JPH1093117A - 光電変換装置 - Google Patents

光電変換装置

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JPH1093117A
JPH1093117A JP8240731A JP24073196A JPH1093117A JP H1093117 A JPH1093117 A JP H1093117A JP 8240731 A JP8240731 A JP 8240731A JP 24073196 A JP24073196 A JP 24073196A JP H1093117 A JPH1093117 A JP H1093117A
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JP
Japan
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collecting electrode
light
photoelectric conversion
incident
conversion device
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JP8240731A
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Yoshiaki Sano
芳明 佐野
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 受光面の面積を減少させずに高い光電変換効
率を得ることができる光電変換装置を提供する。 【解決手段】 光電変換装置の受光面15cにストライ
プ状の収集電極22及び24を具えており、この収集電
極の側面を、入射光を受光面に向けて反射させる傾斜面
として形成してある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光電変換装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】光電変換装置として、例えば文献I(P
hysics of Semiconductor D
evices−2nd Edition 1981,p
800)に開示されているような太陽電池素子がある。
図2の(A)及び(B)を参照して、従来の太陽電池素
子の構造及び動作につき説明する。図2の(A)は、太
陽電池素子の平面図、図2の(B)は、(A)のX−X
線に沿って切断した位置での切口断面を示す。
【0003】太陽電池素子10は、p及びn型シリコン
領域(11及び12)を有する半導体基板15と、この
半導体基板15の上面、すなわち受光面15cに設けら
れたキャリアを収集する収集電極(上部電極)16及び
反射防止膜18と、基板15の裏面に設けられた裏面電
極20とにより構成されている。そして、基板15中に
光起電力を発生させるp−n接合部14を設けてある。
【0004】次に、太陽電池素子10の動作原理につ
き、以下に述べる。太陽電池素子の10の受光面(ここ
では反射防止膜18の面)に光が入射すると、半導体基
板15の内部に光キャリアーが発生する。この光キャリ
アーによりn型シリコン領域12からp型シリコン領域
11へ電子及び正孔の移動が起こり基板15の内部に電
流が流れる。このため、光によって生成された電子と正
孔対はp−n接合の界面電場によって互いに左右にドリ
フトして、キャリアが上部及び裏面電極に収集されて光
起電力が発生する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
太陽電池素子10は、以下に述べる問題がある。従来の
太陽電池素子10では、半導体基板15の内部で発生し
た光キャリアを受光面に効率良く集めるため、収集電極
の形状を櫛歯状にしてある(図2の(A))。しかも、
従来の収集電極16の断面形状は四角形をしている。な
お、図2の(C)は、図2の(B)の収集電極の断面形
状の一部を拡大して示した部分的省略拡大図である。
【0006】また、従来の太陽電池素子10の受光面に
対して上部から光を入射させた場合、収集電極16は入
射光を透過しないため、基板15中に収集電極16によ
って形成された陰領域、すなわち収集電極により遮蔽さ
れた陰領域(陰形成領域ともいう)15aが形成され
る。この陰形成領域15aは、太陽電池素子の受光面積
を減少させることになるので、光電変換効率も減少して
好ましくない。
【0007】太陽電池素子10の光電変換効率(光電変
換効率は、入力となる太陽輻射光エネルギーと、太陽電
池の端子から出てくる電気出力エネルギーとの比をパー
セントで表した値をいう)を高めるには、収集電極16
の櫛歯16a間の間隔(L)を小さくし、収集電極16
の櫛歯幅(W)を大きくして収集電極16の抵抗値を下
げる必要がある。しかし、太陽電池素子10の収集電極
の櫛歯幅(W)を大きくすると、受光面積が減少して、
収集電極16による陰の領域(陰形成領域)15aが増
大するため、光電変換効率が低下してしまう。
【0008】図5は、収集電極の櫛歯幅と変換損失との
関係を説明するための図である。図5から理解できるよ
うに、櫛歯幅Wを大きくすると、収集電極の断面積が大
きくなるため、電極の抵抗値が小さくなり、変換損失は
減少する(図5の曲線Iの実線)。
【0009】また、櫛歯幅Wを大きくすると、収集電極
16による陰形成領域15aが増大するため、変換損失
が増加する(図5の曲線IIの点線)。したがって、収
集電極の抵抗値と陰形成領域とのトータル(加算値)を
見ると、図5の曲線IIIに示すように、櫛歯幅を大き
くした場合、変換損失が一旦抵抗値の影響を受けて小さ
くなるが、その後、変換損失は次第に増大する。
【0010】このため、従来、変換損失を最小にするた
めの工夫として、収集電極16の膜厚を厚くして電極の
断面積を大きくすることにより、抵抗値を小さくすると
か、収集電極16の櫛歯幅Wを小さくして受光面積を広
げるとかの方法が取られていた。
【0011】しかし、収集電極16の櫛歯幅Wを最小に
したり、収集電極16の膜厚を厚くしたりする方法は、
おのずから限界があり、従来は十分に光電変換効率の高
い太陽電池素子を得ることができなかった。
【0012】そこで、受光面積を減少させずに高い光電
変換効率を得ることが可能な光電変換装置の実現が望ま
れていた。
【0013】
【課題を解決するための手段】このため、この発明の光
電変換装置によれば、光電変換装置の受光面にストライ
プ状の収集電極を具えてなる当該光電変換装置におい
て、収集電極の側面を、入射光を受光面に向けて反射さ
せる傾斜面として形成してなることを特徴とする。
【0014】この発明では、収集電極の側面に、入射光
を反射させる傾斜面を形成してあるため、受光面の上部
から傾斜面に入射された光は、この傾斜面により反射さ
れ、反射された光は所定の角度で受光面内に透過する。
したがって、光電変換装置の受光面には、傾斜面から反
射した反射入射光と直接受光面に入射される直接入射光
とが重なり合って高光強度領域が形成される。したがっ
て、傾斜面から反射して受光面に入射した光強度の増加
分が、従来に比べ、受光面での光強度を増大させるので
傾斜面を有しない従来の収集電極を採用した光電変換装
置に比べて光電変換効率が増大する。
【0015】また、この発明では、好ましくは収集電極
の、ストライプ方向に対して直交する面内における断面
形状を台形又は三角形とするのが良い。
【0016】このように、収集電極の断面形状を台形又
は三角形にすることにより、収集電極の側面を、傾斜面
とすることができるので、この傾斜面に入射した入射光
は、反射されて受光面に透過して高光強度領域を形成す
ることができる。
【0017】また、この発明では、好ましくは光電変換
装置の受光面に対する法線と傾斜面との傾斜角度を5〜
35度の角度範囲とするのが好適である。
【0018】このような傾斜角度を5〜35度に設定す
ることにより、傾斜面に入射する入射光を受光面に向け
て効率よく反射させることができる。このため、収集電
極によって光電変換装置の受光面に形成される陰形成領
域を保障する効果がある。
【0019】また、この発明では、好ましくは収集電極
の形状を櫛歯状とするのが良い。櫛歯状の収集電極形状
にすることにより、櫛歯同士の間隔を小さくして光電変
換装置に生成するキャリアを効率良く収集電極に収集す
ることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この発明の
光電変換装置、特に太陽電池素子の実施の形態例につき
説明する。なお、図1、図2及び図4は、この発明が理
解できる程度に各構成成分の形状、大きさ及び配置関係
を概略的に示してあるにすぎない。
【0021】この発明の太陽電池素子10は、収集電極
の構造以外、既に説明した従来の構造と同様な構造であ
るため、この発明では、特に収集電極に注目してその構
造を詳細に説明する。
【0022】[第1の実施の形態]図1の(A)を参照
して、この発明の収集電極の第1の実施の形態につき説
明する。なお、図1の(A)は、太陽電池素子の受光面
上に形成されている収集電極の櫛歯の方向に対して直交
する面内に切断した位置での切口断面を示す。
【0023】この発明では、収集電極22の側面22a
及び22bを、入射光を受光面に向けて反射させる傾斜
面として形成してある。そして、第1の実施の形態で
は、収集電極22の、ストライプ方向に対して直交する
面内における断面形状を台形としてある(図1の
(A))。ここでは、断面形状が台形の収集電極を台形
型の収集電極22と称する。
【0024】次に、図1の(A)を参照して、太陽電池
素子の受光面に入射光を照射させたときの光の挙動につ
き説明する。
【0025】台形型の収集電極22を有する太陽電池の
受光面の上部から光が入射した場合、収集電極22の下
側の基板15には、従来と同様な収集電極22による陰
形成領域15aが形成される。
【0026】また、入射光の一部は、台形型の収集電極
22の傾斜面22a及び22bに入射して、傾斜面22
a及び22bに反射され、受光面15cに向かって直進
する。その後、反射光は受光面15c内に入射される。
ここでは、傾斜面22a及び22bに反射して受光面1
5c内に入射した入射光を反射入射光と称する。
【0027】一方、図1の(A)の構造体に入射した入
射光の一部は、台形型の収集電極22を経ずに、直接基
板15の受光面15cに入射する。ここでは、受光面1
5cに直接入射する入射光を直接入射光と称する。この
ため、収集電極の傾斜面22a,22bの裾部の近傍の
基板15中には、反射入射光と直接入射光とが重なり合
った高光強度領域15bが形成される(図1の
(A))。
【0028】次に、図3の(A)及び(B)を参照し
て、平坦な面に光を入射し、この入射光の角度を変えた
ときの光電力の反射係数の依存性につき説明する。な
お、図3の(A)は、入射角度と光電力の反射係数の関
係を計算式により算出してプロットした図であり、横軸
に入射光の角度(度)を取り、縦軸に光電力の反射係数
(任意定数)を取って示す。また、図3の(B)は、入
射光の電界、入射角度θi、屈折光の電界、及び屈折角
度θt の関係を説明するための図である。
【0029】この発明では、図3の(A)を作成するた
め、まず、図3の(B)を参照して、計算式より光反射
係数を求める。
【0030】図3の(B)から理解できるように、屈折
率n2 の基板(例えばGaAs基板)に、入射光の電界
i を法線NN’に対しθi の角度で入射させた場合、
入射光の電界Ei は、GaAs基板の表面に反射され
て、反射光の電界Er とGaAs基板に透過して直進す
る透過光の電界Et とに分かれる。
【0031】このとき、光反射係数γE は、(1)式で
表される。
【0032】 γE =Er /Ei =(n1 cosθi −n2 cosθt )/(n1 cosθi +n2 cos θt )・・・(1) ただし、Ei は入射光の電界、Er は反射光の電界、n
1 は空気の屈折率(n1 =1)、n2 はGaAs基板の
屈折率、θi は入射光の入射角度、θt は透過光の屈折
角度とする。
【0033】(1)式において、n1 (空気の屈折率は
1)およびn2 (GaAsの屈折率)が既知であり、入
射角度θi がわかれば、スネルの屈折の法則により屈折
角度θt が求まる。このようにして求めたn1 、n2
cosθi 及びcosθt を(1)式の右辺の項に代入
して、光反射係数γE が求まる。
【0034】また、電力は、電界の二乗に比例するの
で、光電力の反射係数RE は(2)式で表わされる。
【0035】RE =γE 2 ・・・(2) 上記(1)及び(2)式を用いて入射角度θi を変えた
ときの光電力の反射係数を算出してプロットしたしたの
が図3の(A)である。
【0036】図3の(A)から理解できるように、入射
角(θi )が0から70度までは光電力の反射係数が
0.1〜0.2程度であるが、入射角(θi )が70度
を越えると光電力の反射係数が急激に増大する。したが
って、反射係数の増大は変換損失の原因となるので、入
射角は、70度以下にする必要がある。
【0037】次に、図4を参照して、台形型の収集電極
22と傾斜面に反射した光の入射角度の関係につき説明
する。なお、図4は、台形型の収集電極の傾斜角度と傾
斜面に反射された入射角度の関係を説明するための図で
ある。ここでは、台形型の収集電極22の側面22a及
び22b、すなわち傾斜面を符号ABとする。また、こ
の傾斜面ABと受光面15cの法線BHとの角度をθg
とする。
【0038】入射光MOは、台形型の収集電極22の傾
斜面ABに対して入射されると、傾斜面ABで反射され
てON方向へ直進する。このとき、法線BHと入射光M
Oは平行であるから∠HBOと∠MOAとは等しくな
る。
【0039】また、入射角θi と反射角θr とは等しい
ので、∠MOAと∠BONは等しくなる。したがって、
反射光ONと法線HBとの交点をSとすれば、∠HBO
と∠BONとを加算した角度(2θg )が∠HSOと等
しくなる。
【0040】また、反射光ONが入射する受光面上の法
線をH’Nとすれば、∠H’NOと∠HSOは等しくな
る。
【0041】上述の説明からも明らかなように、傾斜角
∠HBO(θg )の二倍角が反射光と法線との角度∠
H’NO(2θg )になることがわかる。
【0042】図3の(A)で既に説明したように、入射
角を70度以上にすると光電力の反射係数が増大するの
で、入射角は70度以下にする必要がある。したがっ
て、台形型の収集電極22の傾斜角度∠HBOは、光電
力の反射係数を増大させないためには、入射角度∠H’
NOの1/2、すなわち35度以内にする必要がある。
【0043】また、台形型の収集電極22の傾斜角度を
0度に近づけると、入射光の反射効果が失われるため、
傾斜角度は5度以上とするのが好適である。したがっ
て、この発明の第1の実施の形態では、傾斜角度を5〜
35度の角度範囲とするのが良い。
【0044】上述したように、第1の実施の形態では、
収集電極を台形断面とし、収集電極の側面を、傾斜面と
することにより入射光は、傾斜面に反射して受光面に向
けて直進し、受光面に透過する反射入射光と、直接受光
面に入射する直接入射光とが重ね合わされて、基板15
の収集電極22の近傍に高光強度領域15bが形成され
る。このため、この発明では、太陽電池素子の受光面の
光強度が従来よりも大きくなるので、収集電極により基
板15に形成された陰形成領域が実質的に保障され、変
換効率が向上する。
【0045】[第2の実施の形態]次に、図1の(B)
を参照して、この発明の第2の実施の形態につき説明す
る。図1の(B)は、櫛歯状の収集電極の断面形状を三
角形としたときの断面を示す。
【0046】収集電極24の断面形状を三角形にしたと
きも、台形断面のときと同様な高光強度領域15bが受
光面に形成される(図1のB)。このため、太陽電池素
子の受光面に対し光を垂直に入射させた場合、収集電極
24によって形成される陰形成領域15aは、高光強度
領域15bにより保障されるため、実質的に陰形成領域
15aが減少して光電変換効率を高める効果がある。
【0047】また、この発明では、三角形型の収集電極
24にすることにより、台形型の収集電極22に比べ、
収集電極24の断面積を大きくすることができるので、
収集電極の抵抗値が小さくなり、変換損失を低減できる
という利点がある。
【0048】上述した第1及び第2の実施の形態では、
光電変換装置として太陽電池素子を用いた例につき説明
したが、光を電気信号に変換する受光素子、例えばホト
ダイオード、イメージセンサ、フォトトランジスタ及び
光導電セルとか、光により抵抗値が変化するフォトコン
ダクター素子とかの収集電極としても応用が可能であ
る。
【0049】
【発明の効果】上述した説明から明らかのように、この
発明の光電変換装置によれば、収集電極の側面を、入射
光を受光面に向けて反射させる傾斜面として形成してあ
るため、傾斜面に反射されて受光面に入射される光(反
射入射光)と直接受光面に入射する光(直接入射光)と
が重なり合った領域(高光強度領域)が受光面に形成さ
れる。このため、収集電極により形成された陰形成領域
が保障されることになり、従来に比べて光電変換効率を
高めることができる。また、光電変換装置を太陽電池素
子とした場合、従来に比べ、高起電力が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(B)は、この発明の台形型及び三角
形型の収集電極の断面形状を説明するために供する断面
図である。
【図2】(A)は、従来の太陽電池素子の構造を説明す
るために供する平面図、(B)は、(A)のX−X線に
沿って切断したときの断面図、(C)は、(B)の収集
電極部分の一部を拡大して示した拡大図である。
【図3】(A)は、入射角と光電力の反射係数の関係を
説明するための図であり、(B)は、入射光の電界、反
射光の電界及び透過光の電界と各種角度との関係を説明
するための図である。
【図4】台形型の収集電極の傾斜面に、入射光が入射し
たときの入射角度と傾斜角度との関係を説明するための
図である。
【図5】収集電極の櫛歯幅と変換損失の関係を説明する
ための図である。
【符号の説明】
15:半導体基板 15a:陰形成領域 15b:高光強度領域 15c:受光面 22:台形型収集電極 24:三角形型収集電極 22a,22b,24a,24b:傾斜面

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光電変換装置の受光面にストライプ状の
    収集電極を具えてなる当該光電変換装置において、 前記収集電極の側面を、入射光を受光面に向けて反射さ
    せる傾斜面として形成してなることを特徴とする光電変
    換装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光電変換装置におい
    て、 前記収集電極の、ストライプ方向に対して直交する面内
    における断面形状を台形としたことを特徴とする光電変
    換装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の光電変換装置におい
    て、 前記収集電極の、ストライプ方向に対して直交する面内
    における断面形状を三角形としたことを特徴とする光電
    変換装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の光電変換装置におい
    て、 前記受光面に対する法線と前記傾斜面との傾斜角度を5
    〜35度の角度範囲とすることを特徴とする光電変換装
    置。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4に記載の光電変換装置にお
    いて、 前記収集電極の形状を櫛歯状とすることを特徴とする光
    電変換装置。
  6. 【請求項6】 請求項1〜4に記載の光電変換装置にお
    いて、 前記光電変換装置を太陽電池素子とすることを特徴とす
    る光電変換装置。
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