-07-09 2012-01-26 Kansai Electric Power Co Inc:The 径計測装置
CN103925882A (zh) * 2014-03-27 2014-07-16 昆山艾博机器人系统工程有限公司 一种嵌件视觉检测装置
JP2019002831A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 株式会社ミツトヨ インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム
IT201800010524A1 (it) * 2018-11-22 2020-05-22 Giuseppe Gibin Apparato e metodo per la determinazione dell'errore sistematico strumentale di un comparatore o di un tastatore
CN111715543A (zh) * 2020-07-23 2020-09-29 横店集团东磁股份有限公司 一种测量e型工件壁厚的机构及其实现方法
CN111792351A (zh) * 2020-07-24 2020-10-20 深圳碧林技术有限公司 一种无线模块自动化测试设备
CN111854600A (zh) * 2019-04-28 2020-10-30 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种定位装置及其定位方法、基板加工设备
CN113251893A (zh) * 2021-05-26 2021-08-13 上海格尔汽车科技发展有限公司 用于汽车转向器输入轴定位槽的快速检测装置及测量方法
DE102021111698A1 (de) 2020-05-28 2021-12-02 Mitutoyo Corporation Automatische Messvorrichtung
DE102023120014A1 (de) 2022-07-29 2024-02-01 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung und steuerungsverfahren derselben
DE102024103395A1 (de) 2023-02-08 2024-08-08 Mitutoyo Corporation Automatische Messvorrichtung und Steuerungsverfahren dafür
DE102024124726A1 (de) 2023-08-31 2025-03-06 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung
DE102024124727A1 (de) 2023-08-31 2025-03-06 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012018130A (ja) * 2010-07-09 2012-01-26 Kansai Electric Power Co Inc:The 径計測装置
CN103925882A (zh) * 2014-03-27 2014-07-16 昆山艾博机器人系统工程有限公司 一种嵌件视觉检测装置
JP2019002831A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 株式会社ミツトヨ インジケータ検査機とその検査方法及び検査プログラム
IT201800010524A1 (it) * 2018-11-22 2020-05-22 Giuseppe Gibin Apparato e metodo per la determinazione dell'errore sistematico strumentale di un comparatore o di un tastatore
CN111854600A (zh) * 2019-04-28 2020-10-30 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种定位装置及其定位方法、基板加工设备
US11466971B2 (en) 2020-05-28 2022-10-11 Mitutoyo Corporation Automatic measuring device
DE102021111698A1 (de) 2020-05-28 2021-12-02 Mitutoyo Corporation Automatische Messvorrichtung
CN111715543A (zh) * 2020-07-23 2020-09-29 横店集团东磁股份有限公司 一种测量e型工件壁厚的机构及其实现方法
CN111792351A (zh) * 2020-07-24 2020-10-20 深圳碧林技术有限公司 一种无线模块自动化测试设备
CN111792351B (zh) * 2020-07-24 2021-04-09 深圳碧林技术有限公司 一种无线模块自动化测试设备
CN113251893A (zh) * 2021-05-26 2021-08-13 上海格尔汽车科技发展有限公司 用于汽车转向器输入轴定位槽的快速检测装置及测量方法
DE102023120014A1 (de) 2022-07-29 2024-02-01 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung und steuerungsverfahren derselben
US12584734B2 (en) 2022-07-29 2026-03-24 Mitutoyo Corporation Automatic measuring device and control method of the same
DE102024103395A1 (de) 2023-02-08 2024-08-08 Mitutoyo Corporation Automatische Messvorrichtung und Steuerungsverfahren dafür
DE102024124726A1 (de) 2023-08-31 2025-03-06 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung
DE102024124727A1 (de) 2023-08-31 2025-03-06 Mitutoyo Corporation Automatische messvorrichtung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1089903A (ja) ダイヤルゲージ自動検査装置
EP0398781A2 (en) Method and apparatus for low angle, high resolution surface inspection
KR20010024424A (ko) 전자 조립체 영상 검사 시스템
CN101424519A (zh) 平整度的检测装置及检测方法
JP2005292136A (ja) 多重解像度検査システム及びその動作方法
JP2013156173A (ja) タービン翼の検査方法及びその装置
KR19980025744A (ko) 광문자인식기가 부착된 반도체 웨이퍼 검사장치
JPH08285785A (ja) はんだ付け良否検査装置
CN107238359B (zh) 一种小型航空发动机曲轴圆跳动、圆度检测系统
JP5314328B2 (ja) アームオフセット取得方法
JP2002148001A (ja) ダイヤルゲージ検査装置
US7349083B2 (en) Rotary borescopic optical dimensional mapping tool
CN110530308A (zh) 一种轮毂圆跳动测量装置及方法
CN216669756U (zh) 一种芯片检测机
JPH11230917A (ja) 欠陥検査装置
EP4519630A1 (en) Non-contact deformation monitoring system
JPH02213701A (ja) ディスク内径検査方法及びその装置
JPH03181848A (ja) 半導体材料評価装置
JP2010032456A (ja) ガラス基板検査装置
TWI417510B (zh) 工件尺寸檢測裝置
CN109290852B (zh) 一种精密加工单元在线检测方法及系统
TWI786970B (zh) 醫療用高扭力齒輪之齒輪輪廓檢測方法
JP2002267620A (ja) 板状物体目視検査装置
KR19990049263A (ko) 3차원 물체 검사 장치 및 그의 검사 방법
JP2004333356A (ja) 車両用塗面検査装置