JPH1090007A - 位置検出センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】１台のセンサで、被検出体を移動経路上の３位
置で検出できる新規な位置検出センサを提供する。 【解決手段】二つのコーナー反射面と中央の空隙部を有
する凹字形の導光プリズム６ａと、先端に偏向反射面を
形成して前記空隙部に配した遮光シャッタ６ｂと、被検
出体の動きに従動して前記遮光シャッタを導光プリズム
の空隙部に出没操作するレバー形のアクチュエータ６ｃ
からなる光スイッチ６と、投光素子７ａと二つの受光素
子７ｂ，７ｃを有し、光ファイバー９，１０を介して光
スイッチ６と接続した光電変換器７との組合せからな
り、被検出体の動きに従動してアクチュエータが被検出
体の各検出位置に対応して光スイッチの遮光シャッタを
(a) 図の遮光位置，(b) 図の偏向位置，(c) 図の透光位
置に出没操作し、その出没位置に対応した光電変換器の
出力信号から被検出体の３位置を判別する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動経路に沿って
移動する被検出体を、その移動経路上の３位置で検出す
る位置検出センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】移動経路に沿って移動する被検出体を、
その移動経路上の所定位置で検出するための検出手段と
して、従来では一般にリミットスイッチが多用されてい
る。ここで、モータで回転駆動されるスピンドルの軸上
を移動する送りナットをＩ，II，III の各位置で検出し
て移動制御する送り機構を例に、従来における送りナッ
トの位置検出装置を図７に示す。図において、１はスピ
ンドル、２はスピンドル１の軸上に沿って移動する送り
ナット、３はスピンドル１の駆動モータ、４は送りナッ
ト２に連動するストライカであり、スピンドル１の軸上
に設定した送りナット２の検出位置Ｉ，II，III に対応
して、３個のレバー形リミットスイッチ５Ｉ〜５III が
ストライカ４の移動軌跡上に沿って配置されている。

【０００３】かかる構成で、モータ３の回転駆動により
送りナット２をスピンドル１の軸上に移動操作する送り
行程で、送りナット２が検出位置Ｉ，II，III に到達す
ると、各検出位置でストライカ４がリミットスイッチの
レバー５ａを押して揺動操作し、これによりリミットス
イッチが作動して検出信号を出力する。そして、この検
出信号を基に例えば駆動モータ３を停止制御するように
している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記のようにリミット
スイッチを採用した従来の位置検出装置では、リミット
スイッチを検出位置の相応する数だけ設置する必要があ
り、そのために多点で位置検出を行う必要のある場合に
はリミットスイッチの使用台数が増してコスト高とな
る。

【０００５】なお、スピンドル１の回転数と送りナット
２の直線移動位置とが比例した相関関係にあることか
ら、位置検出手段として例えばロータリーエンコーダな
どを採用することも考えられるが、ロータリーエンコー
ダは高価であるほか、その信号処理が複雑化するなどの
難点がある。本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、その目的は１台のセンサを使用して被検出体を
移動経路上の３位置で検出できるように構成した新規な
位置検出センサを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、位置検出センサの検出部が、被検
出体の動きに従動して変位するアクチュエータ，および
該アクチュエータの変位に応動して個別にオン，オフ動
作する二つの検出要素を有し、各検出要素を総括した動
作状態が被検出体の３位置ごと異なるなるように前記ア
クチュエータと二つの検出要素とを連係して構成するも
のとし、具体的には次記のような形態で実現できる。

【０００７】１）位置検出センサの検出部として、二つ
のコーナー反射面と該コーナー反射面の間の光路を横切
る空隙部を有し、かつ前記のコーナー反射面，および空
隙部に対応して底面側に入光部，および二つの出光部を
形成した凹字形の導光プリズムと、先端に斜めカットし
た偏向反射面を形成して前記空隙部に対向配置した遮光
シャッタと、被検出体と連動するストライカの動きに従
動して前記遮光シャッタを導光プリズムの空隙部に出没
操作するアクチュエータからなる光スイッチを採用する
とともに、該光スイッチの入光部，出光部と別置の光電
変換器に内蔵した投光部と二つの受光部との間を光ファ
イバーを介して相互接続し、前記ストライカの動きに従
動するアクチュエータが被検出体の３位置に対応して光
スイッチの遮光シャッタを導光プリズムの遮光，偏向，
透光の各位置に出没操作し、その出没位置に対応して切
り換わる光電変換器の受光部の出力信号を基に被検出体
を３位置で検出するように構成する。また、前記光スイ
ッチのアクチュエータは、被検出体に従動するストライ
カ，例えばフォークレバー，カムの組合せからなるスト
ライカに従動して揺動するレバー形アクチュエータが採
用できる。

【０００８】上記の構成において、被検出体が移動経路
上で三つの各検出点を移動すると、これに対応して光ス
イッチのレバー形アクチュエータが揺動してそのレバー
角度が変化するとともに、そのレバー角度に相応して遮
光シャッタが導光プリズムに対する遮光，偏向，透光位
置に変位し、これに対応して光電変換器に内蔵した第
１，第２の受光部の出力信号が総括的に変わる。

【０００９】すなわち、前記の遮光位置では投光用光フ
ァイバーを通じて導光プリズムの入光部に入射した光線
は遮光シャッタに遮られて二つの出光部のいずれにも到
達しない。したがって、光電変換器の第１，第２の受光
部はいずれも出力信号が「０」である。一方、偏向位置
では遮光シャッタの先端に形成した偏向反射面が導光プ
リズムの光路に向かい合うようになる。これにより、導
光プリズムの入光部から入射した光信号は空隙部を通過
する途上でシャッタの偏向反射面に反射して向きを変
え、空隙部に対応する第１の出光部に接続した受光用光
ファイバーを通じて光電変換部の第１の受光部に導光さ
れる。したがって、第１受光部の出力信号は「１」，第
２受光の出力信号は「０」となる。また、透光位置で
は、遮光シャッタが導光プリズムの空隙部から抜け出る
ために、入光部から入射した光信号は空隙部を透過した
後、反対側のコーナー反射面を経て第２の出光部に達
し、ここから受光用光ファイバーを通じて光電変換器の
第２受光部に導光される。したがって、第２受光部の出
力信号は「１」，第１受光の出力信号は「０」となる。

【００１０】したがって、前記した光電変換器の受光部
の出力信号を後段の論理回路で判別処理することによ
り、１台の光スイッチと光電変換器を組合せて被検出体
をその移動経路上の３位置で検出することができる。し
かも、検出部として光スイッチを用いることにより、防
爆，電気絶縁性など面から有接点形のリミットスイッチ
が採用できない使用環境の下でも安全に使用できる。

【００１１】２）位置検出センサの検出部として、第
１，第２の二つの内蔵スイッチと、被検出体と連動する
するストライカの動きに従動して各スイッチを開閉操作
するよう第１，第２の内蔵スイッチに連係したアクチュ
エータと、アクチュエータと第１，第２の内蔵スイッチ
との間を個々に連係するプランジャとからなり、かつ第
１，第２の内蔵スイッチをその動作順位を変えるように
相対位置をずらして設置するとともに、動作順位の早い
第１の内蔵スイッチに対向するプランジャに対しては、
その動作ストロークの範囲を内蔵スイッチの動作位置を
超えないよう規制するストッパ手段を備えた構成とす
る。また、前記構成におけるアクチュエータとしては、
前記の第１の解決手段と同様に、被検出体に従動するス
トライカの動きで揺動するレバー形アクチュエータを採
用することができる。

【００１２】かかる構成により、被検出体が移動経路上
の各検出点を移動すると、これに対応して在来のレバー
形リミットスイッチと同様にレバー形アクチュエータの
レバー角度が変化する。ここで、最初の第１検出位置で
はアクチュエータが後退位置に揺動変位し、センサに組
み込んだ第１，第２の内蔵スイッチは動作しないでいず
れもＯＦＦの状態となる。一方、被検出体が次の第２の
検出位置に移動すると、アクチュエータのレバー角度が
変わって二つのプランジャを同時にストローク動作させ
るようになるが、第１，第２の内蔵スイッチはプランジ
ャに対する相対位置を前後にずらして設置しているため
に、動作順位の早い第１の内蔵スイッチが先にＯＦＦか
らＯＮに反転動作し、第２の内蔵スイッチはＯＦＦのま
まである。また、被検出体がこの検出位置から第３の検
出地点に移動すると、アクチュエータのレバー角度がさ
らに変化してプランジャを押し進め、これにより第２の
内蔵スイッチがＯＦＦからＯＮに反転動作するととも
に、先に反転動作した第１の内蔵スイッチはＯＮの状態
を保つ。なお、この動作過程では第１の内蔵スイッチに
対応するプランジャは、ストッパ手段によりスイッチの
動作限界位置から先に前進せず、当該プランジャとアク
チュエータとの間に介挿したばねでアクチュエータの前
進移動を吸収する。

【００１３】これにより、被検出体を検出する３点の各
位置ごとに異なる第１と第２の内蔵スイッチの開閉動作
の組合せ状態が得られ、前記第１，第２の内蔵スイッチ
の動作信号を例えば論理回路により処理することで、１
台の位置検出センサにより移動経路上に沿って移動する
被検出体を３地点で的確に検出することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、先記１),２）項の形態にそ
れぞれ対応した本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。なお、実施例の図中で図７に対応する同一部材には
同じ符号が付してある。 〔実施例１〕図１ないし図４は本発明の請求項２，４に
対応する光スイッチ方式の実施例を示すものである。こ
の実施例においては、図１(a) 〜(c) で示すように、位
置検出センサが、検出部であるレバー形光スイッチ６と
別置の光電変換器７とを組合せ、その相互間を光ファイ
バーで相互接続した構成になる。

【００１５】上記において、光スイッチ６は、ケース内
に凹字形の導光プリズム６ａと、遮光シャッタ６ｂを組
み込み、かつケースから上方にレバー形のアクチュエー
タ６ｃが突き出した構造である。ここで、導光プリズム
６ａは図４に示すように、左右のコーナー反射面６ａ-
1, ６ａ-2の間の光路を横切るように上部中央を切欠し
て形成した空隙部６ａ-3、およびコーナー反射面６ａ-
1, ６ａ-2, 空隙部６ａ-3とそれぞれ対応してプリズム
の底面側に配列した入光部６ａ-4, および第１, 第２の
出光部６ａ-5, ６ａ-6が形成されており、この入光部６
ａ-4, および第１,第２の出光部６ａ-5, ６ａ-6にそれ
ぞれ光電変換器７との間に配線する投光用光ファイバー
８，および第１，第２の受光用光ファイバー９，１０が
挿入接続される。また、遮光シャッタ６ｂは、その先端
部を入光側のコーナー反射面６ａ-1に向けて斜め４５°
にカットし、ここに偏向反射面６ｂ-1を形成した構造に
なる。さらに、レバー形アクチュエータ６ｃは、図２で
示すようにレバーの基部がケースに対して左右方向へ揺
動可能に軸支されており、その支軸には前記した遮光シ
ャッタ６ｂをストローク動作させる駆動カム６ｃ-1が結
合されている。なお、６ｂ-2は遮光シャッタ６ｂをカム
６ｃ-1に向けて押圧する付勢ばねである。

【００１６】一方、光電変換器７は、例えばレーザダイ
オードなどの投光素子７ａと、二つの第１，第２の受光
素子７ｂ，７ｃを備え、投光素子７ａ，第１，第２の受
光素子７ｂ，７ｃと先記した光スイッチ６との間が投光
用光ファイバー８，受光用光ファイバー９，１０を介し
て相互接続されている。なお、前記と同様な構成の光ス
イッチ，および光電変換器を組合せた２位置検出用の光
電式位置検出センサが、本発明と同一出願人により先に
提案した特開平４−３３８９１４号公報に述べられてい
る。

【００１７】ところで、図示実施例の構成では、光スイ
ッチ６のレバー形アクチュエータ６ｃと、これに連係し
た遮光シャッタ６ｂの導光プリズム６ａに対する出没位
置とが図２に示した駆動カム６ｃ-1を介して次記のよう
な相関関係になるよう設定されている。すなわち、図１
(a) ，図４(a) で表すように、アクチュエータ６ｃのレ
バーが左側に揺動している状態（検出位置Ｉ）では、遮
光シャッタ６ｂが導光プリズム６ａの空隙部６ａ-3に深
く進入しており、投光用光ファイバー８を通じて導光プ
リズム６ａに入射した光信号をシャッタ６ｂの側面で遮
る“遮光位置”に位置する。また、図１(b) ，図４(b)
で表すように、アクチュエータ６ｃのレバーが中立位置
に立っている状態（検出位置II）では、遮光シャッタ６
ｂが前記の検出位置Ｉから上昇して偏向反射面６ｂ-1が
導光プリズム６ａの光路に向き合う“偏向位置”に移動
する。さらに、図１(c) ，図４(c) で表すように、アク
チュエータ６ｃのレバーが右側に傾動した状態（検出位
置III)では、遮光シャッタ６ｂが導光プリズム６ａの空
隙部６ａ-3から抜け出て光路を遮らない“透光位置”に
移動するように調整されている。

【００１８】かかる構成で、光電変換器７の投光素子７
より光ファイバー８を通じて光スイッチ６の導光プリズ
ム６ａに光信号を投光している状態で、アクチュエータ
６ｃが図１(a) の“遮光位置”に揺動すると、導光プリ
ズム６ａに入射した光信号は遮光シャッタ６ｂにより遮
光される。したがって、光信号は第１，第２の受光素子
７ｂ，７ｃのいずれにも伝達されず、受光素子７ｂ，７
ｃの出力信号Ａ，Ｂはいずれも「０」となる。一方、ア
クチュエータ６ｂが図１(b) の“偏向位置”に揺動する
と、導光プリズム６ａに入光した光信号は、図４(b) か
ら判るように遮光シャッタ６ｂの偏向反射面６ｂ-1に反
射して下向きに偏向し、第１の受光用光ファイバー９を
通じて第１の受光素子７ｂに伝達する。これにより、第
１の受光素子７ａの出力信号Ａは「１」に変わり、第２
の受光素子７ｃの出力信号Ｂは「０」のままである。さ
らに、アクチュエータ６ｂが図１(c) の“透光位置”に
揺動すると、導光プリズム６ａに入射した光信号は図４
(c) で表すように空隙部６ａ-3をそのまま透過し、光フ
ァイバー１０を通じて第２の受光素子７ｃに伝達する。
この結果、第１の受光素子７ｂの出力信号Ａが「０」，
第２の受光素子７ｃの出力信号Ｂが「１」に切り換わ
る。

【００１９】そこで、前記の出力信号Ａ，Ｂを図３に示
すような論理回路の判別回路（光電変換器７に付設す
る）に入力して信号処理することにより、光スイッチ６
のアクチュエータ６ｃのレバー角度に対応する３つの状
態（検出位置Ｉ，II，III)を判別回路の出力信号i,ii,i
iiとして認識することができる。なお、図１(a) 〜(c)
で述べた位置検出動作を真理値として表すと次記の表１
の如くなる。

【００２０】

【表１】 次に、前記した位置検出センサを、図７で述べたと同様
な送り機構に適用した位置検出装置を図５(a) 〜(c) に
示す。すなわち、図５においてはスピンドル１の軸上を
移動する送りナット２に対して、その送りナット２の移
動に連動するストライカ４が、一端を支軸４ａで軸支し
たフォークレバー４ｂと、その端部に取付けたハート形
のカム４ｃとからなり、カム４ｃのカム面にレバーの先
端ローラを当接して先記構成の光スイッチ６が対向配置
されている。

【００２１】かかる構成で、スピンドル１の軸上に設定
した検出位置Ｉ，II，III に送りナット２が移動する
と、これに従動してストライカ４のカム４ｃがフォーク
レバー４ｂを介して回動し、該カム４ｃと接する光スイ
ッチ６のレバー形アクチュエータ６ｃを揺動させる。こ
こで、図１(a) 〜(c) に示した光スイッチ６の検出位置
Ｉ，II，III が図５における送りナット２の各検出地点
Ｉ，II，III と対応するようにストライカ４のフォーク
レバー４ｂ、カム４ｃを設定すれば、スピンドル１の軸
上を移動する送りナット２が検出位置Ｉ，II，III に到
達したことを光電変換部７の出力信号Ａ，Ｂを基に検出
できる。

【００２２】〔実施例２〕次に本発明の請求項３，４に
対応するリミットスイッチ型の位置検出センサの実施例
を図６(a) 〜(c) に示す。この実施例においては、スイ
ッチケース内に第１，第２の内蔵スイッチ（マイクロス
イッチ）１１，１２と、各スイッチ１１，１２の押しボ
タンと個別に対向する二つのプランジャ１３，１４と、
プランジャ１３，１４の間にまたがる駆動部材１５を組
み込み、前記駆動部材１５を矢印方向にストローク動作
させるレバー形アクチュエータ（図２と同様なカム付レ
バー）１６がケースに軸支して上方に突き出した構成に
なる。

【００２３】ここで、第１，第２の内蔵スイッチ１１，
１２は動作順位を変えるために、駆動部材１５に対して
第１の内蔵スイッチ１１が第２の内蔵スイッチ１２より
も前方に位置するように相対位置を前後にずらして並置
されている。また、第１の内蔵スイッチ１１に対向する
プランジャ１３は駆動部材１５との間が圧縮ばね１７を
介して連結され、かつプランジャ１３から側方に突き出
たドグ１３ａに対向してケース側にはストッパ１８を備
えており、これらでプランジャ１３の動作ストロークの
範囲が第１の内蔵スイッチ１１の作動位置を超えないよ
うに規制するストッパ機構を構成している。一方、プラ
ンジャ１４は駆動部材１５に直結されている。

【００２４】かかる構成で、図６(a) のようにアクチュ
エータ１６のレバーが左側に揺動している状態（検出位
置Ｉ）では、駆動部材１５とともにプランジャ１３，１
４が後退して内蔵スイッチ１１，１２はＯＦＦとなる。
また、図６(b) のようにアクチュエータ１６のレバーが
中立位置に揺動した状態（検出位置II）になると、アク
チュエータ１６が駆動部材１５を介してプランジャ１
３，１４を同時に押してストローク動作させるようにな
るが、先記のように第１の内蔵スイッチ１１は第２の内
蔵スイッチ１２よりも前方位置に設置されていることか
ら、動作順位の早い第１の内蔵スイッチ１１が先にＯＦ
ＦからＯＮに反転動作し、第２の内蔵スイッチ１２はＯ
ＦＦのままとなる。さらに、アクチュエータ１６のレバ
ーが右側に揺動した状態（検出位置III ）では、アクチ
ュエータ１６が駆動部材１５を介してプランジャ１４を
押し進めるようにストローク動作し、第２の内蔵スイッ
チ１２がＯＦＦからＯＮに反転動作する。一方、第１の
内蔵スイッチ１１はプランジャ１３のドグ１３ａがスト
ッパ１８に当たってその位置に停止しするのでＯＮの状
態を保つ。なお、この動作過程では第１の内蔵スイッチ
１１に対応するプランジャ１３は先記したストッパ手段
によりスイッチの動作位置から先に前進せず、当該プラ
ンジャ１３と駆動部材１５との間に介挿したばね１７で
駆動部材１５の前進移動を吸収する。

【００２５】ここで、前記した検出位置Ｉ，II，III に
対応した第１，第２の内蔵スイッチ１１，１２の動作状
態を真理値として表すと次表の如くなる。

【００２６】

【表２】 したがって、第１，第２の内蔵スイッチの開閉動作信号
を図３で述べたと同様に、論理回路の判別回路に入力し
て信号処理することにより、アクチュエータ６ｃのレバ
ー角度に対応する３つの状態（検出位置Ｉ，II，III)を
判別回路の出力信号として検出することができる。

【００２７】そして、この実施例のリミットスイッチ型
の位置検出センサを、図５の位置検出装置における光ス
イッチ６に置き換えて採用することにより、ナット２の
位置をスピンドル１の軸上に設定した３点の検出位置
Ｉ，II，III で検出することができる。

【００２８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の構成によれ
ば、被検出体の移動経路に沿って１台の位置検出センサ
を配置するだけで、その移動経路上に設定した３点で被
検出体を検出することができ、位置検出点の数だけリミ
ットスイッチを配置して被検出体の位置検出を行う従来
の位置検出方式と比べて、設置スペース，コストの面で
有利な位置検出センサを提供することができる。

【００２９】特に、請求項２の構成によれば、１個の光
スイッチで被検出体を３位置が検出でき、かつ防爆，電
気絶縁性の面から有接点式のリミットスイッチが使えな
い周囲環境条件の下でも安全に使用できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に対応する位置検出センサの
構成，動作の説明図であり、(a),(b),(c) はそれぞれ異
なる検出位置での動作状態を表す図

【図２】図１におけるレバー形アクチュエータの具体的
な構成図

【図３】図１における光電変換器の出力信号を判別処理
する論理回路図

【図４】図１における光スイッチの遮光シャッタ出没位
置とこれに対応する導光プリズムでの光信号伝達経路の
関係図であり、(a) 〜(c) はそれぞれ図１(a) 〜(c) に
対応した状態を表す図

【図５】本発明の位置検出センサを採用して構築した被
検出体の位置検出装置の構成，動作の説明図であり、
(a) 〜(c) はそれぞれ異なる検出位置での動作状態を表
す図

【図６】本発明の実施例２に対応する位置検出センサの
構成，動作の説明図であり、(a),(b),(c) はそれぞれ異
なる検出位置での動作状態を表す図

【図７】リミットスイッチを使用した従来の位置検出装
置の構成図

【符号の説明】

１ スピンドル（被検出体の移動軸） ２ 送りナット（被検出体） ４ ストライカ ５ レバー ５I,５II，５III レバー形リミットスイッチ ６ 光スイッチ ６ａ 導光プリズム ６ａ-1, ６ａ-2 コーナー反射面 ６ａ-3 空隙部 ６ａ-4 入光部 ６ａ-5, ６ａ-6 出光部 ６ｂ 遮光シャッタ ６ｂ-1 偏向反射面 ６ｂ-2 付勢ばね ６ｃ レバー形アクチュエータ ６ｃ-1 カム ７ 光電変換器 ７ａ 投光素子 ７ｂ，７ｃ 受光素子 ８ 投光用光ファイバー ９，１０ 受光用光ファイバー １１，１２ 内蔵スイッチ １３，１４ プランジャ １３ａ ドグ １５ 駆動部材 １６ レバー形アクチュエータ １７ ばね １８ ストッパ Ｉ，II，III 検出位置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検出体の位置をその移動経路上の３位置
   で検出するための位置検出センサであって、その検出部
   が被検出体の動きに従動して変位するアクチュエータ，
   および該アクチュエータの変位に応動して個別にオン，
   オフ動作する二つの検出要素を有し、各検出要素を総括
   した動作状態が被検出体の３位置ごと異なるなるよう
   に、前記アクチュエータと二つの検出要素とを連係した
   ことを特徴とする位置検出センサ。
2. 【請求項２】請求項１記載の位置検出センサにおいて、
   その検出部が、二つのコーナー反射面と該コーナー反射
   面の間の光路を横切る空隙部を有し、かつ前記のコーナ
   ー反射面，および空隙部に対応して底面側に入光部，お
   よび二つの出光部を形成した凹字形の導光プリズムと、
   先端に斜めカットした偏向反射面を形成して前記空隙部
   に対向配置した遮光シャッタと、被検出体と連動するス
   トライカの動きに従動して前記遮光シャッタを導光プリ
   ズムの空隙部に出没操作するアクチュエータからなる光
   スイッチであり、該光スイッチの入光部，出光部と別置
   の光電変換器に内蔵した投光部と二つの受光部との間を
   光ファイバーを介して相互接続し、前記ストライカの動
   きに従動するアクチュエータが被検出体の３位置に対応
   して光スイッチの遮光シャッタを導光プリズムの遮光，
   偏向，透光の各位置に出没操作し、その出没位置に対応
   して切り換わる光電変換器の受光部の出力信号を基に被
   検出体を３位置で検出するようにしたことを特徴とする
   位置検出センサ。
3. 【請求項３】請求項１記載の位置検出センサにおいて、
   その検出部が、第１，第２の二つの内蔵スイッチと、被
   検出体と連動するするストライカの動きに従動して各ス
   イッチを開閉操作するよう第１，第２の内蔵スイッチに
   連係したアクチュエータと、アクチュエータと第１，第
   ２の内蔵スイッチとの間を個々に連係するプランジャと
   からなり、かつ第１，第２の内蔵スイッチをその動作順
   位を変えるように相対位置をずらして設置するととも
   に、動作順位の早い第１の内蔵スイッチに対向するプラ
   ンジャに対しては、その動作ストロークの範囲を内蔵ス
   イッチの動作位置を超えないよう規制するストッパ手段
   を備えたことを特徴とする位置検出センサ。
4. 【請求項４】請求項２，または３記載の位置検出センサ
   において、アクチュエータが被検出体に従動するストラ
   イカの動きで揺動するレバー形アクチュエータであるこ
   とを特徴とする位置検出センサ。