JPH11111832A

JPH11111832A - 精密基板収納容器

Info

Publication number: JPH11111832A
Application number: JP9270043A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Ohori; 伸一大堀
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1997-10-02
Filing date: 1997-10-02
Publication date: 1999-04-23
Anticipated expiration: 2017-10-02
Also published as: JP3904686B2

Abstract

(57)【要約】【課題】蓋体の開閉作業の作業性を向上させ、各種装
置に対する置き換えを容易化し、蓋体用の空きスペース
を省略等できる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ収納用の外箱１と蓋体７
とを回転可能に接合するヒンジ手段９を、外箱１の背面
壁５の上部に間隔をおいて複数成形され、Ｕ字形の切欠
部１５の開口を下方向に向ける第一の嵌合リブ１４、１
４Ａと、背面壁５の上部に成形され、Ｕ字形の切欠部１
６の開口を上方向に向ける第二の嵌合リブ１１と、蓋体
７の背面壁に間隔をおいて成形された複数の支持リブ１
７、１７Ａと、複数の支持リブ１７、１７Ａ間に架設成
形されて第一、第二の嵌合リブ部材１４、１４Ａ、１１
に複数の切欠部１５、１６を介し嵌合支持されるシャフ
ト１３とから構成する。片手又は自動機で蓋体７を容易
に開閉でき、開閉作業が簡素容易化し、作業性が向上す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
などを収納、搬送、又は保管する精密基板収納容器に関
し、より詳しくは、精密基板収納容器の開閉構造に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の精密基板収納容器は、図２７に示
すように、上部が開口した外箱１Ａ、上下部がそれぞれ
開口した整列内箱６Ａ、シリコンウェーハなどの半導体
ウェーハ（以下、ウェーハと略称する）Ｗ用の押さえ板
２１、及び開閉用の蓋体７Ａを備え、精密洗浄された後
に使用される。

【０００３】このような精密基板収納容器にウェーハＷ
を収納する場合には、先ず、整列内箱６Ａに複数のウェ
ーハＷを整列収納し、外箱１Ａに整列内箱６Ａを収納
し、外箱１Ａの開口上部の周縁部にシール部材であるパ
ッキン２Ａを嵌入する。そして、蓋体７Ａの内面に押さ
え板２１をセットし、外箱１Ａの開口上部に蓋体７Ａを
被せて被覆し、その後、外箱１Ａの両側壁上部の係止部
２２に蓋体７Ａの両側壁の係止フック２３をそれぞれ両
手でセットすれば、精密基板収納容器にウェーハＷを機
密状態に収納することができる。

【０００４】これに対し、精密基板収納容器からウェー
ハＷを取り出す場合、先ず、蓋体７Ａの係止フック２３
をそれぞれ両手で外して外箱１Ａの上部から蓋体７Ａを
取り外し、周囲の適当な箇所に蓋体７Ａを置いた後、外
箱１Ａから整列内箱６Ａを取り出せば、ウェーハＷを取
り出して加工することができる。このような蓋体７Ａの
開閉や整列内箱６Ａの取り出しは、ウェーハＷの製造工
程の一部において頻繁に行われる。

【０００５】ところで、精密基板収納容器は、精密洗浄
の作業効率を高めるため、外箱１Ａと蓋体７Ａとが二部
品で構成され、これら外箱１Ａと蓋体７Ａとが使用時に
おいても二部品の状態のままで使用されるが、これでは
部品の分散を招くこととなる。そこで、精密洗浄の作業
時に外箱１Ａと蓋体７Ａとを二部品とし、使用時におい
ては組み立てて一部品とする精密基板収納容器が要望さ
れている。

【０００６】この種の精密基板収納容器としては、図２
８に示すように、外箱１Ａの背面壁の上部に一対のナッ
クル２４を間隔をおき並べ備えた袖体２５を、蓋体７Ａ
の背面壁には単一のナックル２６を先端部に備えた羽体
２７をそれぞれ設け、一対のナックル２４にナックル２
６を挟持させて直列状態とし、これら一対のナックル２
４及びナックル２６にシャフト２８を挿着して回転可能
に接合する蝶番タイプの構成が考えられる。

【０００７】なお、この種の精密基板収納容器に関する
先行技術文献として特開平６−４０４６１号、実開昭６
３−８２７８８号、実開昭６３−１６６９４８号、及び
特開平９−１０７０２５号公報などがあげられる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来の精密基板収納容
器は、以上のように両手で係止フック２３を外して蓋体
７Ａを開閉しなければならないので、開閉作業が煩雑、
かつ面倒で、作業性を向上させることができないという
問題があった。また、アンローダなどの自動機に対する
置き換えも困難であるという問題があった。また、取り
外した蓋体用の十分な空きスペースが必要になるととも
に、散在したり、紛失しないよう蓋体７Ａの管理や保管
に留意しなければならなかった。

【０００９】このような問題を解消するには、精密基板
収納容器を前記蝶番タイプに構成する方法が考えられる
が、この方法には以下の問題が考えられる。先ず、蝶番
を射出成形で成形する場合、一対のナックル２４及びナ
ックル２６にシャフト２８を挿着する関係上、ナックル
２４、２６の貫通孔がアンダーカット部となり、このア
ンダーカット部用のスライド機構を射出成形用金型に設
けなければならない。したがって、構成の複雑化に伴
い、射出成形用金型が非常に高価になり、生産性の悪化
を招くこととなる。また、シャフト２８が別部品なの
で、精密洗浄作業時の分解や組立が困難化し、しかも、
シャフト２８が紛失するおそれがある。さらに、シャフ
ト２８を挿着固定するので、固定後においてはナックル
２４、２６の貫通孔を直接洗浄することができず、この
結果、洗浄効果が小さく、十分な乾燥効果を期待するこ
とができないおそれがある。

【００１０】本発明は、前記従来の問題に鑑みなされた
もので、蓋体の開閉作業の作業性を向上させ、各種装置
に対する置き換えを容易化し、しかも、蓋体用の空きス
ペースを省略することのできる精密基板収納容器を提供
することを目的としている。また、生産性を向上させ、
洗浄作業時の分解や組立を容易化し、十分な洗浄効果と
乾燥効果とを得ることを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、前記課題を達成するため、精密基板用の収納容
器の開口上部を蓋体で覆うものにおいて、前記収納容器
と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、
このヒンジ手段は、該収納容器の周壁上部に間隔をおい
て複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いず
れか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該収納容器の周
壁上部に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下い
ずれか他方向に向ける第二の嵌合リブと、前記蓋体の周
壁に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複
数の支持リブ間に架設されて該第一、第二の嵌合リブに
複数の該切欠部を介し支持されるシャフトとを含んでな
ることを特徴としている。

【００１２】また、請求項２記載の発明においては、前
記課題を達成するため、精密基板用の収納容器の開口上
部を蓋体で覆うものにおいて、前記収納容器と前記蓋体
とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、このヒンジ
手段は、前記収納容器の周壁上部に間隔をおいて設けら
れた複数の支持リブと、この複数の支持リブ間に架設さ
れたシャフトと、前記蓋体の周壁に間隔をおいて複数設
けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方
向に向ける第一の嵌合リブと、該蓋体の周壁に設けら
れ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に
向ける第二の嵌合リブとを含み、前記シャフトと該第
一、第二の嵌合リブとを複数の該切欠部を介し嵌合した
ことを特徴としている。なお、前記蓋体を所定の角度以
上で開放方向に回転させた時、前記第一、第二の嵌合リ
ブから前記シャフトを軸方向にスライドさせて分離可能
とすることが好ましい。

【００１３】ここで、特許請求の範囲における「精密基
板」には、少なくとも電気電子や半導体の製造分野で使
用される単数複数のアルミディスク、液晶セル、石英ガ
ラス、半導体ウェーハ、又はマスク基板などが含まれ
る。また、「回転」には回動や揺動などの技術が含まれ
る。また、「ほぼＵ字形」は、技術的思想に着目した実
質的な意味に理解されなければならず、少なくともコ字
形、半円形、又は半楕円形などの類似の形状を含む。

【００１４】請求項１又は２記載の発明によれば、蓋体
が回転して収納容器の開口上部を開閉する。この際、シ
ャフトを中心にして蓋体が接合状態のまま回転するの
で、開放位置や開放軌道などが一定化し、自動化に適す
るとともに、収納容器の周囲などに蓋体用の置き場所な
どを要しない。また、精密基板収納容器を射出成形で製
造する場合でも、アンダーカット部のないヒンジ手段を
用いるので、スライド機構を射出成形用金型に設ける必
要がない。また、蓋体にシャフトが一体構成されるの
で、洗浄時の分解や組立作業が容易化し、部品の紛失の
おそれもない。さらに、従来のナックルに相当するもの
がなく、全ての部分を直接洗浄することができる。ま
た、請求項３記載の発明によれば、収納容器と蓋体と
は、用途に応じて二部品に取り外されたり、一部品に組
み立てて一体化される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図１ないし図２６を参照し
て本発明の実施の形態を説明する。本実施形態における
精密基板収納容器は、図１に示すように、外箱１、整列
内箱６、及び蓋体７を含み、さらに外箱１と蓋体７とを
回転可能に接合するヒンジ手段９を備えている。

【００１６】外箱１は、機械的特性、汚染性、及び成形
性に優れたポリカーボネイトなどを成形材料として上部
が開口したトップオープンタイプのボックス構造に射出
成形され、その開口上部の周縁が下方に折り返されて補
強されており、この折り返し部と周壁との間には補強用
のリブが間隔をおいて複数介在成形されている。この外
箱１は、その上部に密封効果を発揮する枠形のパッキン
２が着脱自在に嵌合され、底部が前後方向にやや傾斜し
た上げ底構造に成形されている。また、外箱１の正面壁
３は、低く成形され、その折り返し部の表面両側から係
止部４がそれぞれ突出している。これに対し、背面壁５
は、正面壁３よりも高く成形され、補強用の凹部５０が
成形されている。また、外箱１の左右両側壁の上部は、
正面壁３から背面壁５に向かうにつれ徐々に高くなるよ
うそれぞれ傾斜成形されている。

【００１７】整列内箱６は、ポリプロピレンなどを成形
材料として基本的には透明の角筒形に射出成形されてい
る。この整列内箱６の開口上部はウェーハ（図示せず）
の取り出しが容易となるよう広く形成され、開口下部は
狭く形成されている。整列内箱６の左右両側壁の内面に
は複数の整列リブが所定のピッチ（例えば、１０ｍｍピ
ッチ）でそれぞれ並べて一体成形され、この複数の整列
リブが複数（例えば、１３枚又は２５枚）のウェーハを
整列状態で収納する。

【００１８】蓋体７は、ポリカーボネイトなどを成形材
料として透明に射出成形されている。この蓋体７は、外
箱１の形に対応して成形され、その表面の両側に補強用
の凸部がそれぞれ成形されており、開口部の周縁には外
方向に張り出す張り出し部が成形されている。また、蓋
体７の垂下した正面壁は、補強用の凹部７０を備え、表
面下部の両側からＬ字形の支持部８がそれぞれ突出し、
この一対の支持部８には工程内で使用されるカードホル
ダ用の係止フック（図示せず）が回転可能に支持されて
おり、この係止フックと外箱１の複数の係止部４とが係
止することで蓋体７が固定される。

【００１９】ヒンジ手段９は、外箱１に複数（本実施形
態では２群）の第一の嵌合リブ群１０と、複数（本実施
形態では２枚）の第二の嵌合リブ１１とがそれぞれ成形
され、蓋体７には複数（本実施形態では２群）の支持リ
ブ群１２が成形されており、各支持リブ群１２には円柱
形のシャフト１３が成形されている。各第一の嵌合リブ
群１０は、相互に対向する一対の第一の嵌合リブ１４、
１４Ａを備え、この一対の第一の嵌合リブ１４、１４Ａ
が外箱１の背面壁５の折り返し部の側方に間隔をおき一
体的に突出成形されている。各第一の嵌合リブ１４、１
４Ａは、板形に成形され、逆Ｕ字形の切欠部１５が成形
されており、各切欠部１５の開口が下方向に指向してい
る。

【００２０】各第二の嵌合リブ１１は、収納容器の背面
壁５の折り返し部の側方に一体的に突出成形され、一対
の第一の嵌合リブ１４、１４Ａの中間に位置している。
この各第二の嵌合リブ１１は、板形に成形され、開口を
上方向に指向させたＵ字形の切欠部１６が成形されてお
り、この切欠部１６と各第一の嵌合リブ１４、１４Ａの
切欠部１５とが相互に対向する。

【００２１】さらに、各支持リブ群１２は、相互に対向
する一対の支持リブ１７、１７Ａを備え、この一対の支
持リブ１７、１７Ａが蓋体７の背面壁７１の張り出し部
の側方に間隔をおき一体的に突出成形されるとともに、
この一対の支持リブ１７、１７Ａが斜め下方に向け傾斜
している。そして、この一対の支持リブ１７、１７Ａの
間にはシャフト１３が一体的に架設成形され、このシャ
フト１３が第一の嵌合リブ１４、１４Ａの切欠部１５と
第二の嵌合リブ１１の切欠部１６とに回転可能に嵌合軸
支される。この嵌合軸支作用により、蓋体７は、開放時
にシャフト１３を中心として外箱１の背面壁５の方向に
一定の弧を描きつつ揺動し、閉そく時には外箱１の開口
上部周縁に嵌合接触する。

【００２２】ここで、図６ないし図１１に示す第一、第
二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１、支持リブ１７、１７
Ａ、及びシャフト１３などに関する寸法は、それぞれ以
下のように設定されている。先ず、第一、第二の嵌合リ
ブ１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ１、ｎ２は、支持リ
ブ１７、１７Ａの幅ｔよりも０．５〜１．５ｍｍ大きく
設定されている。また、第一、第二の嵌合リブ１４、１
４Ａ、１１の幅ｍは、強度面と成形性との観点から３〜
５ｍｍ程度に成形される。また、第一の嵌合リブ１４、
１４Ａの開口基辺１８と第二の嵌合リブ１１の開口基辺
１９との間隔ｒと開口幅ｓとは、シャフト１３の太さよ
りも０．５〜１．５ｍｍ大きく設定されている。

【００２３】一対の支持リブ１７、１７Ａは、その厚み
ｉ、ｊがシャフト１３の太さと同等又は大きめの３．５
〜１０ｍｍ、幅ｔが強度面と成形性との観点から２〜５
ｍｍ程度に成形される。また、支持リブ１７の厚さｉと
支持リブ１７Ａの厚さｊとには、０．５〜３ｍｍの厚み
差ｋが付けられている、また、シャフト１３は、強度面
と成形性の観点からφ３〜８に成形されている。また、
図５におけるＰは蓋体７の回転支点、Ｑは外箱１と蓋体
７との嵌合仮想点である。回転支点Ｐは、蓋体７の開閉
時に整列内箱６の外壁６ａと蓋体７の内面７ａとの隙間
を確保するため、嵌合仮想点Ｑの外側で水平線上、又は
水平線よりも下方に設定される。

【００２４】前記構成において、精密洗浄・乾燥が完了
した外箱１と蓋体７とを接合するには、先ず、蓋体７を
裏返しにして蓋体７の表面を下方に位置させ、支持リブ
１７、１７Ａを垂直に指向させる。次いで、図１２、図
１３、及び図２４に示すように、第一、第二の嵌合リブ
１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ１にシャフト１３を挿
入してこのシャフト１３を開口基辺１８に接触させ、回
転支点Ｐを中心に蓋体７を１８０°回転させ、この蓋体
７の表面を上方に、支持リブ１７、１７Ａを垂直にそれ
ぞれ位置させる（図１４、図１５、図２５、及び図２６
参照）。

【００２５】この際、図２６に示すように、第一の嵌合
リブ１４と支持リブ１７とに接触面Ｃが生ずるので、蓋
体７は図の左側にはスライドせずに位置決めされる。次
いで、蓋体７を平行にスライドさせて第一、第二の嵌合
リブ１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ２に支持リブ１７
を位置させる。この際、第一の嵌合リブ１４と支持リブ
１７にも接触面Ｃが生ずるので、蓋体７は右側にはスラ
イドせずに位置決めされる。

【００２６】次いで、図１３、図１７、及び図２４に示
すように、回転支点Ｐを中心に蓋体７を１８０°回転さ
せてこの蓋体７の表面を下方に、支持リブ１７、１７Ａ
を垂直にそれぞれ位置させ、蓋体７を平行にスライドさ
せて（図１８、図１９、及び図２４参照）第一の嵌合リ
ブ１４に支持リブ１７Ａを接触させる。この際、一対の
支持リブ１７、１７Ａには厚み差ｋが形成されているの
で、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７Ａの接触面Ｃが
発生し、蓋体７は右側にはスライドせずに位置決めされ
る（図１８、図１９、及び図２４参照）。

【００２７】こうして蓋体７を位置決めしたら、回転支
点Ｐを中心に蓋体７を回転させて外箱１の開口上部周縁
に嵌合接触（図１、図２０、及び図２１参照）させ、外
箱１と蓋体７との接合作業が終了する。この際、第一の
嵌合リブ１４と支持リブ１７Ａの接触面Ｃが発生するの
で、外箱１と蓋体７との嵌合時の位置決めがなされる。

【００２８】なお、蓋体７の表面が下方で、支持リブ１
７、１７Ａが垂直の場合、換言すれば、ヒンジ手段９の
接合途中の場合（図１２、図１３、図１７、図１８、及
び図２４参照）には、蓋体７は、外箱１の置かれた作業
テーブル２０の表面の延長線上よりも下方に位置しなけ
ればならない（図２４参照）。仮に、図２２に示すよう
に、蓋体７の表面が外箱１の置かれた作業テーブル２０
の表面上に位置すると、第一の嵌合リブ１４と支持リブ
１７Ａとに接触面Ｃが発生し、蓋体７をスライドさせて
位置をずらすことができなくなる。また、外箱１の第
一、第二の嵌合リブ１４、１１の開口幅ｓの範囲に蓋体
７の支持リブ１７が位置しなければ、蓋体７は左右方向
にスライドすることがない。したがって、蓋体７は、嵌
合状態の開閉中においては、分離不能に位置決めされ
る。

【００２９】前記のように外箱１と蓋体７との接合作業
が終了して精密基板収納容器を組み立てたら、整列内箱
６に複数のウェーハを整列収納し、外箱１に整列内箱６
を収納し、外箱１の開口上部に開放状態の蓋体７を被せ
て被覆すれば、精密基板収納容器にウェーハを機密状態
に収納することができる。なお、外箱１と蓋体７とを精
密洗浄・乾燥させるため、分離する場合には前記作業を
逆に順次行えば、外箱１と蓋体７とを分離することがで
きる。

【００３０】前記構成によれば、片手又は自動機で蓋体
７を容易に開閉することができるので、簡易な構成で開
閉作業が簡素容易化し、作業性を著しく向上させること
が可能になる。また、蓋体７の開放位置や開放軌道を一
定化することができるので、アンローダなどの自動機に
対する置き換えも実に容易になる。また、使用時には着
脱可能な外箱１と蓋体７とを一体化することができると
ともに、シャフト１３を支点として蓋体７が前後方向に
回転するので、外箱１の前方や側方における蓋体用の空
きスペースや作業スペースを省略したり、あるいは大幅
に縮小することができる。そして、蓋体７の管理や保管
になんら留意する必要性もない。

【００３１】また、射出成形で製造する場合でも、アン
ダーカット部のないヒンジ手段９を用いるので、スライ
ドコアなどのスライド機構を射出成形用金型に設ける必
要性が全くない。したがって、射出成形用金型が安価に
なり、生産性の大幅な向上が期待できる。また、蓋体７
にシャフト１３が一対の支持リブ１７、１７Ａを介し一
体構成されているので、精密洗浄作業時の分解や組立が
実に容易化し、部品の紛失のおそれをきわめて有効に排
除することができる。また、従来のナックル２４、２６
に相当するものがなく、直接洗浄の不可能な部分がない
ので、きわめて良好な洗浄効果と乾燥効果とを得ること
ができる。さらに、外箱１の底部が傾斜しているので、
整列内箱６の収納時にウェーハが傾斜状態で貯蔵され、
ウェーハのがたつくことがない。

【００３２】なお、前記実施形態では図１などの外箱
１、整列内箱６、及び蓋体７を示したが、これらの形状
や構造などは適宜変更することが可能である。例えば、
外箱１を有底円筒形に、整列内箱６をほぼ円筒形に、そ
して蓋体７を円形にそれぞれ構成することもできる。ま
た、２群の第一の嵌合リブ群１０と支持リブ群１２とを
示したが、なんらこれに限定されるものではなく、第一
の嵌合リブ群１０と支持リブ群１２との数を適宜増減さ
せても良い。

【００３３】また、第一、第二の嵌合リブ１４、１４
Ａ、１１の数を適宜増減したり、あるいは第一、第二の
嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の位置を逆にしても良い。
また、図示しないが、蓋体７に複数の第一の嵌合リブ群
１０と、複数の第二の嵌合リブ１１とをそれぞれ成形
し、外箱１には複数の支持リブ群１２を成形して各支持
リブ群１２にはシャフト１３を架設することもできる。
さらに、各第一の嵌合リブ１４、１４Ａの切欠部１５の
開口を上方向に指向させ、各第二の嵌合リブ１１の切欠
部１６を下方向に指向させても良いのはいうまでもな
い。

【００３４】

【発明の効果】以上のように請求項１又は２記載の発明
によれば、蓋体の開閉作業の作業性を向上させ、各種装
置に対する置き換えを容易化し、蓋体用の空きスペース
を省略することができる。また、例え射出成形で製造す
る場合でも、射出成形金型にスライド機構などを必要と
しないので、生産性を向上させることが可能になる。ま
た、シャフトが別部品ではないので、洗浄作業時の分解
や組立の容易化が期待でき、紛失のおそれもない。さら
に、請求項３記載の発明によれば、洗浄時には収納容器
と蓋体とを分離することができるので、十分な洗浄効果
と乾燥効果とを得ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
ける嵌合状態を示す断面側面図である。

【図２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
ける蓋体を示す背面図である。

【図３】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
ける外箱を示す背面図である。

【図４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
けるヒンジ手段を示す拡大説明図である。

【図５】図４の側面図である。

【図６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
ける蓋体のヒンジ部分を示す拡大説明図である。

【図７】図６の側面図である。

【図８】図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。

【図９】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態にお
ける外箱のヒンジ部分を示す拡大説明図である。

【図１０】図９の第一の嵌合リブのみを示す側面図であ
る。

【図１１】図９のＸＩ−ＸＩ線断面図である。

【図１２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段を示す説明図である。

【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図であ
る。

【図１４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。

【図１５】図１６のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図である。

【図１６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。

【図１７】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。

【図１８】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。

【図１９】図１８のＸＩＸ−ＸＩＸ線断面図である。

【図２０】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。

【図２１】図２０のＸＸＩ−ＸＸＩ線断面図である。

【図２２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おける蓋体の開放状態を示す断面説明図である。

【図２３】図２２のヒンジ手段を示す要部拡大断面図で
ある。

【図２４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態に
おける蓋体の完全な開放状態を示す断面説明図である。

【図２５】本発明に係る精密基板収納容器の実施の形態
における蓋体の不完全な開放状態を示すを示す断面説明
図である。

【図２６】図１４のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線断面図であ
る。

【図２７】従来の精密基板収納容器を示す分解斜視図で
ある。

【図２８】蝶番の一例を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１外箱（収納容器）５背面壁（周壁の一部）６整列内箱７蓋体９ヒンジ手段１１第二の嵌合リブ１３シャフト１４第一の嵌合リブ１４Ａ第一の嵌合リブ１５切欠部１６切欠部１７支持リブ１７Ａ支持リブＷウェーハ（精密基板）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体
で覆う精密基板収納容器において、前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ
手段を備え、このヒンジ手段は、該収納容器の周壁上部に間隔をおい
て複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いず
れか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該収納容器の周
壁上部に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下い
ずれか他方向に向ける第二の嵌合リブと、前記蓋体の周
壁に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複
数の支持リブ間に架設されて該第一、第二の嵌合リブに
複数の該切欠部を介し支持されるシャフトとを含んでな
ることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体
で覆う精密基板収納容器において、前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ
手段を備え、このヒンジ手段は、前記収納容器の周壁上部に間隔をお
いて設けられた複数の支持リブと、この複数の支持リブ
間に架設されたシャフトと、前記蓋体の周壁に間隔をお
いて複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下い
ずれか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該蓋体の周壁
に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか
他方向に向ける第二の嵌合リブとを含み、前記シャフト
と該第一、第二の嵌合リブとを複数の該切欠部を介し嵌
合したことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項３】前記蓋体を所定の角度以上で開放方向に
回転させた時、前記第一、第二の嵌合リブから前記シャ
フトを軸方向にスライドさせて分離可能とした請求項１
又は２記載の精密基板収納容器。