JPH11112146A - プリント配線板の製造における埋込型表面バイアホールの形成方法 - Google Patents

プリント配線板の製造における埋込型表面バイアホールの形成方法

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JPH11112146A
JPH11112146A JP27541397A JP27541397A JPH11112146A JP H11112146 A JPH11112146 A JP H11112146A JP 27541397 A JP27541397 A JP 27541397A JP 27541397 A JP27541397 A JP 27541397A JP H11112146 A JPH11112146 A JP H11112146A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プレス積層時に、両面銅張り板の内層面側の
プリプレグから埋込型表面バイアホール内に樹脂を充填
するため、厚い両面銅張り板では埋込型表面バイアホー
ル内への樹脂の充填が不十分であった。 【解決手段】 埋込型表面バイアホールとなるスルーホ
ール9を形成した配線板2と、スルーホール9に対応す
る位置に穴10をあけたサブプレート1を用意し、穴1
0がスルーホール9上に位置するように、配線板2上に
サブプレート1を載せ、サブプレート1上に樹脂充填用
のプリプレグ4を載せ、この状態の両面をクッション材
5(5a,5b)で挟んだ構成でプレスしながら積層を
行い、スルーホール9内にプリプレグ4からなる樹脂を
充填した後、スルーホール9上の樹脂の盛り上がり部1
2を除去し、その部分を粗化し、その後、配線板11に
めっき処理およびエッチング処理を施して埋込型表面バ
イアホールを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
製造における埋込型表面バイアホールの形成方法に関
し、特にはその埋込型表面バイアホールの形成方法にお
けるプレス積層時の積層順に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、埋込型表面バイアホールを有する
プリント配線板の製造方法として以下に示す方法があっ
た(文献:Clyde F.Coombs,Jr "PRINTED CIRCUITS HAND
BOOK"Third Edition 参照)。
【0003】まず薄い両面銅張り板に穴をあけ、全面に
パネル銅めっきを施し、内層となる面に回路パターンを
焼き付けて、エッチングを行い、2層間の電気的接続を
得る。これを通常の多層プリント配線板と同様に、必要
な内層導体層を一緒に積層し、穴あけ、めっき、外層の
エッチングを行い、埋込型表面バイアホールを形成する
ものであった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の方法では、埋込型表面バイアホール内に樹脂を
充填するには、薄い両面銅張り板の内層面側のプリプレ
グからプレス積層時に樹脂を充填しなければならないた
め、厚い両面銅張り板または厚い積層板においては、埋
込型表面バイアホール内への樹脂の充填が十分にできな
いという問題点があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたプリント配線板の製造における埋
込型表面バイアホールの形成方法であり、埋込型表面バ
イアホールを有するプリント配線板を製造するに当たっ
て、(a)埋込型表面バイアホールとなるスルーホール
を形成した配線板を用意する工程と、(b)スルーホー
ルに対応する位置に穴をあけたサブプレートを用意する
工程と、(c)サブプレートに形成した穴がスルーホー
ル上に位置するようにして配線板上にサブプレートを載
せ、このサブプレート上に樹脂充填用のプリプレグを載
せて、この状態の両面を熱により変形するクッション材
で挟んだ構成で、プレスしながら積層を行い、スルーホ
ール内にプリプレグからなる樹脂を充填する工程と、
(d)上記積層後に、配線板の埋込型表面バイアホール
となるスルーホール上の樹脂のはみ出した部分を除去
し、その部分を粗化する工程と、(e)その後、配線板
にめっき処理およびエッチング処理を施して、埋込型表
面バイアホールを形成する工程と、を含むことを特徴と
する。
【0006】上記のようにしてプリント配線板の埋込型
表面バイアホールの形成をする場合、埋込型表面バイア
ホールとなるスルーホール内への樹脂の充填は、配線板
の外層にあるサブプレートに形成したもので配線板に形
成したスルーホールに対応した位置にある穴を通して、
そのサブプレートの上部に位置するプリプレグと従来の
配線板の内層側に位置するプリプレグとから樹脂が充填
される。このため、従来の内層側の下部プリプレグから
のみの樹脂の充填に比べてより厚い配線板または両面銅
張り板に埋込型表面バイアホールを形成することが可能
な、十分な樹脂の充填性が得られる。
【0007】上記プリプレグ配線板の埋込型表面バイア
ホールの形成方法において、(b)工程のサブプレート
に形成される穴は、少なくとも配線板に形成する埋込型
表面バイアホールとなるスルーホールよりも大きい方が
よい。これは、プレス積層後にサブプレートを引き剥が
す時に、スルーホールと同位置にあける穴が同径以下で
あると、スルーホール内に充填した樹脂が一緒に引き剥
がされるからである。したがって、スルーホールより大
きくすることにより、配線板の外層表面部分にもサブプ
レートにあけた穴の大きさに樹脂が充填され、これによ
り、樹脂が基板外層部分にも密着し、サブプレートを引
き剥がす時にスルーホール内に充填した樹脂が一緒に引
き剥がされることが防止される。
【0008】また、上記プリント配線板の埋込型表面バ
イアホールの形成方法における(c)工程でのプレス積
層による構成方法は、クッション材、配線板、サブプレ
ート、プリプレグ、クッション材の順に積層して、プレ
ス積層するのがよい。この場合、プレス積層時の熱で変
形するクッション材が基板とプリプレグのすぐ外側に位
置することにより、プレス積層時の熱で変形するクッシ
ョン材が変形し、スルーホールに対応する位置に形成し
たサブプレートの穴の上部に押し込まれることにより、
サブプレートの穴の下部にあるプリプレグを押し込むた
め、配線板の埋込型表面バイアホールとなるスルーホー
ル内への樹脂の充填性が向上する。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この出願に
係る発明の実施の形態について説明する。以下の説明に
用いる各図における各構成成分は、この発明が理解でき
る程度に、その大きさ、形状、および位置関係を概略で
表しているにすぎない。また、説明に用いる各図におけ
る同様な構成成分については同一の番号を付与し、その
重複する説明を省く場合もある。なお、以下の説明中で
挙げる使用材料、寸法などの数値的条件は、この発明の
好適例であり、この出願にかかる発明が、これら条件に
のみ限定されるものではない。
【0010】以下の実施の形態では、プリント配線板の
製造工程中、特に埋込型表面バイアホールの形成につい
て説明する。
【0011】図1〜図4は、本発明に係わる実施の形態
を示す多層プリント配線板の埋込型表面バイアホールの
形成方法を示す工程図であり、各図は主な工程での試料
の断面図(ただし切り口の図)を示している。
【0012】この実施の形態に係わるプリント配線板の
埋込型表面バイアホールを製造する場合、まず、図1の
(A)に示すように、サブプレート1と、埋込型表面バ
イアホールとなるスルーホール9を有する配線板(上部
配線板)2(本実施例では、4層基板を例としている)
と、配線板2とともにプレス積層する配線板(下部配線
板)3(本実施例では、2層基板を例としている)と、
埋込型表面バイアホール内に樹脂を充填するために用い
るものであって上記配線板2と配線板3とをプレス圧着
し接着するためのプリプレグ4と、上記スルーホール9
内に樹脂を十分に押し込むためのプレス積層時の熱で変
形するクッション材5とを用意する。上記サブプレート
1には、上記スルーホール9に対応する位置に穴10が
形成されているものを用いる。ここで用意するサブプレ
ート1の穴10の大きさは、埋込型表面バイアホールと
なるスルーホール9の穴径よりも大きいほうが良い。そ
の他にここでは図示はしないが、捨て銅箔6、ステンレ
ス板7を用意する。
【0013】次に先に用意した材料をもとに構成し、真
空プレス装置にてプレス積層する。その場合の材料の基
本構成は、配線板2に形成したスルーホール9上に上記
サブプレート1に形成した穴10が位置するようにして
この配線板2上に上記サブプレート1を載せる。さら
に、このサブプレート1上に樹脂充填用のプリプレグ4
を載せて、この状態の両面を熱により変形するクッショ
ン材で挟んだ構成を含むようにする。実際には、一例と
して、図1の(B)に示すように、真空プレス装置の下
部熱盤8(8a)上に、ステンレス板7、捨て銅箔6、
クッション材5(5a)、配線板(下部配線板)3、配
線板2と配線板3とをプレス圧着し接着するためのプリ
プレグ4(4a)、配線板2、サブプレート1、スルー
ホール9内に樹脂を充填するためのプリプレグ4(4
b)、クッション材5(5b)、捨て銅箔6、ステンレ
ス板7、真空プレス装置の上部熱盤8(8b)の順にな
るようにする。
【0014】この時のプレス積層条件は、プリプレグ4
の種類により調整する。ここでの加熱は115℃(1段
目熱盤温度)で15分間保持、150℃(2段目熱盤温
度)で25分間保持、180℃(3段目熱盤温度)で9
0分間保持する。また、加圧は、12kg/cm2 (1
段目熱盤間圧力)で5分間、36kg/cm2 (2段目
熱盤間圧力)の各プロファイルで行う。これにより、埋
込型表面バイアホールになるスルーホール9に上部配線
板2の上下にあるプリプレグ4(4a,4b)から樹脂
が移動・充填される。この時に、上部配線板2の上部に
あるプリプレグ4bからの樹脂の充填は、プレス積層時
の熱で変形し、加圧によりクッション材5がサブプレー
ト1にあけた穴10に入り込もうとすることによりプリ
プレグ4bが押圧され、スルーホール9内に樹脂が充填
される。また、上部配線板2の下部にあるプリプレグ4
aからの樹脂の充填は、プレス積層時の加熱、加圧によ
りスルーホール9内に充填される。ここで、プレス積層
時の加圧方向は、白抜きの矢印で示し、プリプレグ4
(4a,4b)からのスルーホール9内への樹脂の充填
方向は黒塗りの矢印で示している。
【0015】図2の(A)に示すように、ここまでの工
程で、上部配線板2と下部配線板3が積層圧着され、さ
らに、上部配線板2の埋込型表面バイアホールとなるス
ルーホール9内にプリプレグ4からの樹脂が充填された
配線板11が得られる。
【0016】次に真空プレス装置から取り出し、ステン
レス板7(図示省略)、捨て銅箔6(図示省略)を取り
除く。この状態からさらに、クッション材5(5a,5
b)、サブプレート1上部にあるプリプレグ4(4
b)、サブプレート1を取り除く。これらを取り除いた
後の埋込型表面バイアホールの状態は、図2の(B)に
示すようになり、配線板11の表層上に樹脂の盛り上が
り部12がサブプレート1の穴10〔図1の(B)参
照〕の大きさとサブプレート1〔図1の(B)参照〕の
厚みと同程度に形成される。
【0017】次いでこの盛り上がり部12を、機械的に
製面、研磨を行う。その結果、図2の(C)に示すよう
に、配線板11の上面が平坦化される。さらに樹脂の盛
り上がり上部12aの粗化を目的として、配線板11の
全面に化学的粗化処理を行う。
【0018】この後図3の(A)に示すように、、配線
板11の全面に化学銅めっき、電気銅めっきを行って、
めっき層13を形成する。
【0019】次に図3の(B)に示すように、めっき層
13の表面にドライフィルムレジスト14をラミネート
する。このドライフィルムレジスト14は例えばポジ型
のものを用いる。次いでドライフィルムレジスト14上
に露光用マスクフィルム15を配して、回路パターンを
焼き付ける。この露光用マスクフィルム14は回路パタ
ーンとして残す部分16と回路パターンとして残さない
部分17から構成されている。なお、図面では、露光の
光の方向を白抜き矢印で示した。そして、上記焼き付け
を行った後に上記露光用マスクフィルム15を取り除
く。
【0020】この状態でドライフィルムレジスト14を
現像すると、露光用マスクフィルム15のうちの回路パ
ターンとして残す部分16の下部にあったドライフィル
ムレジスト14が、図3の(C)に示すように、ドライ
フィルムレジスト18(14)として現像されずに残
る。次に、エッチングを行い回路パターンとして残す部
分以外の上記めっき層13を溶解除去して、図4の
(A)に示すように、ドライフィルムレジスト18(1
4)によって被覆されためっき層(13)および配線板
11の表面に形成されていためっき層11aからなる回
路パターン19を得る。したがって、このエッチングで
は、配線板11の表面に形成されていためっき層11a
の一部も同時に溶解除去される。最後に、回路パターン
19上にあるドライフィルムレジスト18を剥離して、
図4の(B)に示すように、プリント配線板20の埋込
型表面バイアホール21が形成される。
【0021】このようなプリント配線板20の埋込型表
面バイアホール21を製造する場合、配線板2と配線板
3との間にあるプリプレグ4からの樹脂の充填、配線板
2の上部にあるサブプレート1の穴を通して、その上部
にあるプリプレグ4からの充填の上下2方向から樹脂の
充填があるため、従来と同様なる埋込型表面バイアホー
ルとなるスルーホール9内への樹脂の充填性に優れてい
る。また、プレス積層時の熱で変形するクッション材5
(5b)をサブプレート1の上部にあるプリプレグ4
(4b)の上に配置して構成し、プレス積層時に樹脂の
未充填の埋込型表面バイアホール上のプリプレグ4(4
b)を圧することにより、さらに充填性に優れる。この
ため、容積の大きい埋込型表面バイアホールとなるスル
ーホール(埋込型表面バイアホールが深いもの、また
は、埋込型表面バイアホールの穴径の広いもの)9を有
するプリント配線板20の製造が容易になり、より高密
度な配線設計が可能になる。
【0022】また、埋込型表面バイアホールとなるスル
ーホール9内に樹脂を充填した後の状態は、樹脂が盛り
上がったようになり、後工程でのこの樹脂の盛り上がり
部12の除去を行うため、従来に比べ埋込型表面バイア
ホールとなるスルーホール9に充填された樹脂は平坦性
に優れる。これにより、スルーホール9内に充填された
プリプレグ4からの樹脂とその上部に形成されたパター
ン回路19との密着性が向上する。
【0023】
【発明の効果】以上、説明したように本発明に係わるプ
リント配線板の埋込型表面バイアホールの形成方法によ
れば、埋込型表面バイアホールとなるスルーホールを形
成した配線板の両側にスルーホールに充填する樹脂とな
るプリプレグを介してクッション材を設けて、それらを
プレス積層するので、容積の大きい埋込型表面バイアホ
ール(埋込型表面バイアホールが深いもの、または、埋
込型表面バイアホールの穴径が広いもの)を有するプリ
ント配線板の製造が容易にできるようになる。また、ス
ルーホール上の樹脂のはみ出した部分を除去し、その部
分を粗化するので、埋込型表面バイアホールの充填樹脂
上部の平坦性が従来より向上することができる。そのた
め、この充填樹脂とその上部にある回路パターンとの密
着性の向上が図れ、接続信頼性を向上することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A),(B)は、実施の形態に係わるプリン
ト配線板の埋込型表面バイアホールの形成方法を示す工
程図である。
【図2】(A)〜(C)は、図1に続く実施の形態に係
わるプリント配線板の埋込型表面バイアホールの形成方
法を示す工程図である。
【図3】(A)〜(C)は、図2に続く実施の形態に係
わるプリント配線板の埋込型表面バイアホールの形成方
法を示す工程図である。
【図4】(A)および(B)は、図3に続く実施の形態
に係わるプリント配線板の埋込型表面バイアホールの形
成方法を示す工程図である。
【符号の説明】
1 サブプレート 2 配線板(上部配線板) 3 配線板(下部配線板) 4 プリプレグ 5 クッション材 9 スルーホール 10 穴 11 配線板 20 プリント配線板 21 埋込型表面バイアホール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 埋込型表面バイアホールを有するプリン
    ト配線板を製造するに当たって、 (a)前記埋込型表面バイアホールとなるスルーホール
    を形成した配線板を用意する工程と、 (b)前記スルーホールに対応する位置に穴をあけたサ
    ブプレートを用意する工程と、 (c)前記サブプレートに形成した穴が前記スルーホー
    ル上に位置するようにして前記配線板上に前記サブプレ
    ートを載せ、該サブプレート上に樹脂充填用のプリプレ
    グを載せて、この状態の両面を熱により変形するクッシ
    ョン材で挟んだ構成で、プレスしながら積層を行い、前
    記スルーホール内に前記プリプレグからなる樹脂を充填
    する工程と、 (d)前記積層後に、前記スルーホール上の樹脂のはみ
    出した部分を除去し、その部分を粗化する工程と、 (e)その後、前記配線板にめっき処理およびエッチン
    グ処理を施して、埋込型表面バイアホールを形成する工
    程と、を含むことを特徴とするプリント配線板の製造に
    おける埋込型表面バイアホールの形成方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のプリント配線板の製造に
    おける埋込型表面バイアホールの形成方法において、 前記(b)工程のサブプレートにあける穴の大きさが、
    少なくとも形成される埋込型表面バイアホールよりも大
    きいことを特徴とするプリント配線板の製造における埋
    込型表面バイアホールの形成方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のプリント配線板の製造に
    おける埋込型表面バイアホールの形成方法において、 前記(c)工程の積層時の構成を、クッション材、配線
    板、サブプレート、プリプレグ、クッション材の順に積
    層することを特徴とするプリント配線板の製造における
    埋込型表面バイアホールの形成方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20010047630A (ko) * 1999-11-22 2001-06-15 전세호 홀플러깅 보조판 및 이를 이용한 홀플러깅 방법
WO2020031521A1 (ja) * 2018-08-10 2020-02-13 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 配線基板およびその製造方法
US12009315B2 (en) 2020-09-03 2024-06-11 AT&SAustria Technologie & Systemtechnik AG Component carrier structure connectable by electrically conductive connection medium in recess with cavity having surface profile

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