JPH0640461A - ウェハーキャリヤ用のボックス - Google Patents
ウェハーキャリヤ用のボックスInfo
- Publication number
- JPH0640461A JPH0640461A JP4729293A JP4729293A JPH0640461A JP H0640461 A JPH0640461 A JP H0640461A JP 4729293 A JP4729293 A JP 4729293A JP 4729293 A JP4729293 A JP 4729293A JP H0640461 A JPH0640461 A JP H0640461A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- hinge
- cover
- rim
- socket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D43/00—Lids or covers for rigid or semi-rigid containers
- B65D43/14—Non-removable lids or covers
- B65D43/16—Non-removable lids or covers hinged for upward or downward movement
- B65D43/163—Non-removable lids or covers hinged for upward or downward movement the container and the lid being made separately
- B65D43/164—Non-removable lids or covers hinged for upward or downward movement the container and the lid being made separately and connected by interfitting hinge elements integrally with the container and the lid formed respectively
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
- E05D7/00—Hinges or pivots of special construction
- E05D7/10—Hinges or pivots of special construction to allow easy separation or connection of the parts at the hinge axis
- E05D7/1061—Hinges or pivots of special construction to allow easy separation or connection of the parts at the hinge axis in a radial direction
- E05D7/1066—Hinges or pivots of special construction to allow easy separation or connection of the parts at the hinge axis in a radial direction requiring a specific angular position
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2999/00—Subject-matter not otherwise provided for in this subclass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウェハーを貯蔵するためのボックスの
カバーを取外し可能にする。 【構成】 ボックスはボックス底部及びカバーを有す
る。ボックス底部とカバーは二つの部材からなる取り外
し可能なヒンジアセンブリによって互いに連結されてい
る。ヒンジアセンブリの二つの部材はカバーに対して通
常の開閉動作を行うときには互いにしっかりと固定され
ている。カバーを通常に開いた位置を越えたところまで
回し、ボックス底部が係合している表面上にカバーが載
っているとき、またカバーをボックス底部よりも下まで
回転したときには、ヒンジの部材は互いに取り外しが可
能である。
カバーを取外し可能にする。 【構成】 ボックスはボックス底部及びカバーを有す
る。ボックス底部とカバーは二つの部材からなる取り外
し可能なヒンジアセンブリによって互いに連結されてい
る。ヒンジアセンブリの二つの部材はカバーに対して通
常の開閉動作を行うときには互いにしっかりと固定され
ている。カバーを通常に開いた位置を越えたところまで
回し、ボックス底部が係合している表面上にカバーが載
っているとき、またカバーをボックス底部よりも下まで
回転したときには、ヒンジの部材は互いに取り外しが可
能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウェハーを処
理している間に一時的に貯蔵の行われる半導体ウェハー
を収容しているウェハーキャリヤをソーイング(sawing)
するためのボックスに関する。さらに詳しくは、この発
明はそうしたボックスのヒンジ構造に関する。
理している間に一時的に貯蔵の行われる半導体ウェハー
を収容しているウェハーキャリヤをソーイング(sawing)
するためのボックスに関する。さらに詳しくは、この発
明はそうしたボックスのヒンジ構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハーはそれらが処理されてい
るときは非常に慎重に扱われ、一般の大気状態から封じ
込められている。従って、前述したウェハーキャリヤの
中に収容されているウェハーは、空中に浮遊している粒
子や、ウェハーへ運ばれるそれ以外の粒子によって汚染
されないようになっている。こうしたウェハーを取り扱
うとき、キャリヤ全体は、ウェハーが加工されるときに
通過する様々な工程の合間にはボックスの中に貯蔵され
る。ボックスはプラントやクリーンルームの中を移動さ
れて加工が行われ、また一つの場所から別の場所へと運
搬される。
るときは非常に慎重に扱われ、一般の大気状態から封じ
込められている。従って、前述したウェハーキャリヤの
中に収容されているウェハーは、空中に浮遊している粒
子や、ウェハーへ運ばれるそれ以外の粒子によって汚染
されないようになっている。こうしたウェハーを取り扱
うとき、キャリヤ全体は、ウェハーが加工されるときに
通過する様々な工程の合間にはボックスの中に貯蔵され
る。ボックスはプラントやクリーンルームの中を移動さ
れて加工が行われ、また一つの場所から別の場所へと運
搬される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ウェハーキャリヤを収
容するためのボックスはプラスチックから成形されてお
り、数回は再利用されることが好ましい。ボックスは使
用の合間に洗浄が行えて粒子や他の汚染物質がボックス
の近傍やボックス上にできる限り溜らないようにした
り、またボックスが帯びる静電気を取り除けることが望
ましい。洗浄を行うときには、ボックスの底部からカバ
ーを完全に取り外してカバーを独立に洗浄できることが
非常に望ましい。ボックス底部とカバーとヒンジ部材の
構造は、洗浄工程のときや、洗浄工程のあとでできる限
り汚染物質が溜らないようなものになっている。もちろ
ん、ボックスを通常の状態で使用しているときには、カ
バーがなんらかの原因でボックス底部から外れないよう
になっていなければならない。しかし、洗浄が完了した
ときカバーは即座に再組み付けが行えて、ボックスを元
に戻して使用できることが必要である。
容するためのボックスはプラスチックから成形されてお
り、数回は再利用されることが好ましい。ボックスは使
用の合間に洗浄が行えて粒子や他の汚染物質がボックス
の近傍やボックス上にできる限り溜らないようにした
り、またボックスが帯びる静電気を取り除けることが望
ましい。洗浄を行うときには、ボックスの底部からカバ
ーを完全に取り外してカバーを独立に洗浄できることが
非常に望ましい。ボックス底部とカバーとヒンジ部材の
構造は、洗浄工程のときや、洗浄工程のあとでできる限
り汚染物質が溜らないようなものになっている。もちろ
ん、ボックスを通常の状態で使用しているときには、カ
バーがなんらかの原因でボックス底部から外れないよう
になっていなければならない。しかし、洗浄が完了した
ときカバーは即座に再組み付けが行えて、ボックスを元
に戻して使用できることが必要である。
【０００４】この発明の目的はウェハーキャリヤを貯蔵
するためのボックスに対して改善されたヒンジを提供し
て、ボックス底部からカバーを取り外せるようにするこ
とである。
するためのボックスに対して改善されたヒンジを提供し
て、ボックス底部からカバーを取り外せるようにするこ
とである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の特徴は、ボッ
クスの一部に設けられたソケットと、ボックスの他方の
部分に設けられたヒンジピンを有するヒンジである。ソ
ケットはカバーを通常の状態で開閉するときにヒンジピ
ンをボックス底部の上に保持している。ソケットはカバ
ーが完全に開いたとき、あるいはボックス底部が載って
いる面の高さよりも下方の別の位置までさらに回転され
たときに、ヒンジピンを取り外せるような方向に設けら
れたアクセススロットあるいはエントランスエクシット
スロットあるいは通路を有する。
クスの一部に設けられたソケットと、ボックスの他方の
部分に設けられたヒンジピンを有するヒンジである。ソ
ケットはカバーを通常の状態で開閉するときにヒンジピ
ンをボックス底部の上に保持している。ソケットはカバ
ーが完全に開いたとき、あるいはボックス底部が載って
いる面の高さよりも下方の別の位置までさらに回転され
たときに、ヒンジピンを取り外せるような方向に設けら
れたアクセススロットあるいはエントランスエクシット
スロットあるいは通路を有する。
【０００６】この発明の別の特徴は、ウェハーキャリヤ
ボックス上に分離可能な(partable)ヒンジを提供してい
ることである。回転可能なヒンジ部材及び固定ヒンジ部
材は滑らかな形状の表面を有する。これらの表面は分離
すると即座に、かつ完全に洗浄することが可能である。
ボックス上に分離可能な(partable)ヒンジを提供してい
ることである。回転可能なヒンジ部材及び固定ヒンジ部
材は滑らかな形状の表面を有する。これらの表面は分離
すると即座に、かつ完全に洗浄することが可能である。
【０００７】この発明のさらに別の特徴は、ウェハーキ
ャリヤを貯蔵するためのプラスチック成形されたボック
ス上に取り外し可能なヒンジを提供していることであ
る。ボックス底部に設けられた固定ヒンジ部は一対の取
付け用ブラケットの間を延びる単純な円柱形状のヒンジ
ピンを有する。カバー上に設けられた回転可能な部分は
フックを有する。フックはヒンジピンを受容するための
ソケットと、ソケットへ通じるエントランス−エクシッ
ト通路あるいはスロットを提供している。フックのバイ
ト部はボックス底部の上部リム部と係合し、ピンからフ
ックが外れないようにしている。また、エントランス−
エクシット通路はボックスカバーへ向けて斜め上方へ延
びていて、カバーを取り外すためにカバーを完全に反転
したり、反転状態よりもさらに回転できる。
ャリヤを貯蔵するためのプラスチック成形されたボック
ス上に取り外し可能なヒンジを提供していることであ
る。ボックス底部に設けられた固定ヒンジ部は一対の取
付け用ブラケットの間を延びる単純な円柱形状のヒンジ
ピンを有する。カバー上に設けられた回転可能な部分は
フックを有する。フックはヒンジピンを受容するための
ソケットと、ソケットへ通じるエントランス−エクシッ
ト通路あるいはスロットを提供している。フックのバイ
ト部はボックス底部の上部リム部と係合し、ピンからフ
ックが外れないようにしている。また、エントランス−
エクシット通路はボックスカバーへ向けて斜め上方へ延
びていて、カバーを取り外すためにカバーを完全に反転
したり、反転状態よりもさらに回転できる。
【０００８】
【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。図１〜図１４にはこの発明の一つの実施例
が示されている。プラスチック成形されたボックスは参
照番号１０で表されている。ボックス１０はボックス底
部１１とボックスカバー１２を有する。ボックス底部１
１とボックスカバー１２は二つの部材からなる取り外し
可能なヒンジアセンブリ１３によって互いに取り外し可
能に連結されている。ヒンジアセンブリ１３はカバーを
点線の位置“Ｏ”まで持ち上げたり、反転位置を過ぎた
位置、すなわち、ボックス１０が載っている表面“Ｓ”
の高さよりも下の位置“Ｐ”まで開いたりするのを容易
にしている。ボックスは特にウェハーカセットあるいは
ウェハーキャリヤ１４を傾斜した状態で貯蔵するために
使用される。従って、ウェハーキャリヤ内のウェハー
“Ｗ”は通常は傾斜した状態に配置され、動かしたとき
にウェハーがボックスの中でできる限りがたつかないよ
うになっている。
を説明する。図１〜図１４にはこの発明の一つの実施例
が示されている。プラスチック成形されたボックスは参
照番号１０で表されている。ボックス１０はボックス底
部１１とボックスカバー１２を有する。ボックス底部１
１とボックスカバー１２は二つの部材からなる取り外し
可能なヒンジアセンブリ１３によって互いに取り外し可
能に連結されている。ヒンジアセンブリ１３はカバーを
点線の位置“Ｏ”まで持ち上げたり、反転位置を過ぎた
位置、すなわち、ボックス１０が載っている表面“Ｓ”
の高さよりも下の位置“Ｐ”まで開いたりするのを容易
にしている。ボックスは特にウェハーカセットあるいは
ウェハーキャリヤ１４を傾斜した状態で貯蔵するために
使用される。従って、ウェハーキャリヤ内のウェハー
“Ｗ”は通常は傾斜した状態に配置され、動かしたとき
にウェハーがボックスの中でできる限りがたつかないよ
うになっている。
【０００９】ボックス底部１１は、表面“Ｓ”と係合し
てボックスを支持する底壁６５を有する。ボックスの一
対のパネル６６は、ウェハーキャリヤ１４を図１に示さ
れているような傾斜した位置に支持するために斜め方向
に設けられている。さらに、ボックス底部１１は別の傾
斜したパネル６７も有する。ウェハーキャリヤの端部は
ウェハーキャリヤがボックスの中に貯蔵されるときパネ
ル６７へ当接する。ボックス底部１１は、若干傾斜して
はいるが一般に垂直方向に延びる側壁６８を有する。側
壁６８はボックス底部を取り囲んでいる。ボックス底部
１１はまた、ボックス底部の側壁６８の周辺全体を延び
る上部リム部６９も有する。
てボックスを支持する底壁６５を有する。ボックスの一
対のパネル６６は、ウェハーキャリヤ１４を図１に示さ
れているような傾斜した位置に支持するために斜め方向
に設けられている。さらに、ボックス底部１１は別の傾
斜したパネル６７も有する。ウェハーキャリヤの端部は
ウェハーキャリヤがボックスの中に貯蔵されるときパネ
ル６７へ当接する。ボックス底部１１は、若干傾斜して
はいるが一般に垂直方向に延びる側壁６８を有する。側
壁６８はボックス底部を取り囲んでいる。ボックス底部
１１はまた、ボックス底部の側壁６８の周辺全体を延び
る上部リム部６９も有する。
【００１０】ボックスカバー１２はボックス底部１１の
上へぴったりと係合するような形状を有する。ボックス
カバー１２は上壁７０と、ボックスカバーの周辺全体を
延びる側壁７１とを有する。ボックスカバー１２はウェ
ハーキャリヤ１４をボックスの中で傾斜した状態に収容
するような方向に設けられたオフセットパネル７２，７
３を有する。ボックスカバー１２周辺の側壁７１にはボ
ックスカバー１２の底部リム部７４が形成されている。
図からわかるように、カバーの底部リム部７４には周辺
に溝７５が形成されている。溝７５はその中にボックス
底部の上部リム部６９を密着した状態で受容する。カバ
ーの底部リム部には斜め下方へ延びるフランジ７６も形
成されている。ボックスを閉じたときにフランジ７６は
上部リム部６９の全体を外側の影響からシールドする。
上へぴったりと係合するような形状を有する。ボックス
カバー１２は上壁７０と、ボックスカバーの周辺全体を
延びる側壁７１とを有する。ボックスカバー１２はウェ
ハーキャリヤ１４をボックスの中で傾斜した状態に収容
するような方向に設けられたオフセットパネル７２，７
３を有する。ボックスカバー１２周辺の側壁７１にはボ
ックスカバー１２の底部リム部７４が形成されている。
図からわかるように、カバーの底部リム部７４には周辺
に溝７５が形成されている。溝７５はその中にボックス
底部の上部リム部６９を密着した状態で受容する。カバ
ーの底部リム部には斜め下方へ延びるフランジ７６も形
成されている。ボックスを閉じたときにフランジ７６は
上部リム部６９の全体を外側の影響からシールドする。
【００１１】パネル６６及びオフセットパネル７３のそ
れぞれの部分６６．１，７３．１はボックス底部１１及
びボックスカバー１２の周辺部までほぼ水平方向に外側
へ延びており、ボックス底部及びボックスカバーの周辺
の側壁６８，７１と協働して上部リム部６９及び底部リ
ム部７４を形成しており、またヒンジアセンブリ１３が
取付けられている。
れぞれの部分６６．１，７３．１はボックス底部１１及
びボックスカバー１２の周辺部までほぼ水平方向に外側
へ延びており、ボックス底部及びボックスカバーの周辺
の側壁６８，７１と協働して上部リム部６９及び底部リ
ム部７４を形成しており、またヒンジアセンブリ１３が
取付けられている。
【００１２】ヒンジアセンブリ１３はボックス底部１１
の上に取付けられた参照番号７７で表された固定ヒンジ
部と、ボックスカバーへ取付けられた参照番号７８で表
された回転ヒンジ部とを有する。固定ヒンジ部は水平方
向に設けられたヒンジピン７９を有する。ヒンジピン７
９はボックス底部１１の上部リム部６９に沿って、これ
とは外側へ離間した位置で水平に延びており、ヒンジピ
ン７９と上部リム部６９との間に受容用のスペース８０
を形成している。ヒンジピンの端部７９．１は支持用の
ブラケット８１と一体に形成されている。ブラケット８
１も隣接する側壁６８やパネル６６の部分６６．１、そ
してボックス底部の上部リム部６９と一体に形成されて
いる。図１０及び図１１から最もよくわかるように、ブ
ラケット８１は円柱形状のヒンジピン７９と一体に形成
された部分円形状のブラケット部８１．１を有する。ブ
レース部８１．２はブラケット８１上に水平方向に設け
られており、ボックス底部の隣接する部分と一体に形成
されていてヒンジピン７９ができる限り動かないように
している。
の上に取付けられた参照番号７７で表された固定ヒンジ
部と、ボックスカバーへ取付けられた参照番号７８で表
された回転ヒンジ部とを有する。固定ヒンジ部は水平方
向に設けられたヒンジピン７９を有する。ヒンジピン７
９はボックス底部１１の上部リム部６９に沿って、これ
とは外側へ離間した位置で水平に延びており、ヒンジピ
ン７９と上部リム部６９との間に受容用のスペース８０
を形成している。ヒンジピンの端部７９．１は支持用の
ブラケット８１と一体に形成されている。ブラケット８
１も隣接する側壁６８やパネル６６の部分６６．１、そ
してボックス底部の上部リム部６９と一体に形成されて
いる。図１０及び図１１から最もよくわかるように、ブ
ラケット８１は円柱形状のヒンジピン７９と一体に形成
された部分円形状のブラケット部８１．１を有する。ブ
レース部８１．２はブラケット８１上に水平方向に設け
られており、ボックス底部の隣接する部分と一体に形成
されていてヒンジピン７９ができる限り動かないように
している。
【００１３】固定ヒンジ部７７はボックス底部の上部リ
ム部６９及び受容用のスペース８０と隣接する妨害部(o
bstrucion portion)８２を有する。妨害部８２は、ヒン
ジピン７９が回転するときに回転ヒンジ部７８をヒンジ
ピン７９に対して適切な位置に保持し、回転ヒンジ部７
８が不用意にボックス底部から外れてしまわないように
している。
ム部６９及び受容用のスペース８０と隣接する妨害部(o
bstrucion portion)８２を有する。妨害部８２は、ヒン
ジピン７９が回転するときに回転ヒンジ部７８をヒンジ
ピン７９に対して適切な位置に保持し、回転ヒンジ部７
８が不用意にボックス底部から外れてしまわないように
している。
【００１４】回転ヒンジ部７８は底部リム部７４、パネ
ルの部分７３．１、カバー周辺の側壁７１などのボック
スカバー１２の隣接する部分と一体に形成されている。
回転ヒンジ部７８にはヒンジピン７９へ解放可能に取付
けられるヒンジフック８３が形成されている。ヒンジフ
ック８３はほぼ鏡像関係にある一対の同じ側部８４から
なっている。側部８４はオープンスペース８５によって
互いに離間されている。一般にヒンジフック８３及び側
部８４の各々は遠端部あるいは外側端部８５と、近端部
あるいは内側端部８６と、中央部８７とを有する。中央
部８７はフックのバイト部を形成している。ヒンジフッ
ク８３が有する両方の側部８４のバイト部あるいは中央
部８７は、丸いソケットキャビティあるいはソケット部
８８を形成している。回転ヒンジ部７８がヒンジピン７
９のまわりを回転するとき、ヒンジピン７９はソケット
部８８の中に拘束される。
ルの部分７３．１、カバー周辺の側壁７１などのボック
スカバー１２の隣接する部分と一体に形成されている。
回転ヒンジ部７８にはヒンジピン７９へ解放可能に取付
けられるヒンジフック８３が形成されている。ヒンジフ
ック８３はほぼ鏡像関係にある一対の同じ側部８４から
なっている。側部８４はオープンスペース８５によって
互いに離間されている。一般にヒンジフック８３及び側
部８４の各々は遠端部あるいは外側端部８５と、近端部
あるいは内側端部８６と、中央部８７とを有する。中央
部８７はフックのバイト部を形成している。ヒンジフッ
ク８３が有する両方の側部８４のバイト部あるいは中央
部８７は、丸いソケットキャビティあるいはソケット部
８８を形成している。回転ヒンジ部７８がヒンジピン７
９のまわりを回転するとき、ヒンジピン７９はソケット
部８８の中に拘束される。
【００１５】ヒンジフック８３の外側端部８５及び内側
端部８６は出し入れ用の(entrance-exit) 通路８９を形
成している。図１及び図４に示されているようにボック
スカバー１２が閉じた状態にあるとき、出し入れ用の通
路８９はソケット部８８から斜め上方へボックスカバー
１２へ向けて、さらに詳しくはその後壁７１へ向けて延
びている。フックの両方の側部８４の隣接する外側端部
８５及び内側端部８６は図４及び図１４からわかるよう
に上方及び斜めにほぼまっすぐに延びていて、出し入れ
用の通路８９の方向を定めている。
端部８６は出し入れ用の(entrance-exit) 通路８９を形
成している。図１及び図４に示されているようにボック
スカバー１２が閉じた状態にあるとき、出し入れ用の通
路８９はソケット部８８から斜め上方へボックスカバー
１２へ向けて、さらに詳しくはその後壁７１へ向けて延
びている。フックの両方の側部８４の隣接する外側端部
８５及び内側端部８６は図４及び図１４からわかるよう
に上方及び斜めにほぼまっすぐに延びていて、出し入れ
用の通路８９の方向を定めている。
【００１６】ヒンジフック８３はほぼ平面状のパネル９
０も有する。パネル９０はヒンジフック８３の側部８４
の外側端部８５の間を延びている。パネル９０は両方の
側部８４と一体に形成されており、側部８４が互いにで
きる限り動かないようにしている。パネル９０はフック
の外側端部８５までいっぱいに延びていることがわかろ
う。また、その反対側の端部は丸いソケット部８８の中
心と近接しており、ヒンジフック８３の側部８４の下部
がすべてがオープンな状態で遮られておらず、ヒンジア
センブリのこの部分を即座に、かつ容易に洗浄できるよ
うになっている。
０も有する。パネル９０はヒンジフック８３の側部８４
の外側端部８５の間を延びている。パネル９０は両方の
側部８４と一体に形成されており、側部８４が互いにで
きる限り動かないようにしている。パネル９０はフック
の外側端部８５までいっぱいに延びていることがわかろ
う。また、その反対側の端部は丸いソケット部８８の中
心と近接しており、ヒンジフック８３の側部８４の下部
がすべてがオープンな状態で遮られておらず、ヒンジア
センブリのこの部分を即座に、かつ容易に洗浄できるよ
うになっている。
【００１７】回転ヒンジ部７８はヒンジフック８３の両
方の側部８４の上にガイドリム９１も有する。ガイドリ
ム９１はソケット部８８を内側端部８６からヒンジフッ
ク８３の中央部８７を通って外側端部８５まで部分的に
取り巻いている。ガイドリム９１は固定ヒンジ部７７上
に設けられた妨害部８２と対向する妨害部を有してお
り、ボックスカバー１２及び回転ヒンジ部７７が反転位
置、あるいは反転位置を過ぎた位置まで回転して図１及
び図８に示されている位置の近くにくるまで、回転ヒン
ジ部７８が固定ヒンジ部７７から外れないようにしてい
る。ガイドリム上のほぼ平坦あるいはまっすぐな端部９
２は出し入れ用の通路８９とほぼ平行に配置されてお
り、回転ヒンジ部７８が十分に回転して図８に示されて
いる位置にきたときに外側端部８５を固定ヒンジ部７７
の受容用のスペース８０を介してスムーズに動かせるよ
うになっている。
方の側部８４の上にガイドリム９１も有する。ガイドリ
ム９１はソケット部８８を内側端部８６からヒンジフッ
ク８３の中央部８７を通って外側端部８５まで部分的に
取り巻いている。ガイドリム９１は固定ヒンジ部７７上
に設けられた妨害部８２と対向する妨害部を有してお
り、ボックスカバー１２及び回転ヒンジ部７７が反転位
置、あるいは反転位置を過ぎた位置まで回転して図１及
び図８に示されている位置の近くにくるまで、回転ヒン
ジ部７８が固定ヒンジ部７７から外れないようにしてい
る。ガイドリム上のほぼ平坦あるいはまっすぐな端部９
２は出し入れ用の通路８９とほぼ平行に配置されてお
り、回転ヒンジ部７８が十分に回転して図８に示されて
いる位置にきたときに外側端部８５を固定ヒンジ部７７
の受容用のスペース８０を介してスムーズに動かせるよ
うになっている。
【００１８】図面からわかるように、ガイドリムの妨害
はフックの外側端部８５及び内側端部８６のところで終
わる。図１５〜図１８に、図１及び図２のボックス１０
と非常に似ているプラスチック成形されたボックス２０
上に設けられた修正されたヒンジアセンブリ３１が詳し
く示されている。
はフックの外側端部８５及び内側端部８６のところで終
わる。図１５〜図１８に、図１及び図２のボックス１０
と非常に似ているプラスチック成形されたボックス２０
上に設けられた修正されたヒンジアセンブリ３１が詳し
く示されている。
【００１９】二つのヒンジアセンブリ３１はボックス底
部１５の後壁２１に近接して鏡像対称に配置されてい
て、ボックスカバー２８を開けられるようになってい
る。ヒンジアセンブリ３１の各々は一対の堅固な固定さ
れたヒンジ部あるいはヒンジフック５５を有する。ヒン
ジフック５５はボックス底部１５へ取付けられており、
これと一体に形成されている。さらに詳しくは、ヒンジ
フック５５はボックス底部の後壁２１と一体に形成され
ている。ヒンジフック５５の各々は接合されている二つ
の別々の丸いキャビティあるいはソケット部５６，５７
を有する。ヒンジフック５５の各々は二つの接合されて
いる別々の細長いアクセススロットあるいは出し入れ用
の通路５８，５９を有する。出し入れ用の通路５８，５
９はそれぞれ丸いソケット部５６，５７の中へ開口して
いる。図からわかるように、細長い通路５８は丸いソケ
ット部５６の直径全体に等しい幅を有する。通路５９は
部分的に遮られており、ソケット部５７の直径よりもか
なり小さい幅を有する。また、細長い通路５９は丸いソ
ケット部５７の中心軸に対して非対称に配置されてい
る。ヒンジフック５５の各々はリップあるいは妨害部５
５．１を有する。妨害部５５．１は通路５９の寸法をソ
ケット部５７よりも小さくしている。通路５９は丸いソ
ケット部５７の直径と平行に延びているが、しかし丸い
ソケット部５７の中心からはずれている。スロットは丸
いソケット部５７の半径に対して鋭角に延びている。
部１５の後壁２１に近接して鏡像対称に配置されてい
て、ボックスカバー２８を開けられるようになってい
る。ヒンジアセンブリ３１の各々は一対の堅固な固定さ
れたヒンジ部あるいはヒンジフック５５を有する。ヒン
ジフック５５はボックス底部１５へ取付けられており、
これと一体に形成されている。さらに詳しくは、ヒンジ
フック５５はボックス底部の後壁２１と一体に形成され
ている。ヒンジフック５５の各々は接合されている二つ
の別々の丸いキャビティあるいはソケット部５６，５７
を有する。ヒンジフック５５の各々は二つの接合されて
いる別々の細長いアクセススロットあるいは出し入れ用
の通路５８，５９を有する。出し入れ用の通路５８，５
９はそれぞれ丸いソケット部５６，５７の中へ開口して
いる。図からわかるように、細長い通路５８は丸いソケ
ット部５６の直径全体に等しい幅を有する。通路５９は
部分的に遮られており、ソケット部５７の直径よりもか
なり小さい幅を有する。また、細長い通路５９は丸いソ
ケット部５７の中心軸に対して非対称に配置されてい
る。ヒンジフック５５の各々はリップあるいは妨害部５
５．１を有する。妨害部５５．１は通路５９の寸法をソ
ケット部５７よりも小さくしている。通路５９は丸いソ
ケット部５７の直径と平行に延びているが、しかし丸い
ソケット部５７の中心からはずれている。スロットは丸
いソケット部５７の半径に対して鋭角に延びている。
【００２０】ヒンジアセンブリ３１の各々は回転ヒンジ
部６０．１を有する。回転ヒンジ部６０．１はボックス
カバー２８の壁２８．１及びリム部２７へ取付けられて
おり、これらと一体に成形されている。回転ヒンジ部６
０．１はそれぞれ丸いソケット部５６，５７の中に受容
されている回転可能な一対の挿入部材６０，６１を有す
る。挿入部材６０は円柱形状を有するヒンジピンであ
り、ソケット部５６の全体をほぼ占めており、ボックス
カバー２８が図１に示されているように閉じた状態から
開いた位置へ回転するときボックスカバー２８を支持す
る。挿入部材６１がそのソケット部５７から解放される
ときはいつでも、挿入部材６０はソケット部５６から持
ち上げられる。
部６０．１を有する。回転ヒンジ部６０．１はボックス
カバー２８の壁２８．１及びリム部２７へ取付けられて
おり、これらと一体に成形されている。回転ヒンジ部６
０．１はそれぞれ丸いソケット部５６，５７の中に受容
されている回転可能な一対の挿入部材６０，６１を有す
る。挿入部材６０は円柱形状を有するヒンジピンであ
り、ソケット部５６の全体をほぼ占めており、ボックス
カバー２８が図１に示されているように閉じた状態から
開いた位置へ回転するときボックスカバー２８を支持す
る。挿入部材６１がそのソケット部５７から解放される
ときはいつでも、挿入部材６０はソケット部５６から持
ち上げられる。
【００２１】図１７及び図１８に示されているように、
挿入部材６１はほぼ偏心した半円柱形状の部材である。
挿入部材６１は一つの平坦な側部６１．１と一つの丸い
側部６１．２を有する。側部６１．２はソケット部５７
の丸い形状と対応しており、出し入れ用の通路５９の幅
よりも若干小さい幅を有する。従って、挿入部材６１が
ソケット部５７の中で適切な方向にあるときは、挿入部
材６１を通路を介して持ち上げることができる。
挿入部材６１はほぼ偏心した半円柱形状の部材である。
挿入部材６１は一つの平坦な側部６１．１と一つの丸い
側部６１．２を有する。側部６１．２はソケット部５７
の丸い形状と対応しており、出し入れ用の通路５９の幅
よりも若干小さい幅を有する。従って、挿入部材６１が
ソケット部５７の中で適切な方向にあるときは、挿入部
材６１を通路を介して持ち上げることができる。
【００２２】半円形の挿入部材６１のボックスカバー２
８に対する方向には特に注意が必要である。出し入れ用
の通路５９の形状や位置とともに、挿入部材の構造はカ
バーが図１７に示されているように閉じられていると
き、ヒンジアセンブリが分解することがないようなもの
になっている。すなわち、カバーの挿入部材６１がソケ
ット部５７から持ち上がらないようになっている。ソケ
ットカバー２８が反転されて図１に示されているように
ボックスが載っている表面“Ｓ”と係合すると、挿入部
材６１は通路５９を介して外れないようになったままで
ある。なぜなら、ボックスカバー２８が開いた位置ある
いは反転した位置にあるときには、挿入部材６１の位置
はまだ制限された通路５９と揃わないからである。
８に対する方向には特に注意が必要である。出し入れ用
の通路５９の形状や位置とともに、挿入部材の構造はカ
バーが図１７に示されているように閉じられていると
き、ヒンジアセンブリが分解することがないようなもの
になっている。すなわち、カバーの挿入部材６１がソケ
ット部５７から持ち上がらないようになっている。ソケ
ットカバー２８が反転されて図１に示されているように
ボックスが載っている表面“Ｓ”と係合すると、挿入部
材６１は通路５９を介して外れないようになったままで
ある。なぜなら、ボックスカバー２８が開いた位置ある
いは反転した位置にあるときには、挿入部材６１の位置
はまだ制限された通路５９と揃わないからである。
【００２３】しかし、カバーが図１において点線及び文
字“Ｐ”によって表されている別の位置及び図１８にお
いて点線及び文字“Ｐ”で表されている位置までさらに
若干回転することが可能なときには、挿入部材６１は通
路５９と位置が揃い、挿入部材６１をソケット部５７か
ら持ち上げることができ、ボックスカバー２８をボック
ス底部１５から取り外すことができるようになる。
字“Ｐ”によって表されている別の位置及び図１８にお
いて点線及び文字“Ｐ”で表されている位置までさらに
若干回転することが可能なときには、挿入部材６１は通
路５９と位置が揃い、挿入部材６１をソケット部５７か
ら持ち上げることができ、ボックスカバー２８をボック
ス底部１５から取り外すことができるようになる。
【００２４】この発明はその精神及び本質から逸脱する
ことなく、他の形で実現することが可能である。従っ
て、上述した実施例は単に説明のためのものであり、発
明を制限することはない。この発明の範囲に関しては上
述した実施例よりも添付の特許請求の範囲を参照すべき
である。
ことなく、他の形で実現することが可能である。従っ
て、上述した実施例は単に説明のためのものであり、発
明を制限することはない。この発明の範囲に関しては上
述した実施例よりも添付の特許請求の範囲を参照すべき
である。
【図１】少し開けた位置及び反転した位置よりもさらに
開けた位置にあるカバーを点線で示しているプラスチッ
ク成形されたボックスの側面図である。
開けた位置にあるカバーを点線で示しているプラスチッ
ク成形されたボックスの側面図である。
【図２】ボックスのコンベヤの後ろ側の一部に対する詳
細立面図である。
細立面図である。
【図３】図２の３−３線拡大詳細断面図である。
【図４】図２の４−４線拡大詳細断面図である。
【図５】カバーが少し開かれた状態における図２の４−
４線拡大詳細断面図である。
４線拡大詳細断面図である。
【図６】カバーがさらに開かれた状態における図２の４
−４線拡大詳細断面図である。
−４線拡大詳細断面図である。
【図７】カバーがさらに開かれた状態における図２の４
−４線拡大詳細断面図である。
−４線拡大詳細断面図である。
【図８】カバーが完全に開かれた状態における図２の４
−４線拡大詳細断面図である。
−４線拡大詳細断面図である。
【図９】ボックス底部へ取付けられた固定ヒンジ部の詳
細平面図である。
細平面図である。
【図１０】図９の１０−１０線拡大詳細断面図である。
【図１１】図９の１１−１１線拡大詳細断面図である。
【図１２】ボックスのカバー上に設けられた回転可能な
ヒンジ部の詳細平面図である。
ヒンジ部の詳細平面図である。
【図１３】図１２の１３−１３線拡大詳細断面図であ
る。
る。
【図１４】図１２の１４−１４線拡大詳細断面図であ
る。
る。
【図１５】ヒンジ構造の別の実施例に対する詳細平面図
である。
である。
【図１６】図１５の１６−１６線拡大詳細断面図であ
る。
る。
【図１７】図１５の１７−１７線拡大詳細断面図であ
る。
る。
【図１８】カバー及びヒンジアセンブリが回転されて、
ボックスカバーの反転位置を過ぎた位置まで反転された
ときの状態における図１５の１７−１７線拡大詳細断面
図である。
ボックスカバーの反転位置を過ぎた位置まで反転された
ときの状態における図１５の１７−１７線拡大詳細断面
図である。
１１ ボックス底部 １２ ボックスカバー １３ ヒンジアセンブリ １５ ボックス底部 ３１ ヒンジアセンブリ ５５ ヒンジフック ５５．１ 妨害部 ５６，５７ ソケット部 ５８，５９ 通路 ６０，６１ 挿入部 ６０．１ 回転ヒンジ部 ７７ 固定ヒンジ部 ７８ 回転ヒンジ部 ７９ ヒンジピン ８２ 妨害部 ８３ ヒンジフック ８７ 中央部 ８８ ソケット部 ８９ 通路 ９０ パネル ９１ ガイドリム ９２ 端部
Claims (15)
- 【請求項１】 半導体ウェハーのキャリヤを貯蔵するた
めのプラスチック成形されたボックスであって、 底壁と、上部リム部が形成されている側壁とを有するボ
ックス底部と、 このボックス底部の上部リム部の上に載る底部リム部が
形成されている上部側壁を有するカバーと、 ボックス底部のリム部とカバーのリム部を相互に連結す
る二つの部材からなる取り外し可能なヒンジアセンブリ
と、を有し、前記ヒンジアセンブリが回転可能なヒンジ
部と固定ヒンジ部とを有し、ヒンジ部の一方が挿入部を
有し、ヒンジ部の他方がソケット部と、挿入部に対する
出し入れ用の通路とを有し、固定ヒンジ部と回転可能な
ヒンジ部とが互いに協働する妨害部を有し、これら妨害
部が互いに対向しており、カバー及び回転可能なヒンジ
部が反転位置まで、あるいはカバーの一部がボックス底
部の底壁よりも下方にくる反転位置を過ぎた位置まで回
転したときを除いて、前記妨害部によって前記挿入部が
ソケット部及び出し入れ用の通路から外れないように制
限されているボックス。 - 【請求項２】 前記ソケット部及び出し入れ用の通路が
回転可能なヒンジ部上に設けられ、固定ヒンジ部がボッ
クス底部へ取付けられた水平なヒンジピンを有し、この
ヒンジピンが回転可能なヒンジ部のソケット部の中に拘
束されている請求項１記載のボックス。 - 【請求項３】 前記出し入れ用の通路がカバーへ向けて
斜め上方へ延びており、固定ヒンジ部の妨害部がヒンジ
ピン及び隣接する上部リム部から水平方向に離間されて
おり、回転可能なヒンジ部の妨害部がソケット部を部分
的に取り巻いていてそこから半径方向外側に配置されて
いるガイドリムを有し、このガイドリムがヒンジピンと
ボックス底部の妨害部との間を延びており、カバーが反
転されたときガイドリムが出し入れ用の通路に隣接する
位置に達してヒンジピンを通せるように設定されている
請求項１記載のボックス。 - 【請求項４】 前記ソケット部と出し入れ用の通路が固
定ヒンジ部上に設けられている請求項１記載のボック
ス。 - 【請求項５】 前記出し入れ用の通路がソケット部から
上方へ延びており、固定ヒンジ部の妨害部がソケット部
と部分的に対向していて出し入れ用の通路を部分的に閉
じており、回転可能なヒンジ部の妨害部が偏心部を有
し、その回転によって前記偏心部と部分的に閉じた出し
入れ用の通路とが揃うようになっている請求項４記載の
ボックス。 - 【請求項６】 半導体ウェハーに対するキャリヤを貯蔵
するためのプラスチック成形されたボックスであって、 底壁と、上部リム部が形成された側壁とを有するボック
ス底部と、 前記ボックス底部の上部リム部の上に載る底部リム部が
形成された上部側壁を有するボックスカバーと、 ボックス底部のリム部とボックスカバーのリム部を相互
に連結する二つの部材からなる取り外し可能なヒンジア
センブリと、を有し、前記ヒンジアセンブリが水平方向
に設けられたヒンジピンを有し、このヒンジピンがボッ
クス底部の上部リム部から水平方向外側へ離間されてお
り、かつこれと平行に延びていてヒンジピンとリム部と
の間に受容スペースを形成しており、ヒンジピンがその
上にブラケットを備えた端部も有し、この端部がボック
ス底部の隣接する上部リム部へ取付けられており、前記
ヒンジアセンブリが外側端部と内側端部とこれら端部の
間に設けられた中央部とを有するヒンジフックを有し、
前記ヒンジフックが前記ヒンジピンを受容しこのヒンジ
ピンのまわりで回転する内側のソケット部を形成し、ヒ
ンジフックの内側端部がヒンジピンと隣接して受容スペ
ースの中を延びてボックスカバーの底部リム部へ取付け
られており、ヒンジフックの端部がソケット部へのアク
セスを可能にする出し入れ用の通路も形成しており、ヒ
ンジフックがソケット部から離間されて設けられた外側
ガイドリムも有し、この外側ガイドリムがソケット部を
取り巻くようにヒンジフックの両方の端部から中央部に
かけて部分的に円形に延びており、ガイドリムがボック
ス底部のリム部と非常に近接して受容スペースの中を延
びているようなボックス。 - 【請求項７】 前記出し入れ用の通路がソケット部から
上方へ延びていて、ボックスカバーを少なくとも完全に
反転してカバーをボックス底部から容易に取り外せるよ
うになっている請求項６記載のボックス。 - 【請求項８】 前記出し入れ用の通路がソケット部から
ボックスカバーへ向けて斜め上方へ延びており、ボック
スカバーを反転位置まで、また反転位置を越えた位置ま
で回転させてカバーをボックス底部から容易に取り外せ
るようになっている請求項６記載のボックス。 - 【請求項９】 前記ヒンジフックが互いに離間して設け
られた鏡像関係にある一対の側部を有し、この側部の各
々が前記外側端部、前記内側端部、前記中央部及び前記
ガイドリムを有し、前記側部がそれぞれのブラケット部
材に隣接し、前記ソケット部の中のヒンジピンの隣接す
る端部を受容する請求項６記載のボックス。 - 【請求項１０】 前記ヒンジフックがパネル部を有し、
このパネル部がヒンジフックの側部の外側端部の間を延
びてこれら外側端部へ取付けられている請求項９記載の
ボックス。 - 【請求項１１】 前記回転可能なヒンジ部の偏心部が半
円柱形状である請求項５記載のボックス。 - 【請求項１２】 前記ソケット部が挿入部を拘束する丸
いソケットキャビティを有し、出し入れ用の通路が丸い
キャビティの中心軸に関して非対称に配置されており、
挿入部が出し入れ用の通路の寸法と調和のとれた寸法を
有していてその中を通過できるようになっている請求項
５記載のボックス。 - 【請求項１３】 前記細長い出し入れ用の通路が丸いキ
ャビティの直径と平行であり、これからずれて設けられ
ている請求項１２記載のボックス。 - 【請求項１４】 前記挿入部が平坦な側部と、丸いキャ
ビティの形状と対応する丸い側部とを有する請求項１２
記載のボックス。 - 【請求項１５】 前記ボックス底部の底壁が支持表面上
に置かれ、前記反転して開いた位置においてボックスカ
バーが前記支持表面と係合し、ボックス底部からのボッ
クスカバーの取り外しを容易にするために前記カバーが
前記支持表面及び底壁よりも下方まで回転できるように
設定されている請求項１３記載のボックス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US83459692A | 1992-02-12 | 1992-02-12 | |
| US834596 | 1992-02-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0640461A true JPH0640461A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=25267303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4729293A Pending JPH0640461A (ja) | 1992-02-12 | 1993-02-12 | ウェハーキャリヤ用のボックス |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640461A (ja) |
| KR (1) | KR930018708A (ja) |
| DE (1) | DE4303784A1 (ja) |
| FR (1) | FR2687272A1 (ja) |
| GB (1) | GB2264105A (ja) |
| IT (1) | ITTO930066A1 (ja) |
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0872972A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-19 | Gold Kogyo Kk | 精密部品搬送用の連鎖型容器 |
| JPH11111832A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
| JP2018206919A (ja) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | 株式会社東芝 | 電子機器 |
| TWI668167B (zh) * | 2017-09-25 | 2019-08-11 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 用於儲存和傳輸半導體元件的裝置及其形成方法 |
| US11195737B2 (en) | 2018-09-28 | 2021-12-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for storing and transporting semiconductor elements, and method of making the same |
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| DE19608785C1 (de) * | 1996-03-07 | 1997-04-03 | Streuber Sulo Eisenwerk F | Müllbehälter |
| GB2323589A (en) * | 1997-03-27 | 1998-09-30 | Mckechnie Uk Ltd | Containers having hinged lids |
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-
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- 1993-02-05 DE DE4303784A patent/DE4303784A1/de not_active Withdrawn
- 1993-02-05 IT IT93TO000066A patent/ITTO930066A1/it not_active Application Discontinuation
- 1993-02-08 FR FR9301353A patent/FR2687272A1/fr active Pending
- 1993-02-10 KR KR1019930001809A patent/KR930018708A/ko not_active Withdrawn
- 1993-02-10 GB GB9302642A patent/GB2264105A/en not_active Withdrawn
- 1993-02-12 JP JP4729293A patent/JPH0640461A/ja active Pending
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| FR2687272A1 (fr) | 1993-08-13 |
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| DE4303784A1 (ja) | 1993-08-19 |
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