JPH11111810A

JPH11111810A - カセット室

Info

Publication number: JPH11111810A
Application number: JP29050397A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Saeki; 弘明佐伯
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1997-10-07
Filing date: 1997-10-07
Publication date: 1999-04-23

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】２つの基板検出センサ部を設けることによ
り、小さな上下方向のストロークにより基板のマッピン
グを行なうことができるカセット室を提供する。【解決手段】基板搬出入口２０より上側に設けた第１
の基板検出センサ部７２と、基板搬出入口より下側に設
けた第２の基板検出センサ部７４とを備え、カセット載
置台を上下方向へ移動させることにより第１の基板検出
センサ部によりカセットＣ内の基板Ｗの有無を検出し、
第２の基板検出センサ部によりダミー用カセット２６内
のダミー基板の有無を検出するようにする。これによ
り、カセット載置台のストローク量が少なくて済み、そ
の分、カセット室の高さを小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
処理室に対して直接的或いは間接的に連結されるカセッ
ト室に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハ等の基板に対して
各種の処理、例えば成膜処理やエッチング処理や、熱酸
化処理等を行なう処理室の前段側には、多数枚、例えば
２５枚程度の基板を一度に収納できるカセットを収容す
るカセット室が設けられており、このカセット室と処理
室との間に搬送室を介して基板の受け渡しを行なうよう
になっている。この場合、カセット内の２５個のスロッ
トの内、どのスロットに基板が有り、どのスロットには
基板が無いかを知ることは、処理室や搬送系を制御する
制御系にとって重要である。また、一般的には、カセッ
ト室内には、実際の製品基板の処理に先立って処理条件
を安定化させるために、或いは処理内容をモニターする
ために用いられるダミー基板が複数枚用意されており、
このダミー基板が、ダミー用カセットのどのスロットに
入っているかを予め検知しておくことも処理を行なう上
から重要である。このようにカセット内の基板の有無を
検出する操作をマッピング操作というが、一般的には、
このマッピング操作は、光センサを用いてカセット内の
基板の有無を検出することによって行なわれている。

【０００３】この状態を図８〜図１２に基づいて詳述す
る。図８は複数の処理室を有するクラスタツール装置の
斜視図を示し、図９はその平面断面図を示し、図１０は
カセット室を示す断面図である。このクラスタツール装
置は、２つの処理室２、４とこれに接続された１つの搬
送室６と、これに接続された２つのカセット室８、１０
により主に構成される。各室間は、気密に開閉可能にな
されたゲートバルブＧを介して連通遮断可能になされ
る。上記搬送室６内には、屈伸及び回転可能になされた
例えば多関節式の搬送アーム１２が設けられ、この１つ
のアーム１２により各室８、１０内のカセットＣに収容
されている半導体ウエハ等の基板Ｗの搬入・搬出を行な
う。

【０００４】両カセット室８、１０は、略同様に構成さ
れており、図１０はその内の一方のカセット室８の断面
を示している。このカセット室８は、例えばアルミニウ
ム製のカセット収納容器１４を有しており、このフロン
ト側の下部には、カセットＣを搬出入できる大きさのカ
セット搬出入口１６が設けられ、この搬出入口１６に
は、これを気密に開閉するゲートドア１８が設けられ
る。また、このカセット搬出入口１６と略対向する側壁
の略中段には、上記搬送室６に連通される基板搬出入口
２０が設けられており、この搬出入口２０にはこれを気
密に開閉するゲートバルブＧが設けられる。このカセッ
ト室８内には、底部より気密に貫通して設けた昇降機構
２２に取り付けたカセット載置台２４が、昇降可能に設
けられており、このカセット載置台２４上に上記カセッ
トＣを横置きで載置するようになっている。

【０００５】このカセット載置台２４は、複数枚、例え
ば３枚のダミー基板ＤＷを収容するダミー用カセット２
６と、上記カセットＣを直接的に載置支持するカセット
台２８とよりなり、このカセット台２８下面とダミー用
カセット２６の上面とは、カセット台２８の水平レベル
を調整する複数のレベル調整ネジ３０により連結されて
いる。上記カセット台２８上に載置されるカセットＣ
は、図１１及び図１２に示すように構成される。

【０００６】図１１はカセットの一例を示す斜視図、図
１２はカセットを示す断面図である。カセットＣは、全
体がコンタミが発生し難く、且つパーティクルも発生し
難い樹脂、例えばテフロン樹脂により形成される。この
前方には基板の搬入搬出を行なう前方開口部３２が形成
され、これと反対側の後方には後方開口部３４が形成さ
れる。このカセットＣの上部には、これを把持する時に
つかむ把手３６が設けられる。また、このカセットＣの
内部側壁の両側には、収容方向に沿って延在される幅狭
の棚部３８すなわちスロットが多段に設けられており、
これに基板Ｗの縁部を支持させて、基板、すなわち半導
体ウエハを保持するようになっている。カセットＣ内に
は、８インチウエハの場合では、例えば２５枚のウエハ
が収容でき、１２インチウエハの場合には、例えば１３
枚或いは２５枚のウエハを収容できるようになってい
る。

【０００７】さて、このように成形されたカセットＣ及
びダミー用カセット２６内の基板の有無のマッピングを
行なうには、一般的には発光素子と受光素子とよりなる
光学式のセンサを用いるが、カセットＣの側部は、側壁
４０、４０により被われているので、開放されている前
方開口部３２と後方開口部３４間に亘ってセンサ光を通
すことにより基板のマッピングを行なう。そのため、図
１０に示すようにカセット室８の前方壁８Ａと、これに
略対向する後方壁８Ｂにカセット室８内を見通せる例え
ばガラス製のビューポート４２、４４を設け、ここに例
えばレーザ光を発生するレーザ発光素子４６とレーザ受
光素子４８を設置している。これにより、カセット載置
台２４を上昇させた時に、カセットＣ内の基板Ｗやダミ
ー用カセット２６内のダミー基板ＤＷがレーザ光を横切
ることによって、当該スロットにおける基板Ｗやダミー
基板ＤＷの有無を検出して、マッピングを行なうように
なっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな装置例にあっては、基板Ｗやダミー基板ＤＷのマッ
ピングを行なうためには、図１０から明らかなように、
少なくともカセットＣの高さと、ダミー用カセット２６
の高さとを合計した長さ以上に亘ってカセット載置台２
４を上昇させねばならず、このため、ストロークが長く
なってカセット室自体の全体の高さがかなり大型化して
しまうという問題点があった。本発明は、以上のような
問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたも
のである。本発明の目的は、２つの基板検出センサ部を
設けることにより、小さな上下方向のストロークにより
基板のマッピングを行なうことができるカセット室を提
供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、一側面に、複数の基板を多段に収容し
得るカセットを搬入・搬出させるために開閉可能になさ
れたカセット搬出入口を有し、これと略対向する他側面
に前記カセット内の基板を搬入・搬出させるために開閉
可能になされた基板搬出入口を有するカセット収納容器
と、前記カセットを載置して昇降するカセット載置台
と、このカセット載置台に、ダミー基板を収容するため
に固定的に設けられたダミー用カセットとを有するカセ
ット室において、前記基板搬出入口より上側に設けた第
１の基板検出センサ部と、前記基板搬出入口より下側に
設けた第２の基板検出センサ部とを備え、前記カセット
載置台を上下方向へ移動させることにより前記第１の基
板検出センサ部により前記カセット内の基板の有無を検
出し、前記第２の基板検出センサ部により前記ダミー用
カセット内のダミー基板の有無を検出するように構成し
たものである。

【００１０】これにより、カセットをカセット載置台に
載置した状態で一定のストロークだけ上昇させることに
より、第１の基板検出センサ部は、カセット内の基板の
有無を調べてこのマッピングを行ない、また、第２の基
板検出センサ部はダミー用カセット内のダミー基板の有
無を調べてこのマッピングを行なう。従って、１つの基
板検出センサ部により基板及びダミー基板のマッピング
を行なった場合と比較して、そのストローク量を小さく
できるので、その分、カセット室の高さ自体を小さくす
ることができる。よって、ストローク量を小さくした分
だけ、カセット室の高さを小さくすることが可能とな
る。

【００１１】また、第２の基板検出センサ部には、カセ
ット載置台にカセットが載置されているか否かを検出す
るカセット有無検知機能を合わせ持たせることができ
る。このような第１及び第２の基板検出センサ部は、レ
ーザ光を発するレーザ発光素子とこのレーザ光を受光す
るレーザ受光素子により形成することができる。更に、
ダミー用カセットを有しない場合には、第１及び第２の
基板検出センサ部により、カセット内の基板の有無を、
領域を例えば上下に分けて検出するようにしてもよい。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るカセット室
の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１は本発
明のカセット室を示す部分破断斜視図、図２は図１に示
すカセット室の基板検出センサ部の取り付け状態を示す
概略断面図、図３乃至図５は図１に示すカセット室を示
す断面図、図６及び図７はカセットの有無を検知するス
イッチ部を示す拡大断面図である。尚、先に説明した従
来の装置と同一部分については同一符号を付して説明を
行なう。本願発明と先に説明した従来装置との大きな差
は、本願発明ではダミー用カセット内のダミー基板をマ
ッピングする第２の基板検出センサ部を設けて、マッピ
ング時の全体のストロークを小さくした点である。

【００１３】図示するように、このカセット室５０は、
例えばアルミニウム製の真空引き及びＮ₂ パージが可能
なカセット収納容器５２を有しており、この前方壁５２
Ａの下部には、カセットＣを搬出入できる大きさのカセ
ット搬出入口１６が開口されており、この搬出入口１６
には、これを気密に開閉するゲートドア１８が設けられ
る。また、このカセット搬出入口１６と略対向する後方
壁５２Ｂの略中段には、前記搬送室６（図９参照）に連
通される基板搬出入口２０が設けられており、この搬出
入口２０にはこれを気密に開閉するゲートバルブＧが設
けられる。このゲートバルブＧの中心レベルが基板Ｗを
搬送室６に対して搬出入する際の搬送面５４となり、カ
セットＣを１スロットずつ上下動しつつこの基板搬出入
口２０を介して基板Ｗの受け渡しを行なうようになって
いる。

【００１４】このカセット室５０内には、底部５６より
気密に貫通させた昇降機構２２を設けており、この上端
にカセット載置台２４を取り付けて、これを昇降自在と
している。そして、このカセット載置台２４上に、カセ
ットＣを横置きで、すなわち前方開口部３２（図１１及
び図１２参照）を搬送室６側に向けた状態で載置するよ
うになっている。このカセット載置台２４は、複数枚、
例えば３枚のダミー基板ＤＷを収容するダミー用カセッ
ト２６と図１１及び図１２に示すようなカセットＣを直
接的に載置支持するカセット台２８とよりなる。ダミー
用カセット２６の構造は、比較的自由度が大きく、図３
乃至図５においてカセット２６内を通って紙面垂直方向
への光路を形成できるようになっている。そして、この
カセット台２８とダミー用カセット２６の上面とは、カ
セット台２８の水平レベルを調整する複数のレベル調整
ネジ３０により連結されている。

【００１５】図示例ではレベル調整ネジ３０が２個記載
されているが、実際には３個程度設けられる。上記カセ
ット台２８には、図６及び図７にも示すようにカセット
有無検出スイッチ５８が設けられる。具体的には、この
検出スイッチ５８は、カセット台２８の下面に板バネ等
よりなる弾性部材６０の基端部をネジ６２で固定し、そ
の先端に、上向きに起立させて押し棒６４を設けると共
に、下向きに光遮断板６６を取り付けて構成されてい
る。上記押し棒６４は、カセット台２８に形成した操作
孔６８を貫通してその上端がカセット台２８の水平レベ
ルよりも僅かに上方へ飛び出すようになっている（図６
参照）。

【００１６】そして、図６に示す状態において、光遮断
板６６よりも僅かに下方の黒丸が位置するところに、後
述する第２の基板検出センサ部の光軸７０を通すように
なっている。従って、図７に示すようにカセットＣがカ
セット台２８に載置されると押し棒６４が下方に押され
ることによって光遮断板６６が光軸７０を通るレーザ光
を遮断することになり、これによってカセットＣの存否
を検出できるようになっている。尚、カセット載置台２
４の構成は単に一例を示したに過ぎず、どのような構造
のカセット載置台でもよく、例えばカセット台２８等を
カセット搬出入口２６から外側へ展開するなどしてカセ
ットＣを最終的にカセット台２８上へ載置するような構
造のものでもよい。

【００１７】そして、搬送面５４の上方、より詳しくは
基板搬出入口２０の上側には、カセットＣ内の基板Ｗの
有無を検知するための第１の基板検出センサ部７２が設
けられる。この第１の基板検出センサ部７２は、図２に
も示すように前方壁５２Ａにおいてカセット搬出入口１
６よりも僅かに上方に設けたレーザ発光素子４６と、こ
のレーザ光ＬＡ１を受けるために後方壁５２Ｂにおいて
基板搬出入口２０よりも僅かに上方に設けたレーザ受光
素子４８とにより構成されている。この第１の基板検出
センサ部７２の取付レベルは、カセット室の高さを小さ
くするためには、できるだけ基板搬出入口２０に接近さ
せるのがよい。このレーザ発光素子４６からは、レーザ
光ＬＡ１が略水平方向に位置するレーザ受光素子４８に
向けて放射され、基板Ｗがこのレーザ光を横切ることに
よってその有無を確認できるようになっている。

【００１８】発光素子４６及び受光素子４８が設けられ
る壁５２Ａ、５２Ｂには、カセット室５０内を見通せる
例えばガラス製のビューポート４２、４４が気密に設け
られて、上述のようにレーザ光を通過させるようになっ
ている。そして、このカセット収納容器５２の基板搬出
入口２０の下部側には、本発明の特長とする第２の基板
検出センサ部７４（図１及び図２参照）が設けられる。
この第２の基板検出センサ部７４は、上記レーザ発光素
子４６とレーザ受光素子４８のなす光軸に対して交わる
方向となるような方向に配置されたレーザ発光素子７６
とこのレーザ光を受光するレーザ受光素子７８とにより
形成される。具体的には、レーザ発光素子７６は、カセ
ット収納容器５２の一方の側壁５２Ｃに例えばガラス製
のビューポート８０を介して設けられ、レーザ受光素子
７８は、上記側壁５２Ｃと略対向する他方の側壁５２Ｄ
に同じくビューポート８２を介して取り付けられてい
る。この時のレーザ発光素子７８からのレーザ光ＬＡ２
は水平方向へ放出され、図６において黒丸で示す光軸７
０を通るようになっている。尚、この図６においては、
カセット載置台２４は、図３に示すように最下端部、す
なわちカセットＣをロード、アンロードするポジション
に位置付けされた時の状態を示している。

【００１９】これにより、ダミー用カセット２６が上昇
した時に、ダミー基板ＤＷがレーザ発光素子７６からの
レーザ光ＬＡ２を一時的に遮断することによりその有無
を検出できることになる。ここでは、第２の基板検出セ
ンサ部７４は、第１の基板検出センサ部７２の検出方向
と略直交する方向に設けたが、第１の基板検出センサ部
７２の検出方向と略平行となるように設けてもよい。そ
の場合、この第２の基板検出センサ部７４の発光素子７
６或いは受光素子７８はゲートドア１８に取り付けるこ
とになる。

【００２０】次に、以上のように構成されたカセット室
の動作について説明する。まず、カセット室５０のフロ
ント側のゲートドア１８を開き、開放されたカセット搬
出入口１６を介して、カセット載置台２４上にカセット
Ｃを横置き状態で載置する（図３参照）。このカセット
Ｃの載置は、オペレータが行なってもよいし、或いは自
動搬送機構等を用いて自動で行なってもよく、その形態
は問わない。このカセットＣを搬入する場合には、カセ
ット載置台２４は、昇降機構２２により最下端部の所定
の位置に位置付けられている。このように、カセットＣ
がカセット載置台２４のカセット台２８上に載置支持さ
れると、図６に示すようにカセット台２８の上方に突出
していたカセット検出部材５８の押し棒６４は図７に示
すようにカセットＣの底部に押されて、この結果、弾性
部材６０は下方向に屈曲変形する。すると、この弾性部
材６０の先端に設けていた光遮断板６６が光軸７０をさ
え切る、ここを通っていた第２の基板検出センサ部７４
のレーザ発光素子７６（図２参照）からのレーザ光ＬＡ
２を遮断することになる。この結果、レーザ受光素子７
８にはレーザ光ＬＡ２が届かなくなって、カセットＣの
存在を認識することができる。

【００２１】このように、カセットＣの存在を確認した
ならば、ゲートドア１８を閉め、次にマッピング操作へ
と移行する。このマッピング操作では、カセットＣを載
置した状態でカセット載置台２４を例えば一定の速度で
図４及び図５に示す順序で上昇させる。そして、この時
の各基板検出センサ部７２、７４の出力変化によりマッ
ピングを行なう。すなわち、図３に示す状態から昇降機
構２２を駆動することによりカセット載置台２４を徐々
に上昇させていく。この場合、当然のこととして、カセ
ットＣ内やダミー用カセット２６内の各スロットと上昇
量とは一対一対応で予め規定されている。

【００２２】従って、カセットＣの上昇にともなって、
第１の基板検出センサ部７２のレーザ発光素子４６から
のレーザ光ＬＡ１が一時的に遮断されれば、それに対応
するスロットに基板Ｗが存在することを示し、遮断され
なければ対応するスロットには基板Ｗが存在しないこと
になる。同様に、第２の基板検出センサ部７４のレーザ
発光素子７６からのレーザ光ＬＡ２が一時的に遮断され
れば、それに対応するスロットにダミー基板ＤＷが存在
することを示し、遮断されなければ対応するスロットに
はダミー基板ＤＷが存在しないことになる。このように
して、各スロットにおける基板或いはダミー基板の存否
を確認して図５に示す位置までカセット載置台２４が上
昇した時にマッピングが終了する。

【００２３】すなわち、第１の基板検出センサ部７２の
レーザ光ＬＡ１の水平レベルに、カセットＣの底部が略
達する所までカセット載置台２４を上昇させればよいこ
とになり、この時点では、ダミー用カセット２６内のダ
ミー基板ＤＷのマッピングは第２の基板検出センサ部７
４により完了されていることになる。従って、図１０に
示した場合と比較して、ダミー用カセット２６の高さ分
及びこの上に支持されるカセット台２８までの高さ分に
相当する距離Ｌ１だけ昇降機構２２のストローク量を少
なくすることができる。従って、カセット室５０の高さ
をこの距離Ｌ１に相当する分だけ低くすることができ、
この小型化を図ることができる。

【００２４】実際の装置例では、例えばカセットＣが基
板として８インチサイズのウエハを２５枚を収納できる
場合には、カセットＣの高さＬ２は略２００ｍｍ程度で
あり、また、３枚のダミー基板を収納できるダミー用カ
セット２６の場合には、距離Ｌ１は８０〜１００ｍｍ程
度となる。従って、この場合には、カセット室５０の高
さは最大１００ｍｍ程度低くすることができることにな
る。また、ここではダミー基板ＤＷの存否の検出に用い
る第２の基板検出センサ部７４のレーザ発光素子７６か
らのレーザ光ＬＡ２を、図６に示す光軸７０に通すこと
によって、カセット有無検出部材５８の屈曲状態を検出
してカセット有無の判断も行なうことができるようにし
ているので、カセット有無判断用のスイッチを別途設け
る必要もなく、装置を簡略化することができる。

【００２５】また、実施例では、ダミー基板ＤＷ及びダ
ミー用カセット２６を用いた場合を例にとって説明した
が、これらを用いない場合にも本願発明装置を適用する
ことができる。この場合には、第２の基板検出センサ部
７４のレーザ発光素子７６とレーザ受光素子７８とをそ
れぞれ前方壁５２Ａ及び後方壁５２Ｂに設けた第１の基
板検出センサ部７２のレーザ発光素子４６とレーザ受光
素子４８と略平行となるように設定する（図２参照）。
そして、これらの第１と第２の基板検出センサ部７２、
７４によりカセットＣ内の基板Ｗを、それぞれ区分を分
割してマッピングする。例えば第１の基板検出センサ部
７２により、カセットＣ内の上半分のスロットの基板の
有無を検知してマッピングを行ない、第２の基板検出セ
ンサ部７４によりカセットＣ内の残りの下半分のスロッ
トの基板の有無を検知してマッピングを行なうようにす
ればよい。

【００２６】この場合にもカセット載置台２４のストロ
ーク量を少なくでき、その分、カセット室の高さを低く
することができる。尚、ここではカセット室をクラスタ
ツール装置に適用した場合を例にとって説明したが、こ
れに限定されず、単独の処理室にカセット室を接続する
ような場合にも、本発明を適用し得るのは勿論である。
また、ここでは基板として半導体ウエハを例にとって説
明したが、これに限定されず、ＬＣＤ基板、ガラス基板
等にも適用することができる。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカセット
室によれば、次のように優れた作用効果を発揮すること
ができる。カセット室に、上下に異なる位置に第１と第
２の基板検出センサ部を設けて、第１の基板検出センサ
部によりカセット内の基板のマッピングを行ない、第２
の基板検出センサ部によりダミー用カセット内のダミー
基板のマッピングを行なうようにしたので、カセット載
置台を上昇するストローク量が少なくて済み、その分、
カセット室の高さを抑制することができる。また、第２
の基板検出センサ部に、カセット載置台上に載置される
べきカセットの有無を判断するカセット有無検出機能を
合わせ持たせるようにしたので、カセットの有無を判断
する複雑なスイッチ機能を別途設ける必要がない。更
に、ダミー用カセットを用いない場合には、第１及び第
２の基板検出センサ部により、カセット内の基板の有無
を、カセット内の領域を例えば上下に分けて検出してマ
ッピングすることができ、この場合にもカセット載置台
のストローク量を少なくして、その分、カセット室の高
さを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカセット室を示す部分破断斜視図であ
る。

【図２】図１に示すカセット室の基板検出センサ部の取
り付け状態を示す概略断面図である。

【図３】図１に示すカセット室を示す断面図である。

【図４】図１に示すカセット室を示す断面図である。

【図５】図１に示すカセット室を示す断面図である。

【図６】カセットの有無を検知するスイッチ部を示す拡
大断面図である。

【図７】カセットの有無を検知するスイッチ部を示す拡
大断面図である。

【図８】複数の処理室を有するクラスタツール装置を示
す斜視図である。

【図９】図８に示す装置の平面断面図である。

【図１０】カセット室を示す断面図である。

【図１１】カセットの一例を示す斜視図である。

【図１２】カセットを示す断面図である。

【符号の説明】

１６カセット搬出入口２０基板搬出入口２４カセット載置台２６ダミー用カセット２８カセット台４６レーザ発光素子４８レーザ受光素子５０カセット室５２カセット収納容器７２第１の基板検出センサ部７４第２の基板検出センサ部７６レーザ発光素子７８レーザ受光素子ＬＡ１，ＬＡ２レーザ光ＤＷダミー基板Ｗ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一側面に、複数の基板を多段に収容し得
るカセットを搬入・搬出させるために開閉可能になされ
たカセット搬出入口を有し、これと略対向する他側面に
前記カセット内の基板を搬入・搬出させるために開閉可
能になされた基板搬出入口を有するカセット収納容器
と、前記カセットを載置して昇降するカセット載置台
と、このカセット載置台に、ダミー基板を収容するため
に固定的に設けられたダミー用カセットとを有するカセ
ット室において、前記基板搬出入口より上側に設けた第
１の基板検出センサ部と、前記基板搬出入口より下側に
設けた第２の基板検出センサ部とを備え、前記カセット
載置台を上下方向へ移動させることにより前記第１の基
板検出センサ部により前記カセット内の基板の有無を検
出し、前記第２の基板検出センサ部により前記ダミー用
カセット内のダミー基板の有無を検出するようにしたこ
とを特徴とするカセット室。
【請求項２】一側面に、複数の基板を多段に収容し得
るカセットを搬入・搬出させるために開閉可能になされ
たカセット搬出入口を有し、これと略対向する他側面に
前記カセット内の基板を搬入・搬出させるために開閉可
能になされた基板搬出入口を有するカセット収納容器
と、前記カセットを載置して昇降するカセット載置台と
を有するカセット室において、前記基板搬出入口より上
側に設けた第１の基板検出センサ部と、前記基板搬出入
口より下側に設けた第２の基板検出センサ部とを備え、
前記カセット載置台を上下方向へ移動させることにより
前記第１と第２の基板検出センサ部により前記カセット
内の基板の有無を、領域を分けて検出するようにしたこ
とを特徴とするカセット室。
【請求項３】前記第２の基板検出センサ部は、前記カ
セット載置台にカセットが載置されているか否かを検出
するカセット有無検出機能を合わせ持つことを特徴とす
る請求項１または２記載のカセット室。
【請求項４】前記第１及び第２の基板検出センサ部
は、それぞれレーザ光を発するレーザ発光素子と、この
レーザ光を受けるレーザ受光素子よりなることを特徴と
する請求項１乃至３のいずれかに記載のカセット室。