JPH1099765A - 回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機 - Google Patents
回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機Info
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- JPH1099765A JPH1099765A JP25599596A JP25599596A JPH1099765A JP H1099765 A JPH1099765 A JP H1099765A JP 25599596 A JP25599596 A JP 25599596A JP 25599596 A JP25599596 A JP 25599596A JP H1099765 A JPH1099765 A JP H1099765A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 回収塗液の物性の経時変化を調整して塗液の
再利用性を向上させる回収塗液の調整方法及びこの方法
を実現するための回収塗液の調整装置を提供する。 【解決手段】 使用された塗液を回収して予め用意され
た塗液と混合するようにし、さらに、この混合された塗
液の濃度又は粘度を所定値に調整することを特徴とする
回収塗液の調整方法、混合槽(5)に使用された塗液を
回収するための機構、混合槽(5)内の塗液を循環する
ための流路(7)、流路(7)内に設けられた循環ポン
プ(8)及びプロセス粘度計(10)、混合槽(5)に
温度補正式プロセス粘度計(10)と連動してその粘度
計(10)により示される粘度が所定値になるように補
正液を供給するための機構を設けてなる回収塗液の調整
装置並びに前記回収塗液の調整装置を備えて成る塗工
機。
再利用性を向上させる回収塗液の調整方法及びこの方法
を実現するための回収塗液の調整装置を提供する。 【解決手段】 使用された塗液を回収して予め用意され
た塗液と混合するようにし、さらに、この混合された塗
液の濃度又は粘度を所定値に調整することを特徴とする
回収塗液の調整方法、混合槽(5)に使用された塗液を
回収するための機構、混合槽(5)内の塗液を循環する
ための流路(7)、流路(7)内に設けられた循環ポン
プ(8)及びプロセス粘度計(10)、混合槽(5)に
温度補正式プロセス粘度計(10)と連動してその粘度
計(10)により示される粘度が所定値になるように補
正液を供給するための機構を設けてなる回収塗液の調整
装置並びに前記回収塗液の調整装置を備えて成る塗工
機。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ作
製用塗液等の塗液のための回収塗液の調整方法、回収塗
液の調整装置及び塗工機に関する。
製用塗液等の塗液のための回収塗液の調整方法、回収塗
液の調整装置及び塗工機に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶セル用のカラーフィルタ等の微細な
パターンを着色塗液を用いた薄膜技術により形成する場
合、従来は着色塗液はスピンコート法により塗布するこ
とが行われていたが、この方法は塗布膜厚を均一に所要
通り制御できるが、塗液の大部分が飛散し、回収再使用
できないため塗液の利用率が悪いという難点があった。
これに対して、ロールコート法、バーコート法、リップ
コート法により塗布することも行われていたが、これら
の方法は塗液の利用率を上げることができるが、塗布作
業中に塗液の物性、特に溶剤の蒸発等によって濃度が経
時変化するという難点があった。このように一般に回収
塗液の再利用を考えた場合、回収塗液の濃度、粘度等の
物性の経時変化に対処することが必要である。
パターンを着色塗液を用いた薄膜技術により形成する場
合、従来は着色塗液はスピンコート法により塗布するこ
とが行われていたが、この方法は塗布膜厚を均一に所要
通り制御できるが、塗液の大部分が飛散し、回収再使用
できないため塗液の利用率が悪いという難点があった。
これに対して、ロールコート法、バーコート法、リップ
コート法により塗布することも行われていたが、これら
の方法は塗液の利用率を上げることができるが、塗布作
業中に塗液の物性、特に溶剤の蒸発等によって濃度が経
時変化するという難点があった。このように一般に回収
塗液の再利用を考えた場合、回収塗液の濃度、粘度等の
物性の経時変化に対処することが必要である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】請求項1乃至2記載の
発明は、回収塗液の物性の経時変化を調整して塗液の再
利用性を向上させる回収塗液の調整方法を提供するもの
である。請求項3乃至5記載の発明は、上記の方法を実
現するための回収塗液の調整装置を提供するものであ
る。
発明は、回収塗液の物性の経時変化を調整して塗液の再
利用性を向上させる回収塗液の調整方法を提供するもの
である。請求項3乃至5記載の発明は、上記の方法を実
現するための回収塗液の調整装置を提供するものであ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、使用された塗
液を回収して予め用意された塗液と混合するようにし、
さらに、この混合された塗液の濃度又は粘度を所定値に
調整することを特徴とする回収塗液の調整方法に関す
る。本発明は、また、この回収塗液の調整方法におい
て、混合された塗液の濃度又は粘度の調整を、混合され
た塗液の一部を循環させ、循環路内で塗液の濃度又は粘
度を測定し、濃度又は粘度が所定の値になるように補正
液を上記の混合された塗液に混合することにより行う回
収塗液の調整方法に関する。本発明は、また、混合槽
(5)に使用された塗液を回収するための機構、混合槽
(5)内の塗液を循環するための流路(7)、流路
(7)内に設けられた循環ポンプ(8)及びプロセス粘
度計(10)、混合槽(5)に温度補正式プロセス粘度
計(10)と連動してその粘度計(10)により示され
る粘度が所定値になるように補正液を供給するための機
構を設けてなる回収塗液の調整装置に関する。
液を回収して予め用意された塗液と混合するようにし、
さらに、この混合された塗液の濃度又は粘度を所定値に
調整することを特徴とする回収塗液の調整方法に関す
る。本発明は、また、この回収塗液の調整方法におい
て、混合された塗液の濃度又は粘度の調整を、混合され
た塗液の一部を循環させ、循環路内で塗液の濃度又は粘
度を測定し、濃度又は粘度が所定の値になるように補正
液を上記の混合された塗液に混合することにより行う回
収塗液の調整方法に関する。本発明は、また、混合槽
(5)に使用された塗液を回収するための機構、混合槽
(5)内の塗液を循環するための流路(7)、流路
(7)内に設けられた循環ポンプ(8)及びプロセス粘
度計(10)、混合槽(5)に温度補正式プロセス粘度
計(10)と連動してその粘度計(10)により示され
る粘度が所定値になるように補正液を供給するための機
構を設けてなる回収塗液の調整装置に関する。
【0005】本発明は、また、この回収塗液の調整装置
において、流路(7)内にさらに濾過器(9)を設けて
なる回収塗液の調整装置に関する。本発明は、さらに、
請求項3又は4記載の回収塗液の調整装置を備えて成る
塗工機に関する。
において、流路(7)内にさらに濾過器(9)を設けて
なる回収塗液の調整装置に関する。本発明は、さらに、
請求項3又は4記載の回収塗液の調整装置を備えて成る
塗工機に関する。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて説明
する。図1は本発明に係る回収塗液の調整装置を備えた
塗工機の一例を示す系統図である。図1において、塗工
機1で使用された塗液が塗液回収用トレイ2に集めら
れ、ここから配管3等により攪拌機4が備え付けられて
いる混合槽5に回収され、混合槽5内に予め用意されて
いる塗液と混合される。塗工機1で使用された塗液が塗
液回収用トレイ2に集められ、ここから配管3等により
混合槽5に回収される機構が、混合槽5に、使用された
塗液を回収するための機構の一例である。
する。図1は本発明に係る回収塗液の調整装置を備えた
塗工機の一例を示す系統図である。図1において、塗工
機1で使用された塗液が塗液回収用トレイ2に集めら
れ、ここから配管3等により攪拌機4が備え付けられて
いる混合槽5に回収され、混合槽5内に予め用意されて
いる塗液と混合される。塗工機1で使用された塗液が塗
液回収用トレイ2に集められ、ここから配管3等により
混合槽5に回収される機構が、混合槽5に、使用された
塗液を回収するための機構の一例である。
【0007】攪拌機4は適宜設けられるが、撹拌機4で
混合槽5内の塗液6を常に攪拌していることが好まし
い。これは、混合槽5内に予め用意された塗液と塗液を
回収するための機構から送られてくる濃度、粘度等が変
化した回収塗液、さらに調整のために加えられる補正液
を速やかに混合均一化するためである。
混合槽5内の塗液6を常に攪拌していることが好まし
い。これは、混合槽5内に予め用意された塗液と塗液を
回収するための機構から送られてくる濃度、粘度等が変
化した回収塗液、さらに調整のために加えられる補正液
を速やかに混合均一化するためである。
【0008】塗液6の一部は混合槽5から流路7を経由
して混合槽5に戻るように循環させられる。流路7にお
いて、塗液6は、その途中にある循環ポンプ8に流入
し、次いで濾過器9を通過し、ここで塗液中の微細な異
物が除去されのち、温度補正式プロセス粘度計10に入
り、粘度が測定される。ここで、濾過器9の設置は好ま
しい態様である。流路7はパイプ等の配管により形成さ
れる。
して混合槽5に戻るように循環させられる。流路7にお
いて、塗液6は、その途中にある循環ポンプ8に流入
し、次いで濾過器9を通過し、ここで塗液中の微細な異
物が除去されのち、温度補正式プロセス粘度計10に入
り、粘度が測定される。ここで、濾過器9の設置は好ま
しい態様である。流路7はパイプ等の配管により形成さ
れる。
【0009】プロセス粘度計10は、ここで測られた粘
度が所定値と異なる時は、塗工機1等の塗液が使用され
るべき場所に供給されるべき塗液の粘度より低い粘度又
は高い粘度の補正液を混合槽5に供給して所定の粘度に
なるようにするための機構と連動するようになってい
る。すなわち、プロセス粘度計10により測定される粘
度が所定値より大きい場合は、所定値に達するまで上記
粘度が低い補正液が混合槽5に供給され、所定値に達し
た時点でその供給が停止される。このような補正液は、
塗液の溶剤のみでも良く、溶剤以外の組成は塗工機1等
の塗液が使用されるべき場所に供給されるべき塗液にお
ける組成と同じであって、全体の濃度が小さい又は大き
いものであっても良く、塗工機1等の塗液が使用される
べき場所で或る成分のみが特に消費又は散逸する場合
は、その成分のみが大きめの濃度とされていてもよい。
このようにして、循環流路における粘度の管理により、
塗液の濃度又は粘度の管理を行うことができる。また、
プロセス粘度計10としては、温度補正式プロセス粘度
計が好ましい。また、プロセス粘度計の代わりに濃度の
測定装置等を設置してもよい。
度が所定値と異なる時は、塗工機1等の塗液が使用され
るべき場所に供給されるべき塗液の粘度より低い粘度又
は高い粘度の補正液を混合槽5に供給して所定の粘度に
なるようにするための機構と連動するようになってい
る。すなわち、プロセス粘度計10により測定される粘
度が所定値より大きい場合は、所定値に達するまで上記
粘度が低い補正液が混合槽5に供給され、所定値に達し
た時点でその供給が停止される。このような補正液は、
塗液の溶剤のみでも良く、溶剤以外の組成は塗工機1等
の塗液が使用されるべき場所に供給されるべき塗液にお
ける組成と同じであって、全体の濃度が小さい又は大き
いものであっても良く、塗工機1等の塗液が使用される
べき場所で或る成分のみが特に消費又は散逸する場合
は、その成分のみが大きめの濃度とされていてもよい。
このようにして、循環流路における粘度の管理により、
塗液の濃度又は粘度の管理を行うことができる。また、
プロセス粘度計10としては、温度補正式プロセス粘度
計が好ましい。また、プロセス粘度計の代わりに濃度の
測定装置等を設置してもよい。
【0010】補正液を混合槽5に供給するための機構の
具体例は、補正液11の貯槽12とこの貯槽12から補
正液11が混合槽5に供給されるのを直接制御する滴下
バルブ13及び配管14である。
具体例は、補正液11の貯槽12とこの貯槽12から補
正液11が混合槽5に供給されるのを直接制御する滴下
バルブ13及び配管14である。
【0011】プロセス粘度計10と滴下バルブ13と
は、プロセス粘度計10により検知された粘度に関する
値を比較する制御系を介しこれから発せられる制御信号
によりにより滴下バルブ13の開閉が行われるように連
動する。具体的には、プロセス粘度計10における測定
値は、制御装置15に伝えられ、ここで、所定値との大
小の比較が行われ、測定値が所定値より大きい又は小さ
い場合、制御装置からバルブ開放の信号が滴下バルブ1
3に伝えられ、この結果、滴下バルブ13が開放されて
貯槽12内の補正液11が混合槽5内に導入され、プロ
セス粘度計10における測定値が所定値に達したならば
滴下バルブ13が閉じられ、補正液11の混合槽5への
導入が停止される。制御装置15は、プロセス粘度計1
0に温度センサ16が備え付けられている。制御装置1
5は、プロセス粘度計10から送られてくる温度及び粘
度の測定値(例えば、電圧値)を比較するための値に変
換する変換器、及び変換器で生成された値と所定の値を
比較し、滴下バルブ13を開閉する信号を生成する調節
器から成るようにしてもよい。この間、変換器で生成さ
れる粘度の値は塗液6の温度を例えば、25℃に補正し
た値にされる。制御装置は一つのコンピュータであって
もよい。滴下バルブ12の開閉は、一例として、30秒
だけ開き、その後5分間閉まっている状態をくり返して
行われ、この間に塗液6の粘度が所要の値になればこの
動作を停止し、閉鎖されたままにされる。
は、プロセス粘度計10により検知された粘度に関する
値を比較する制御系を介しこれから発せられる制御信号
によりにより滴下バルブ13の開閉が行われるように連
動する。具体的には、プロセス粘度計10における測定
値は、制御装置15に伝えられ、ここで、所定値との大
小の比較が行われ、測定値が所定値より大きい又は小さ
い場合、制御装置からバルブ開放の信号が滴下バルブ1
3に伝えられ、この結果、滴下バルブ13が開放されて
貯槽12内の補正液11が混合槽5内に導入され、プロ
セス粘度計10における測定値が所定値に達したならば
滴下バルブ13が閉じられ、補正液11の混合槽5への
導入が停止される。制御装置15は、プロセス粘度計1
0に温度センサ16が備え付けられている。制御装置1
5は、プロセス粘度計10から送られてくる温度及び粘
度の測定値(例えば、電圧値)を比較するための値に変
換する変換器、及び変換器で生成された値と所定の値を
比較し、滴下バルブ13を開閉する信号を生成する調節
器から成るようにしてもよい。この間、変換器で生成さ
れる粘度の値は塗液6の温度を例えば、25℃に補正し
た値にされる。制御装置は一つのコンピュータであって
もよい。滴下バルブ12の開閉は、一例として、30秒
だけ開き、その後5分間閉まっている状態をくり返して
行われ、この間に塗液6の粘度が所要の値になればこの
動作を停止し、閉鎖されたままにされる。
【0012】混合槽5には、さらに液面計17が設置さ
れていてもよい。また、混合槽5及び温度補正式プロセ
ス粘度計10には、塗液が所定温度になるように温度制
御装置(冷却装置、加熱装置又は加熱・冷却装置)を備
えていることが好ましい。混合槽5には、さらに、塗液
を再利用するために、塗工機1等の塗液が使用されるべ
き場所に供給するため、バルブ18及び供給ポンプ19
が適宜備え付けられた配管20が設置されていることが
好ましい。
れていてもよい。また、混合槽5及び温度補正式プロセ
ス粘度計10には、塗液が所定温度になるように温度制
御装置(冷却装置、加熱装置又は加熱・冷却装置)を備
えていることが好ましい。混合槽5には、さらに、塗液
を再利用するために、塗工機1等の塗液が使用されるべ
き場所に供給するため、バルブ18及び供給ポンプ19
が適宜備え付けられた配管20が設置されていることが
好ましい。
【0013】
【作用】上記構成によれば、塗工機等から回収した塗液
の濃度又は粘度を、温度補正式プロセス粘度計等の計測
器とこれと連動する補正液の供給機構により、塗液の濃
度又は粘度の変化に対して補正液を滴下バルブを開いて
間欠的に又は連続的に塗液に導入することにより塗液の
濃度又は粘度を常に所要の値に保持することができ、さ
らに、使用済み塗液を取りかえることなく回収再使用で
き、その結果、塗液の利用率が大幅に向上する。
の濃度又は粘度を、温度補正式プロセス粘度計等の計測
器とこれと連動する補正液の供給機構により、塗液の濃
度又は粘度の変化に対して補正液を滴下バルブを開いて
間欠的に又は連続的に塗液に導入することにより塗液の
濃度又は粘度を常に所要の値に保持することができ、さ
らに、使用済み塗液を取りかえることなく回収再使用で
き、その結果、塗液の利用率が大幅に向上する。
【0014】
【実施例】図1に示す装置(プロセス粘度計10として
は、温度補正式プロセス粘度計を使用した)を用い、塗
液としてカラフィルター作製用感光液からなる塗液を用
いて本発明を実施した場合の例を示す。 混合槽5内の液量:2400ml 流路7での塗液循環量:1000ml/分 塗工機1への塗液の供給量:180ml/分 塗工機1から混合槽5への塗液の回収量:179ml/分 混合槽5内の塗液の初期粘度:25.0mPa・s(25℃
補正値) 補正液(濃度以外は上記塗液と同じ組成)の粘度:20
mPa・s(25℃補正値) として、実施したところ、塗工機1から混合槽5への回
収塗液の粘度は、25.05mPa・s(25℃補正値)で
あった。
は、温度補正式プロセス粘度計を使用した)を用い、塗
液としてカラフィルター作製用感光液からなる塗液を用
いて本発明を実施した場合の例を示す。 混合槽5内の液量:2400ml 流路7での塗液循環量:1000ml/分 塗工機1への塗液の供給量:180ml/分 塗工機1から混合槽5への塗液の回収量:179ml/分 混合槽5内の塗液の初期粘度:25.0mPa・s(25℃
補正値) 補正液(濃度以外は上記塗液と同じ組成)の粘度:20
mPa・s(25℃補正値) として、実施したところ、塗工機1から混合槽5への回
収塗液の粘度は、25.05mPa・s(25℃補正値)で
あった。
【0015】この回収塗液を混合槽5に回収し続けて、
補正液の導入をしない場合、混合槽5内の塗液の粘度は
1時間後25.2mPa・s(25℃補正値)に上昇した。
しかし、温度補正式プロセス粘度計で検知される粘度が
25.1mPa・s(25℃補正値)に達したときに、補正
液を30秒で10ml混合層に導入し、この後5分間停止
する状態をくり返し、温度補正式プロセス粘度計で検知
される粘度が混合槽5内の塗液の粘度が25.0mPa・s
(25℃補正値)になれば補正液の導入を完全に停止す
るようにしたところ、塗液の粘度を常に25.0mPa・s
(25℃補正値)と25.1mPa・s(25℃補正値)の
間に制御することができた。
補正液の導入をしない場合、混合槽5内の塗液の粘度は
1時間後25.2mPa・s(25℃補正値)に上昇した。
しかし、温度補正式プロセス粘度計で検知される粘度が
25.1mPa・s(25℃補正値)に達したときに、補正
液を30秒で10ml混合層に導入し、この後5分間停止
する状態をくり返し、温度補正式プロセス粘度計で検知
される粘度が混合槽5内の塗液の粘度が25.0mPa・s
(25℃補正値)になれば補正液の導入を完全に停止す
るようにしたところ、塗液の粘度を常に25.0mPa・s
(25℃補正値)と25.1mPa・s(25℃補正値)の
間に制御することができた。
【0016】
【発明の効果】請求項1乃至2における回収塗液の調整
方法により、塗液の物性を容易に一定に調整することが
でき、塗液の利用率を顕著に向上させることができる。
請求項3乃至4における回収塗液の調整装置により、作
業性、操作性よく、上記の効果を達成することができ
る。請求工5における塗工機により、塗液の利用率を向
上させた上で、基材に対して常に均一は膜厚の塗膜を形
成することができる。
方法により、塗液の物性を容易に一定に調整することが
でき、塗液の利用率を顕著に向上させることができる。
請求項3乃至4における回収塗液の調整装置により、作
業性、操作性よく、上記の効果を達成することができ
る。請求工5における塗工機により、塗液の利用率を向
上させた上で、基材に対して常に均一は膜厚の塗膜を形
成することができる。
【図1】本発明における回収塗液の調整装置を備えた塗
工機の一例を示す系統図である。
工機の一例を示す系統図である。
1 塗工機 2 塗液回収トレイ 3 配管 4 撹拌機 5 混合槽 6 塗液 7 流路 8 循環ポンプ 9 濾過器 10 温度補正式プロセス粘度計 11 補正液 12 貯槽 13 滴下バルブ 14 配管 15 制御装置 16 温度センサ 17 液面計 18 バルブ 19 塗液供給ポンプ 20 配管
Claims (5)
- 【請求項1】 使用された塗液を回収して予め用意され
た塗液と混合するようにし、さらに、この混合された塗
液の濃度又は粘度を所定値に調整することを特徴とする
回収塗液の調整方法。 - 【請求項2】 混合された塗液の濃度又は粘度の調整
を、混合された塗液の一部を循環させ、循環路内で塗液
の濃度又は粘度を測定し、濃度又は粘度が所定の値にな
るように補正液を上記の混合された塗液に混合すること
により行う請求項1記載の回収塗液の調整方法。 - 【請求項3】 混合槽(5)に使用された塗液を回収す
るための機構、混合槽(5)内の塗液を循環するための
流路(7)、流路(7)内に設けられた循環ポンプ
(8)及びプロセス粘度計(10)、混合槽(5)に温
度補正式プロセス粘度計(10)と連動してその粘度計
(10)により示される粘度が所定値になるように補正
液を供給するための機構を設けてなる回収塗液の調整装
置。 - 【請求項4】 流路(7)内にさらに濾過器(9)を設
けてなる請求項3記載の回収塗液の調整装置。 - 【請求項5】 請求項3又は4記載の回収塗液の調整装
置を備えて成る塗工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25599596A JPH1099765A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25599596A JPH1099765A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1099765A true JPH1099765A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17286446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25599596A Pending JPH1099765A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 回収塗液の調整方法、回収塗液の調整装置及び塗工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1099765A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6517979B1 (en) * | 1998-12-28 | 2003-02-11 | Canon Kk | Coating method, coating system, method of manufacturing color filter substrate employing the coating method, and liquid crystal display device employing the color filter substrate manufactured in accordance with the coating method |
| JP2007048870A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Tokyo Electron Ltd | 塗布処理装置および塗布処理方法、ならびにコンピュータ読み取可能な記憶媒体 |
| JP2007103895A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-04-19 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト液供給装置及び当該レジスト液供給装置を得るための改造キット |
| JP2010192920A (ja) * | 2010-04-12 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布処理装置 |
| CN103480542A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-01-01 | 昆山乐凯锦富光电科技有限公司 | 一种用于生产光学薄膜的供料系统 |
| KR101451892B1 (ko) * | 2013-03-26 | 2014-10-16 | (주)마스터코리아 | 플로우 코팅 장치 |
| CN104907230A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-16 | 中航复合材料有限责任公司 | 一种用于蜂窝涂胶工序的胶液循环系统 |
| GB2500162B (en) * | 2011-01-14 | 2020-04-08 | Newlife Paints Ltd | Method for manufacturing emulsion paint |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP25599596A patent/JPH1099765A/ja active Pending
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