JPH1092700A - 固体電解コンデンサの製法およびその製造装置 - Google Patents
固体電解コンデンサの製法およびその製造装置Info
- Publication number
- JPH1092700A JPH1092700A JP8243153A JP24315396A JPH1092700A JP H1092700 A JPH1092700 A JP H1092700A JP 8243153 A JP8243153 A JP 8243153A JP 24315396 A JP24315396 A JP 24315396A JP H1092700 A JPH1092700 A JP H1092700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrolytic solution
- electrolytic
- capacitor
- chemical conversion
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電解液内の不純物を除去することにより、電
解液を一々廃棄しないで継続的に使用し、電解液の無駄
をなくすると共に、不純物濃度の管理の手間を省き、高
性能の固体電解コンデンサをローコストで製造する。 【解決手段】 金属粉末の表面に陽極酸化により誘電体
膜を形成する化成処理工程を有する固体電解コンデンサ
の製法であって、前記化成処理工程を電解液５に弱電解
処理を施すことにより該電解液内の不純物を除去しなが
ら行うことを特徴とする。
解液を一々廃棄しないで継続的に使用し、電解液の無駄
をなくすると共に、不純物濃度の管理の手間を省き、高
性能の固体電解コンデンサをローコストで製造する。 【解決手段】 金属粉末の表面に陽極酸化により誘電体
膜を形成する化成処理工程を有する固体電解コンデンサ
の製法であって、前記化成処理工程を電解液５に弱電解
処理を施すことにより該電解液内の不純物を除去しなが
ら行うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固体電解コンデンサ
の製法およびそれに用いる製造装置に関する。さらに詳
しくは、陽極酸化により金属粉末の表面に誘電体膜を形
成する化成処理工程や再化成処理工程などにおいて、鉄
やニッケルなどの不純物がコンデンサ内に侵入しないよ
うに電解液を清浄にしながら行う固体電解コンデンサの
製法およびその製造装置に関する。
の製法およびそれに用いる製造装置に関する。さらに詳
しくは、陽極酸化により金属粉末の表面に誘電体膜を形
成する化成処理工程や再化成処理工程などにおいて、鉄
やニッケルなどの不純物がコンデンサ内に侵入しないよ
うに電解液を清浄にしながら行う固体電解コンデンサの
製法およびその製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】タンタルコンデンサなどの固体電解コン
デンサは、つぎのような手順で製造される。まず、タン
タル（Ｔａ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニオブ（Ｎｂ）
などの金属粉末を成形して焼結することによりコンデン
サ素子を作り、陽極酸化により各金属粉末の表面に酸化
皮膜を形成する化成処理を行う。つぎに硝酸マンガン水
溶液中に浸漬した後、炉中で水分を蒸発させることによ
り、酸化皮膜上に二酸化マンガン層の電解質を形成す
る。この操作を数回繰り返すと共に、この間の化成皮膜
の熱損傷を修復するため、再度の化成処理工程が挿入さ
れて再化成処理を行いながら二酸化マンガン層を形成
し、酸化皮膜を物理的、化学的、および電気的に保護す
る。その後、コンデンサ素子の外周にグラファイトを塗
布し、さらに銅や銀などの導電性塗料を塗布して金属層
を外周表面に形成する。そしてリードフレームに組み立
て、合成樹脂でモールド成形することにより製造され
る。
デンサは、つぎのような手順で製造される。まず、タン
タル（Ｔａ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニオブ（Ｎｂ）
などの金属粉末を成形して焼結することによりコンデン
サ素子を作り、陽極酸化により各金属粉末の表面に酸化
皮膜を形成する化成処理を行う。つぎに硝酸マンガン水
溶液中に浸漬した後、炉中で水分を蒸発させることによ
り、酸化皮膜上に二酸化マンガン層の電解質を形成す
る。この操作を数回繰り返すと共に、この間の化成皮膜
の熱損傷を修復するため、再度の化成処理工程が挿入さ
れて再化成処理を行いながら二酸化マンガン層を形成
し、酸化皮膜を物理的、化学的、および電気的に保護す
る。その後、コンデンサ素子の外周にグラファイトを塗
布し、さらに銅や銀などの導電性塗料を塗布して金属層
を外周表面に形成する。そしてリードフレームに組み立
て、合成樹脂でモールド成形することにより製造され
る。
【０００３】この製造工程において、金属粉末の表面に
酸化皮膜を形成する化成処理工程や再化成処理工程はつ
ぎのように行われる。まず、図２に示されるように、成
形し、焼結されたコンデンサ素子１の陽極リード２の部
分をサスバー３と呼ばれるステンレス製の金属板に数十
個並べて溶接し、容器４中に入れられたリン酸水溶液ま
たは炭酸アンモニウム水溶液などの電解液５の中にサス
バー単位で数十個づつまとめて浸漬し、電源６によりコ
ンデンサ素子１の陽極リード２側を＋（正）、電解液５
につながる容器４側を−（負）として陽極酸化を行う。
この化成処理は、電解液５をたとえば６０℃程度に保持
して数時間程度の長時間浸漬して行われる。
酸化皮膜を形成する化成処理工程や再化成処理工程はつ
ぎのように行われる。まず、図２に示されるように、成
形し、焼結されたコンデンサ素子１の陽極リード２の部
分をサスバー３と呼ばれるステンレス製の金属板に数十
個並べて溶接し、容器４中に入れられたリン酸水溶液ま
たは炭酸アンモニウム水溶液などの電解液５の中にサス
バー単位で数十個づつまとめて浸漬し、電源６によりコ
ンデンサ素子１の陽極リード２側を＋（正）、電解液５
につながる容器４側を−（負）として陽極酸化を行う。
この化成処理は、電解液５をたとえば６０℃程度に保持
して数時間程度の長時間浸漬して行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】化成処理は、前述のよ
うに、長時間行われるため、陽極リード２を通じて電解
液５が染み上がり、サスバー３が濡れ、電気分解がなさ
れることがある。サスバー３が電気分解されるとステン
レス中に混入しているＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃなどの不純
物が電解液５中に陽イオンとなって溶け込む。このよう
な不純物が電解液中に溶け込むと、電解液５中に浸漬さ
れたコンデンサ素子１中に付着し、リーク電流の増大な
どのコンデンサの特性が低下するという問題がある。
うに、長時間行われるため、陽極リード２を通じて電解
液５が染み上がり、サスバー３が濡れ、電気分解がなさ
れることがある。サスバー３が電気分解されるとステン
レス中に混入しているＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃなどの不純
物が電解液５中に陽イオンとなって溶け込む。このよう
な不純物が電解液中に溶け込むと、電解液５中に浸漬さ
れたコンデンサ素子１中に付着し、リーク電流の増大な
どのコンデンサの特性が低下するという問題がある。
【０００５】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、電解液を常に清浄に保つことによ
り、コンデンサのリーク電流を防止し、その特性を高く
維持することができる固体電解コンデンサの製法を提供
することを目的とする。
になされたもので、電解液を常に清浄に保つことによ
り、コンデンサのリーク電流を防止し、その特性を高く
維持することができる固体電解コンデンサの製法を提供
することを目的とする。
【０００６】本発明の他の目的は、電解液内の不純物を
除去することにより、電解液を継続的に使用し、電解液
の無駄をなくし、ひいては固体電解コンデンサのコスト
を低下させることを目的とする。
除去することにより、電解液を継続的に使用し、電解液
の無駄をなくし、ひいては固体電解コンデンサのコスト
を低下させることを目的とする。
【０００７】本発明のさらに他の目的は、電解液の不純
物除去を自動的に行い、不純物濃度の管理の手間を省く
ことができると共に、電解液の浄化の遅れによりコンデ
ンサ素子に不純物が侵入してコンデンサの特性を低下さ
せることのない固体電解コンデンサの製法およびその製
造装置を提供することにある。
物除去を自動的に行い、不純物濃度の管理の手間を省く
ことができると共に、電解液の浄化の遅れによりコンデ
ンサ素子に不純物が侵入してコンデンサの特性を低下さ
せることのない固体電解コンデンサの製法およびその製
造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、固体電解コ
ンデンサのリーク電流の改善などの特性向上のため鋭意
検討を重ねた結果、製造工程の化成処理の段階で電解液
の中にＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃなどの不純物が陽イオンと
なって溶け込み、それがコンデンサ素子に付着してリー
ク電流の増大などにつながることを見出した。この問題
を解決するために電解液を定期的に交換する方法も考え
られるが、電解液中への不純物の溶け込みは不規則であ
り、電解液の不純物濃度の限界を正確に把握することが
難しく、コンデンサ素子内に不純物が侵入してコンデン
サの特性が低下するものが出る可能性がある。さらに、
ある量の作業ごとに電解液を廃棄して新たな電解液と交
換しなければならないため、電解液が無駄になり、コス
トアップの原因となる。しかし、この電解液を弱電解処
理することにより溶け込んだ不純物を有効に除去するこ
とができ、電解液を無駄にすることなく、高特性の固体
電解コンデンサを得ることができることを見出した。
ンデンサのリーク電流の改善などの特性向上のため鋭意
検討を重ねた結果、製造工程の化成処理の段階で電解液
の中にＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃなどの不純物が陽イオンと
なって溶け込み、それがコンデンサ素子に付着してリー
ク電流の増大などにつながることを見出した。この問題
を解決するために電解液を定期的に交換する方法も考え
られるが、電解液中への不純物の溶け込みは不規則であ
り、電解液の不純物濃度の限界を正確に把握することが
難しく、コンデンサ素子内に不純物が侵入してコンデン
サの特性が低下するものが出る可能性がある。さらに、
ある量の作業ごとに電解液を廃棄して新たな電解液と交
換しなければならないため、電解液が無駄になり、コス
トアップの原因となる。しかし、この電解液を弱電解処
理することにより溶け込んだ不純物を有効に除去するこ
とができ、電解液を無駄にすることなく、高特性の固体
電解コンデンサを得ることができることを見出した。
【０００９】本発明による固体電解コンデンサの製法
は、金属粉末の表面に陽極酸化により誘電体膜を形成す
る化成処理工程を有する固体電解コンデンサの製法であ
って、前記化成処理工程を、電解液に弱電解処理を施す
ことにより該電解液内の不純物を除去しながら行うこと
を特徴とする。このようにすることにより、電解液を清
浄にすることができて固体電解コンデンサの特性を低下
させないと共に、電解液を廃棄せずに何度も繰り返して
使用することができる。
は、金属粉末の表面に陽極酸化により誘電体膜を形成す
る化成処理工程を有する固体電解コンデンサの製法であ
って、前記化成処理工程を、電解液に弱電解処理を施す
ことにより該電解液内の不純物を除去しながら行うこと
を特徴とする。このようにすることにより、電解液を清
浄にすることができて固体電解コンデンサの特性を低下
させないと共に、電解液を廃棄せずに何度も繰り返して
使用することができる。
【００１０】前記陽極酸化を行う容器と連通したサブタ
ンクに前記電解液を還流させながら、該サブタンク内で
前記弱電解処理を行い、自動的に前記電解液の不純物を
除去することにより、常に電解液中の不純物濃度を低く
抑えることができ、固体電解コンデンサの性能を高く維
持することができると共に、電解液の浄化処理を定期的
に行わなくてもよいため、処理工程の自動化を行うこと
ができる。
ンクに前記電解液を還流させながら、該サブタンク内で
前記弱電解処理を行い、自動的に前記電解液の不純物を
除去することにより、常に電解液中の不純物濃度を低く
抑えることができ、固体電解コンデンサの性能を高く維
持することができると共に、電解液の浄化処理を定期的
に行わなくてもよいため、処理工程の自動化を行うこと
ができる。
【００１１】本発明の製造装置は、容器内に電解液を充
填し、該電解液内に浸漬されるコンデンサ素子を陽極酸
化し得る陽極酸化処理装置と、サブタンク内に両電極が
対向して設けられ、内部に充填され得る電解液を弱電解
する弱電解処理装置と、前記容器とサブタンク内の電解
液を相互に循環させる循環手段とを有している。その結
果、コンデンサの化成処理を行いながら、連続的に電解
液の浄化処理を行うことができ、常に清浄な状態で化成
処理や再化成処理を行うことができ、リーク電流の少な
い高特性の固体電解コンデンサを得ることができる。
填し、該電解液内に浸漬されるコンデンサ素子を陽極酸
化し得る陽極酸化処理装置と、サブタンク内に両電極が
対向して設けられ、内部に充填され得る電解液を弱電解
する弱電解処理装置と、前記容器とサブタンク内の電解
液を相互に循環させる循環手段とを有している。その結
果、コンデンサの化成処理を行いながら、連続的に電解
液の浄化処理を行うことができ、常に清浄な状態で化成
処理や再化成処理を行うことができ、リーク電流の少な
い高特性の固体電解コンデンサを得ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら本発
明の固体電解コンデンサの製法について説明をする。
明の固体電解コンデンサの製法について説明をする。
【００１３】図１は本発明の固体電解コンデンサの製法
の化成処理工程の説明図である。固体電解コンデンサ
は、前述のように、タンタル（Ｔａ）、アルミニウム
（Ａｌ）、ニオブ（Ｎｂ）などの金属粉末を成形して焼
結することによりコンデンサ素子１を作り、そのコンデ
ンサ素子１の陽極リード２を数十個づつサスバー３に溶
接して陽極酸化により各粉末の表面に酸化皮膜を形成す
る化成処理を行い、ついでその酸化皮膜上に二酸化マン
ガン層を形成しながら、この間の化成皮膜の熱損傷を修
復するため、再度の化成処理（再化成処理）工程を挿入
して、銅や銀などの導電性塗料を塗布して金属層を外周
表面に形成することにより製造される。本発明ではこの
化成処理工程および再化成処理工程の方法が異なるもの
で、他の各工程やその後のリードフレームに組み立て、
合成樹脂でモールド成形する工程などは従来の方法と同
じである。
の化成処理工程の説明図である。固体電解コンデンサ
は、前述のように、タンタル（Ｔａ）、アルミニウム
（Ａｌ）、ニオブ（Ｎｂ）などの金属粉末を成形して焼
結することによりコンデンサ素子１を作り、そのコンデ
ンサ素子１の陽極リード２を数十個づつサスバー３に溶
接して陽極酸化により各粉末の表面に酸化皮膜を形成す
る化成処理を行い、ついでその酸化皮膜上に二酸化マン
ガン層を形成しながら、この間の化成皮膜の熱損傷を修
復するため、再度の化成処理（再化成処理）工程を挿入
して、銅や銀などの導電性塗料を塗布して金属層を外周
表面に形成することにより製造される。本発明ではこの
化成処理工程および再化成処理工程の方法が異なるもの
で、他の各工程やその後のリードフレームに組み立て、
合成樹脂でモールド成形する工程などは従来の方法と同
じである。
【００１４】図１において、１〜６は図２と同じ部分を
示し、７は弱電解処理用のサブタンク、８、９は弱電解
処理用電極、１０は弱電解処理用電源、１１は電解液５
の循環用パイプ、１２は電解液５を循環させるためのポ
ンプで、この循環用パイプ１１とポンプ１２とにより容
器４とサブタンク７間の電解液の循環手段を構成してい
る。この化成処理の方法では、従来のように、容器４内
にリン酸水溶液または炭酸アンモニウム水溶液などの電
解液５を満たして６０℃程度に保持し、その電解液５中
にサスバー３に陽極リード２の部分が溶接されたコンデ
ンサ素子１を浸漬し、電源６によりコンデンサ素子１側
を＋、電解液４側が−になるように電圧を印加する陽極
酸化処理装置により陽極酸化を行う。
示し、７は弱電解処理用のサブタンク、８、９は弱電解
処理用電極、１０は弱電解処理用電源、１１は電解液５
の循環用パイプ、１２は電解液５を循環させるためのポ
ンプで、この循環用パイプ１１とポンプ１２とにより容
器４とサブタンク７間の電解液の循環手段を構成してい
る。この化成処理の方法では、従来のように、容器４内
にリン酸水溶液または炭酸アンモニウム水溶液などの電
解液５を満たして６０℃程度に保持し、その電解液５中
にサスバー３に陽極リード２の部分が溶接されたコンデ
ンサ素子１を浸漬し、電源６によりコンデンサ素子１側
を＋、電解液４側が−になるように電圧を印加する陽極
酸化処理装置により陽極酸化を行う。
【００１５】一方で、電解液５の一部を弱電解処理装置
のサブタンク７に移し、サブタンク７の電解液５中の電
極８、９に電圧を印加して電解液５中に溶解した不純物
のＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃなどを負側の電極９に付着させ
て除去する。この弱電解処理装置による不純物を除去す
る時間は、電極８、９の面積や両電極８、９に印加され
る電圧の大きさによっても異なり、不純物の混入する量
に応じてこれらのパラメータを自在に選択することがで
きる。しかし、一般には電解液中に溶解する不純物はサ
スバー３に染み上がった電解液５により電気分解をされ
て混入するもので、非常に僅かであり、一方弱電解処理
による不純物の除去は処理液中に電極８、９を挿入して
電解処理することにより電極に不純物の金属を付着させ
るものであるため、同じ時間であれば溶け込む量より除
去する量の方を圧倒的に多くする能力がある。そのた
め、図１に示されるような電解液５を自動的に循環させ
る循環手段を用いれば、弱い電圧の弱電解処理法によっ
ても陽極酸化の時間中に溶け込む不純物を充分に除去す
ることができ、常に清浄な電解液５を維持することがで
き、不純物濃度をサブｐｐｍ以下とすることができる。
のサブタンク７に移し、サブタンク７の電解液５中の電
極８、９に電圧を印加して電解液５中に溶解した不純物
のＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃなどを負側の電極９に付着させ
て除去する。この弱電解処理装置による不純物を除去す
る時間は、電極８、９の面積や両電極８、９に印加され
る電圧の大きさによっても異なり、不純物の混入する量
に応じてこれらのパラメータを自在に選択することがで
きる。しかし、一般には電解液中に溶解する不純物はサ
スバー３に染み上がった電解液５により電気分解をされ
て混入するもので、非常に僅かであり、一方弱電解処理
による不純物の除去は処理液中に電極８、９を挿入して
電解処理することにより電極に不純物の金属を付着させ
るものであるため、同じ時間であれば溶け込む量より除
去する量の方を圧倒的に多くする能力がある。そのた
め、図１に示されるような電解液５を自動的に循環させ
る循環手段を用いれば、弱い電圧の弱電解処理法によっ
ても陽極酸化の時間中に溶け込む不純物を充分に除去す
ることができ、常に清浄な電解液５を維持することがで
き、不純物濃度をサブｐｐｍ以下とすることができる。
【００１６】具体例として、Ｆｅの濃度が１.７ｐｐｍ
の電解液を６０℃程度の液温で、たとえば３０Ｖで１Ａ
の弱電解処理を４時間行った結果、Ｆｅの濃度が０.２
ｐｐｍとなった。この際、電極として＋側の電極８には
Ｔｉ板に５μｍ程度の厚さのＰｔメッキを施したものを
使用し、−側の電極９にはステンレス板を使用した。−
側の電極９は電解により電極の金属が溶け込むことがな
いため、材料としては余り問題ないが、＋側の電極８は
弱電解によっても電極金属が電解液に溶け込む可能性が
あるため、Ｎｉなどが直接露出するよりも電解され難い
白金メッキが施されたものが好ましい。この場合、白金
メッキとの馴染みの関係から地金としてチタン板を用い
ることが好ましい。
の電解液を６０℃程度の液温で、たとえば３０Ｖで１Ａ
の弱電解処理を４時間行った結果、Ｆｅの濃度が０.２
ｐｐｍとなった。この際、電極として＋側の電極８には
Ｔｉ板に５μｍ程度の厚さのＰｔメッキを施したものを
使用し、−側の電極９にはステンレス板を使用した。−
側の電極９は電解により電極の金属が溶け込むことがな
いため、材料としては余り問題ないが、＋側の電極８は
弱電解によっても電極金属が電解液に溶け込む可能性が
あるため、Ｎｉなどが直接露出するよりも電解され難い
白金メッキが施されたものが好ましい。この場合、白金
メッキとの馴染みの関係から地金としてチタン板を用い
ることが好ましい。
【００１７】化成処理を行う電解液中のＦｅの濃度と、
その電解液で化成処理を行って製造したタンタル電解コ
ンデンサのリーク不良の不良率との関係を調べた結果、
表１の結果が得られた。表１において、電圧はコンデン
サの両電極に電圧を印加した場合に、２０μＡに達する
ときの電圧の平均値を表し、バラツキ（σ）はその電圧
の最大値と最小値との差を示す。この電圧が一定値以下
を不良として試料の数に対する割合で不良率を算出して
いる。表１より、電解液中のＦｅの濃度が１ｐｐｍ以下
であれば不良率は１％以下であるのに対して、Ｆｅの濃
度が１０ｐｐｍ以上になると不良率が４５％と大幅に増
え、Ｆｅの濃度を減少させることによりコンデンサの歩
留りを大幅に向上させることができる。なお、他の不純
物もＣｕやＮｉなどの金属イオンが殆どで、弱電解処理
により同様に除去されており、不良率の低下に寄与して
いると考えられる。
その電解液で化成処理を行って製造したタンタル電解コ
ンデンサのリーク不良の不良率との関係を調べた結果、
表１の結果が得られた。表１において、電圧はコンデン
サの両電極に電圧を印加した場合に、２０μＡに達する
ときの電圧の平均値を表し、バラツキ（σ）はその電圧
の最大値と最小値との差を示す。この電圧が一定値以下
を不良として試料の数に対する割合で不良率を算出して
いる。表１より、電解液中のＦｅの濃度が１ｐｐｍ以下
であれば不良率は１％以下であるのに対して、Ｆｅの濃
度が１０ｐｐｍ以上になると不良率が４５％と大幅に増
え、Ｆｅの濃度を減少させることによりコンデンサの歩
留りを大幅に向上させることができる。なお、他の不純
物もＣｕやＮｉなどの金属イオンが殆どで、弱電解処理
により同様に除去されており、不良率の低下に寄与して
いると考えられる。
【００１８】
【表１】
【００１９】なお、弱電解処理装置の電極間の距離によ
り、負の電極に付着し易い金属の種類が異なり、弱電解
処理中に電極間距離を変更したり、対向電極を平行では
なく、上下で間隔が異なるように斜めにして配設すると
効果的である。電極板に波を打たせて面積を大きくする
ことも効果的である。
り、負の電極に付着し易い金属の種類が異なり、弱電解
処理中に電極間距離を変更したり、対向電極を平行では
なく、上下で間隔が異なるように斜めにして配設すると
効果的である。電極板に波を打たせて面積を大きくする
ことも効果的である。
【００２０】また、前述の例では、電解液を化成処理の
陽極酸化を行いながら自動的に電解液を循環させて弱電
解処理を行ったが、前述のように、電解液中に溶け込む
不純物の量より弱電解処理により不純物を除去する能力
の方が大きいため、連続的に行わなくても、定期的にバ
ッチ式に弱電解処理を行ってもよい。この場合、従来の
ように、電解液を廃棄するものではないので、不純物が
あまり溶け込まない状態の早めに弱電解処理を行うこと
ができ、汚れ過ぎた電解液で化成処理を行うことがない
ように一定時間ごとに定期的に行える。その結果、誤っ
て不純物の多い電解液による化成処理を行う恐れがな
く、高性能の固体電解コンデンサが得られると共に、電
解液の不純物濃度の管理も容易にできる。
陽極酸化を行いながら自動的に電解液を循環させて弱電
解処理を行ったが、前述のように、電解液中に溶け込む
不純物の量より弱電解処理により不純物を除去する能力
の方が大きいため、連続的に行わなくても、定期的にバ
ッチ式に弱電解処理を行ってもよい。この場合、従来の
ように、電解液を廃棄するものではないので、不純物が
あまり溶け込まない状態の早めに弱電解処理を行うこと
ができ、汚れ過ぎた電解液で化成処理を行うことがない
ように一定時間ごとに定期的に行える。その結果、誤っ
て不純物の多い電解液による化成処理を行う恐れがな
く、高性能の固体電解コンデンサが得られると共に、電
解液の不純物濃度の管理も容易にできる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、固体電解コンデンサの
製造工程における化成処理または再化成処理において、
定期的にまたは連続的に電解液を弱電解処理により清浄
化しているため、コンデンサ素子を保持するステンレス
板などの電解により電解液に不純物が混入しても、容易
にその不純物を除去することができ、電解液中の不純物
濃度をサブｐｐｍ以下に維持することができる。その結
果、コンデンサ内にＦｅなどの不純物が侵入することが
なく、コンデンサのリーク不良などを大幅に減少させる
ことができ、歩留りが大幅に向上する。
製造工程における化成処理または再化成処理において、
定期的にまたは連続的に電解液を弱電解処理により清浄
化しているため、コンデンサ素子を保持するステンレス
板などの電解により電解液に不純物が混入しても、容易
にその不純物を除去することができ、電解液中の不純物
濃度をサブｐｐｍ以下に維持することができる。その結
果、コンデンサ内にＦｅなどの不純物が侵入することが
なく、コンデンサのリーク不良などを大幅に減少させる
ことができ、歩留りが大幅に向上する。
【００２２】さらに、電解液の不純物濃度を厳密に管理
する必要もなく、しかも不純物濃度が高くなる度に電解
液を廃棄して交換する必要がなく、管理作業が非常に容
易になると共に、電解液の無駄がなくなり、コンデンサ
のコストダウンに大きく寄与する。
する必要もなく、しかも不純物濃度が高くなる度に電解
液を廃棄して交換する必要がなく、管理作業が非常に容
易になると共に、電解液の無駄がなくなり、コンデンサ
のコストダウンに大きく寄与する。
【図１】本発明の固体電解コンデンサの製法の化成処理
を行う装置の概要を示す図である。
を行う装置の概要を示す図である。
【図２】従来の化成処理を行う装置の概要を示す図であ
る。
る。
１ コンデンサ素子 ３ サスバー ５ 電解液 ７ サブタンク ８、９ 弱電解用電極 １１ 循環用パイプ
Claims (3)
- 【請求項１】 金属粉末の表面に陽極酸化により誘電体
膜を形成する化成処理工程を有する固体電解コンデンサ
の製法であって、前記化成処理工程を、電解液に弱電解
処理を施すことにより該電解液内の不純物を除去しなが
ら行うことを特徴とする固体電解コンデンサの製法。 - 【請求項２】 前記陽極酸化を行う容器と連通したサブ
タンクに前記電解液を還流させながら、該サブタンク内
で前記弱電解処理を行い、自動的に前記電解液の不純物
を除去する請求項１記載の固体電解コンデンサの製法。 - 【請求項３】 容器内に電解液を充填し、該電解液内に
浸漬されるコンデンサ素子を陽極酸化し得る陽極酸化処
理装置と、サブタンク内に両電極が対向して設けられ、
内部に充填され得る電解液を弱電解する弱電解処理装置
と、前記容器とサブタンク内の電解液を相互に循環させ
る循環手段とを有する固体電解コンデンサの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8243153A JPH1092700A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 固体電解コンデンサの製法およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8243153A JPH1092700A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 固体電解コンデンサの製法およびその製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092700A true JPH1092700A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17099598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8243153A Pending JPH1092700A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 固体電解コンデンサの製法およびその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1092700A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003015339A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電子写真感光体用支持体の製造方法、電子写真感光体、画像形成装置 |
| KR100509709B1 (ko) * | 2002-04-20 | 2005-08-31 | 윤성환 | 피스톤 크라운 전기도금장치 |
| CN113366668A (zh) * | 2019-01-23 | 2021-09-07 | 武藏能源解决方案有限公司 | 掺杂系统以及掺杂方法 |
| JP2022152802A (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-12 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電解コンデンサおよびその製造方法 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP8243153A patent/JPH1092700A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003015339A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Mitsubishi Chemicals Corp | 電子写真感光体用支持体の製造方法、電子写真感光体、画像形成装置 |
| KR100509709B1 (ko) * | 2002-04-20 | 2005-08-31 | 윤성환 | 피스톤 크라운 전기도금장치 |
| CN113366668A (zh) * | 2019-01-23 | 2021-09-07 | 武藏能源解决方案有限公司 | 掺杂系统以及掺杂方法 |
| JP2022152802A (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-12 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電解コンデンサおよびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2849908B1 (en) | Electropolishing of superconductive radio frequency cavities | |
| EP1477585B1 (en) | Electrolytic electrode and process of producing the same | |
| JPH01141094A (ja) | 印刷版用アルミニウム支持体の製造方法 | |
| US6432293B1 (en) | Process for copper-plating a wafer using an anode having an iridium oxide coating | |
| JP5370188B2 (ja) | 陽極酸化膜の製造方法 | |
| EP0079055A1 (en) | Titanium clad copper electrode and method for making | |
| JPH1092700A (ja) | 固体電解コンデンサの製法およびその製造装置 | |
| US3463707A (en) | Electrodeposition of lead dioxide | |
| NO143069B (no) | Fremgangsmaate ved elektroutvinning av metaller fra vandige opploesninger av metallforbindelser | |
| JPH07138687A (ja) | 平版印刷版用アルミニウム合金基材 | |
| JP3901450B2 (ja) | 金属表面処理装置とこれを用いた金属表面処理方法 | |
| JP2004059948A (ja) | 金属溶解液からの金属回収方法およびその装置 | |
| US5221442A (en) | Method and apparatus for electrolytic treatment | |
| JP3729013B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JP3406403B2 (ja) | 強酸性水用電極 | |
| JP2003086467A (ja) | 固体電解コンデンサ用コンデンサ素子における誘電体層の形成方法及びその装置 | |
| JPH02240292A (ja) | 耐食性に優れたアルミニウム材料の陽極酸化処理方法 | |
| JPH09246110A (ja) | アルミ電解コンデンサ用陽極箔の化成方法 | |
| JPH0885894A (ja) | 電 極 | |
| Ramachandran et al. | Effect of pretreatment on the anodic behaviour of lead alloys for use in electrowinning operations. I | |
| JP2009543369A (ja) | 電解コンデンサーの製造における改善 | |
| JPH04191394A (ja) | 銅被覆鋼線の製造方法 | |
| JP3573244B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
| JP4505612B2 (ja) | 金属表面処理方法 | |
| KR910000335B1 (ko) | 고체전해콘덴서의 제조방법 |