JPH11105233A - 印刷版の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】印刷インキのニジミの少なく、開口部内壁の平
滑性に優れ、印刷インキの抜け性が良好な高精度印刷に
使用できる孔版印刷用の印刷版の製造法。 【解決手段】金属板３にレーザー光を照射して複数の開
口貫通孔を形成し金属板３とポリマフイルム２とを積層
せしめ、引き続き開口貫通孔を有する金属板３をマスク
にして、固体レーザーの基本波、固体レーザー高次高調
波、これらの任意のミキシング光または炭酸ガスレーザ
ー光を照射してポリマフイルム２に複数の開口貫通孔を
形成するか、ポリマフイルム２にレーザー光を照射して
複数の開口貫通孔を形成した後、ポリマフイルム２と金
属板３とを積層し、開口貫通孔を有するポリマフイルム
２をマスクにして、金属板３を選択的にエッチングし、
ポリマフイルム２と金属板３からなる積層体に複数の開
口貫通孔を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路板に
表面実装を行うための半田ペーストや、半導体チップを
封止するための樹脂封止剤や、半導体チップやプリント
回路板にバンプや電気回路を形成するための導電性ペー
スト等を印刷するための印刷版の製造法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】昨今、プリント回路基板上の配線は、よ
り一層の高密度化が要求され、それに伴い、導体幅の微
細化が図られていることから、孔版印刷手段であるスク
リーン印刷機に使用する印刷版についても線幅を微細加
工することが要求されている。

【０００３】例えば、プリント回路基板上に部品を表面
実装を行うため、プリント回路基板上の所定回路導体部
に半田ペーストを孔版印刷する際に使用される印刷版の
メタルマスクは、パターンの断面寸法の精度が高く、断
面形状ができるだけ平滑であることが要求される。もし
断面に凹凸が顕著にあれば、孔版印刷後の版離れに際
し、ハンダパターンの形状が崩れ、半田ボールの発生を
招いてしまうからである。

【０００４】このため、断面形状の平滑なメタルマスク
の製造法としては、厚膜ニッケル電解メッキ法（アディ
ティブ法）があり、導電体上に形成されたフォトレジス
ト層の壁面が電解メッキで得られたメタルマスクのパタ
ーンの断面に転写形成されるため、比較的良好な断面形
状を得ることができる。ところが、厚膜ニッケル電解メ
ッキは、長時間のメッキ時間が必要であること、さら
に、メッキ中に発生する応力によってパターンの位置精
度のコントロールが難しく、フォトレジストの性能上高
アスペクト比のパターン形成が困難であるなど幾つかの
問題点を有している。

【０００５】これらの問題点を解決する方法として、金
属シートにレーザ光を照射することによりスクリーン印
刷用メタルマスクを製造する方法が提案されており（特
開昭６２ー９０２４１号公報、特開平６ー３９９８８号
公報、「表面実装技術」（第３巻 第７号 Ｐ７６、１
９９３年等）、レーザ法で製造されたメタルマスクは半
田ペースト印刷版として実用化されている。

【０００６】配線回路や電極間ピッチが狭くなると、そ
の電極面積に応じて塗布される半田ペースト量も少なく
なる。このような用途に用いる印刷版の貫通孔の壁面に
微細な凹凸が存在するとその凹凸部に半田ペーストが残
り、印刷される半田ペースト量が変動するため半田付け
不良などのトラブルをおこすことがあり好ましくない。

【０００７】このような問題点を解決するにはメタルマ
スクを電解研磨などの電気化学的な薬剤処理が行われて
いる（特開平４ー９０５９号公報、特開平６ー９１８３
９号公報や特開平７ー３２７５９号公報）。

【０００８】一方、上記製造法として作られたメタルマ
スクは柔軟性が乏しいため、被印刷体が平滑性に欠ける
とか凹凸があるとか異物が存在すると、メタルマスクと
被印刷体とが十分に密着せずに隙間が生じ、印刷インキ
がメタルマスクの開口貫通孔に充填される際に、この隙
間に印刷インキがまわり込み易くなるため、印刷された
パターンにニジミが発生する欠陥が起こり易い。この欠
陥を防止するため、印刷用版として高分子材料板にエキ
シマレーザ光を照射して開口貫通孔を形成した半田ペー
スト印刷用プラスチックマスクが提案されている（特開
平７ー８１０２７号）。プラスチックマスクは、吸湿や
温度変化によって開口貫通孔の位置が容易にずれる問題
点があるとともに孔版印刷法でスキージを作動するとき
に、スキージによって開口部を引っかけながら進むため
に、開口部の印刷インキ同志がくっついた状態で印刷さ
れる問題が起きやすい。さらに、プラスチックマスクは
耐摩耗性に欠けるため、印刷版としての寿命が短い問題
点もある。

【０００９】プラスチックをエキシマレーザ光等の照射
によって開口貫通孔を形成すると貫通孔の周辺や貫通孔
の内壁面にポリマが熱分解で生じた炭化物等が付着し半
田ペーストの抜けを悪くしたり、印刷された半田ペース
ト量が変動したり、さらにプラスチックマスクを使用し
て電子部品を実装したプリント回路板に半田ペーストを
印刷する際、プラスチックマスクが摩擦帯電を起こし高
電圧の静電気が帯電することにより、電子部品の静電破
壊を発生すことになり好ましくない。

【００１０】カラーフィルター用染色溶液を孔版印刷法
で印刷するときに使用する印刷版において、メタルマス
クの開口部に対応する位置に開口部を有する粘着性物質
を積層すると、被印刷体との隙間が生じないのでニジミ
防止が可能になると提案されている（特開昭６２ー２７
６５０４号公報）。 この特許出願明細書の実施例で提
案されている製造法においては、タック性を有する感光
性樹脂をステンレス板の両面にコートして、所定のパタ
ーンマスクを介して両面が紫外線露光および現像処理
し、残された感光性樹脂をレジストとして、塩化鉄のエ
ッチング液によってステンレス板のエッチングを行った
後、片側の感光性樹脂を剥離し、他の面の感光性樹脂を
剥離せずに残し、これをカラーフィルター用染色マスク
として使用している。この方法は工程が長く、人手を多
くかける必要があることや、得られるマスクの品質面か
らは、メタルの両面からエッチングが行われているた
め、開口部内壁の中に凸部が発生し、この凸部が印刷イ
ンキの抜け性を阻害するため、高精度の印刷に適してい
ないなどの問題点がある。さらに、印刷終了時に印刷版
が被印刷体から版離れするときタック性を有する粘着性
物質が版面に存在するため、円滑な版離れが阻害され、
かえって印刷物の形状が乱れやすいという問題点があ
る。

【００１１】孔版印刷法の印刷版ではないが、スクリー
ンに金属パターンを形成した印刷版において、金属パタ
ーンが被印刷体に接する側に合成樹脂被膜を形成した印
刷版を用いて、セラミック基板にスクリーン印刷するこ
とにより、被印刷体の損傷を防止することが可能になる
と提案されている（特開昭５４ー１００１１号公報）。

【００１２】この特許出願明細書の実施例で提案されて
いる製造法において、ホトレジストを金属箔の表面にコ
ートして、所定のパターンマスクを介して紫外線露光お
よび現像処理したのち、残されたレジストをレジストマ
スクとして、エッチング液によって金属箔のエッチング
を行った後、レジストを剥離せずに残し、この残された
レジスト膜が被印刷体に接するようにして印刷するもの
である。この方法では、金属箔の片側からエッチングが
行われているため、開口部内壁のテーパーが大きくなり
易く、開口寸法のコントロールが難しいことや金属箔と
メッシュの接着を完全に行うことが甚だ困難であるばか
りか、レジストは高分子量でないため強靱性を持たず、
印刷時に容易に欠けを起こすなどの問題点があり、この
印刷版は実用化されていない。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、印刷インキ
のニジミの少なく、開口部内壁の平滑性に優れ、印刷イ
ンキの抜け性が良好な高精度印刷用に使用できる耐刷性
に優れた孔版印刷用の印刷版の製造方法および印刷版を
提供するものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明者らの鋭意検討の
結果、上記目的が下記本発明によって工業的に有利達成
された。すなわち、本発明に係わる印刷版の一つは、請
求項１記載するように、厚さ０．０１０から０．２００
ｍｍの金属板にレーザ光を照射して複数の開口貫通孔を
形成せしめた後、該金属板と厚さ０．０１５から２．０
００ｍｍのポリマフィルムとを積層せしめ、引き続き開
口貫通孔を有する該金属板をマスクとして、固体レーザ
の基本波（波長１０６４ｎｍ）、固体レーザ第２高調波
（波長５３２ｎｍ）や第４高調波（波長２６６ｎｍ）な
どの高次高調波、これらの任意のミキシング光または炭
酸ガスレーザ光を該ポリマフィルムに照射して複数の開
口貫通孔を形成せしめることを特徴とするものである。

【００１５】また、本発明に係わる印刷版の他の一つ
は、請求項２に記載するように、厚さ０．０１５から
２．０００ｍｍのポリマフィルムに固体レーザの基本
波、高次高調波、これらの任意のミキシング光または炭
酸ガスレーザ光を照射して複数の開口貫通孔を形成せし
めた後、該ポリマフィルムと厚さ０．０１０から０．２
００ｍｍの金属板とを積層せしめ、引き続き開口貫通孔
を有する該ポリマフィルムをマスクとして、該金属板を
おかすことのできる薬剤と接触させることにより該金属
板を選択的にエッチングし、該ポリマフィルムと該金属
板からなる積層体に複数の開口貫通孔を形成せしめるこ
とを特徴とするものである。

【００１６】また、本発明に係わる印刷版の他の一つ
は、請求項３に記載するように、請求項１または２の印
刷版において、開口貫通孔を形成せしめたのち、ポリマ
フィルムをおかすことのできる薬剤処理と金属板をおか
すことのできる薬剤処理のいずれか又はその両方の処理
を行うことを特徴とするものである。

【００１７】また、本発明は、本発明は、請求項４、５
に記載するように、固体レーザが、ＹＡＧレーザもしく
はＹＬＦレーザであることを特徴とするものである。ま
た、本発明は、請求項６に記載するように、前記のいず
れかの方法により得られた印刷版に関するものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明に係わる印刷版は、孔版印
刷手段を適用して、液状もしくはペースト状印刷インキ
をスキージの作動により押し込み充填するための貫通孔
パターンを有する印刷用版に関するものである。本発明
で使用する印刷版材として、金属板の被印刷体に対向す
る面に、ポリマフィルムを積層した積層体を用いる。

【００１９】金属板としては、厚み０．２０ｍｍ以下、
好ましくは０．０１２から０．１００ｍｍの範囲の各種
の金属、合金材料のものであるが、特に、ニッケル合
金、銅合金、亜鉛メッキ鋼もしくはステンレス鋼が好ま
しい。

【００２０】ポリマとしては、エポキシ系樹脂のような
熱硬化性樹脂、ポリイミド、ポリエステル、ポリカーボ
ネート、アクリル系ポリマ、フッ素系等の分子量１万以
上、好ましくは５万以上の分子量を有する熱可塑性ポリ
マフィルムが使用できるが、さらにショア硬度２５Ｄ以
上９０Ｄ以下のナイロン系熱可塑性エラストマ、ポリエ
ステル系熱可塑性エラストマ、ポリウレタン系熱可塑性
エラストマ、スチレン系熱可塑性エラストマ、オレフィ
ン系熱可塑性エラストマのいずれかまたはこれらの混合
物や組成物から選ばれた分子量１万以上、好ましくは５
万以上の分子量を有する熱可塑性エラストマもしくはシ
ョア硬度２５Ｄ以上９０Ｄ以下のシリコーンゴム、ブタ
ジエンゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、エピクロロ
ヒドリンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、ニトリル・
ブタジエンゴム、エチレン・プロピレン系ゴム、クロロ
プレンゴム、プロピレンオキサイドゴム、フッ素ゴムの
いずれかから選ばれたゴム弾性体を主成分とするエラス
トマやこれらエラストマ同志もしくは上記エラストマに
上記に挙げた以外のポリマとの混合物や組成物を使用す
ることができる。例えば、ポリエステル系熱可塑性エラ
ストマにアクリルゴムの微粒子を分散させて得られた熱
可塑性エラストマを用いることができる。これらポリマ
に、さらに必要に応じて、カーボンブラック、紫外線吸
収剤や染顔料を添加して使用することができる。なお、
ポリマフィルムは、全厚が０．０１５から２．０００ｍ
ｍになるようにポリマフィルム状物を金属板の被印刷体
に対向する面に熱接着もしくは接着剤を介して積層する
ことにより形成されるが、ポリマを熱溶融して、エスク
ルージョンコーティング法によって金属板に積層しても
よい。なお、用いるエラストマのショア硬度が２５Ｄ以
下のものは、印刷版の製造時や印刷時に変形量が大きく
なり、ポリマフィルムの厚みコントロールが難しくなる
ので好ましくない。

【００２１】上記ポリマフィルムとして、用いるショア
硬度が２５Ｄ以上のエラストマは、タック性を有してい
ないが、柔軟性と優れた弾性回復性を有するので、該ポ
リマフィルムを被印刷体側に配設した印刷版は被印刷体
と密着することができるのため、印刷されたパターンに
ニジミが発生がほとんどない。さらに、液状もしくはペ
ースト状印刷インキをスキージの作動により押し込み充
填する側に印刷版の金属板が配設されているので、高分
子材料板の単体で作られた印刷版に比較して、吸湿なら
びに温度変化によって開口貫通孔の位置が容易にずれた
りスキージの作動による摩耗する問題点を解消され高い
精度の印刷と優れた耐刷力とが得られる。

【００２２】本発明の印刷版の製造法は、金属板にレー
ザ光を照射して複数の開口貫通孔を形成せしめた後、該
金属板とポリマフィルムとを積層せしめ、引き続き開口
貫通孔を有する該金属板をマスクにして、固体レーザの
基本波、固体レーザ高次高調波、これらの任意のミキシ
ング光または炭酸ガスレーザ光を照射して該ポリマフィ
ルムに複数の開口貫通孔を形成せしめる方法もしくはポ
リマフィルムに固体レーザの基本波、高次高調波、これ
らの任意のミキシング光または炭酸ガスレーザー光を照
射して複数の開口貫通孔を形成せしめた後、該ポリマフ
ィルムと金属板とを積層せしめ、引き続き開口貫通孔を
有する該ポリマフィルムをマスクにして、該金属板をお
かすことのできる薬剤と接触させることにより該金属板
を選択的にエッチングし、該ポリマフィルムと該金属板
からなる積層体に複数の開口貫通孔を形成せしめる方法
のいずれかが好ましい。固体レーザとしてはＹＡＧレー
ザ（ネオジュムを含んだイットリウム・アルミニウム・
ガーネット）が用いられるが、ＹＬＦレーザ（ネオジュ
ムを含んだイットリウム・リチュウム・フロライド）
が、高い誘導断面積、長寿命、良好なスペクトル特性な
どの面からみて望ましい。

【００２３】固体レーザについては、基本波（波長１０
６４ｎｍ）、第２高調波（波長５３２ｎｍ）、第３高調
波（波長３５５ｎｍ）や第４高調波（波長２６６ｎｍ）
などの高次高調波、これらの任意のミキシング光が使用
できるが本発明のプラスチック層と金属層の積層体を加
工するには、ポリマ層の開口貫通孔の周辺や内壁面には
ポリマが熱分解して生じる炭化物の発生が少なく、長期
のレーザの発振安定性からみて、特に、第３高調波が望
ましい。

【００２４】固体レーザの基本波、固体レーザの高次高
調波、これらの任意のミキシング光または炭酸ガスレー
ザ光を照射して、一版あたり数千個以上の開口貫通孔を
形成せしめる本発明のレーザ加工装置においては、少な
くとも、レーザ光路中にガルバノスキャニングミラーも
しくポリゴンミラーを具備することにより、加工速度を
上げることができるので好ましい。

【００２５】本発明のレーザによる加工方法において、
ビームの焦点付近で加工するが、エキシマレーザによる
加工方法は、一般に加工形状を規定するためのマスクを
使用し、マスクの形状を縮小投影するマスクイメージ法
を使用しているため、本発明のプラスチック層と金属層
の積層体に使用する厚みの金属層を切断加工することが
困難なため、本発明の積層体を加工するにはエキシマレ
ーザは不適当である。さらに、ビームが不安定でありそ
の維持に多大のメンテナンスを要し、また、穴加工時の
テーパー角の制御が難しい等の点で好ましくない。

【００２６】なお、ポリマフィルムの加工には、固体レ
ーザの基本波および高次高調波のいずれかまたはこれら
の任意のミキシング光や炭酸ガスレーザ光が用いられ
る。

【００２７】開口貫通孔を有する該ポリマフィルムをエ
ッチングマスクとして使用し、該ポリマフィルムの開口
貫通孔から金属板をおかすことのできる薬剤を接触させ
ることにより、ポリマフィルムと該金属板からなる積層
体に複数の開口貫通孔を形成せしめる方法においては、
塩化第二鉄塩酸水溶液、銅アンモニュウム水溶液、硫酸
銅・過酸化水素水溶液等による薬剤処理が有効である。

【００２８】また、金属板にレーザ光を照射して得られ
る開口貫通孔の壁面には、微細な凹凸が残ることがあ
る。このような凹凸問題に対しては、サンドブラスト処
理や高圧水噴射処理等の物理的研磨処理や金属板をおか
す電解研磨のような電気化学的な薬剤処理が効果的であ
り、このような処理によって平滑面が得られ、半田ペー
ストの抜け性や定量性が大幅に改善される。

【００２９】条件によってはポリマフィルムの開口貫通
孔の周辺や内壁面にはポリマが熱分解して生じる炭化物
等が残ることがあるが、これらの付着物は該ポリマを溶
解するか酸化する薬剤で処理することによって完全に除
去することができる。ポリエステルやポリイミドに対し
ては、無機の強アルカリとヒドラジンまたはエタノール
アミンによる薬剤処理が有効であり、また、版を過マン
ガン酸アルカリ水溶液のような薬剤で処理してもよい。
ポリマによってはＮーメチルーピロリドン、ジメチルア
セトアミドやジメチルスルフォキシド、メタクレゾール
や酢酸エチルのようなエステル類やクロロホルム等のハ
ロゲン化炭化水素などの溶媒類で処理してもよい。この
ような処理は印刷版のポリマフィルムと金属板に存在す
る凹凸や付着物の有無や程度に応じて、単独または併用
して行う。開口貫通孔を形成した後に行うポリマフィル
ムをおかすことのできる薬剤処理と金属板をおかすこと
のできる薬剤処理のいずれか又はその両方の処理は、ポ
リマフィルムと金属板とを積層する前であっても積層し
た後であってもよい。

【００３０】このようにして得られる印刷用版は、最適
な加工条件を選定することにより、開口貫通孔の断面に
印刷インキがたまる凹凸がみられず、ほぼ、垂直な断面
を有しているので印刷インキの抜け性が良好であり、こ
のことは特に、印刷幅が０．２ｍｍ以下の微細形状を孔
版印刷する際にその効果が顕著に現れる。従来からの感
光性樹脂を利用して形成した貫通孔を有する印刷版に比
較して、固体レーザや炭酸ガスレーザ加工法を用いるこ
とによって得られる本発明の印刷版は、感光性樹脂を用
いることに由来する工程の複雑さや解像性や開口貫通孔
の形状やポリマがもろいことなどによって起きる欠陥が
ないため、優れた品質と耐刷性および低コストとを実現
することができた。

【００３１】

【実施例】以下、本発明をさらに具体的に実施例によっ
て説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。

【００３２】図１は、本発明の印刷版の一実施例を示し
たものであり、アルミ角パイプの印刷枠１にはポリマフ
ィルム２の外周が接着剤によって支持され、そのポリマ
フィルム２の内側には印刷版の主要構成部である金属板
３がポリマフィルム２の表面に配設され、複数の開口貫
通孔７が形成されている。

【００３３】図３は、本発明の実施例１の印刷版の１つ
の開口部の断面形状である。印刷版材として、赤く染色
した厚さ１２５μｍのポリイミドフィルム（東レデュポ
ン（株）商品名 カプトンＶ）に厚さ２５μｍのポリイ
ミド接着フィルム（東レデュポン（株）商品名 カプト
ンＫＪ）を熱ラミネートしたポリマフィルム２からなる
印刷版素材をＹＡＧレーザ加工機の加工ステージの枠に
固定し、この枠を穴開け加工すべき複数のパターンに応
じて移動させポリイミドフィルム側からＹＡＧ基本波
（ルモニックス（株）製の半導体励起ＹＡＧレーザ発振
器使用）を３キロヘルツでパルス照射することによって
最小開口幅が０．１５ｍｍの開口貫通孔を持つポリマフ
ィルム２を得た。得られたポリマフィルム２と厚さ３０
μｍの４２ニッケルからなる金属板３とを用いて２８０
℃で真空ラミネートし、開口貫通孔を有する該ポリマフ
ィルムをエッチングマスクとして使用し、該ポリマフィ
ルムの開口貫通孔から金属板をおかすことのできる薬剤
として、塩化第二鉄塩酸溶液をスプレー法で接触させて
ポリマフィルムと金属板からなる積層体に貫通孔を形成
したものである。得られた印刷版の４２ニッケルからな
る金属板３には所定寸法で良好な形状を持つ開口部が形
成され切断面は平滑であり、ポリマフィルム２には所定
寸法とほとんど同一かやや大きめの開口幅が形成され
た。

【００３４】この版を１リットル当たり５０ｇの過マン
ガン酸カリを含むｐＨ１３．５の処理液中で８０℃で１
０分間処理した後、水洗乾燥し、ポリマフィルムの貫通
孔内壁に付着した炭化物を除去した。

【００３５】この印刷版をスクリーン印刷機に取り付
け、図２に示すように、スキージ５が、半田ペーストイ
ンキ６を印刷版の金属板３に対して擦りつけながら、印
刷版上を移動し、被印刷体４であるプリント配線回路板
上の所要パット部に半田ペーストインキを印刷した。印
刷時にプリント配線回路基板と印刷版の密着性は良好
で、半田ペーストインキのニジミはみられず、１５０回
連続印刷後も半田ペーストインキのニジミに起因する半
田ボールやパターンの形状不良およびかすれ等に関する
不具合は見られなかった。

【００３６】比較例として、実施例１の印刷版の過マン
ガン酸カリ水溶液による処理を行わなかった場合は、ペ
ーストインキのニジミに起因する不具合は見られなかっ
たが、印刷するに従い半田ペーストインキの付着量にム
ラを生じ、１５回連続印刷するとかすれを生じた。

【００３７】比較例として、厚み１４５μｍの４２ニッ
ケルのみからなる金属シートを用い例１と同じ方法によ
って、０．１５ｍｍの開口貫通孔を持つ半田ペースト用
印刷版を得た。得られた印刷版の４２ニッケルからなる
金属板３には所定寸法で良好な形状を持つ開口部が形成
され切断面は平滑であったが、金属板をおかすことので
きる薬剤処理を行わないで、被印刷体４であるプリント
配線回路板上の所要パット部に半田ペーストインキを用
いて印刷を繰り返した。３０回連続印刷するとに半田ペ
ーストインキのニジミに起因する半田ボールやパターン
の形状不良等に関する不具合が見られ、印刷を中断し
て、印刷版の印刷面をクリーニングする必要が生じた。

【００３８】図４は、本発明の実施例２の印刷版の１つ
の開口部の断面形状である。厚さ３０μｍのステンレス
鋼ＳＵＳ３０１の金属板３にＹＡＧレーザの基本波を照
射して、実施例１と同様な貫通孔を形成した。緑色に染
顔料で着色した厚み７５μｍのポリエステル系熱可塑性
エラストマフィルム（東レデュポン（株）の商品名ハイ
トレル（ショア硬度５５Ｄ））に厚さ１５μｍの接着剤
（ポリエステル系熱可塑性接着剤（東洋紡（株）の商品
名バイロン３０Ｐ）とエポキシ接着剤（シェル（株）の
商品名エピコート１５２）のと混合物）をコートしたポ
リマフィルム２と貫通孔を形成した金属板３とを張り合
わせた。ＹＡＧレーザの第２高調波（波長５３２ｎｍ）
を第４高調波発生ユニット（非線形光学結晶素子から構
成）に入射して得られた第４高調波（波長２６６ｎｍ）
を金属板３の貫通孔を通してポリマフィルム２に照射
し、金属板と同一形状の貫通孔をポリマフィルムに形成
せしめた。このようにして得られた積層された版のステ
ンレス鋼からなる金属板に電極をつけ、リン酸および硫
酸からなる電解水溶液中に５０℃で噴流をあてながら電
解研磨して金属板の貫通孔内壁の凹凸を除去した。この
版はポリマフィルムとしてゴム弾性を有する樹脂を使用
しているので、被印刷体との密着性は良好であり、４０
０回連続印刷しても被印刷体に印刷インキのニジミは見
られなかった。

【００３９】図５は、本発明の実施例３の印刷版の１つ
の開口部の断面形状である。カーボンブラックと紫外線
吸収剤を配合したクロロプレンゴム（ショア硬度５０
Ｄ）からなる厚み１ｍｍにゴム系接着剤（セメダイン
（株）の商品名セメダイン５７５）をコートしたポリマ
フィルム２からなる印刷版素材を用いた。この印刷版素
材を２キロヘルツでパルス照射する炭酸ガスレーザ光を
用いて加工したものである。得られたポリマフィルム２
と厚さ３０μｍのＳＵＳ３０１の金属板３とを張り合わ
せ実施例１で用いた金属板３のエッチング薬剤処理およ
びポリマフィルムの薬剤処理を行った。この印刷版の断
面形状は良好であった。ＴＡＢテープに実装した半導体
の被印刷体に印刷インキとしてエポキシ系封止剤（北陸
塗料（株）の商品名チップコート８３０４）を使用して
印刷したが、５００回以上連続印刷後も被印刷体に印刷
インキのニジミは見られなかった。

【００４０】図６は本発明の実施例４の印刷版の１つの
開口部の断面形状である。レーザ加工機として、第三次
高調波のＹＬＦレーザ発振器（フォトニックス社製）の
レーザ光路内にガルバノスキャニングミラー（ガルバノ
スキャン社製）および焦点距離１００ｍｍのエフシータ
・レンズを設置したレーザ加工機を用い、４キロヘルツ
でパルス照射した他は、実施例１と同様にして、最小開
口幅０．１５ｍｍの開口貫通孔を持つ半田ペースト用印
刷版を得た。

【００４１】ガルバノスキャニングミラーを使用する事
によって、版の製造時間は実施例１の製造時間の１／６
程度まで短縮する事が出来た。

【００４２】得られた開口貫通孔を持つポリマフィルム
を実施例１と同様に処理することによって、所定寸法で
良好な形状を持ち、切断面は平滑である開口部を持つ印
刷版がが得られた。この版を用いて実施例１と同様に印
刷を行った所、１５０回以上連続印刷を行っても不具合
は見られなかった。

【００４３】

【発明の効果】本発明は、プリント回路板に表面実装を
行うための半田ペーストや、半導体チップを封止するた
めの樹脂封止剤や、半導体チップやプリント回路板にバ
ンプや電気回路を形成するための導電性ペースト等をス
クリーン印刷機で印刷するための印刷版に関するもので
ある。金属板にレーザ光を照射して複数の開口貫通孔を
形成せしめた後、該金属板とポリマフィルムとを積層せ
しめ、引き続き開口貫通孔を有する該金属板をマスクと
して、該ポリマフィルムに固体レーザの基本波、固体レ
ーザの高次高調波、これらの任意のミキシング光または
炭酸ガスレーザ光を照射して複数の開口貫通孔を形成せ
しめる方法もしくはポリマフィルムに固体レーザーの基
本波、固体レーザの高次高調波、これらの任意のミキシ
ング光または炭酸ガスレーザ光を照射して複数の開口貫
通孔を形成せしめた後、該ポリマフィルムと金属板とを
積層せしめ、引き続き開口貫通孔を有する該ポリマフィ
ルムをマスクとして、該金属板をおかすことのできる薬
剤を接触させることにより該金属板を選択的にエッチン
グして、該ポリマフィルムと該金属板からなる積層体に
複数の開口貫通孔を形成せしめることを特徴とする印刷
版の製造法に関するものである。被印刷体と接する側に
印刷版のポリマフィルムを配設することにより、被印刷
体との密着性が高められる結果、印刷時の印刷インキの
ニジミが発生し難くなり、また、印刷時にスキージが印
刷インキを擦りつける側に金属板を配設しているため、
印刷位置のずれや寸法の変化が発生せずまた、耐摩耗性
が著しく改善される。また、特に、感光性樹脂を用いる
ことに由来する工程の複雑さや解像性や開口貫通孔の形
状やポリマがもろいことなどによって起きる欠陥がな
く、ポリマフィルムが固体レーザの高次高調波により複
数の開口貫通孔が形成されているので、低コストで断面
形状に優れた高品質の印刷版を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】印刷版全体の概略平面図である。

【図２】図１の印刷版を使用して印刷インキを印刷して
いる状態を示す断面図である。

【図３】実施例１の印刷版の１つの開口部の断面形状で
ある。

【図４】実施例２の印刷版の１つの開口部の断面形状で
ある。

【図５】実施例３の印刷版の１つの開口部の断面形状で
ある。

【図６】実施例４の印刷版の１つの開口部の断面形状で
ある。

【符号の説明】

１ 印刷枠 ２ ポリマフィルム ３ 金属板 ４ 被印刷体 ５ スキージ ６ 印刷インキ ７ 開口貫通孔

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚さ０．０１０から０．２００ｍｍの金
   属板にレーザー光を照射して複数の開口貫通孔を形成せ
   しめた後、該金属板と厚さ０．０１５から２．０００ｍ
   ｍのポリマフィルムとを積層せしめ、引き続き該金属板
   の開口貫通孔から該ポリマフィルムに固体レーザの基本
   波、固体レーザの高次高調波、これらの任意のミキシン
   グ光または炭酸ガスレーザー光を照射して複数の開口貫
   通孔を形成せしめることを特徴とする印刷版の製造法。
2. 【請求項２】 厚さ０．０１５から２．０００ｍｍのポ
   リマフィルムに固体レーザの基本波、固体レーザの高次
   高調波、これらの任意のミキシング光または炭酸ガスレ
   ーザー光を照射して複数の開口貫通孔を形成せしめた
   後、該ポリマフィルムと厚さ０．０１０から０．２００
   ｍｍの金属板とを積層せしめ、引き続き該ポリマフィル
   ムの開口貫通孔から該金属板をおかすことのできる薬剤
   を接触させることにより、該ポリマフィルムと該金属板
   からなる積層体に複数の開口貫通孔を形成せしめること
   を特徴とする印刷版の製造法。
3. 【請求項３】 開口貫通孔を形成した後、積層する前ま
   たは積層して請求項１または２の方法によって積層体に
   複数の開口貫通孔を形成せしめた後に、ポリマフィルム
   をおかすことのできる薬剤処理と金属板をおかすことの
   できる薬剤処理のいずれか又はその両方の処理を行うこ
   とを特徴とする請求項１または２の印刷版の製造法。
4. 【請求項４】 請求項１から２記載の固体レーザが、Ｙ
   ＡＧレーザであることを特徴とする印刷版の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１から２記載の固体レーザがＹＬ
   Ｆレーザであることを特徴とする印刷版の製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１から４のいずれかの方法で得ら
   れた印刷版。