JPH11111835A - ウエハ収納容器 - Google Patents
ウエハ収納容器Info
- Publication number
- JPH11111835A JPH11111835A JP26853897A JP26853897A JPH11111835A JP H11111835 A JPH11111835 A JP H11111835A JP 26853897 A JP26853897 A JP 26853897A JP 26853897 A JP26853897 A JP 26853897A JP H11111835 A JPH11111835 A JP H11111835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- connection frame
- holding
- container
- container lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【解決手段】 ウエハ抑え２が方形の支持枠３の対向す
る二辺から形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺方向
が櫛状に分岐した樹脂製ウエハ抑え部４と、該ウエハ抑
え部の先端を連結した樹脂製連結枠５とからなり、該連
結枠５が前記支持枠３と直結せず、その長辺の両末端に
比べてその中央部がやや外側に出た円弧状であるウエハ
収納容器。 【効果】 ウエハ全体をほぼ均一な力で長期間に亘って
抑えることが出来、輸送中等に全体或いは一部のウエハ
が動くことによるウエハの損傷や汚染、及びウエハキャ
リアーからの発塵を防止することが出来る。
る二辺から形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺方向
が櫛状に分岐した樹脂製ウエハ抑え部４と、該ウエハ抑
え部の先端を連結した樹脂製連結枠５とからなり、該連
結枠５が前記支持枠３と直結せず、その長辺の両末端に
比べてその中央部がやや外側に出た円弧状であるウエハ
収納容器。 【効果】 ウエハ全体をほぼ均一な力で長期間に亘って
抑えることが出来、輸送中等に全体或いは一部のウエハ
が動くことによるウエハの損傷や汚染、及びウエハキャ
リアーからの発塵を防止することが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
ウエハを複数枚等間隔で収納支持し、保管、運搬若しく
は洗浄、エッチング、乾燥等の処理を行う際に使用する
ウエハ収納容器に於いて用いられるウエハ抑えに関す
る。
ウエハを複数枚等間隔で収納支持し、保管、運搬若しく
は洗浄、エッチング、乾燥等の処理を行う際に使用する
ウエハ収納容器に於いて用いられるウエハ抑えに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ用キャリアに収納された、
ウエハを抑える為に、容器蓋材に装着されたウエハ抑え
は、その支持枠に一端だけが固定されている為、ウエハ
ーを長期間抑えているとクリープ変形を起こし、抑えが
不十分になることがあった。
ウエハを抑える為に、容器蓋材に装着されたウエハ抑え
は、その支持枠に一端だけが固定されている為、ウエハ
ーを長期間抑えているとクリープ変形を起こし、抑えが
不十分になることがあった。
【０００３】そこで特開平８ー１０７１４１号に記載の
抑え部分がＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分
岐し、且つその両端が、蓋材或いは、支持枠により固定
された改良案が提案されている。しかし、この改良案で
は、Ｕ字状の桟の先端が容器蓋材の内面に接して配置さ
れているか、或いは、支持枠に固定されているため、個
々のウエハの抑えにはよいものの、部分的にウエハ抑え
に荷重がかかりその部分のＵ字桟が変形することにより
長期の使用に適さないものとなる。また、ウエハ収納
時、ウエハ抑えの反発により、容器蓋材の中心付近に変
形が起こり、結果、中央付近のウエハの抑え圧が、両端
に比べて低くなる現象も生じる。ウエハをウエハ収納容
器に収納する際は、収納したウエハ全てを均一な力で長
期間抑える必要があるが、従来のウエハ抑えでは不可能
であった。
抑え部分がＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分
岐し、且つその両端が、蓋材或いは、支持枠により固定
された改良案が提案されている。しかし、この改良案で
は、Ｕ字状の桟の先端が容器蓋材の内面に接して配置さ
れているか、或いは、支持枠に固定されているため、個
々のウエハの抑えにはよいものの、部分的にウエハ抑え
に荷重がかかりその部分のＵ字桟が変形することにより
長期の使用に適さないものとなる。また、ウエハ収納
時、ウエハ抑えの反発により、容器蓋材の中心付近に変
形が起こり、結果、中央付近のウエハの抑え圧が、両端
に比べて低くなる現象も生じる。ウエハをウエハ収納容
器に収納する際は、収納したウエハ全てを均一な力で長
期間抑える必要があるが、従来のウエハ抑えでは不可能
であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、ウエハを
ウエハ収納容器に収納した際に、収納されたウエハを均
一な力で抑える為のウエハ抑えの方法について研究を進
めた結果、本発明に到達した。
ウエハ収納容器に収納した際に、収納されたウエハを均
一な力で抑える為のウエハ抑えの方法について研究を進
めた結果、本発明に到達した。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、容器蓋材に装
着されたウエハ抑えを備えたウエハ収納容器に於いて、
ウエハ抑えが方形の支持枠の対向する二辺から形成され
たＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分岐した樹
脂製ウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結した
樹脂製連結枠とからなり、該連結枠が前記支持枠と直結
していないウエハ収納容器に関する。
着されたウエハ抑えを備えたウエハ収納容器に於いて、
ウエハ抑えが方形の支持枠の対向する二辺から形成され
たＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分岐した樹
脂製ウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結した
樹脂製連結枠とからなり、該連結枠が前記支持枠と直結
していないウエハ収納容器に関する。
【０００６】本発明は、ウエハ抑えの連結枠が、その長
辺の両末端に比べてその中央部がやや外側に出た円弧状
である前記ウエハ収納容器に関する。また、本発明は、
容器蓋材の内面にウエハ抑えの支持枠を固定する係止
部、ウエハ抑えの連結枠を接合する窪み部及び該連結枠
を嵌合する突出リブを設けた前記ウエハ収納容器に関す
る。
辺の両末端に比べてその中央部がやや外側に出た円弧状
である前記ウエハ収納容器に関する。また、本発明は、
容器蓋材の内面にウエハ抑えの支持枠を固定する係止
部、ウエハ抑えの連結枠を接合する窪み部及び該連結枠
を嵌合する突出リブを設けた前記ウエハ収納容器に関す
る。
【０００７】更に、本発明は、合成樹脂によって一体成
形されている前記ウエハ収納容器に関する。
形されている前記ウエハ収納容器に関する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って本発明を説明
する。図１は、本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜
視図であり、図２は、本発明に係わるウエハ収納容器の
断面図であり、図３は、本発明に係わるウエハを抑えの
平面図であり、図４は、本発明に係わるウエハを抑えの
正面図であり、図５は、本発明に係わるウエハを抑えの
側面図であり、図６は、本発明に係わる容器蓋材の内面
を示す斜視図である。
する。図１は、本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜
視図であり、図２は、本発明に係わるウエハ収納容器の
断面図であり、図３は、本発明に係わるウエハを抑えの
平面図であり、図４は、本発明に係わるウエハを抑えの
正面図であり、図５は、本発明に係わるウエハを抑えの
側面図であり、図６は、本発明に係わる容器蓋材の内面
を示す斜視図である。
【０００９】本発明は、ウエハ用キャリアに収納され
た、ウエハを抑える為に、容器蓋材１に装着されたウエ
ハ抑え２に於いて、方形の支持枠３の対向する二辺から
形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分
岐した合成樹脂製ウエハ抑え部４から成り、該ウエハ抑
え部４の先端が、方形をした連結枠５で連結され、該連
結枠が支持枠３と直結されること無く形成されたウエハ
収納容器に関し、また、該連結枠５の長辺をやや円弧状
に湾曲させた合成樹脂製ウエハ抑え２を装着したウエハ
収納容器に関する。
た、ウエハを抑える為に、容器蓋材１に装着されたウエ
ハ抑え２に於いて、方形の支持枠３の対向する二辺から
形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分
岐した合成樹脂製ウエハ抑え部４から成り、該ウエハ抑
え部４の先端が、方形をした連結枠５で連結され、該連
結枠が支持枠３と直結されること無く形成されたウエハ
収納容器に関し、また、該連結枠５の長辺をやや円弧状
に湾曲させた合成樹脂製ウエハ抑え２を装着したウエハ
収納容器に関する。
【００１０】図示したウエハ収納容器の容器蓋材１に
は、ウエハ抑え２が装着される。この際、該蓋材に形成
された係止部３６にウエハ抑えの開口部３７を嵌着させ
て固定する。
は、ウエハ抑え２が装着される。この際、該蓋材に形成
された係止部３６にウエハ抑えの開口部３７を嵌着させ
て固定する。
【００１１】ウエハ抑え２は、通常方形の支持枠３の対
向する二辺から形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺
方向が櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑え
部の先端を連結した方形の連結枠５で形成され、連結枠
５が支持枠３とは直結されること無く形成されているて
いる。かかるウエハ抑え部４は樹脂製であり、ウエハが
収納された時には適度に変形する柔軟度を有しており、
また連結枠５は上下に適度の範囲で移動することができ
る。
向する二辺から形成されたＵ字状に屈曲すると共に長辺
方向が櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑え
部の先端を連結した方形の連結枠５で形成され、連結枠
５が支持枠３とは直結されること無く形成されているて
いる。かかるウエハ抑え部４は樹脂製であり、ウエハが
収納された時には適度に変形する柔軟度を有しており、
また連結枠５は上下に適度の範囲で移動することができ
る。
【００１２】ウエハ抑えの連結枠５は、支持枠３よりも
上部に突出しているのが好ましい。このような状態であ
れば、ウエハ抑え２を容器蓋材１に取り付けられた時に
該連結枠５が容器蓋材１によって下方に押しつけられる
ことによってウエハ抑え部４がウエハをより強く固定す
ることが可能となる。
上部に突出しているのが好ましい。このような状態であ
れば、ウエハ抑え２を容器蓋材１に取り付けられた時に
該連結枠５が容器蓋材１によって下方に押しつけられる
ことによってウエハ抑え部４がウエハをより強く固定す
ることが可能となる。
【００１３】また、連結枠５の上面端部長辺は、円弧状
に湾曲させて上面中心部２０が、上面端部２１より高く
形成されているのが好ましい。該長辺においては、その
上面端部２１に比べて長辺の上面中心部２０が上部に出
た円弧状であり、例えば１０cmの長辺の上面端部２１に
対して上面中心部２０が約０．５〜５mm高くなるような
円弧状であるのが好ましい。この場合、該連結枠５を容
器蓋材１に装着した際、容器蓋材１の内面に連結枠５の
上面中心部２０が当るような形状となる。
に湾曲させて上面中心部２０が、上面端部２１より高く
形成されているのが好ましい。該長辺においては、その
上面端部２１に比べて長辺の上面中心部２０が上部に出
た円弧状であり、例えば１０cmの長辺の上面端部２１に
対して上面中心部２０が約０．５〜５mm高くなるような
円弧状であるのが好ましい。この場合、該連結枠５を容
器蓋材１に装着した際、容器蓋材１の内面に連結枠５の
上面中心部２０が当るような形状となる。
【００１４】前記連結枠５は、容器蓋材１に取り付けら
れた時にその上面中心部２０が該蓋材に接触するのが好
ましいが、場合によっては接触しないように成形されて
もよい。該中心部が容器蓋材１と接触しない場合、かか
る中心部２０と容器蓋材１との距離は好ましくは５mm以
下であり、ウエハが内蔵された時はウエハによりウエハ
抑え部４が押されて連結枠５が容器蓋材１の内面に押し
つけられる。
れた時にその上面中心部２０が該蓋材に接触するのが好
ましいが、場合によっては接触しないように成形されて
もよい。該中心部が容器蓋材１と接触しない場合、かか
る中心部２０と容器蓋材１との距離は好ましくは５mm以
下であり、ウエハが内蔵された時はウエハによりウエハ
抑え部４が押されて連結枠５が容器蓋材１の内面に押し
つけられる。
【００１５】また、容器蓋材１に設置される前のウエハ
抑え２の連結枠５が支持枠３よりも上方に出ており、容
器蓋材１に設置されて該蓋材１の内面に当接する場合、
連結枠５が下方に押し下げられるが、その下方への移動
距離は好ましくは１０mm以下、より好ましくは０〜３mm
である。
抑え２の連結枠５が支持枠３よりも上方に出ており、容
器蓋材１に設置されて該蓋材１の内面に当接する場合、
連結枠５が下方に押し下げられるが、その下方への移動
距離は好ましくは１０mm以下、より好ましくは０〜３mm
である。
【００１６】ウエハ抑え２が装着された容器蓋材１をウ
エハが内蔵された容器本体６に嵌合すると、容器蓋材１
の中心付近が強度的に弱く変形し易いため連結枠５の上
面中心部２０を連結枠５の上面端部２１よりも高くする
ことによって、連結枠５の上面端部２１方向に応力を分
散させることができる。つまり、連結枠の上面中心部２
０と連結枠の上面端部２１の高低差により、中心付近と
周辺付近のウエハの抑え圧を調整することが可能とな
る。連結枠の上面中心部２０と連結枠の上面端部２１の
高低差は、容器蓋材１の材質、肉厚等により変更する必
要があるが、好ましく０．５〜５mm、より好ましくは１
〜２mmにすることで中心付近と周辺付近のウエハの抑え
圧をほぼ同一、つまりウエハ全体をほぼ均一な力で抑え
ることが可能となる。
エハが内蔵された容器本体６に嵌合すると、容器蓋材１
の中心付近が強度的に弱く変形し易いため連結枠５の上
面中心部２０を連結枠５の上面端部２１よりも高くする
ことによって、連結枠５の上面端部２１方向に応力を分
散させることができる。つまり、連結枠の上面中心部２
０と連結枠の上面端部２１の高低差により、中心付近と
周辺付近のウエハの抑え圧を調整することが可能とな
る。連結枠の上面中心部２０と連結枠の上面端部２１の
高低差は、容器蓋材１の材質、肉厚等により変更する必
要があるが、好ましく０．５〜５mm、より好ましくは１
〜２mmにすることで中心付近と周辺付近のウエハの抑え
圧をほぼ同一、つまりウエハ全体をほぼ均一な力で抑え
ることが可能となる。
【００１７】容器蓋材１にウエハ抑え２を装着した際に
該蓋材の内面に連結枠５の上面中心部２０が接触してい
ない場合でも、容器蓋材１をウエハが収納された容器本
体６に嵌合させると、まず、ウエハによりウエハ抑え部
４が持ち上げられ、容器蓋材１の内面に連結枠５の上面
中心部２０が接して上記と同様に連結枠の上面端部２１
に応力が分散することになる。
該蓋材の内面に連結枠５の上面中心部２０が接触してい
ない場合でも、容器蓋材１をウエハが収納された容器本
体６に嵌合させると、まず、ウエハによりウエハ抑え部
４が持ち上げられ、容器蓋材１の内面に連結枠５の上面
中心部２０が接して上記と同様に連結枠の上面端部２１
に応力が分散することになる。
【００１８】本発明に係わるウエハ収納容器に於いて
は、容器蓋材１に装着されたウエハ抑えのウエハ抑え部
４の先端を連結する連結枠５が、支持枠の容器蓋材への
取り付け面３より突出して形成されているのが好まし
く、又、該連結枠５の形状に合わせて例えば方形に容器
蓋材１の内面に窪み部１０が形成され、更に該窪み部１
０内に連結枠５が嵌合する様に突出リブ９が４〜８箇所
形成されているのが好ましい。窪み部１０と突出リブ９
の間に連結枠５を嵌合させ、連結枠５が上下方向以外に
動くことを規制することで、ウエハをウエハ抑え部４の
所定の位置にて確実に固定することが出来る。
は、容器蓋材１に装着されたウエハ抑えのウエハ抑え部
４の先端を連結する連結枠５が、支持枠の容器蓋材への
取り付け面３より突出して形成されているのが好まし
く、又、該連結枠５の形状に合わせて例えば方形に容器
蓋材１の内面に窪み部１０が形成され、更に該窪み部１
０内に連結枠５が嵌合する様に突出リブ９が４〜８箇所
形成されているのが好ましい。窪み部１０と突出リブ９
の間に連結枠５を嵌合させ、連結枠５が上下方向以外に
動くことを規制することで、ウエハをウエハ抑え部４の
所定の位置にて確実に固定することが出来る。
【００１９】連結枠５の動きを規制するために、窪み部
１０を設けずに、連結枠５を平行する突出リブ９間で嵌
合し挟み込むようにすることもできる。しかし、洗浄性
が容易であることや作業性がよいこと、容器蓋材１にウ
エハ抑え２を装着する際の位置決めし易さ、更に、容器
蓋材１の内面を平面から立体的形状にすることで容器蓋
材１の剛性を高めることが出来ること等から、容器蓋材
１に窪み部１０を設けることが好ましい。
１０を設けずに、連結枠５を平行する突出リブ９間で嵌
合し挟み込むようにすることもできる。しかし、洗浄性
が容易であることや作業性がよいこと、容器蓋材１にウ
エハ抑え２を装着する際の位置決めし易さ、更に、容器
蓋材１の内面を平面から立体的形状にすることで容器蓋
材１の剛性を高めることが出来ること等から、容器蓋材
１に窪み部１０を設けることが好ましい。
【００２０】本発明に係わるウエハ抑えは、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリスチレン、ポリカー
ボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエステル
系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、及び
ポリスチレン系エラストマー等の合成樹脂によって一体
成形することができる。また、容器蓋材及び容器本体
も、同様に合成樹脂で成形されたものであるのが好まし
い。
レン、ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリスチレン、ポリカー
ボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエステル
系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、及び
ポリスチレン系エラストマー等の合成樹脂によって一体
成形することができる。また、容器蓋材及び容器本体
も、同様に合成樹脂で成形されたものであるのが好まし
い。
【００２１】本発明に於けるウエハ収納容器は、（１）
ウエハ抑え２が取り付けられた容器蓋材１と、（２）ウ
エハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁
部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内
面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブ３
１が形成されたウエハキャリア８と、（３）容器蓋材１
と容器本体６との間に使用されるパッキン７と、（４）
ウエハキャリア８を収納し、容器蓋材１が取り付けられ
る容器本体６とからなるものが一般的である。
ウエハ抑え２が取り付けられた容器蓋材１と、（２）ウ
エハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁
部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内
面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブ３
１が形成されたウエハキャリア８と、（３）容器蓋材１
と容器本体６との間に使用されるパッキン７と、（４）
ウエハキャリア８を収納し、容器蓋材１が取り付けられ
る容器本体６とからなるものが一般的である。
【００２２】本発明に係わるウエハキャリア８には、互
いに対向して立設された側壁部にウエハ取出し口に沿っ
て形成された平面部３２と、該平面部から連続しウエハ
取出し口から奥に向かって形成された内側に湾曲した下
部とを有しているものが好ましい。互いに対向して立設
された側壁部の内面には、それぞれウエハを支持する為
に等間隔で多数の支持用リブ３１が形成されている。該
支持用リブは、左右の側壁部全面に多段状に等間隔で形
成され、ウエハを支持するために左右に対となってい
る。また、ウエハキャリア８には、前記支持用リブが形
成されていない端壁部の一つに持ち手３３を有している
のが好ましい。
いに対向して立設された側壁部にウエハ取出し口に沿っ
て形成された平面部３２と、該平面部から連続しウエハ
取出し口から奥に向かって形成された内側に湾曲した下
部とを有しているものが好ましい。互いに対向して立設
された側壁部の内面には、それぞれウエハを支持する為
に等間隔で多数の支持用リブ３１が形成されている。該
支持用リブは、左右の側壁部全面に多段状に等間隔で形
成され、ウエハを支持するために左右に対となってい
る。また、ウエハキャリア８には、前記支持用リブが形
成されていない端壁部の一つに持ち手３３を有している
のが好ましい。
【００２３】また、本発明のウエハ収納容器では、特に
ウエハを内蔵して組み立てられた時に容器蓋材１の側縁
部に形成された係止部３４を容器本体６の側壁部に形成
された係合部３５に連結することによりウエハ抑え部４
がウエハをよりよい状態で固定することができる。
ウエハを内蔵して組み立てられた時に容器蓋材１の側縁
部に形成された係止部３４を容器本体６の側壁部に形成
された係合部３５に連結することによりウエハ抑え部４
がウエハをよりよい状態で固定することができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係わるウエハ抑えを備えたウエ
ハ収納容器は、ウエハ全体をほぼ均一な力で長期間に亘
って抑えることが出来、輸送中等に全体或いは一部のウ
エハが動くことによるウエハの損傷や汚染、及びウエハ
キャリアーからの発塵を防止することが出来る。
ハ収納容器は、ウエハ全体をほぼ均一な力で長期間に亘
って抑えることが出来、輸送中等に全体或いは一部のウ
エハが動くことによるウエハの損傷や汚染、及びウエハ
キャリアーからの発塵を防止することが出来る。
【図１】本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係わるウエハ収納容器の断面図であ
る。
る。
【図３】本発明に係わるウエハを抑えの平面図である。
【図４】本発明に係わるウエハを抑えの正面図である。
【図５】本発明に係わるウエハを抑えの側面図である。
【図６】本発明に係わる容器蓋材の内面を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 容器蓋材 ２ ウエハ抑え ３ 支持枠（容器蓋材への取り付け面） ４ ウエハ抑え部 ５ 連結枠 ６ 容器本体 ７ パッキン ８ ウエハキャリア ９ 突出リブ １０ 窪み部 ２０ 連結枠上面中心部 ２１ 連結枠上面端部 ３０ ウエハ
Claims (3)
- 【請求項１】 容器蓋材に装着されたウエハ抑えを備え
たウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが方形の支持枠
の対向する二辺から形成されたＵ字状に屈曲すると共に
長辺方向が櫛状に分岐した樹脂製ウエハ抑え部と、該ウ
エハ抑え部の先端を連結した樹脂製連結枠とからなり、
該連結枠が前記支持枠と直結していないことを特徴とす
るウエハ収納容器。 - 【請求項２】 ウエハ抑えの連結枠が、その長辺の両末
端に比べてその中央部がやや外側に出た円弧状であるこ
とを特徴とする請求項１記載のウエハ収納容器。 - 【請求項３】 容器蓋材の内面にウエハ抑えの支持枠を
固定する係止部、ウエハ抑えの連結枠を接合する窪み部
及び該連結枠を嵌合する突出リブを設けたことを特徴と
する請求項１又は請求項２記載のウエハ収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26853897A JPH11111835A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ウエハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26853897A JPH11111835A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ウエハ収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111835A true JPH11111835A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17459924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26853897A Pending JPH11111835A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ウエハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111835A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004035423A1 (ja) * | 2002-10-17 | 2004-04-29 | Kabushiki Kaisha Daihachikasei | ウエハ等精密基板収容容器 |
| KR100794904B1 (ko) | 2005-04-22 | 2008-01-14 | 가부시키가이샤 다이하치카세이 | 정밀기판 수납용기의 개스킷 |
| JP2011054984A (ja) * | 2003-12-02 | 2011-03-17 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
-
1997
- 1997-10-01 JP JP26853897A patent/JPH11111835A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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