JPH109826A - Pga基板の外寸測定方法 - Google Patents

Pga基板の外寸測定方法

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JPH109826A
JPH109826A JP16498996A JP16498996A JPH109826A JP H109826 A JPH109826 A JP H109826A JP 16498996 A JP16498996 A JP 16498996A JP 16498996 A JP16498996 A JP 16498996A JP H109826 A JPH109826 A JP H109826A
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JP
Japan
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pga substrate
pga
holes
distance
image processing
Prior art date
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Application number
JP16498996A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinya Nishimoto
晋也 西本
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
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Publication of JPH109826A publication Critical patent/JPH109826A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 比較的簡単な構成でPGA基板の外形寸法の
測定精度を向上させることが可能であり、さらにスルホ
ールの中央振分け寸法の測定をも同時に行うことが可能
なPGA基板の外寸測定方法を提供する。 【解決手段】 矩形形状を有し且つ外形に沿って等間隔
矩形に並んだ多数のスルホール2を有するPGA基板1
の外形の直交する2方向すなわち、縦方向の寸法Yおよ
び横方向の寸法Xを測定するものであって、PGA基板
1の各コーナー部を局部的に画像処理して、縦方向及び
横方向それぞれについて左右両側の最端部に位置するス
ルホール2中心とPGA基板1の側端縁との距離をそれ
ぞれ測定し、これにx軸方向及びy軸方向それぞれにつ
いて左右両側の最端部に位置するスルホール2,2間の
距離を加算した和を、それぞれ縦方向の寸法Yおよび横
方向のXとして算出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はピングリットアレイ
(PGA)基板の外寸測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、矩形形状を有し且つ格子目状
に並んだ多数のスルホールを有するPGA基板を製造す
るにあたっては、回路形成後に切断して個々のPGA基
板とする工程があり、このとき、得られたPGA基板の
寸法検査が行われている。このPGA基板の寸法検査で
は、該PGA基板の外形寸法、PGA基板におけるスル
ホールの形成位置を確かめる中央振分け寸法などを測定
して規定の寸法との比較を行っている。
【0003】従来においてPGA基板の外形寸法の測定
は、PGA基板全体を一括して画像処理することにより
該PGA基板における外形の縦横寸法を測定する方法が
行われている。また、中央振分け寸法は、PGA基板の
最側縁部に位置するスルホールについて、縦方向及び横
方向それぞれにおける該スルホール中心からPGA基板
の側端縁までの距離を指すものであって、スルホールの
位置ズレの有無を調べるためのものであり、該中央振分
け寸法はノギス等で測定されている。そして、PGA基
板の寸法検査では、目標とする寸法から、例えば±10
0μm外れた場合には寸法不良としているものであっ
た。したがって、寸法検査では寸法測定の測定精度には
高いレベルの精度が要求されるものであって、例えば測
定精度±50μmが望まれるものであった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにPGA基板の外形寸法を一括して画像処理するこ
とにより測定する場合には、画素数により解像度が低下
して測定精度は低いものとなるものであった。これに対
して画像処理装置の画素数を増やして解像度を向上させ
ると測定精度を高めることは可能であるものの、非常に
高価な画像処理装置が必要となるものであった。
【0005】また、PGA基板の外径寸法の測定とスル
ホールの中央振分け寸法の測定とは別々に行われていた
ので、一度に行えるようにして効率化を図ることも望ま
れるものであった。
【0006】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、比較的簡単な構成でPGA基板の外形寸法の測定
精度を向上させることが可能であり、さらにスルホール
の中央振分け寸法の測定をも同時に行うことが可能なP
GA基板の外寸測定方法を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項1に係るPGA基板の外寸測定方法
は、矩形形状を有し且つ外形に沿って等間隔矩形に並ん
だ多数のスルホールを有するPGA基板における外形の
縦横寸法を測定するPGA基板の外寸測定方法であっ
て、PGA基板の各コーナー部を局部的に画像して、縦
方向及び横方向それぞれについて左右両側の最端部に位
置するスルホールとPGA基板の側端縁との距離をそれ
ぞれ測定し、これに縦方向及び横方向それぞれについて
左右両側の最端部に位置するスルホール間の距離を加算
した和を、縦方向及び横方向の外形寸法として算出する
ことを特徴とするものである。
【0008】請求項2に係るPGA基板の外寸測定方法
は、請求項1に係るPGA基板の外寸測定方法におい
て、上記縦方向及び横方向それぞれについて左右両側の
最端部に位置するスルホール間の距離の寸法として、隣
合うスルホール同士の間隔寸法に、同方向にて並ぶスル
ホールの数から1だけ引いた数を掛け合わせた数値を用
いることを特徴とするものである。
【0009】請求項3に係るPGA基板の外寸測定方法
は、請求項1に係るPGA基板の外寸測定方法におい
て、PGA基板又は画像処理用カメラのいずれか一方を
xyテーブルに縦横2軸方向に移動自在に設置し、上記
PGA基板又は画像処理用カメラのいずれか一方を縦横
2軸方向に移動させてPGA基板の各コーナー部を画像
処理する際の、上記PGA基板又は画像処理用カメラの
移動距離を、この移動方向における左右両側の最端部に
位置するスルホール間の距離の寸法とすることを特徴と
するものである。
【0010】請求項4に係るPGA基板の外寸測定方法
は、請求項3に係るPGA基板の外寸測定方法におい
て、上記画像処理用カメラ又はPGA基板のいずれか一
方を縦横2軸方向に移動させてPGA基板の各コーナー
部を画像処理する際に、各コーナー部にて最端部に位置
するスルホールと画像中心との位置ズレ寸法を縦横2軸
方向について測定して、このときの測定値により、上記
PGA基板又は画像処理用カメラの移動距離と、この移
動方向における左右両側の最端部に位置するスルホール
間の距離の寸法との誤差を校正することを特徴とするも
のである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
【0012】図1は、本発明の実施形態に係るPGA基
板の外寸測定方法において、外形寸法を測定するPGA
基板を示す上面図である。
【0013】本発明に係るPGA基板の外寸測定方法
は、矩形形状を有し且つ外形に沿って等間隔矩形に並ん
だ多数のスルホール2を有するPGA基板1の外形の直
交する2方向すなわち、縦方向の寸法Yおよび横方向の
寸法Xを測定するものであって、PGA基板1の各コー
ナー部を局部的に画像処理して、縦方向及び横方向それ
ぞれについて左右両側の最端部に位置するスルホール2
中心とPGA基板1の側端縁との距離をそれぞれ測定
し、これにx軸方向及びy軸方向それぞれについて左右
両側の最端部に位置するスルホール2,2間の距離を加
算した和を、それぞれ縦方向の寸法Yおよび横方向のX
として算出するものである。
【0014】本発明の第1実施形態に係るPGA基板の
外寸測定方法について説明する。図2は該第1実施形態
に係るPGA基板の外寸測定方法の説明図であって、こ
の図2に基づいて、第1実施形態におけるPGA基板1
の外形寸法の測定原理について説明する。画像処理用カ
メラによりPGA基板1の4隅のコーナー部をそれぞれ
局部的に拡大して撮影し、画像処理することにより各コ
ーナー部の最端部に位置するスルホール2に関して、該
スルホール2に近接するPGA基板1の縦側及び横側の
側端縁と該スルホール2中心との距離を測定する。この
とき、例えばPGA基板1の横方向の寸法Xを算出する
場合について説明すると、PGA基板1の横方向一辺側
における左右両コーナー部について上記画像処理により
測定した、それぞれ最端部に位置するスルホール2とP
GA基板1縦辺側の側端縁との距離X1及びX2に、同上横
方向の左右両端のスルホール2,2中心間の距離X3を算
出して加算し、その和を寸法Xとする。このとき、上記
横方向の左右両端に位置するスルホール2,2中心間の
距離X3は、同方向にて隣合うスルホール2,2間の距離
aに、同方向にて一直線に並ぶスルホール2の総数n
(nは2以上の整数)から1を引いた数を掛け合わせて
算出するものである。すなわち、この寸法Xを算出する
式は、 X=X1+X2+X3=X1+X2+a×(n−1) となる。
【0015】該PGA基板の外寸測定方法においては、
PGA基板1の縦方向の寸法Yについても上記寸法Xと
同様に求めることができるものであり、このようにして
PGA基板1の外形寸法である外周4辺の寸法を全て測
定ことが可能なものである。
【0016】上記のように、該PGA基板の外寸測定方
法では、PGA基板1の各コーナー部を局部的に拡大し
て画像処理することにより、各コーナー部については高
い解像度で画像処理することができるものであり、ゆえ
に各コーナー部にて最端部に位置するスルホール2とP
GA基板1の縦横側端縁との距離を高精度で測定すると
が可能となるものである。また、一般にPGA基板1に
おいてはスルホール2はコンピュータ制御された精密穿
孔機により高精度に所定間隔で形成されていることか
ら、同方向にて隣合うスルホール2,2間の距離aの同
方向における総和は、同方向の左右両端のスルホール
2,2中心間の距離と等しいものと見なすことができる
ものである。したがって、該PGA基板の外寸測定方法
では、PGA基板1の外径寸法を精度良く測定すること
ができるものであり、しかも、比較的簡易な装置で行え
るものである。また、このとき同時に、PGA基板1に
おける各コーナー部にて最端部に位置するスルホール2
とPGA基板1の縦横側端縁との距離の測定、すなわち
スルホール2の中央振分け寸法の測定を行っていること
から、PGA基板1の寸法検査を効率よく行えるもので
ある。
【0017】なお、該実施形態においては、図3に示す
如く、PGA基板1の4隅のうち一か所に一部をカット
した面取り部3が形成されているが、この面取り部3を
有するコーナー部においては図中の点線で示したように
直線補完してPGA基板1の縦横両辺の延長線を仮想し
て、このコーナー部における最端部に位置するスルホー
ル2とPGA基板1の縦横側端縁との距離を測定するも
のである。
【0018】本発明の第2実施形態に係るPGA基板の
外寸測定方法について説明する。図4は第2実施形態に
係るPGA基板の外寸測定方法の説明図であって、この
図4に基づいて、第2実施形態におけるPGA基板1の
外形寸法の測定原理について説明する。第2実施形態に
おいては、第1実施形態と同様に、画像処理用カメラに
よりPGA基板1の4隅のコーナー部をそれぞれ局部的
に拡大して撮影し、画像処理することにより各コーナー
部の最端部に位置するスルホール2に関して、該スルホ
ール2に近接するPGA基板1の縦側及び横側の側端縁
と該スルホール2中心との距離を測定し、そして、同一
方向における上記の測定値と、同方向における左右両端
のスルホール2,2中心間の距離とを加算した和をその
方向におけるPGA基板1の寸法とすることにより、外
形寸法を測定するものであるが、第2実施形態では、同
一方向における左右両端のスルホール2,2中心間の距
離の算出方法が第1実施形態とは異なっているものであ
る。
【0019】第2実施形態では、画像処理用カメラがP
GA基板1と対峙するxyテーブルに縦横2軸方向に移
動自在に設置されているもので、上記画像処理用カメラ
を縦横2軸方向に移動させてPGA基板1の各コーナー
部を画像処理する際の、上記画像処理用カメラがコーナ
ー部から他のコーナー部へと移動する移動距離から、こ
のときの移動方向における左右両端に位置するスルホー
ル2,2中心間の距離の寸法を算出しているものであ
る。
【0020】第2実施形態に係るPGA基板の外寸測定
方法において、例えばPGA基板1の横方向の寸法Xを
算出する場合について説明すると、図4に示す如く、P
GA基板1の横方向一辺側における左右両コーナー部に
ついて上記画像処理により測定した、それぞれ最端部に
位置するスルホール2中心とPGA基板1縦辺側の側端
縁との距離X1及びX2に、同上横方向の左右両端のスルホ
ール2,2中心間の距離X3を同上横方向の画像処理用カ
メラの移動距離X5から算出して加算し、その和を寸法X
とする。
【0021】ところで、このとき同上横方向の左右両コ
ーナー部に対する画像処理用カメラの移動距離X5は、画
像処理用カメラがそれぞれ左右両コーナー部を撮影した
ときの画像中心S1,S2 間の距離に等しいものとなる。こ
こで、画像中心S1,S2 と、同上横方向の左右両端のスル
ホール2,2中心とは一致するとは限らないものであ
り、この場合、画像中心S1,S2 と同上スルホール2,2
とが横方向にズレた距離X6,X7 の分だけ、上記左右両端
のスルホール2,2中心間の距離X3と画像処理用カメラ
の移動距離X5とは一致しないものとなる。したがって、
画像処理用カメラの移動距離X5から上記左右両端のスル
ホール2,2中心間の距離X3を算出するにあたっては、
ズレた距離X6,X7 により校正する必要があるものであ
る。例えば、画像中心S1,S2 が上記左右両端のスルホー
ル2,2中心に対して内側にズレた場合の上記ズレた距
離X6,X7 をプラスの値とし、外側にズレた場合の上記ズ
レた距離X6,X7 をマイナスの値と定義すると、上記左右
両端のスルホール2,2中心間の距離X3は、画像処理用
カメラの移動距離X5と上記ズレた距離X6,X7 とを加算し
た和に等しいものとなる。したがってこの場合、PGA
基板1 の横方向の寸法Xを算出する式は、 X=X1+X2+X3=X1+X2+(X5+X6+X7) となる。
【0022】PGA基板の外寸測定方法においては、P
GA基板1の縦方向の寸法Yについても上記寸法Xと同
様に求めることができるものであり、このようにしてP
GA基板1の外形寸法である外周4辺の寸法を全て測定
ことが可能なものである。
【0023】上述したように、該PGA基板の外寸測定
方法では、PGA基板1の各コーナー部を局部的に拡大
して画像処理することにより、各コーナー部にて最端部
に位置するスルホール2中心とPGA基板1の縦横側端
縁との距離を高精度で測定するとが可能となるものであ
る。また、画像処理用カメラの移動距離から左右両端の
スルホール2,2中心間の距離を正確に算出することが
できる。したがって、該PGA基板の外寸測定方法で
は、PGA基板1の外径寸法を精度良く測定することが
できるものであり、しかも、比較的簡易な装置で行える
ものである。また、このとき同時に、PGA基板1にお
ける各コーナー部にて最端部に位置するスルホール2と
PGA基板1の縦横側端縁との距離の測定、すなわちス
ルホール2の中央振分け寸法の測定を行っていることか
ら、PGA基板1の寸法検査を効率よく行えるものであ
る。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
乃至請求項4に係るPGA基板の外寸測定方法による
と、PGA基板1の各コーナー部を局部的に画像処理し
て、縦方向及び横方向それぞれについて左右両側の最端
部に位置するスルホール2中心とPGA基板1の側端縁
との距離をそれぞれ測定し、これにx軸方向及びy軸方
向それぞれについて左右両側の最端部に位置するスルホ
ール2,2間の距離を加算した和を、それぞれ縦方向の
寸法Yおよび横方向のXとして算出する手法により、比
較的簡単な構成でPGA基板の外形寸法の測定精度を向
上させることが可能であり、さらにスルホールの中央振
分け寸法の測定をも同時に行うことが可能なものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態にて外形寸法を測定するPG
A基板を示す上面図である。
【図2】本発明の第1実施形態に係るPGA基板の外寸
測定方法の説明図である。
【図3】本発明の実施形態に係るPGA基板の面取り部
を示す上面図である。
【図4】本発明の第2実施形態に係るPGA基板の外寸
測定方法の説明図である。
【符号の説明】 1 PGA基板 2 スルホール

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 矩形形状に形成され且つ外形に沿って等
    間隔矩形に並んだ多数のスルホールを有するPGA基板
    における外形の縦横寸法を測定するPGA基板の外寸測
    定方法であって、PGA基板の各コーナー部を局部的に
    画像処理して、縦方向及び横方向それぞれについて左右
    両側の最端部に位置するスルホールとPGA基板の側端
    縁との距離をそれぞれ測定し、これに縦方向及び横方向
    それぞれについて左右両側の最端部に位置するスルホー
    ル間の距離を加算した和を、縦方向及び横方向の外形寸
    法として算出することを特徴とするPGA基板の外寸測
    定方法。
  2. 【請求項2】 上記PGA基板の縦方向及び横方向それ
    ぞれについて左右両側の最端部に位置するスルホール間
    の距離の寸法として、隣合うスルホール同士の間隔寸法
    に、同方向にて並ぶスルホールの数から1だけ引いた数
    を掛け合わせた数値を用いることを特徴とする請求項1
    記載のPGA基板の外寸測定方法。
  3. 【請求項3】 PGA基板又は画像処理用カメラのいず
    れか一方をxyテーブルに縦横2軸方向に移動自在に設
    置し、上記PGA基板又は画像処理用カメラのいずれか
    一方を縦横2軸方向に移動させてPGA基板の各コーナ
    ー部を画像処理する際の、上記PGA基板又は画像処理
    用カメラの移動距離を、この移動方向における左右両側
    の最端部に位置するスルホール間の距離の寸法とするこ
    とを特徴とする請求項1記載のPGA基板の外寸測定方
    法。
  4. 【請求項4】 上記画像処理用カメラ又はPGA基板の
    いずれか一方を縦横2軸方向に移動させてPGA基板の
    各コーナー部を画像処理する際に、各コーナー部にて最
    端部に位置するスルホールと画像中心との位置ズレ寸法
    を縦横2軸方向について測定して、このときの測定値に
    より、上記PGA基板又は画像処理用カメラの移動距離
    と、この移動方向における左右両側の最端部に位置する
    スルホール間の距離の寸法との誤差を校正することを特
    徴とする請求項3記載のPGA基板の外寸測定方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116259557A (zh) * 2021-12-09 2023-06-13 细美事有限公司 半导体材料检查装置以及利用其的半导体材料检查方法
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