JPH1097965A - 生産管理方法 - Google Patents
生産管理方法Info
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- JPH1097965A JPH1097965A JP24981196A JP24981196A JPH1097965A JP H1097965 A JPH1097965 A JP H1097965A JP 24981196 A JP24981196 A JP 24981196A JP 24981196 A JP24981196 A JP 24981196A JP H1097965 A JPH1097965 A JP H1097965A
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- Japan
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- production
- production management
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- management unit
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Control By Computers (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 後工程引き取り方式と馴染む生産管理を
可能にし、且つ生産管理部の負担を軽くし、生産支援部
による裁量により加工材料の流れを柔軟に制御できる新
規な生産管理方法を提供する。 【解決手段】 生産量の設定、生産に関する指示、生産
実績の把握、各工程の進捗管理及び各工程の管理を行う
生産管理部３と、各工程あるいは関連工程群毎に対応し
て設けられた複数の作業モジュールコントローラ１８か
らなり、上記生産管理部と情報をやり取りして生産支援
をする生産支援部１３ａと、を設け、上記各作業モジュ
ールコントローラ１８には、それぞれ上記生産管理部３
からの情報に基づいて自身と対応する工程あるいは工程
群の製造装置と、オペレータと、加工材料に関する指示
情報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへ
の指示あるいは製造装置の制御をさせるようにする。
可能にし、且つ生産管理部の負担を軽くし、生産支援部
による裁量により加工材料の流れを柔軟に制御できる新
規な生産管理方法を提供する。 【解決手段】 生産量の設定、生産に関する指示、生産
実績の把握、各工程の進捗管理及び各工程の管理を行う
生産管理部３と、各工程あるいは関連工程群毎に対応し
て設けられた複数の作業モジュールコントローラ１８か
らなり、上記生産管理部と情報をやり取りして生産支援
をする生産支援部１３ａと、を設け、上記各作業モジュ
ールコントローラ１８には、それぞれ上記生産管理部３
からの情報に基づいて自身と対応する工程あるいは工程
群の製造装置と、オペレータと、加工材料に関する指示
情報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへ
の指示あるいは製造装置の制御をさせるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産管理方法に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造に関する管理は、例え
ば図４に示す生産管理システムにより行われた。図にお
いて、１はホストコンピュータ、２は解析システム、３
はそれ等１、２とオンライン接続されたエリアコンピュ
ータによる生産管理部で、例えば半導体装置製造工場毎
に或いは製造棟毎に設けられている。４はネットワーク
で、ホストコンピュータ１、解析システム２とエリアコ
ンピュータとの間を結ぶ。
ば図４に示す生産管理システムにより行われた。図にお
いて、１はホストコンピュータ、２は解析システム、３
はそれ等１、２とオンライン接続されたエリアコンピュ
ータによる生産管理部で、例えば半導体装置製造工場毎
に或いは製造棟毎に設けられている。４はネットワーク
で、ホストコンピュータ１、解析システム２とエリアコ
ンピュータとの間を結ぶ。
【０００３】５は計画管理部で、半導体装置の各機種毎
の生産量の設定を行う。６は製造基礎情報管理部で、半
導体装置の各機種毎の製造条件、製造工程順序等製造に
関する基礎的な情報を管理する。７は実績管理部で、実
際に製造された実績に関しての情報を処理して生産実績
を把握する。８は工程進捗管理部で、各機種毎に工程の
進捗について管理する。９、９、・・・はセル管理部
で、各工程或いはメイン工程とその前或いは後工程を含
んだ工程群毎に存在し、その工程或いは工程群に関して
管理する。１０はネットワークで、エリアコンピュータ
と次に述べる生産支援部（１３）との間を結ぶ。１１は
ユーザインターフェース、１２はユーザ端末である。
の生産量の設定を行う。６は製造基礎情報管理部で、半
導体装置の各機種毎の製造条件、製造工程順序等製造に
関する基礎的な情報を管理する。７は実績管理部で、実
際に製造された実績に関しての情報を処理して生産実績
を把握する。８は工程進捗管理部で、各機種毎に工程の
進捗について管理する。９、９、・・・はセル管理部
で、各工程或いはメイン工程とその前或いは後工程を含
んだ工程群毎に存在し、その工程或いは工程群に関して
管理する。１０はネットワークで、エリアコンピュータ
と次に述べる生産支援部（１３）との間を結ぶ。１１は
ユーザインターフェース、１２はユーザ端末である。
【０００４】１３は生産支援部で、工程間搬送コントロ
ーラ１４と、マシン管理コントローラ１５と、工程内コ
ントローラ１６とからなる。工程間搬送コントローラ１
４は異なる工程間での加工材料（ウェハ等）に関する全
搬送及び各工程におけるストックすべてに関する管理を
する。マシン管理コントローラ１５は各半導体製造装置
を管理（制御）する。工程内搬送コントローラ１６は各
工程毎の工程内における搬送を管理する。１７は該工程
内搬送コントローラ１６に接続された端末装置である。
ーラ１４と、マシン管理コントローラ１５と、工程内コ
ントローラ１６とからなる。工程間搬送コントローラ１
４は異なる工程間での加工材料（ウェハ等）に関する全
搬送及び各工程におけるストックすべてに関する管理を
する。マシン管理コントローラ１５は各半導体製造装置
を管理（制御）する。工程内搬送コントローラ１６は各
工程毎の工程内における搬送を管理する。１７は該工程
内搬送コントローラ１６に接続された端末装置である。
【０００５】従来の生産管理方法においては、各エリア
コンピュータによる生産管理部２が自己が分担する工場
（或いは棟）内の半導体装置の各機種毎の生産量を設定
し、また、各機種毎にその一連の工程、各工程の条件等
について製造支援部１３を管理していた。また、各工程
の進捗状況の把握を行い、進捗についての管理、生産の
実績の把握も行う。
コンピュータによる生産管理部２が自己が分担する工場
（或いは棟）内の半導体装置の各機種毎の生産量を設定
し、また、各機種毎にその一連の工程、各工程の条件等
について製造支援部１３を管理していた。また、各工程
の進捗状況の把握を行い、進捗についての管理、生産の
実績の把握も行う。
【０００６】一方、生産支援部１３は、生産管理部３か
らの指示に基づき、工程間の加工材料の搬送に関しては
工程間搬送コントローラ１４により各ストッカ及び各工
程間搬送機器へ指示を行い、また、指示の実行状況に関
する情報を受ける。また、各半導体製造装置の制御はマ
シン管理コントローラ１５を通じて行う。そして、各工
程内搬送に関しては工程内搬送コントローラ１６を通じ
て制御を行う。
らの指示に基づき、工程間の加工材料の搬送に関しては
工程間搬送コントローラ１４により各ストッカ及び各工
程間搬送機器へ指示を行い、また、指示の実行状況に関
する情報を受ける。また、各半導体製造装置の制御はマ
シン管理コントローラ１５を通じて行う。そして、各工
程内搬送に関しては工程内搬送コントローラ１６を通じ
て制御を行う。
【０００７】そして、従来の生産管理方法は、生産管理
部３と、その下位に属する生産支援部１３の工程間搬送
コントローラ１４と、マシン管理コントローラ１５と、
工程内コントローラ１６とはヒエラルキー構造をとり、
各コントローラ１４、１５、１６によるストッカ、工程
間搬送機器、半導体製造装置、工程内搬送具等に対する
制御に関しても生産管理部３からの完全な支配を受け、
裁量の余地はなかった。
部３と、その下位に属する生産支援部１３の工程間搬送
コントローラ１４と、マシン管理コントローラ１５と、
工程内コントローラ１６とはヒエラルキー構造をとり、
各コントローラ１４、１５、１６によるストッカ、工程
間搬送機器、半導体製造装置、工程内搬送具等に対する
制御に関しても生産管理部３からの完全な支配を受け、
裁量の余地はなかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の生産
管理方法は、ヒエラルキー構造の上位にある生産管理部
３が工程間搬送コントローラ１４等のコントローラによ
るストッカ、工程間搬送機器、半導体製造装置、工程内
搬送具等に対する制御のすべてについて管理する方法な
ので、少品種大量生産には適していたが、最近の傾向で
ある多品種小量生産には不適当である。というのは、多
品種小量生産において最も重要なことの一つはＴＡＴ
（Ｔｕｒｎ Ａｒｒｏｕｎｄ Ｔｉｍｅ）を短くするこ
とであるが、それには小ロットを流し、後工程引き取り
方式を実施し、装置、工程、或いは一つの工程とその前
或いは後工程を含めた工程群を単位とし、その単位毎の
管理をする必要性が生じているが、そのような細かな単
位毎の管理についてすべて生産管理部３において指示を
出すということは不可能だからである。特に、従来の方
法は半導体製造装置の制御という製造管理を主体とする
管理であり、後工程引き取りといういわば物流的な管理
には馴染みにくいのである。
管理方法は、ヒエラルキー構造の上位にある生産管理部
３が工程間搬送コントローラ１４等のコントローラによ
るストッカ、工程間搬送機器、半導体製造装置、工程内
搬送具等に対する制御のすべてについて管理する方法な
ので、少品種大量生産には適していたが、最近の傾向で
ある多品種小量生産には不適当である。というのは、多
品種小量生産において最も重要なことの一つはＴＡＴ
（Ｔｕｒｎ Ａｒｒｏｕｎｄ Ｔｉｍｅ）を短くするこ
とであるが、それには小ロットを流し、後工程引き取り
方式を実施し、装置、工程、或いは一つの工程とその前
或いは後工程を含めた工程群を単位とし、その単位毎の
管理をする必要性が生じているが、そのような細かな単
位毎の管理についてすべて生産管理部３において指示を
出すということは不可能だからである。特に、従来の方
法は半導体製造装置の制御という製造管理を主体とする
管理であり、後工程引き取りといういわば物流的な管理
には馴染みにくいのである。
【０００９】尚、後工程引き取り方式というのは、或る
工程、機器においてそれの前の加工を終えた段階の加工
材料（例えばウェハ）が必要となったら、その前の工程
のところにその加工材料を取りに行き、そして、それに
対して加工を施し、加工を終えたらその加工材料を置い
ておき、必要とする後工程が取りに来るのに任せる方式
であり、かんばん方式といわれることもある。
工程、機器においてそれの前の加工を終えた段階の加工
材料（例えばウェハ）が必要となったら、その前の工程
のところにその加工材料を取りに行き、そして、それに
対して加工を施し、加工を終えたらその加工材料を置い
ておき、必要とする後工程が取りに来るのに任せる方式
であり、かんばん方式といわれることもある。
【００１０】そこで、本願発明者は一つの工程、或いは
一つの工程とその前処理工程及び／又は後処理工程を含
めた工程群を一つの作業単位とし、各作業単位毎に作業
モジュールコントローラを設け、材料搬送、作業者をも
含めたオブジェクト指向管理の必要性を感じ、本発明を
為すに至った。
一つの工程とその前処理工程及び／又は後処理工程を含
めた工程群を一つの作業単位とし、各作業単位毎に作業
モジュールコントローラを設け、材料搬送、作業者をも
含めたオブジェクト指向管理の必要性を感じ、本発明を
為すに至った。
【００１１】即ち、本発明は後工程引き取り方式と馴染
む生産管理を可能にし、且つ生産管理部の負担を軽く
し、生産支援部による裁量により加工材料の流れを柔軟
に制御できる新規な生産管理方法を提供しようとするも
のである。
む生産管理を可能にし、且つ生産管理部の負担を軽く
し、生産支援部による裁量により加工材料の流れを柔軟
に制御できる新規な生産管理方法を提供しようとするも
のである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１の生産管理方法
は、生産量の設定、生産に関する指示、生産実績の把握
及び各工程の進捗管理を行う生産管理部と、各工程ある
いは関連工程群毎に対応して設けられた複数の作業モジ
ュールコントローラからなり、上記生産管理部と情報を
やり取りして生産支援をする生産支援部と、を設け、上
記各作業モジュールコントローラには、それぞれ上記生
産管理部からの情報に基づいて自身と対応する工程ある
いは工程群の製造装置、オペレータ及び、加工材料に関
する指示情報、制御情報をつくり、それに基づいてオペ
レータへの指示、製造装置、加工材料搬送装置の制御を
させることを特徴とする。
は、生産量の設定、生産に関する指示、生産実績の把握
及び各工程の進捗管理を行う生産管理部と、各工程ある
いは関連工程群毎に対応して設けられた複数の作業モジ
ュールコントローラからなり、上記生産管理部と情報を
やり取りして生産支援をする生産支援部と、を設け、上
記各作業モジュールコントローラには、それぞれ上記生
産管理部からの情報に基づいて自身と対応する工程ある
いは工程群の製造装置、オペレータ及び、加工材料に関
する指示情報、制御情報をつくり、それに基づいてオペ
レータへの指示、製造装置、加工材料搬送装置の制御を
させることを特徴とする。
【００１３】請求項１の生産管理方法によれば、各品種
毎の一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つの
工程とその前後の工程を含んだ工程群毎に生産支援部を
成す作業モジュールコントローラを設け、各作業モジュ
ールコントローラにその管理対象に関するオペレータ
と、半導体製造装置と、加工材料の搬送に関する指示情
報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへの
指示あるいは製造装置、搬送装置の制御をさせるので、
作業モジュールコントローラによりその時々で最適なオ
ペレータの配置、加工材料の搬送を為すことができ、延
いては短ＴＡＴ化が可能になる。
毎の一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つの
工程とその前後の工程を含んだ工程群毎に生産支援部を
成す作業モジュールコントローラを設け、各作業モジュ
ールコントローラにその管理対象に関するオペレータ
と、半導体製造装置と、加工材料の搬送に関する指示情
報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへの
指示あるいは製造装置、搬送装置の制御をさせるので、
作業モジュールコントローラによりその時々で最適なオ
ペレータの配置、加工材料の搬送を為すことができ、延
いては短ＴＡＴ化が可能になる。
【００１４】特に、各作業モジュールコントローラはそ
れぞれ自己が加工しようとする加工材料がなくなれば、
その加工材料のある工程に取りに行くような搬送をする
ようにすると、後工程引き取り方式（かんばん方式）が
可能になり、多品種小量生産の下でも加工材料の流れを
無駄の少ない合理的なものにすることができる。
れぞれ自己が加工しようとする加工材料がなくなれば、
その加工材料のある工程に取りに行くような搬送をする
ようにすると、後工程引き取り方式（かんばん方式）が
可能になり、多品種小量生産の下でも加工材料の流れを
無駄の少ない合理的なものにすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示実施の形態に
従って詳細に説明する。図１は本発明の実施に用いる生
産管理システムのシステム図である。
従って詳細に説明する。図１は本発明の実施に用いる生
産管理システムのシステム図である。
【００１６】図において、１はホストコンピュータ、２
は解析システム、３はそれ等１、２とオンライン接続さ
れたエリアコンピュータによる生産管理部で、例えば半
導体装置製造工場毎に或いは製造棟毎に設けられてい
る。４はネットワークで、ホストコンピュータ１、解析
システム２とエリアコンピュータとの間を結ぶ。
は解析システム、３はそれ等１、２とオンライン接続さ
れたエリアコンピュータによる生産管理部で、例えば半
導体装置製造工場毎に或いは製造棟毎に設けられてい
る。４はネットワークで、ホストコンピュータ１、解析
システム２とエリアコンピュータとの間を結ぶ。
【００１７】５は計画管理部で、半導体装置の各機種毎
の生産量の設定を行う。６は製造基礎情報管理部で、半
導体装置の各機種毎の製造条件、製造工程順序等製造に
関する基礎的な情報を管理する。７は実績管理部で、実
際に製造された実績に関しての情報を処理して生産実績
を把握する。８は工程進捗管理部で、各機種毎に工程の
進捗について管理する。９、９、・・・はセル管理部
で、各工程或いはメイン工程とその前或いは後工程を含
んだ工程群毎に存在し、その工程或いは工程群に関して
管理する。１０はネットワークで、エリアコンピュータ
と次に述べる生産支援部（１３ａ）との間を結ぶ。１１
はユーザインターフェース、１２はユーザ端末である。
の生産量の設定を行う。６は製造基礎情報管理部で、半
導体装置の各機種毎の製造条件、製造工程順序等製造に
関する基礎的な情報を管理する。７は実績管理部で、実
際に製造された実績に関しての情報を処理して生産実績
を把握する。８は工程進捗管理部で、各機種毎に工程の
進捗について管理する。９、９、・・・はセル管理部
で、各工程或いはメイン工程とその前或いは後工程を含
んだ工程群毎に存在し、その工程或いは工程群に関して
管理する。１０はネットワークで、エリアコンピュータ
と次に述べる生産支援部（１３ａ）との間を結ぶ。１１
はユーザインターフェース、１２はユーザ端末である。
【００１８】１３ａは生産支援部で、多数の作業モジュ
ールコントローラ１８、１８、・・・からなる。作業モ
ジュールコントローラ１８、１８、・・・は各品種毎の
一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つの工程
とその前後の工程を含んだ工程群毎に設けられたもの
で、自己の管理対象内の工程（例えば拡散）に関する製
造装置の制御、オペレータの配置、加工材料の搬送に関
する管理を行う。
ールコントローラ１８、１８、・・・からなる。作業モ
ジュールコントローラ１８、１８、・・・は各品種毎の
一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つの工程
とその前後の工程を含んだ工程群毎に設けられたもの
で、自己の管理対象内の工程（例えば拡散）に関する製
造装置の制御、オペレータの配置、加工材料の搬送に関
する管理を行う。
【００１９】尚、各作業モジュールコントローラ１８の
管理対象は原則的には一つの工程、例えば拡散、ＣＶ
Ｄ、露光、現像などであるが、前処理工程、後処理工程
がある場合にはメインとなる工程とその前後の処理工程
を含めた一つの工程群を一つの管理対象とする場合もあ
る。加工材料の搬送は、図２に示すように、搬送装置に
よる搬送と、オペレータによる搬送とがある。搬送装置
による搬送のみならず、オペレータによる搬送も行うこ
とができるようにすると、多品種小量生産において重要
な品種の変更に対する柔軟にして迅速な対応ができるよ
うになる。
管理対象は原則的には一つの工程、例えば拡散、ＣＶ
Ｄ、露光、現像などであるが、前処理工程、後処理工程
がある場合にはメインとなる工程とその前後の処理工程
を含めた一つの工程群を一つの管理対象とする場合もあ
る。加工材料の搬送は、図２に示すように、搬送装置に
よる搬送と、オペレータによる搬送とがある。搬送装置
による搬送のみならず、オペレータによる搬送も行うこ
とができるようにすると、多品種小量生産において重要
な品種の変更に対する柔軟にして迅速な対応ができるよ
うになる。
【００２０】各作業モジュールコントローラ１８は、勿
論、生産管理部３の管理下にあり、その生産量の設定結
果、製造基礎情報を無視しないが、オペレータの配置、
加工材料の搬送に関しては大幅な裁量が許され、その時
々に応じて最も適切な加工材料の流れは何かを判断し、
その判断結果に基づいて搬送の制御、半導体製造装置の
制御を行う。特に、加工材料の搬送に関しては後工程引
き取り方式が採られ、自己の管理対象の工程が無くなれ
ば、欲する加工材料の在る工程へ取りに行くようにする
のであるが、取りに行ける工程が複数在る場合には諸般
の事情を考慮してそのうちの一つを選んでそこに取りに
行くことになる。
論、生産管理部３の管理下にあり、その生産量の設定結
果、製造基礎情報を無視しないが、オペレータの配置、
加工材料の搬送に関しては大幅な裁量が許され、その時
々に応じて最も適切な加工材料の流れは何かを判断し、
その判断結果に基づいて搬送の制御、半導体製造装置の
制御を行う。特に、加工材料の搬送に関しては後工程引
き取り方式が採られ、自己の管理対象の工程が無くなれ
ば、欲する加工材料の在る工程へ取りに行くようにする
のであるが、取りに行ける工程が複数在る場合には諸般
の事情を考慮してそのうちの一つを選んでそこに取りに
行くことになる。
【００２１】図３（Ａ）、（Ｂ）は各工程Ａ、Ｂ、Ｃの
のオペレータによる処理能力（搬送、段取り、レシピ設
定等の能力）と半導体製造装置による処理能力の配分設
定の各別の例を示すものである。従来においては図３
（Ｂ）に示すように、オペレータによる処理能力と半導
体装置による処理能力が比較的均一化する必要性があっ
た。しかし、本生産管理システム化においては、各工程
Ａ、Ｂ、Ｃにおいて、オペレータによる処理能力と半導
体製造装置による処理能力とが必ずしも均一化する必要
がなく、アンバランスがあっても工程としての全体的能
力（オペレータによる処理能力と半導体装置による処理
能力との和）が工程間で比較的均一化していれば円滑な
生産管理ができる。
のオペレータによる処理能力（搬送、段取り、レシピ設
定等の能力）と半導体製造装置による処理能力の配分設
定の各別の例を示すものである。従来においては図３
（Ｂ）に示すように、オペレータによる処理能力と半導
体装置による処理能力が比較的均一化する必要性があっ
た。しかし、本生産管理システム化においては、各工程
Ａ、Ｂ、Ｃにおいて、オペレータによる処理能力と半導
体製造装置による処理能力とが必ずしも均一化する必要
がなく、アンバランスがあっても工程としての全体的能
力（オペレータによる処理能力と半導体装置による処理
能力との和）が工程間で比較的均一化していれば円滑な
生産管理ができる。
【００２２】尚、本発明生産方法は、半導体装置の製造
に限らず、それ以外の製品の生産にも適用することがで
きる。
に限らず、それ以外の製品の生産にも適用することがで
きる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の生産管理方法によれば、各品
種毎の一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つ
の工程とその前後の工程を含んだ工程群毎に生産支援部
を成す作業モジュールコントローラを設け、各作業モジ
ュールコントローラにその管理対象に関するオペレータ
と、半導体製造装置と、加工材料の搬送に関する指示情
報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへの
指示あるいは製造装置、搬送装置の制御をさせるので、
作業モジュールコントローラによりその時々で最適なオ
ペレータの配置、加工材料の搬送を為すことができ、延
いては短ＴＡＴ化が可能になる。
種毎の一連の工程を構成する各一つの工程、或いは一つ
の工程とその前後の工程を含んだ工程群毎に生産支援部
を成す作業モジュールコントローラを設け、各作業モジ
ュールコントローラにその管理対象に関するオペレータ
と、半導体製造装置と、加工材料の搬送に関する指示情
報、制御情報をつくり、それに基づいてオペレータへの
指示あるいは製造装置、搬送装置の制御をさせるので、
作業モジュールコントローラによりその時々で最適なオ
ペレータの配置、加工材料の搬送を為すことができ、延
いては短ＴＡＴ化が可能になる。
【００２４】特に、各作業モジュールコントローラはそ
れぞれ自己が加工しようとする加工材料がなくなれば、
その加工材料のある工程に取りに行くような搬送をする
ようにすると、後工程引き取り方式（かんばん方式）が
可能になり、多品種小量生産の下でも加工材料の流れを
無駄の少ない合理的なものにすることができる。
れぞれ自己が加工しようとする加工材料がなくなれば、
その加工材料のある工程に取りに行くような搬送をする
ようにすると、後工程引き取り方式（かんばん方式）が
可能になり、多品種小量生産の下でも加工材料の流れを
無駄の少ない合理的なものにすることができる。
【図１】本発明生産管理方法の実施に用いる生産管理シ
ステムの概略構成図である。
ステムの概略構成図である。
【図２】本発明生産管理方法の実施における加工材料の
搬送の説明をするレイアウト図である。
搬送の説明をするレイアウト図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は各工程におけるオペレータに
よる能力と半導体製造装置による能力の配分に関する各
別の例を示す図である。
よる能力と半導体製造装置による能力の配分に関する各
別の例を示す図である。
【図４】従来の生産管理方法の実施に用いた生産管理シ
ステムの概略構成図である。
ステムの概略構成図である。
１・・・生産管理部、１３ａ・・・生産支援部、１８・
・・作業モジュールコントローラ。
・・作業モジュールコントローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】 生産量の設定、生産に関する指示、生産
実績の把握及び各工程の進捗管理を行う生産管理部と、 各工程あるいは関連工程群毎に対応して設けられた複数
の作業モジュールコントローラからなり、上記生産管理
部と情報をやり取りして生産支援をする生産支援部と、 を設け、 上記各作業モジュールコントローラには、それぞれ上記
生産管理部からの情報に基づいて自身と対応する工程あ
るいは工程群の製造装置、オペレータ及び加工材料に関
する指示情報、制御情報をつくり、それに基づいてオペ
レータへの指示、製造装置、加工材料搬送装置の制御を
させることを特徴とする生産管理方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24981196A JPH1097965A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 生産管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24981196A JPH1097965A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 生産管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1097965A true JPH1097965A (ja) | 1998-04-14 |
Family
ID=17198564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24981196A Pending JPH1097965A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 生産管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1097965A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2073364A1 (ja) * | 1969-11-17 | 1971-10-01 | Wellcome Found | |
| CN115069212A (zh) * | 2021-03-10 | 2022-09-20 | 日商藤田股份有限公司 | 吸附剂及其制造方法 |
-
1996
- 1996-09-20 JP JP24981196A patent/JPH1097965A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2073364A1 (ja) * | 1969-11-17 | 1971-10-01 | Wellcome Found | |
| CN115069212A (zh) * | 2021-03-10 | 2022-09-20 | 日商藤田股份有限公司 | 吸附剂及其制造方法 |
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