JPH109896A - リニヤモータのエンコーダ - Google Patents
リニヤモータのエンコーダInfo
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- JPH109896A JPH109896A JP16651596A JP16651596A JPH109896A JP H109896 A JPH109896 A JP H109896A JP 16651596 A JP16651596 A JP 16651596A JP 16651596 A JP16651596 A JP 16651596A JP H109896 A JPH109896 A JP H109896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- light
- magnetic pole
- slit plate
- encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Optical Transform (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】可動部の磁極位置と、直線移動とを直接検出
し、測定精度が変化する要因を削減する。 【解決手段】位置検出部は、リニヤモータ４の可動部に
取り付け、可動部と略同じ長さでリニヤモータ４の進行
方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定のピッチで光
を透過する透過部、および遮光部を交互に有し、他辺の
略全長に渡って、リニヤモータ４の磁極のピッチ毎に、
１磁極の長さより長い光の透過部、および透過部以外の
部分に遮光部を有する短冊型のスリット板３と、スリッ
ト板３の磁極検出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と
同数の磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２
ｃと、スリット板３の位置検出側に配置した電気的に９
０°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプタ１
ａ，１ｂとで構成する。
し、測定精度が変化する要因を削減する。 【解決手段】位置検出部は、リニヤモータ４の可動部に
取り付け、可動部と略同じ長さでリニヤモータ４の進行
方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定のピッチで光
を透過する透過部、および遮光部を交互に有し、他辺の
略全長に渡って、リニヤモータ４の磁極のピッチ毎に、
１磁極の長さより長い光の透過部、および透過部以外の
部分に遮光部を有する短冊型のスリット板３と、スリッ
ト板３の磁極検出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と
同数の磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２
ｃと、スリット板３の位置検出側に配置した電気的に９
０°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプタ１
ａ，１ｂとで構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、リニヤ同期モー
タの磁極の位置、および移動速度、位置を検出するリニ
ヤモータのエンコーダに関する。
タの磁極の位置、および移動速度、位置を検出するリニ
ヤモータのエンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】リニヤ同期モータの位置を検出するエン
コーダは、回転形のロータリーエンコーダにラック、ピ
ニオンを組み合わせて直線移動を回転移動に変換して、
直線移動距離を測定していた。図６は従来例のロータリ
ーエンコーダの構成図を示す。この図６において、１１
は発光素子、１２は円盤上に発光素子１１の光を透過す
るスリット１３を設けた回転ディスク、１４は発光素子
１１から回転ディスク１２のスリット１３を透過した光
を固定位置で検出しａ相、ｂ相、ｚ相の光源にする固定
スリット板、１５はａ相用受光素子、１６はｂ相用受光
素子、１７はｚ相用受光素子を示す。この図６におい
て、回転ディスク１２はその軸を経てロータリーエンコ
ーダ外部の歯車（ピニオン）に接続しており、歯車は直
線状に歯形が設けられたラックと噛み合ってラックの直
線移動を回転移動に変換して、ラックの直線移動距離を
回転ディスク１２の回転角に変換している。
コーダは、回転形のロータリーエンコーダにラック、ピ
ニオンを組み合わせて直線移動を回転移動に変換して、
直線移動距離を測定していた。図６は従来例のロータリ
ーエンコーダの構成図を示す。この図６において、１１
は発光素子、１２は円盤上に発光素子１１の光を透過す
るスリット１３を設けた回転ディスク、１４は発光素子
１１から回転ディスク１２のスリット１３を透過した光
を固定位置で検出しａ相、ｂ相、ｚ相の光源にする固定
スリット板、１５はａ相用受光素子、１６はｂ相用受光
素子、１７はｚ相用受光素子を示す。この図６におい
て、回転ディスク１２はその軸を経てロータリーエンコ
ーダ外部の歯車（ピニオン）に接続しており、歯車は直
線状に歯形が設けられたラックと噛み合ってラックの直
線移動を回転移動に変換して、ラックの直線移動距離を
回転ディスク１２の回転角に変換している。
【０００３】発光素子１１の光は回転ディスク１２のス
リット１３を通して、さらに固定スリット板１４のスリ
ットを通してそれぞれの受光素子に受光されるので、回
転ディスク１２の回転により受光と遮光が交互になり受
光素子の出力はパルス状になる。また、受光素子は電気
的に９０°の位相差を持つように位置をずらせて配置さ
れており、ａ相、ｂ相パルスが得られる。
リット１３を通して、さらに固定スリット板１４のスリ
ットを通してそれぞれの受光素子に受光されるので、回
転ディスク１２の回転により受光と遮光が交互になり受
光素子の出力はパルス状になる。また、受光素子は電気
的に９０°の位相差を持つように位置をずらせて配置さ
れており、ａ相、ｂ相パルスが得られる。
【０００４】このａ相パルスをカウントすることにより
移動距離が測定できる。また、単位時間内のａ相パルス
をカウントすることにより移動速度が検出される。ｂ相
パルスはａ相との比較でいずれのパルスが先に立ち上が
るかで移動方向の判定に使用される。ｚ相パルスは基準
位置を決めるために使用される。通常この種のロータリ
ーエンコーダは全移動ストロークが回転ディスク１２の
一回転以内になるように歯車で調整して使用される。
移動距離が測定できる。また、単位時間内のａ相パルス
をカウントすることにより移動速度が検出される。ｂ相
パルスはａ相との比較でいずれのパルスが先に立ち上が
るかで移動方向の判定に使用される。ｚ相パルスは基準
位置を決めるために使用される。通常この種のロータリ
ーエンコーダは全移動ストロークが回転ディスク１２の
一回転以内になるように歯車で調整して使用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の構成
では、直線移動を検出するのにロータリーエンコーダ
と、ラックとピニオンや、チェーンとチェーンスプロケ
ット等とを使って直線移動を回転移動に変換してから位
置検出をしているために検出部が小型にできない問題が
ある。また、チェーンやチェーンに代わるワイヤを使用
する場合、チェーンやワイヤの伸びにより測定精度の変
化を補う必要がある。
では、直線移動を検出するのにロータリーエンコーダ
と、ラックとピニオンや、チェーンとチェーンスプロケ
ット等とを使って直線移動を回転移動に変換してから位
置検出をしているために検出部が小型にできない問題が
ある。また、チェーンやチェーンに代わるワイヤを使用
する場合、チェーンやワイヤの伸びにより測定精度の変
化を補う必要がある。
【０００６】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、直線移動を直接
検出し、測定精度の変化を補う必要がないリニヤモータ
のエンコーダを提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、直線移動を直接
検出し、測定精度の変化を補う必要がないリニヤモータ
のエンコーダを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明によ
れば、リニヤモータの位置の検出信号を発信するように
したリニヤモータのエンコーダにおいて、位置検出部
は、リニヤモータの可動部に取り付けられ、リニヤモー
タの進行方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定のピ
ッチで光を透過する透過部、および遮光部を交互に有
し、他辺の略全長に渡って、リニヤモータの磁極のピッ
チ毎に、１磁極の長さより長い光の透過部、および透過
部以外の部分に遮光部を有する短冊型のスリット板と、
投光部および受光部をそれぞれ備えスリット板の磁極検
出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と同数の磁極検出
用フォト・インタラプタと、投光部および受光部をそれ
ぞれ備えスリット板の位置検出側に配置した電気的に９
０°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプタと
で構成するリニヤモータのエンコーダとする。
れば、リニヤモータの位置の検出信号を発信するように
したリニヤモータのエンコーダにおいて、位置検出部
は、リニヤモータの可動部に取り付けられ、リニヤモー
タの進行方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定のピ
ッチで光を透過する透過部、および遮光部を交互に有
し、他辺の略全長に渡って、リニヤモータの磁極のピッ
チ毎に、１磁極の長さより長い光の透過部、および透過
部以外の部分に遮光部を有する短冊型のスリット板と、
投光部および受光部をそれぞれ備えスリット板の磁極検
出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と同数の磁極検出
用フォト・インタラプタと、投光部および受光部をそれ
ぞれ備えスリット板の位置検出側に配置した電気的に９
０°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプタと
で構成するリニヤモータのエンコーダとする。
【０００８】上記構成により、２個のフォト・インタラ
プタの投光部と受光部との間を位置検出側の透過部、お
よび遮光部を通過させることによりフォト・インタラプ
タの出力がオン、オフするのでそれをａ相、ｂ相パルス
が得られる。また、１２０°の位相差で配置した３個の
フォト・インタラプタの投光部と受光部との間をリニヤ
モータの磁極のピッチ毎に、１磁極の長さより長い光の
透過部、および透過部以外の部分に遮光部としたスリッ
ト板の磁極検出側を通過させることにより、例えば可動
部に３相の電機子巻線を持つリニヤ同期モータの場合、
ｕ，ｖ，ｗいずれの巻線がフォト・インタラプタの動作
位置にあるかが検出できるので、移動を開始する際に各
相の巻線に与える電流の大きさと極性を決めることが可
能になる。
プタの投光部と受光部との間を位置検出側の透過部、お
よび遮光部を通過させることによりフォト・インタラプ
タの出力がオン、オフするのでそれをａ相、ｂ相パルス
が得られる。また、１２０°の位相差で配置した３個の
フォト・インタラプタの投光部と受光部との間をリニヤ
モータの磁極のピッチ毎に、１磁極の長さより長い光の
透過部、および透過部以外の部分に遮光部としたスリッ
ト板の磁極検出側を通過させることにより、例えば可動
部に３相の電機子巻線を持つリニヤ同期モータの場合、
ｕ，ｖ，ｗいずれの巻線がフォト・インタラプタの動作
位置にあるかが検出できるので、移動を開始する際に各
相の巻線に与える電流の大きさと極性を決めることが可
能になる。
【０００９】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載のリニヤモータのエンコーダにおいて、スリット板
は、光を透過する板に、透過部を形成する部分以外の部
分に遮光膜を設けて構成したリニヤモータのエンコーダ
とする。上記構成により光の透過部と遮光部は遮光膜の
有無で構成できるのでスリット板の加工部分が少なくな
り、透過部の幅を狭くして検出精度を向上させることが
可能になる。また、移動時にフォト・インタラプタへの
引っ掛かりをなくすることが可能になる。
載のリニヤモータのエンコーダにおいて、スリット板
は、光を透過する板に、透過部を形成する部分以外の部
分に遮光膜を設けて構成したリニヤモータのエンコーダ
とする。上記構成により光の透過部と遮光部は遮光膜の
有無で構成できるのでスリット板の加工部分が少なくな
り、透過部の幅を狭くして検出精度を向上させることが
可能になる。また、移動時にフォト・インタラプタへの
引っ掛かりをなくすることが可能になる。
【００１０】請求項３記載の発明によれば、請求項１ま
たは請求項２に記載のリニヤモータのエンコーダにおい
て、スリット板は、長手方向の両端部が台形を形成する
ようにコーナー部を切り落としたリニヤモータのエンコ
ーダとする。上記構成によりスリット板がフォト・イン
タラプタの投光部と受光部との間に進入する際のフォト
・インタラプタとの衝突を防止することが可能になる。
たは請求項２に記載のリニヤモータのエンコーダにおい
て、スリット板は、長手方向の両端部が台形を形成する
ようにコーナー部を切り落としたリニヤモータのエンコ
ーダとする。上記構成によりスリット板がフォト・イン
タラプタの投光部と受光部との間に進入する際のフォト
・インタラプタとの衝突を防止することが可能になる。
【００１１】請求項４記載の発明によれば、請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載のリニヤモータのエンコ
ーダにおいて、リニヤモータの可動部に取付けられたス
リット板長さ以上の長さの移動範囲に、所定のピッチで
磁極検出用、および速度・位置検出用フォト・インタラ
プタを設けて、スリット板長さ以上の長さに渡って検出
信号が発信できるようにしたリニヤモータのエンコーダ
とする。
いし請求項３のいずれかに記載のリニヤモータのエンコ
ーダにおいて、リニヤモータの可動部に取付けられたス
リット板長さ以上の長さの移動範囲に、所定のピッチで
磁極検出用、および速度・位置検出用フォト・インタラ
プタを設けて、スリット板長さ以上の長さに渡って検出
信号が発信できるようにしたリニヤモータのエンコーダ
とする。
【００１２】上記構成によりエンコーダのスリット板の
長さ以上の移動範囲に渡って位置検出信号を発信するこ
とが可能になる。
長さ以上の移動範囲に渡って位置検出信号を発信するこ
とが可能になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の実施の形態の主
要部で（ａ）は側面図、（ｂ）はスリット板とフォト・
インタラプタとの配置図、（ｃ）はエンコーダの出力波
形図を示す。この図１において、１は速度・位置検出用
センサ（フォト・インタラプタ）、１ａはＡ相パルス用
フォト・インタラプタ部である。１ｂはＢ相パルス用フ
ォト・インタラプタで速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ部１に設けられている。２は磁極検出用センサ
（フォト・インタラプタ）、２ａはＵ相磁極用フォト・
インタラプタ、２ｂはＶ相磁極用フォト・インタラプ
タ，２ｃはＷ相磁極用フォト・インタラプタで磁極検出
用フォト・インタラプタ部２に設けられている。３は光
の透過部と遮光部を設けた矩形状スリット板、４はリニ
ヤ同期モータ、５は速度・位置検出用フォト・インタラ
プタ１ａ，１ｂ，および磁極検出用フォト・インタラプ
タ２ａ，２ｂ，２ｃの取付板を示す。なお、各インタラ
プタは投光部と受光部とを備えており、この投光部と受
光部との間にスリット板３が配置されている。
要部で（ａ）は側面図、（ｂ）はスリット板とフォト・
インタラプタとの配置図、（ｃ）はエンコーダの出力波
形図を示す。この図１において、１は速度・位置検出用
センサ（フォト・インタラプタ）、１ａはＡ相パルス用
フォト・インタラプタ部である。１ｂはＢ相パルス用フ
ォト・インタラプタで速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ部１に設けられている。２は磁極検出用センサ
（フォト・インタラプタ）、２ａはＵ相磁極用フォト・
インタラプタ、２ｂはＶ相磁極用フォト・インタラプ
タ，２ｃはＷ相磁極用フォト・インタラプタで磁極検出
用フォト・インタラプタ部２に設けられている。３は光
の透過部と遮光部を設けた矩形状スリット板、４はリニ
ヤ同期モータ、５は速度・位置検出用フォト・インタラ
プタ１ａ，１ｂ，および磁極検出用フォト・インタラプ
タ２ａ，２ｂ，２ｃの取付板を示す。なお、各インタラ
プタは投光部と受光部とを備えており、この投光部と受
光部との間にスリット板３が配置されている。
【００１４】図１（ａ）において、スリット板３はリニ
ヤ同期モータ４の可動部に取り付けられており、スリッ
ト板３の一方の側には速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ１ａ，１ｂが進行方向に電気的に９０°の位相差
を持って配置され、他方側には磁極検出用フォト・イン
タラプタ２ａ，２ｂ，２ｃが進行方向に電気的に１２０
°の位相差を持って取付板５上に配置されている（図１
（ｂ）参照）。
ヤ同期モータ４の可動部に取り付けられており、スリッ
ト板３の一方の側には速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ１ａ，１ｂが進行方向に電気的に９０°の位相差
を持って配置され、他方側には磁極検出用フォト・イン
タラプタ２ａ，２ｂ，２ｃが進行方向に電気的に１２０
°の位相差を持って取付板５上に配置されている（図１
（ｂ）参照）。
【００１５】上記の構成でリニヤ同期モータ４を移動さ
せると磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２
ｃからはそれぞれ電気的に１２０°の位相差を持つＵ，
Ｖ，Ｗの波形が出力され、速度・位置検出用フォト・イ
ンタラプタ１ａ，１ｂからは電気的に９０°の位相差を
持つＡ相，Ｂ相が出力される（（ｃ）参照）。このＡ相
パルスをカウントすることによりリニヤ同期モータ４の
移動量が検出できるので、絶対位置を検出する別のセン
サ（図示されていない）と組み合わせればリニヤ同期モ
ータ４の位置検出が可能になる。また、単位時間のＡ相
パルスをカウントすることにより移動速度を検出するこ
とができる。Ｂ相パルスはＡ相パルスといずれが先に立
ち上がるかで移動方向を検出するのに使用される。
せると磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２
ｃからはそれぞれ電気的に１２０°の位相差を持つＵ，
Ｖ，Ｗの波形が出力され、速度・位置検出用フォト・イ
ンタラプタ１ａ，１ｂからは電気的に９０°の位相差を
持つＡ相，Ｂ相が出力される（（ｃ）参照）。このＡ相
パルスをカウントすることによりリニヤ同期モータ４の
移動量が検出できるので、絶対位置を検出する別のセン
サ（図示されていない）と組み合わせればリニヤ同期モ
ータ４の位置検出が可能になる。また、単位時間のＡ相
パルスをカウントすることにより移動速度を検出するこ
とができる。Ｂ相パルスはＡ相パルスといずれが先に立
ち上がるかで移動方向を検出するのに使用される。
【００１６】一方磁極検出用フォト・インタラプタ２
ａ，２ｂ，２ｃについては可動部に３相の電機子巻線を
持ち、固定側に永久磁石を配置したリニヤ同期モータ４
を例にして図２を用いて説明する。この図２において、
３相交流電流は、リニヤ同期モータ４の移動方向を紙面
に向かって左から右方向にするために、Ｕ，Ｗ，Ｖの順
にされており、Ｗ，Ｖ相が逆接続されている。これを
Ｕ，Ｖ，Ｗ順にすれば移動方向は紙面に向かって右から
左方向になる。図中Ｎ，Ｓは永久磁石の磁極で電気的に
１８０°ピッチで配置されており、ｕ，ｖ，ｗはｕ相，
ｖ相，ｗ相電機子巻線を示す。各相の巻線は電気的に２
４０°の幅の中で往復導体の最内側が近接して順次外側
に重ねて長円形平板を形成するように巻かれており、各
相共に長円形平板の独立巻線になっている。そして、
ｕ，ｖ，ｗ相が順次電気的に１２０°ずつ重なって配置
されている。この構成で、Ｕ，Ｗ，Ｖ相の交流電流が印
加され、例えば固定永久磁石Ｎ，Ｓ極と電機子巻線ｕ，
ｖ，ｗ相の関係位置が１Ｐの場合に、0fに相当する電流
を通電すると、ｕ相は最大値Ｉm が巻線の断面で見ると
左側に紙面の表面から裏面に向かって流れ、右側は同じ
最大値Ｉm が紙面の裏面から表面に向かって流れる。ｖ
相、およびｗ相は１／２Ｉm が巻線の断面で見ると左側
に紙面の裏面から表面に向かって流れ、右側は同じ１／
２Ｉm が紙面の表面から裏面に向かって流れる。その結
果、電機子巻線にはｎ，ｓ磁極が発生するのでＮ，Ｓ固
定磁極との間でＮ，ｎは反発し、ｎ，Ｓは吸引する。従
って電機子は紙面の向かって左から右に移動する。この
移動の速度は固定磁極ピッチτp ×２×交流電流の周波
数ｆで現される。
ａ，２ｂ，２ｃについては可動部に３相の電機子巻線を
持ち、固定側に永久磁石を配置したリニヤ同期モータ４
を例にして図２を用いて説明する。この図２において、
３相交流電流は、リニヤ同期モータ４の移動方向を紙面
に向かって左から右方向にするために、Ｕ，Ｗ，Ｖの順
にされており、Ｗ，Ｖ相が逆接続されている。これを
Ｕ，Ｖ，Ｗ順にすれば移動方向は紙面に向かって右から
左方向になる。図中Ｎ，Ｓは永久磁石の磁極で電気的に
１８０°ピッチで配置されており、ｕ，ｖ，ｗはｕ相，
ｖ相，ｗ相電機子巻線を示す。各相の巻線は電気的に２
４０°の幅の中で往復導体の最内側が近接して順次外側
に重ねて長円形平板を形成するように巻かれており、各
相共に長円形平板の独立巻線になっている。そして、
ｕ，ｖ，ｗ相が順次電気的に１２０°ずつ重なって配置
されている。この構成で、Ｕ，Ｗ，Ｖ相の交流電流が印
加され、例えば固定永久磁石Ｎ，Ｓ極と電機子巻線ｕ，
ｖ，ｗ相の関係位置が１Ｐの場合に、0fに相当する電流
を通電すると、ｕ相は最大値Ｉm が巻線の断面で見ると
左側に紙面の表面から裏面に向かって流れ、右側は同じ
最大値Ｉm が紙面の裏面から表面に向かって流れる。ｖ
相、およびｗ相は１／２Ｉm が巻線の断面で見ると左側
に紙面の裏面から表面に向かって流れ、右側は同じ１／
２Ｉm が紙面の表面から裏面に向かって流れる。その結
果、電機子巻線にはｎ，ｓ磁極が発生するのでＮ，Ｓ固
定磁極との間でＮ，ｎは反発し、ｎ，Ｓは吸引する。従
って電機子は紙面の向かって左から右に移動する。この
移動の速度は固定磁極ピッチτp ×２×交流電流の周波
数ｆで現される。
【００１７】従って、１サイクルの移動量は電気的に２
×τp ×１＝３６０°となる。図中の1/6f, および2/6f
は、電気的に1/6 サイクル（＝６０°）進んだ時点の交
流電流の瞬時値を示し、スタート時から1/6 サイクル毎
に移動量＝２×τp ×１／６サイクル＝６０°を移動さ
せて、そのときの２Ｐ，３Ｐの位置での交流電流の瞬時
値が電機子巻線上に発生させる磁極ｎ，ｓを表した図で
ある。この1/6f, および2/6fにおいても電機子巻線の
ｎ，ｓ磁極はＮ，Ｓ固定磁極との間でＮ，ｎは反発し、
ｎ，Ｓは吸引して電機子は紙面の向かって左から右に継
続して移動することが判る。以下3/6f,4/6f,5/6f,6/6f
についても同様に電機子巻線のｎ，ｓ磁極が順次移動し
ながら発生しＮ，Ｓ固定磁極との間で反発と吸引を繰り
返して、電機子は紙面の向かって左から右に継続して移
動するが、詳細は省略する。
×τp ×１＝３６０°となる。図中の1/6f, および2/6f
は、電気的に1/6 サイクル（＝６０°）進んだ時点の交
流電流の瞬時値を示し、スタート時から1/6 サイクル毎
に移動量＝２×τp ×１／６サイクル＝６０°を移動さ
せて、そのときの２Ｐ，３Ｐの位置での交流電流の瞬時
値が電機子巻線上に発生させる磁極ｎ，ｓを表した図で
ある。この1/6f, および2/6fにおいても電機子巻線の
ｎ，ｓ磁極はＮ，Ｓ固定磁極との間でＮ，ｎは反発し、
ｎ，Ｓは吸引して電機子は紙面の向かって左から右に継
続して移動することが判る。以下3/6f,4/6f,5/6f,6/6f
についても同様に電機子巻線のｎ，ｓ磁極が順次移動し
ながら発生しＮ，Ｓ固定磁極との間で反発と吸引を繰り
返して、電機子は紙面の向かって左から右に継続して移
動するが、詳細は省略する。
【００１８】上記において、固定磁極と電機子巻線との
位置関係が１Ｐの場合、スタート時にｕ相は最大値Ｉm
を、ｖ相、およびｗ相はｕ相とは反対方向の１／２Ｉm
を通電することで以下交流電流の変化に従って円滑にリ
ニヤ同期モータを移動させることができる。なお、固定
磁極と電機子巻線との位置関係がスタート時に２Ｐ、ま
たは３Ｐの場合，電機子巻線の各相に通電する電流はそ
れぞれ1/6f, および2/6fの瞬時値に相当する値にするこ
とで以下交流電流の変化に従って円滑にリニヤ同期モー
タを移動させることができる。上記のように固定磁極と
電機子巻線との位置関係を検出することは、円滑にリニ
ヤ同期モータを移動させるために必要であり、そのため
に磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２ｃが
使用される。
位置関係が１Ｐの場合、スタート時にｕ相は最大値Ｉm
を、ｖ相、およびｗ相はｕ相とは反対方向の１／２Ｉm
を通電することで以下交流電流の変化に従って円滑にリ
ニヤ同期モータを移動させることができる。なお、固定
磁極と電機子巻線との位置関係がスタート時に２Ｐ、ま
たは３Ｐの場合，電機子巻線の各相に通電する電流はそ
れぞれ1/6f, および2/6fの瞬時値に相当する値にするこ
とで以下交流電流の変化に従って円滑にリニヤ同期モー
タを移動させることができる。上記のように固定磁極と
電機子巻線との位置関係を検出することは、円滑にリニ
ヤ同期モータを移動させるために必要であり、そのため
に磁極検出用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２ｃが
使用される。
【００１９】
【実施例】図３はこの発明の実施例の主要部の構成図を
示す。この図３において、矩形状のスリット板３０は透
明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており３０ａ
は磁極検出用透過部を、３０ｂは速度・位置検出用透過
部を示す。図４はこの発明の別の実施例の主要部の構成
図を示す。この図４において、矩形状のスリット板３０
０は透明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており
３０ａは磁極検出用透過部を、３０ｂは速度・位置検出
用透過部を示す。また長手方向の先後端はフォト・イン
タラプタに進入する際の衝突を防止するために台形状に
形成されている。
示す。この図３において、矩形状のスリット板３０は透
明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており３０ａ
は磁極検出用透過部を、３０ｂは速度・位置検出用透過
部を示す。図４はこの発明の別の実施例の主要部の構成
図を示す。この図４において、矩形状のスリット板３０
０は透明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており
３０ａは磁極検出用透過部を、３０ｂは速度・位置検出
用透過部を示す。また長手方向の先後端はフォト・イン
タラプタに進入する際の衝突を防止するために台形状に
形成されている。
【００２０】図５はこの発明の他の実施例の主要部の構
成図を示す。この図５において、リニヤ同期モータに取
り付けられてリニヤ同期モータと共に移動するスリット
板３０、または３００はリニヤ同期モータと略同じ長さ
でありそれ以上の移動距離が必要な場合は速度・位置検
出用フォト・インタラプタ１ａ，１ｂ、および磁極検出
用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２ｃとは別の速度
・位置検出用フォト・インタラプタ１０ａ，１０ｂ、お
よび磁極検出用フォト・インタラプタ２０ａ，２０ｂ，
２０ｃをスリット板３０、または３００の長さより短い
長さの間隔で離して配置することにより、リニヤ同期モ
ータの長さ以上の長さの移動範囲に渡って位置、および
磁極の検出が可能になる。
成図を示す。この図５において、リニヤ同期モータに取
り付けられてリニヤ同期モータと共に移動するスリット
板３０、または３００はリニヤ同期モータと略同じ長さ
でありそれ以上の移動距離が必要な場合は速度・位置検
出用フォト・インタラプタ１ａ，１ｂ、および磁極検出
用フォト・インタラプタ２ａ，２ｂ，２ｃとは別の速度
・位置検出用フォト・インタラプタ１０ａ，１０ｂ、お
よび磁極検出用フォト・インタラプタ２０ａ，２０ｂ，
２０ｃをスリット板３０、または３００の長さより短い
長さの間隔で離して配置することにより、リニヤ同期モ
ータの長さ以上の長さの移動範囲に渡って位置、および
磁極の検出が可能になる。
【００２１】
【発明の効果】この発明によれば、チェーン、およびチ
ェーンスプロケットのような機械部品が不要になるので
装置の小型化になるとともに、磁極検出により円滑に起
動できる効果がある。また、スリット板の光の透過部を
切り欠きから透明板にすること、および先後端を台形に
することにより移動時のセンサへの引っ掛かりが無くな
る効果がある。
ェーンスプロケットのような機械部品が不要になるので
装置の小型化になるとともに、磁極検出により円滑に起
動できる効果がある。また、スリット板の光の透過部を
切り欠きから透明板にすること、および先後端を台形に
することにより移動時のセンサへの引っ掛かりが無くな
る効果がある。
【図１】この発明の実施の形態の主要部分で（ａ）は側
面図、（ｂ）はスリット板とフォト・インタラプタとの
配置図、（ｃ）はエンコーダの出力波形図
面図、（ｂ）はスリット板とフォト・インタラプタとの
配置図、（ｃ）はエンコーダの出力波形図
【図２】リニヤ同期モータの動作説明図
【図３】この発明の実施例の主要部分の構成図
【図４】この発明の別の実施例の主要部分の構成図
【図５】この発明の他の実施例の主要部分の構成図
【図６】従来例の構成図
１ 速度・位置検出用フォト・インタラプタ １ａ，１０ａ Ａ相パルス用フォト・インタラプタ １ｂ，１０ｂ Ｂ相パルス用フォト・インタラプタ ２ 磁極検出用フォト・インタラプタ ２ａ，２０ａ ｕ相磁極検出用フォト・インタラプタ ２ｂ，２０ｂ ｖ相磁極検出用フォト・インタラプタ ２ｃ，２０ｃ ｗ相磁極検出用フォト・インタラプタ ３，３０ スリット板 ３００ スリット板 ４ リニヤ同期モータ ５ 取付板
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 31/12 Ｈ０１Ｌ 31/12 Ｄ Ｈ０２Ｐ 5/00 １０１ Ｈ０２Ｐ 5/00 １０１Ｂ // Ｈ０２Ｋ 11/00 Ｈ０２Ｋ 41/02 Ｚ 41/02 11/00 Ｃ
Claims (4)
- 【請求項１】リニヤモータの位置の検出信号を発信する
ようにしたリニヤモータのエンコーダにおいて、位置検
出部は、リニヤモータの可動部に取り付けられ、リニヤ
モータの進行方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定
のピッチで光を透過する透過部、および遮光部を交互に
有し、他辺の略全長に渡って、リニヤモータの磁極のピ
ッチ毎に、１磁極の長さより長い光の透過部、および透
過部以外の部分に遮光部を有する短冊型のスリット板
と、投光部および受光部をそれぞれ備えスリット板の磁
極検出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と同数の磁極
検出用フォト・インタラプタと、投光部および受光部を
それぞれ備えスリット板の位置検出側に配置した電気的
に９０°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプ
タとで構成することを特徴とするリニヤモータのエンコ
ーダ。 - 【請求項２】請求項１記載のリニヤモータのエンコーダ
において、スリット板は、光を透過する板に、透過部を
形成する部分以外の部分に遮光膜を設けて構成したこと
を特徴とするリニヤモータのエンコーダ。 - 【請求項３】請求項１または請求項２に記載のリニヤモ
ータのエンコーダにおいて、スリット板は、長手方向の
両端部が台形を形成するようにコーナー部を切り落とし
たことを特徴とするリニヤモータのエンコーダ。 - 【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれかに記載
のリニヤモータのエンコーダにおいて、リニヤモータの
可動部に取付けられたスリット板長さ以上の長さの移動
範囲に、所定のピッチで磁極検出用、および速度・位置
検出用フォト・インタラプタを設けて、スリット板長さ
以上の長さに渡って検出信号が発信できるようにしたこ
とを特徴とするリニヤモータのエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16651596A JPH109896A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | リニヤモータのエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16651596A JPH109896A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | リニヤモータのエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109896A true JPH109896A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15832758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16651596A Withdrawn JPH109896A (ja) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | リニヤモータのエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH109896A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6998014B2 (en) | 2002-01-26 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for plasma assisted deposition |
| US7094685B2 (en) | 2002-01-26 | 2006-08-22 | Applied Materials, Inc. | Integration of titanium and titanium nitride layers |
| EP1744435A3 (de) * | 2003-08-18 | 2007-04-18 | Vorwerk & Co. Interholding GmbH | Reluktanzmotor |
| JP2010234840A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kyosan Electric Mfg Co Ltd | 列車位置検出システム |
| CN102364306A (zh) * | 2010-06-18 | 2012-02-29 | 循环工程株式会社 | 使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统 |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP16651596A patent/JPH109896A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6998014B2 (en) | 2002-01-26 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for plasma assisted deposition |
| US7094685B2 (en) | 2002-01-26 | 2006-08-22 | Applied Materials, Inc. | Integration of titanium and titanium nitride layers |
| US7473638B2 (en) | 2002-01-26 | 2009-01-06 | Applied Materials, Inc. | Plasma-enhanced cyclic layer deposition process for barrier layers |
| US7732325B2 (en) | 2002-01-26 | 2010-06-08 | Applied Materials, Inc. | Plasma-enhanced cyclic layer deposition process for barrier layers |
| EP1744435A3 (de) * | 2003-08-18 | 2007-04-18 | Vorwerk & Co. Interholding GmbH | Reluktanzmotor |
| JP2010234840A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kyosan Electric Mfg Co Ltd | 列車位置検出システム |
| CN102364306A (zh) * | 2010-06-18 | 2012-02-29 | 循环工程株式会社 | 使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统 |
| CN102364306B (zh) * | 2010-06-18 | 2015-05-20 | 循环工程株式会社 | 使用编码器反馈、误差映射以及气压控制的误差补偿系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040105 |