JPH109916A

JPH109916A - 超音波式流量計

Info

Publication number: JPH109916A
Application number: JP8165684A
Authority: JP
Inventors: Motoyuki Nawa; 基之名和; Yukio Nagaoka; 行夫長岡; Kenzo Ochi; 謙三黄地; Yukinori Ozaki; 行則尾崎
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-06-26
Filing date: 1996-06-26
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】遮断機能付超音波流量計をコンパクトな構成
にする。【解決手段】矩形断面を有する流量測定部６と、流量
測定部６に配置された第一および第二の超音波振動子
７、８と、振動子７、８からの信号を基に流量を算出す
る流量演算部２８と、流量測定部６の上流側に直管状に
配置された流量制御弁１１と、流量制御弁１１の駆動部
１３と、駆動部１３の制御部２６と、流量制御弁１１と
流量測定部６との間に配置された整流部２７から構成さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流れの遮断機能を
有する超音波流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の計測装置として、図１２
に示すように、ガスの入口流路１と、出口流路２との間
に斜め方向に超音波流量計測部３を設け、入口流路１と
超音波流量計測部３との間に圧力調整器４、遮断弁５を
配置したものがあった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この場
合遮断弁５の構造およびそれに伴う全体の配置構成の関
係上、コンパクトな構成を取ることができないものであ
った。

【０００４】本発明は上記課題を解決するもので、流量
制御弁、流量計測部を直管状に配置することにより全体
をコンパクトな構成にすることを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の超音波流量計に
おいては、矩形断面を有する流量測定部に配置された第
一の超音波振動子および第二の超音波振動子と、超音波
振動子からの信号を基に流量を算出する流量演算部と、
流量測定部の上流側に直管状に配置された流量制御弁
と、流量制御弁の駆動部と、駆動部の制御部と、流量制
御弁と流量測定部との間に配置された整流部とを備えて
いる。

【０００６】この本発明によれば、コンパクトな構成で
流量計測ならびに流れ遮断制御を行うことができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明は上記目的を達成するため
に、矩形断面を有する流量測定部と、前記流量測定部に
配置された第一および第二の超音波振動子と、前記振動
子からの信号を基に流量を算出する流量演算部と、前記
流量測定部の上流側に直管状に配置された流量制御弁
と、前記流量制御弁の駆動部と、前記駆動部の制御部
と、前記流量制御弁と前記流量測定部との間に配置され
た整流部からなる様構成したものである。

【０００８】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部に配置された第一および第二の超音波振動
子と、前記振動子からの信号を基に流量を算出する流量
演算部と、前記流量測定部の上流側に配置され、固定開
口板と、摺動開口板と、前記摺動開口板と前記固定開口
板の密着性を高める押圧部材より構成された流量制御弁
と、前記流量制御弁の駆動ソレノイドと、前記駆動ソレ
ノイドの制御部と、前記流量制御弁と前記流量測定部と
の間に配置された整流部からなる様構成したものであ
る。

【０００９】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部に配置された第一および第二の超音波振動
子と、前記振動子からの信号を基に流量を算出する流量
演算部と、前記流量測定部の上流側に配置され、固定開
口板と、摺動開口板と、前記摺動開口板と前記固定開口
板の密着性を高める押圧部材と、前記押圧部材と前記摺
動開口板との間に配置した滑り部材より構成された流量
制御弁と、前記流量制御弁の駆動ソレノイドと、前記駆
動ソレノイドの制御部と、前記流量制御弁と前記流量測
定部との間に配置された整流部からなる様構成したもの
である。

【００１０】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部に配置された第一および第二の超音波振動
子と、前記振動子からの信号を基に流量を算出する流量
演算部と、前記流量測定部の上流側に配置され、第一の
永久磁石を配置した固定開口板と、第二の永久磁石を配
置した摺動開口板と、前記摺動開口板と前記固定開口板
の密着性を高める押圧部材より構成された流量制御弁
と、前記流量制御弁の駆動ソレノイドと、前記駆動ソレ
ノイドの制御部と、前記流量制御弁と前記流量測定部と
の間に配置された整流部からなる様構成したものであ
る。

【００１１】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部に配置された第一および第二の超音波振動
子と、前記振動子からの信号を基に流量を算出する流量
演算部と、前記流量測定部の上流側に配置され、固定開
口板と、摺動開口板と、前記摺動開口板と前記固定開口
板の密着性を高める押圧部材より構成された流量制御弁
と、前記流量制御弁の駆動モータと、前記駆動モータの
制御部と、前記流量制御弁と前記流量測定部との間に配
置された整流部からなる様構成したものである。

【００１２】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部に配置された第一および第二の超音波振動
子と、前記振動子からの信号を基に流量を算出する流量
演算部と、前記流量測定部の下流側に直管状に配置され
た流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動部と、前記駆動
部の制御部からなる様構成したものである。

【００１３】また、矩形断面を有する流量測定部と、前
記流量測定部の流路外部に配置された第一および第二の
超音波振動子と、前記振動子からの信号を基に流量を算
出する流量演算部と、前記流量測定部の下流側に直管状
に配置された流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動部
と、前記駆動部の制御部からなる様構成したものであ
る。

【００１４】本発明は上記した構成により、コンパクト
な構成で流量計測及び遮断制御を行うことができるもの
である。

【００１５】（実施例１）以下、本発明の第１の実施例
を図１、２、３、４、５及び６を参照しながら説明す
る。

【００１６】図１において、６は流量測定部であり、７
は流量測定部６の一方の側に配置された第一の超音波振
動子であり、８は流量測定部６の他方の側に配置された
第二の超音波振動子である。

【００１７】９は固定開口板、１０は摺動開口板であ
り、固定開口板９と摺動開口板１０より流量制御弁１１
が構成されている。１２は摺動開口板１０を固定開口板
９に押圧するバネ（押圧部材）である。１３はソレノイ
ド（駆動部）であり、１４はプランジャ、１５はコイ
ル、１６は永久磁石である。プランジャ１４はスプリン
グ受け１７、軸１８と一体構造となっている。１９はヨ
ークであり、２０はスプリングである。軸１８は摺動開
口板１０に固定されている。２１は軸１８の摺動に対し
て内外の流体漏洩を防ぐＯリングである。２２はコイル
１５のリード線である。２３は固定開口板９、摺動開口
板１０を収納するための凹部である。２４は管路、２５
は管路２４に取付けられた感震センサ、２６はソレノイ
ド１３の制御部である。２７は整流部であり、例えばス
トレーナ、メッシュ等で構成される。２８は流量演算部
である。また、流量制御弁１１、整流部２７、流量測定
部６は直管状に配列されている。

【００１８】図２において、（ａ）は固定開口板９を示
しており、２９ａ、２９ｂ、２９ｃ及び２９ｄはその開
口部である。また、（ｂ）は摺動開口板１０を示してお
り、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ及び３０ｄは開口部であ
り、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄは閉止部であ
る。

【００１９】図３は図１のＡ−Ａ’線断面を示したもの
である。３２はバネ１２の固定部であり、図４は図１の
Ｂ−Ｂ’線断面を示したものである。

【００２０】また、図５は流量演算部２８の制御ブロッ
ク図である。図５において、３３は第一の超音波振動子
７、および第二の超音波振動子８からの信号を受けて流
量演算を行う流量演算部である。３４はスタート信号発
生部、３５は送信部、３６は受信部、３７は切換部であ
る。送信部３５はトリガ信号発生部３８、および発振部
３９から成立っている。受信部３６は受信信号の増幅部
４０、および基準値との比較部４１から成立っている。
４２は繰返し部、４３は計時部、４４は演算部である。

【００２１】次に作動を述べる。通常の計測動作時にお
いて、流量制御弁１１は、図１に示すごとく、摺動開口
板１０の開口部３０ａ、３０ｂ、３０ｃ及び３０ｄが、
固定開口板９の開口部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ及び２９
ｄと一致した状態にある。

【００２２】このとき、図１において矢印ａの方向より
流入した流れは流量制御弁１１を経た後、整流部２７に
より計測に適合するような状態の流れに整流され、流量
測定部６を経て、計測対象（図示せず）に向かって矢印
ｂのごとく流出する。

【００２３】このような状態でスタート信号発生部３４
から信号が入ると、トリガ信号発生部３８が働き、発振
部３９により信号が切換部３７に送られる。この切換部
３７は、当初は第一の超音波振動子７に送信部３５が、
第二の超音波振動子８に受信部３６が接続される様設定
されている。従って、上記トリガ信号により第一の超音
波振動子７より超音波信号が流量測定部６内に発せられ
る。

【００２４】この信号は第２の超音波振動子８により受
けられ、増幅部４０により増幅され、比較部４１にて基
準信号と比較される。この過程は繰返し部４２で設定さ
れた回数だけ行われた後、計時部４３に信号を送る。計
時部４３では、トリガ信号発生からこのとき送られた信
号までの経過時間（Ｔ１）を計時する。また、一方、所
定の回数の繰返しが終了すると、繰返し部４２より切換
え部３７へ信号が送られ、送信部３５を第２の超音波振
動子８に、受信部３６を第１の超音波振動子７に接続す
る。また、これと同時に再度トリガ信号発生部３８への
駆動信号も送られる。

【００２５】これにより、上記と同様の動作が流れと逆
方向に対して行われ、経過時間（Ｔ２）が計測される。
このようにして測定された経過時間Ｔ１およびＴ２をも
とに以下の演算式により演算部４４にて流量が算出され
る。まず、流速ｖが次式で求められる。

【００２６】ｖ＝（Ｌ／２ｃｏｓθ）（（１／Ｔ１）−
（１／Ｔ２））ただし、ここでθは流れと超音波伝搬経路とのなす角で
あり、Ｌは流量測定部の長さである。

【００２７】次に、流量Ｑはこの流速ｖに流量測定部６
の断面積ｓを乗じて算出される。Ｑ＝ｋｖｓただし、ここでｋは測定流速ｖを測定断面内の平均流速
に換算するための補正係数である。また、上記説明でＴ
１およびＴ２の計測は繰返し行ったが、精度の良い計測
が行われる場合は一回でも良い。

【００２８】次に配管部２４における感震センサ２５が
何らかの異常、例えば地震による異常振動を検知すると
ソレノイド１３の制御部２６が作動し、ソレノイド１３
を駆動する。これにより摺動開口板１０は図６に示すご
とく、摺動開口板１０の閉止部３１ａ、３１ｂ、３１ｃ
及び３１ｄが固定開口板９の開口部２９ａ、２９ｂ、２
９ｃ及び２９ｄを閉止する。これにより、図１におい
て、矢印ａ方向より流入する流れは流量制御弁１１にて
閉止される。

【００２９】このように、矩形状流量測定部６に、固定
開口板９と摺動開口板１０とにより形成された流量制御
弁１１を組合わせ、その間に整流部を配置することによ
り、全体の流路を直管状になるごとく構成でき、流量計
全体をコンパクトにすることができる。また、流量制御
弁を摺動型にして、ソレノイド駆動とすることにより、
流れ方向の長さを短くすることができ、よりコンパクト
な流量計を構成することができる。

【００３０】（実施例２）次に本発明の第２の実施例を
図７を参照しながら説明する。図７において、４５は滑
り部材である。なお、上記以外は第一の実施例と同じゆ
え、同一番号で示してある。

【００３１】次に作動を述べる。この実施例の場合は、
滑り部材４５が摺動開口板１０とバネ１２との間に配置
されて動作すること以外は第１の実施例と同じである。
本実施例によれば、摺動開口板１０とバネ１２との間に
滑り部材４５を配置することにより、摺動開口板１０の
摺動時における摩擦を少なくし、流量制御弁１１の動作
信頼性を向上させることができる。

【００３２】（実施例３）次に第３の実施例を図８を参
照しながら説明する。図８（ａ）において、固定開口板
９は、開口部２９ａ、２９ｂ、２９ｃ及び２９ｄの両側
に永久磁石４６ａ、４６ｂ、４６ｃ及び４６ｄ並びに４
７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び４７ｄを有している。また、
図８（ｂ）において、摺動開口板１０は閉止部３１ａ、
３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄの両側に永久磁石４８ａ、４
８ｂ、４８ｃ及び４８ｄ並びに４９ａ、４９ｂ、４９ｃ
及び４９ｄを有している。なお、上記以外はすべて第一
の実施例と同じゆえ、省略する。

【００３３】次に作動を図１、図６を用いて説明する。
図１に示す状態においては、固定開口板９の永久磁石４
６ａ、４６ｂ、４６ｃ及び４６ｄ並びに４７ａ、４７
ｂ、４７ｃ及び４７ｄと、摺動開口板１０の永久磁石４
８ａ、４８ｂ、４８ｃ及び４８ｄ並びに４９ａ、４９
ｂ、４９ｃ及び４９ｄとは位置がずれている。次に図６
に示すごとく、摺動開口板１０が下降すると、固定開口
板９の永久磁石４６ａ、４６ｂ、４６ｃ及び４６ｄ並び
に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び４７ｄと、摺動開口板１
０の永久磁石４８ａ、４８ｂ、４８ｃ及び４８ｄ並びに
４９ａ、４９ｂ、４９ｃ及び４９ｄとの位置が一致し、
摺動開口板１０は固定開口板９に密着する。これにより
流量制御弁１１の閉止性能が、より保証されるものであ
る。

【００３４】（実施例４）次に第４の実施例を図９を参
照しながら説明する。図９において、５０は駆動モータ
である。５１はコイル、５２は永久磁石で形成されたロ
ータである。５３は上部軸、５４は下部軸である。上部
軸５３、および下部軸５４はいずれもねじ状に形成され
ている。また、下部軸５４は摺動開口板１０に回転可能
に取付けられている。５５、５６はねじ状ボールベアリ
ングであり、上部軸５３、および下部軸５４の回転によ
り、上部軸５３、下部軸５４を移動可能にしている。５
７はケーシングである。５８は駆動モータ５０のリード
線、５９は駆動モータ５０の制御部である。なお、上記
以外はすべて第一の実施例と同じゆえ、省略する。

【００３５】次に作動を述べる。今、配管部２４におけ
る感震センサ２５が何らかの異常、例えば地震による異
常振動を検知すると制御部５９が作動し、駆動モータ５
０を駆動する。これにより摺動開口板１０は図６と同様
の状態になり、摺動開口板１０の閉止部３１ａ、３１
ｂ、３１ｃ、３１ｄが固定開口板９の開口部２９ａ、２
９ｂ、２９ｃ、２９ｄを閉止する。これにより、矢印ａ
方向より流入する流れは流量制御弁１１にて閉止され
る。本実施例によれば、流量制御弁をモータ駆動とし、
摺動型構造とすることにより、流れ方向の長さを短くす
ることができ、よりコンパクトな流量計を作成すること
ができる。

【００３６】（実施例５）次に第５の実施例を図１０を
参照しながら説明する。図１０において、６０は流量測
定部であり、６１は流量測定部６０の一方の側に配置さ
れた第一の超音波振動子であり、６２は流量測定部６０
の他方の側に配置された第二の超音波振動子である。６
３は固定開口板、６４は摺動開口板であり、固定開口板
６３と摺動開口板６４より流量制御弁６５が構成されて
いる。６６は摺動開口板６４を固定開口板６３に押圧す
るバネ（押圧部材）である。６７はソレノイド（駆動
部）であり、６８はプランジャ、６９はコイル、７０は
永久磁石である。プランジャ６８はスプリング受け７
１、軸７２と一体構造となっている。７３はヨークであ
り、７４はスプリングである。軸７２は摺動開口板６４
に固定されている。７５は軸７２の摺動に対して測定流
体の漏洩を防ぐＯリングである。７６はコイル６９のリ
ード線である。７７は固定開口板６３、摺動開口板６４
を収納するための凹部である。７８は管路７９に取付け
られたセンサ、８０はソレノイド６７の制御部である。
８１は流量演算部である。上記により、流量制御弁６
５、流量測定部６０は直管状に配列されている。なお、
信号処理の流れは図５と同様である。

【００３７】次に作動を述べる。通常の計測動作時にお
いては、摺動開口板６４の開口部３０ａ、３０ｂ、３０
ｃ及び３０ｄが、固定開口板６３の開口部２９ａ、２９
ｂ、２９ｃ及び２９ｄと一致した状態にある。このと
き、図１０において矢印ａの方向より流入した流れは流
量測定部６０を経た後、流量制御弁６５を経て、利用さ
れる対象（図示せず）に向かって矢印ｂのごとく流出す
る。なお、信号処理は第１の実施例と同じである。

【００３８】次に配管部７９における感震センサ７８が
何らかの異常を検知すると制御部８０が作動し、ソレノ
イド６７を駆動する。これにより摺動開口板６４は上方
へ移動し、摺動開口板６４の閉止部３１ａ、３１ｂ、３
１ｃ及び３１ｄが固定開口板９の開口部２９ａ、２９
ｂ、２９ｃ及び２９ｄを閉止する。これにより、図１０
において、矢印ａ方向より流入する流れは流量制御弁６
５にて閉止される。このように、流量制御弁６５を流量
測定部６０の下流側に配置することにより、整流部を必
要とすることなく遮断機能のついた超音波流量計を構成
できるため、よりコンパクトな構成にすることができる
ものである。

【００３９】（実施例６）次に第６の実施例を図１１を
参照しながら説明する。図１１において８２は流量測定
部であり、８３は流量測定部８２の一方の側に配置され
た第一の超音波振動子であり、８４は流量測定部８２の
他方の側に配置された第二の超音波振動子である。この
場合、超音波振動子８３、および８４は管路８５の外部
に取付けられている。なお、８６及び８７は音響整合層
であり、また、上記以外は第６の実施例と同じゆえ、同
一番号で示してある。

【００４０】次に作動を述べる。この場合は、超音波振
動子８３、および８４が管路８５の外部に取付けられて
いるところが第６の実施例と異なるのみで、動作は同じ
である。

【００４１】本実施例においては、超音波振動子８３お
よび８４を管外に配置することにより、測定部の気密性
を確保することができ、流れの遮断に関する信頼性を上
げることができる。また、振動子配置による流れの乱れ
を生じることが無いため、測定精度の向上を図ることが
できる。

【００４２】なお、本発明における信号処理は１チップ
マイコン等のマイクロコンピュータを用いて、ソフトウ
エア的に実現することも可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば次の効果が
得られる。

【００４４】（１）矩形状流量測定部と流量制御弁との
間に整流部を配置することにより、全体の流路構成を直
管状になるごとく構成でき、流量計全体をコンパクトな
構成にすることができる。

【００４５】（２）流量制御弁をソレノイド駆動とし、
弁を固定開口板と摺動開口板による摺動型構造とするこ
とにより、流れ方向の長さを短くすることができ、より
コンパクトな流量計を作成することができる。

【００４６】（３）流量制御弁の押圧部と摺動開口板と
の間に滑り部材を配置することにより、流量制御弁の動
作信頼性を向上させることができる。

【００４７】（４）流量制御弁の固定開口板と摺動開口
板に永久磁石を配置することにより、強い閉止力を得る
ことができる。

【００４８】（５）流量制御弁をモータ駆動とし、摺動
型構造とすることにより、流れ方向の長さを短くするこ
とができ、よりコンパクトな流量計を作成することがで
きる。

【００４９】（６）流量制御弁を流量測定部の下流側に
配置することにより、流量制御弁が、流れに与える影響
を少なくし、流量測定精度の向上を図ることができる。

【００５０】（７）超音波振動子を管外に配置すること
により、流れの遮断時における信頼性を上げることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における超音波流量計の
垂直断面図

【図２】（ａ）同流量計における流量制御弁の固定開口
板の立面図（ｂ）同流量計における摺動開口板の立面図

【図３】同流量計における図１のＡ−Ａ’線断面図

【図４】同流量計における図１のＢ−Ｂ’線断面図

【図５】同流量計における流量演算部の制御ブロック図

【図６】同流量計における流量制御弁の異なる動作状態
を示す垂直断面図

【図７】本発明の第２の実施例における超音波流量計の
垂直断面図

【図８】（ａ）本発明の第３の実施例における流量制御
弁の固定開口板の立面図（ｂ）同制御弁の摺動開口板の立面図

【図９】本発明の第４の実施例における超音波流量計の
垂直断面図

【図１０】本発明の第５の実施例における超音波流量計
の垂直断面図

【図１１】本発明の第６の実施例における超音波流量計
の垂直断面図

【図１２】従来の超音波流量計の垂直断面図

【符号の説明】

６流量測定部７第一の超音波振動子８第二の超音波振動子１１流量制御弁１３駆動部２６制御部２７整流部２８流量演算部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者尾崎行則大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の上流側に直
管状に配置された流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動
部と、前記駆動部の制御部と、前記流量制御弁と前記流
量測定部との間に配置された整流部からなる超音波式流
量計。
【請求項２】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の上流側に配
置され固定開口板、摺動開口板及び前記摺動開口板と前
記固定開口板の密着性を高める押圧部材より構成された
流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動ソレノイドと、前
記駆動ソレノイドの制御部と、前記流量制御弁と前記流
量測定部との間に配置された整流部からなる超音波式流
量計。
【請求項３】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の上流側に配
置され固定開口板、摺動開口板及び前記摺動開口板と前
記固定開口板の密着性を高める押圧部材と、前記押圧部
材と前記摺動開口板との間に配置した滑り部材より構成
された流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動ソレノイド
と、前記駆動ソレノイドの制御部と、前記流量制御弁と
前記流量測定部との間に配置された整流部からなる超音
波式流量計。
【請求項４】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の上流側に配
置され第一の永久磁石を配置した固定開口板、第二の永
久磁石を配置した摺動開口板及び前記摺動開口板と前記
固定開口板の密着性を高める押圧部材より構成された流
量制御弁と、前記流量制御弁の駆動ソレノイドと、前記
駆動ソレノイドの制御部と、前記流量制御弁と前記流量
測定部との間に配置された整流部からなる超音波式流量
計。
【請求項５】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の上流側に配
置され固定開口板、摺動開口板及び前記摺動開口板と前
記固定開口板の密着性を高める押圧部材より構成された
流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動モータと、前記駆
動モータの制御部と、前記流量制御弁と前記流量測定部
との間に配置された整流部からなる超音波式流量計。
【請求項６】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部に配置された第一の超音波振動子および第二の超
音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量
を算出する流量演算部と、前記流量測定部の下流側に直
管状に配置された流量制御弁と、前記流量制御弁の駆動
部と、前記駆動部の制御部からなる超音波式流量計。
【請求項７】矩形断面を有する流量測定部と、前記流量
測定部の流路外部に配置された第一の超音波振動子およ
び第二の超音波振動子と、前記超音波振動子からの信号
を基に流量を算出する流量演算部と、前記流量測定部の
下流側に直管状に配置された流量制御弁と、前記流量制
御弁の駆動部と、前記駆動部の制御部からなる超音波式
流量計。