JPH11101862A

JPH11101862A - 微小領域観察装置

Info

Publication number: JPH11101862A
Application number: JP26247597A
Authority: JP
Inventors: Narikazu Odawara; 成計小田原; Toshimitsu Morooka; 利光師岡; Satoru Nakayama; 哲中山; Kazuo Kayane; 一夫茅根
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1997-09-26
Filing date: 1997-09-26
Publication date: 1999-04-13

Abstract

(57)【要約】【課題】第一のセンサーと被測定物を非接触で接近さ
せることができ、かつ第一のセンサーの角度を一定に保
つことができる微小領域観察装置の提供。【解決手段】測定室に第一のセンサー１１とマイクロ
カンチレバー８１、スキャナー７０、走査ステージ４
１、を設置する。走査ステージ４１上に被測定物２０を
設置し、マイクロカンチレバー８１にて被測定物２０と
の間隔を検出し、スキャナー７０で前記間隔が一定とな
るように距離制御し、第一のセンサー１１が被測定物２
０を非接触に走査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、磁性材料や半導
体材料、超伝導材料などの表面を走査し、被測定物から
発生する磁気や電荷等の物性を検出して分布を表示する
微小領域観察装置に関し、被測定物と物性を検出するセ
ンサーとの距離制御機構とその制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁性材料などの被測定物に欠陥が存在す
ると、被測定物表面の磁束密度が変化する。そのため、
被測定物の表面付近を磁気センサーで走査して磁束密度
を計測することにより、被測定物の欠陥部位を検出する
ことができる。被測定物から出力される磁気や電荷など
の信号を、第一のセンサーを用いて検出する場合、空間
分解能やＳＮ比を向上させるために、被測定物と第一の
センサーとの間の距離を近く設定する必要性がある。従
来の微小領域観察装置は、被測定物と第一のセンサーを
接触させ、被測定物の凹凸により第一のセンサーが上下
可能な構成としていた。

【０００３】図２は第一のセンサーとして超伝導磁気セ
ンサー（ＳＱＵＩＤ）を用いた従来の微小領域観察装置
の一例を示した構成図である。微小領域観察装置は少な
くともＳＱＵＩＤ１１、プローブ３１、走査ステージ４
１、クライオスタット５１、解析表示システム６０、
で構成される。クライオスタット５１は真空断熱層を有
し、冷媒５２を保持する容器である。クライオスタット
５１内にＳＱＵＩＤ１１を保持するプローブ３１を挿入
することでＳＱＵＩＤ１１を超伝導状態に保つことがで
きる装置である。

【０００４】解析表示システム６０は、ＳＱＵＩＤ１１
を用いて計測した磁束密度データを、平均やフーリエ変
換などによる解析を行い、表示するシステムである。走
査ステージ４１は被測定物２０を載せて走査する装置で
ある。走査ステージ４１はＳＱＵＩＤ１１と被測定物２
０との相対位置を変えるための機構である。ＸＹ方向で
はＳＱＵＩＤ１１で被測定物２０の任意の範囲を走査す
るために用い、またＺ軸方向は個々の被測定物２０の厚
さにより変化するＳＱＵＩＤ１１と被測定物２０との間
隔を調整するために用いる。

【０００５】走査ステージコントローラ４２は、走査ス
テージ４１の動作を制御する装置である。プローブ３１
へのＳＱＵＩＤ１１の装着は、プローブ３１に固定して
いる蝶番３６にＳＱＵＩＤ１１を固定することで行う。
蝶番３６はバネ３７に接触しており、被測定物２０の表
面形状により角度が変わる。

【０００６】第一のセンサー用駆動装置１２はＳＱＵＩ
Ｄ１１を駆動し、検出した磁気信号を電圧信号として出
力する装置である。被測定物２０の測定は、被測定物表
面をＳＱＵＩＤ１１で走査して行う。走査は被測定物の
表面にＳＱＵＩＤ１１を接触させて行う。被測定物２０
の表面に傾きや凹凸が有る場合でも、ＳＱＵＩＤ１１を
固定している蝶番の角度が変わることにより、常に被測
定物２０とＳＱＵＩＤ１１が接触する構造となってい
る。

【０００７】得られたデータを解析表示システム６０で
解析表示することで、被測定物２０の欠陥を検出する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の微小領域
観察装置では、被測定物と第一のセンサーが接触するた
め、被測定物や第一のセンサーが損傷する可能性があっ
た。また、被測定物の傾きや凹凸により生じる被測定物
と第一のセンサー間距離を蝶番の角度変化により相殺す
るために、被測定物に対する第一のセンサーの角度が被
測定物の部位により変化し、第一のセンサーの検出感度
が変わるという問題があった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

（第１の手段）本発明は、上記の課題を解決するため
に、第一のセンサーと被測定物間の距離を計測する第二
のセンサーおよびプローブの移動機構を設置し、第一の
センサーと被測定物との間隔を非接触に制御可能な構造
とした。（第２の手段）第１の手段にさらに、第一のセンサーと
第二のセンサーの相対位置を自動で調整する機構を設置
する構造とした。（第３の手段）第二のセンサーと第一のセンサーを一体
形成とした。（第４の手段）第一のセンサーに穴を設け、磁性体で作
製した第二のセンサーを第一のセンサーの穴に通して設
置する構造とした。

【００１０】第１の手段による微小領域観察装置の構造
によれば、第一のセンサーと被測定物間の距離を計測
し、距離が一定となるように制御することが可能となる
ため、第一のセンサーは被測定物を非接触で走査でき、
第一のセンサーおよび被測定物を損傷させることなく高
空間分解能で被測定物の物性を計測することが可能であ
る。また、被測定物の表面形状に傾きや凹凸が存在して
も、移動機構により第一のセンサーを垂直移動すること
で常に第一のセンサーと被測定物間の距離を一定にする
ため、被測定物に対する第一のセンサーの角度が変化す
ることがなく、被測定物のどの位置においても同一の感
度で計測することができる。

【００１１】第２の手段により、手動では困難な微小な
相対位置を調整することが可能となる。また、例えば極
低温などの測定環境下でも、被測定物に対する第一のセ
ンサーおよび第二のセンサーの間隔を等しくすることが
できるため、第一のセンサーと第二のセンサーとの熱収
縮率が異なる場合などでも、第一のセンサーと被測定物
間の間隔を正確に計測制御することが可能となる。

【００１２】第３の手段により、距離計測と物性検出を
同じ位置で行うため、被測定物と第一のセンサーの間隔
を常に正確に一定に保つことができ、第一のセンサーお
よび被測定物を損傷させることなく高空間分解能で物性
を計測することが可能である。第４の手段により、第一
のセンサーとして磁気センサーを用いた場合、前記磁気
センサーの検出部が大きい場合や前記磁気センサーと被
測定物間の間隔が開いた場合でも、被測定物から発生す
る磁束が第二のセンサーの内部を通るため、結果として
前記磁気センサーに磁束が通ることになり、高感度、高
空間分解能で測定することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について図
面を参照して説明する。（実施例１）図１は本発明の実施例１を示す微小領域観
察装置の構造を示した図である。第一のセンサーとして
はＳＱＵＩＤを使用したが、超伝導磁気抵抗素子や電荷
センサーなど他のセンサーでも良い。

【００１４】クライオスタット５１は真空断熱層を有し
た容器で、冷媒５２を保持するとともに冷媒中にＳＱＵ
ＩＤ１１や被測定物２０、走査ステージ４１などを挿入
し保持する装置である。ＳＱＵＩＤ１１にはＮｂ系のＬ
ｏｗ−Ｔｃ−ＳＱＵＩＤを用い、クライオスタット５１
に冷媒５２として液体ヘリウムを溜めることでＳＱＵＩ
Ｄ１１を超伝導状態に保つ。ただし、ＳＱＵＩＤ１１に
はイットリウム系等のＨｉ−Ｔｃ−ＳＱＵＩＤを用いて
も良く、その際は、冷媒５２として液体窒素を用いるこ
ともできる。

【００１５】第一のセンサー用駆動装置には、ＳＱＵＩ
Ｄ１１を駆動し検出した磁気信号を電圧信号として出力
する装置である。解析表示システム６０は、第一のセン
サー用駆動装置１２から出力される電圧信号を解析して
表示する装置である。クライオスタット内部には測定室
３２が設置されている。測定室３２はクライオスタット
上部に固定したフランジ５３から吊された構造である。
測定室３２は天井部分３３と側面部分３４とで分割が
可能である。天井部分３３と側面部分３４との接続部
は、測定室内に大気および液体ヘリウムが侵入しないよ
うに真空封止が可能である。真空バルブ３８は測定室３
２の真空引きやＨｅガスの挿入を行うバルブである。測
定室３２の内部には被測定物２０を固定し移動させる走
査ステージ４１が設けられている。

【００１６】走査ステージ４１は測定室３２の天井部分
３３より吊されて固定される。クライオスタット５１お
よび測定室３２の材料にはステンレスを用いているが、
アルミニウムやＦＲＰなどの材料でもよい。プローブ３
１の上端にはＺ軸移動機構３５が設けられている。Ｚ軸
移動機構３５はモーターと回転−直動変換機構で構成さ
れる。モーターの回転軸は回転−直動変換機構に接続
し、回転−直動変換機構はプローブ３１に接続してい
る。モーターを回転させると回転−直動変換機構により
回転が直動に変換され、プローブ３１が上下に移動する
構造となっている。

【００１７】プローブ３１の下端にはスキャナー７０が
接続され、スキャナー７０にはＳＱＵＩＤ１１およびマ
イクロカンチレバー８１が固定されている。スキャナー
７０は圧電アクチュエータであり、ＳＱＵＩＤ１１お
よびマイクロカンチレバー８１を最大数十μｍの範囲で
ｎｍの分解能で走査させることができる。走査ステージ
コントローラ４２は走査ステージ４１およびスキャナー
７０の動作を制御する装置である。

【００１８】マイクロカンチレバー８１とレーザー発信
器９１とレーザー検出器９２を組み合わせて第二のセン
サーとして用いている。マイクロカンチレバー８１は先
端に微小な針を備えた片持ち梁である。被測定物と微小
な針との間に生じる力によってマイクロカンチレバー８
１は変形するため、前記変形を検出することでマイクロ
カンチレバー８１と被測定物間の距離を検出することが
できる。マイクロカンチレバー８１には鏡面が設けられ
ており、前記鏡面にレーザー発信器９１でレーザー光を
照射し、反射光をレーザー検出器９２で検出することで
マイクロカンチレバー８１の変位を測定する。

【００１９】測定は以下の手順で実施する。測定室３２
の側面部分３４を天井部分３３から外し、被測定物２０
を走査ステージ４１上に設置する。Ｚ軸移動機構３５
でＳＱＵＩＤ１１と被測定物２０の間隔を粗く調整した
後、測定室３２の天井部分３３と側面部分３４を接続す
る。真空バルブ３８より測定室３２の真空引きを行った
後、Ｈｅガスを挿入する。クライオスタット５１に測定
室３２を設置し、クライオスタット５１内に冷媒５２の
液体Ｈｅを移送して測定室３２の冷却を行う。

【００２０】液体Ｈｅの移送後レーザー光の光軸合わせ
を行い、Ｚ軸移動機構３５およびスキャナー７０にて被
測定物２０とＳＱＵＩＤ１１の間隔を縮めていく。マイ
クロカンチレバー８１の変位が一定となるようにスキャ
ナー７０にてＺ軸制御を行う。マイクロカンチレバーと
被測定物２０の間隔を一定に保ったままＳＱＵＩＤ１１
で被測定物２０を走査し信号検出を行う。

【００２１】（実施例２）図３（ａ）は本発明の実施例
２を示す微小領域観察装置の構造を示した図である。図
３（ｂ）は本発明の実施例２の微小領域観察装置で用い
る第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図で
ある。第一のセンサーと被測定物の間の距離検出方法以
外は実施例１となんら変わるところはない。

【００２２】第一のセンサーと被測定物間の距離を計測
する第二のセンサーは、バイモルフ８２と水晶振動子８
３を組み合わせて構成する。微小探針８４を水晶振動子
８３に接触させ、水晶振動子８３をバイモルフ８２上に
固定する。水晶振動子８３がバイモルフ８２により共振
された状態で、微小探針８４を被測定物２０に近づける
と、微小探針８４と被測定物の間に生じる力により水晶
振動子８３の共振周波数に変化が生じる。前記共振周波
数を検出することで被測定物と微小探針８４の間隔を計
測することができる。前記共振周波数を一定に保つよう
に被測定物と微小探針８４の間隔をスキャナー７０で制
御することで、第一のセンサーと被測定物間の距離を一
定にする。

【００２３】被測定物と微小探針８４の間隔はＺ軸移動
機構３５で制御することもできる。微小探針８４は無く
とも水晶振動子８３の共振周波数の変化は得られるた
め、微小探針８４を用いずに水晶振動子８３を直接、被
測定物２０に近づけても良い。（実施例３）図４は本発明の実施例３の微小領域観察装
置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの相対位置
調整機構の構造を示した図である。第二のセンサーと第
一のセンサーの相対位置調整を行う変位調整機構を有す
る以外は実施例２となんら変わるところはない。

【００２４】第二のセンサーとＳＱＵＩＤ１１の相対位
置の調整を行うために、変位調整機構９０を設け、変位
調整機構９０にバイモルフ８２と水晶振動子８３と微小
探針８４を組み合わせた物からなる第二のセンサーを固
定する。変位調整機構９０は圧電素子で作製されてい
る。相対位置の調整方法は、変位調整機構９０を伸ばし
てＳＱＵＩＤ１１より微小探針８４が被測定物に近い状
態で、スキャナー７０を徐々に延ばしていく。微小探針
８４が被測定物に接触しようとした場合、変位調整機構
９０を収縮させることで微小探針８４と被測定物が接触
することを防ぐ。ＳＱＵＩＤ１１と被測定物が接触しよ
うとする状態を、微小探針８４と被測定物間に生じる力
の変化で検出する。ＳＱＵＩＤ１１を予め被測定物に接
触させた状態で変位調整機構９０を用いて微小探針８４
が被測定物に接近する位置まで伸ばす方法でも良い。ま
た、微小探針８４とＳＱＵＩＤ１１を顕微鏡で観察しな
がら変位調整機構にて変位を調整しても良い。

【００２５】前記圧電素子の代わりにモータとネジで構
成される変位調整機構などを用いても良い。（実施例４）図５は本発明の実施例４の微小領域観察装
置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示
した図である。第一のセンサーとして電荷センサーを用
い、第二のセンサーに第一のセンサーを実装している以
外は実施例２となんら変わるところはない。

【００２６】バイモルフ８２に固定した水晶振動子８３
に第一のセンサーとしての電荷センサー１３を実装して
いる。電荷センサー１３は電界に非常に敏感なシングル
エレクトロントランジスタなどを用いる。性能を出すた
めには数Ｋの極低温で駆動する必要がある。距離検出方
法としては実施例２と同様である。バイモルフ８２で共
振させた水晶振動子８３の共振周波数を計測しながら、
電荷センサー１３を被測定物２０に近づけると、電荷セ
ンサー１３と被測定物２０が近接した際に前記共振周波
数が変化する。前記共振周波数が一定となるようにスキ
ャナー７０で距離制御を行うことで、電荷センサー１３
と被測定物２０間の間隔を近接に保つことが出来る。

【００２７】第一のセンサーとして電荷センサー１３を
用いているが、ＳＱＵＩＤやその他の物性検出センサー
でも良い。（実施例５）図６は本発明の実施例５の微小領域観察装
置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示
した図である。第一のセンサーの実装方法以外は実施例
４となんら変わるところはない。

【００２８】バイモルフ８２に固定した水晶振動子８３
に光ファイバー８５を接触し、光ファイバー８５に第一
のセンサーとしての電荷センサー１３を実装している。
距離検出方法としては実施例４と同様である。バイモル
フ８２で共振させた水晶振動子８３の共振周波数を計測
しながら、電荷センサー１３を被測定物２０に近づける
と、電荷センサー１３と被測定物２０が近接した際に前
記共振周波数が変化する。前記共振周波数が一定となる
ようにスキャナー７０で距離制御を行うことで、電荷セ
ンサー１３と被測定物２０間の間隔を近接に保つことが
出来る。

【００２９】ここでは光ファイバー８５を用いている
が、ガラスやサファイアの小片などを用いることもでき
る。また第一のセンサーとしては、ＳＱＵＩＤやその他
の物性検出センサーでも良い。（実施例６）図７は本発明の実施例６の微小領域観察装
置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示
した図である。水晶振動子に微小磁性探針８６を接触さ
せ、第一のセンサーであるＳＱＵＩＤ１１の信号検出部
分に穴を設け、そこに微小磁性探針８６を通した構造で
あること以外は実施例２となんら変わるところはない。

【００３０】距離検出方法としては実施例２と同じくバ
イモルフ８２と水晶振動子８３を用いて水晶振動子８３
の共振周波数を計測することで検出している。微小磁性
探針８６は鉄ニッケル合金製であるが、その他の磁性材
料でも良く、また、光ファイバーにＮｉ等の磁性膜をコ
ーティングした針等でも良い。（実施例７）図８は本発明の実施例７の微小領域観察装
置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示
した図である。第一のセンサーと被測定物の間の距離検
出方法として、第二のセンサー部の電極と被測定物間の
静電容量を計測して行うこと以外は実施例２となんら変
わるところはない。

【００３１】第一のセンサーであるＳＱＵＩＤ１１の近
傍に微小電極８７を設置し、微小電極８７と被測定物２
０の間の静電容量を計測、制御して微小電極８７と被測
定物間の距離制御を行い測定する。第一のセンサーとし
ては、電荷センサーやその他の物性検出センサーでも良
い。

【００３２】（実施例８）図９は本発明の実施例８の微
小領域観察装置で用いる第一のセンサーと第二のセンサ
ーの構造を示した図である。第一のセンサーと被測定物
の間の距離検出方法以外は実施例１となんら変わるとこ
ろはない。第二のセンサーはマイクロカンチレバー８１
と歪み抵抗素子８９とで構成される。歪み抵抗素子８９
をマイクロカンチレバー８１に設置し、被測定物とマイ
クロカンチレバーが接近した際に生じる力で起きるマイ
クロカンチレバーの変形を歪み抵抗素子８９で検出して
スキャナー７０で距離制御を行い測定する。

【００３３】第一のセンサーとしてはＳＱＵＩＤを用い
ているが、電荷センサーやその他の物性検出センサーで
も良い。（実施例９）図１０は本発明の実施例９の微小領域観察
装置で用いる第一のセンサーと第二のセンサーの構造を
示した図である。第一のセンサーと被測定物の間の距離
検出方法以外は実施例１となんら変わるところはない。

【００３４】第二のセンサーは水晶振動子８３のみで構
成される。水晶振動子８３に交流信号を入力して振動さ
せて出力信号を計測する。被測定物に接近した時の出力
信号の振幅の変化を検出して距離検出を行う。第一のセ
ンサーとしてはＳＱＵＩＤを用いているが、電荷センサ
ーやその他の物性検出センサーでも良い。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、第一のセンサーと被測
定物を非接触で一定距離に接近させることができ、かつ
第一のセンサーの角度を一定に保つことができるため、
第一のセンサーおよび被測定物を損傷することなく常に
同一感度、高い空間分解能で測定することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す微小領域観察装置を表
した図である。

【図２】従来のＳＱＵＩＤを用いた微小領域観察装置を
表した図である。

【図３】（ａ）本発明の実施例２を示す微小領域観察装
置を表した図である。（ｂ）本発明の実施例２の微小領域観察装置で用いる第
一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図４】本発明の実施例３の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図５】本発明の実施例４の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図６】本発明の実施例５の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図７】本発明の実施例６の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図８】本発明の実施例７の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図９】本発明の実施例８の微小領域観察装置で用いる
第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図であ
る。

【図１０】本発明の実施例９の微小領域観察装置で用い
る第一のセンサーと第二のセンサーの構造を示した図で
ある。

【符号の説明】

１１ＳＱＵＩＤ１２第一のセンサー用駆動装置１３電荷センサー２０被測定物３１プローブ３２測定室３３天井部分３４側面部分３５Ｚ軸移動機構３６蝶番３７バネ３８真空バルブ４１走査ステージ４２走査ステージコントローラ５１クライオスタット５２冷媒５３フランジ６０解析表示装置７０スキャナー８１マイクロカンチレバー８２バイモルフ８３水晶振動子８４微小探針８５光ファイバー８６微小磁性探針８７微小電極８９歪み抵抗素子９０変位調整機構９１レーザー発信器９２レーザー検出器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者茅根一夫千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の物性を検出する第一のセンサ
ーと、前記第一のセンサーと被測定物間の距離を変える
移動機構を有する装置において、前記第一のセンサーと
被測定物間の距離を検出する第二のセンサーを有するこ
とを特徴とする微小領域観察装置。
【請求項２】前記第一のセンサーと第二のセンサーと
が別体であることを特徴とする請求項１記載の微小領域
観察装置。
【請求項３】前記第一のセンサーと第二のセンサーと
が一体であることを特徴とする請求項１記載の微小領域
観察装置。
【請求項４】前記第一のセンサーと前記第二のセンサ
ーがクライオスタット内に設置されることを特徴とする
請求項１記載の微小領域観察装置。
【請求項５】前記第二のセンサーとしてマイクロカン
チレバーと前記マイクロカンチレバーの変形検出手段を
組み合わせて用いたことを特徴とする請求項２記載の微
小領域観察装置。
【請求項６】前記変形検出手段として光てこ方式を用
いたことを特徴とする請求項５記載の微小領域観察装
置。
【請求項７】前記変形検出手段として水晶振動子と振
動素子を組み合わせて用いたことを特徴とする請求項５
記載の微小領域観察装置。
【請求項８】前記変形検出手段として歪み抵抗素子を
用いたことを特徴とする請求項５記載の微小領域観察装
置。
【請求項９】前記第二のセンサーとして微小電極を用
い、前記微小電極と被測定物間の静電容量により距離の
検出を行う請求項２記載の微小領域観察装置。
【請求項１０】前記第二のセンサーとして水晶振動子
を用いたことを特徴とする請求項２記載の微小領域観察
装置。
【請求項１１】前記第二のセンサーとして前記水晶振
動子と振動素子を組み合わせて用い、前記第一のセンサ
ーを前記水晶振動子に実装したことを特徴とする請求項
３記載の微小領域観察装置。
【請求項１２】前記第二のセンサーとして前記水晶振
動子に微小探針を実装したことを特徴とする請求項１０
記載の微小領域観察装置。
【請求項１３】前記水晶振動子に微小探針を実装し、
前記微小探針に前記第一のセンサーを実装したことを特
徴とする請求項１１記載の微小領域観察装置。
【請求項１４】前記第一のセンサーと前記第二のセン
サーとの相対位置調整機構を有することを特徴とする請
求項２記載の微小領域観察装置。
【請求項１５】前記第一のセンサーが超伝導量子干渉
素子である請求項４記載の微小領域観察装置。
【請求項１６】前記第一のセンサーの信号検出部分に
穴を設け、前記微小探針を前記穴部分に挿入することを
特徴とする請求項１２記載の微小領域観察装置。
【請求項１７】前記微小探針が磁性体であることを特
徴とする請求項１６記載の微小領域観察装置。
【請求項１８】前記第一のセンサーが電荷センサーで
あることを特徴とする請求項４記載の微小領域観察装
置。