JPH11114786A - 両頭研削装置の薄型ワーク支持方法及び支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄型ワークを自転させながら両面を同時に研
削することができる両頭研削砥石を有する研削装置に薄
型ワークを適用する場合に、ワークの支持を安定して行
えるワーク支持方法及び支持装置を提供する。 【解決手段】 両頭研削砥石を有する研削装置の両頭研
削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設ける。両頭
研削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設けるの
に、薄型ワーク支持部材は、両頭研削砥石（カップ型砥
石１１）を固定するための固定軸２０に固定することが
できる。該薄型ワーク支持部材は薄型ワーク１２の側方
或いは外周、又は側方と外周の両方を支持する。例え
ば、両頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワーク１２を
適用するのに、固定されたキャリアガイド１５に保持さ
れたワークキャリア１４に薄型ワーク１２の外周を支持
し、且つ両頭研削砥石周面の内側に設けられた内側支持
部材１８により薄型ワーク１２の側方及び／又は外周を
支持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄型ワーク、例え
ば、光学部品のガラス、半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のガラスディスクのような薄型ワークの両面を研
削等の処理をする加工装置に適用でき、薄型ワークを自
転させながら適用する場合の薄型ワークの支持方法及び
支持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、両頭研削砥石を有する研削装置へ
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いワ
ークキャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥
石間に保持挿入する方式（ワークキャリア支持方式）が
知られている。また、別のワークの適用技術としては、
ワークを柔らかい材料で製作したローラ型保持器で挟み
込み、該保持器のローラに対してモータ等により自動運
転を与えることによりワークを回転駆動し研削を行う方
式（ローラ支持方式）が知られている。

【０００３】図１、図２は、ワークキャリア支持方式を
採用した従来の両頭研削砥石を有する研削装置へのワー
クの適用例を示し、図１は平面図、図２は図１の研削装
置の矢印方向の側断面図である。図１及び図２におい
て、端面に平坦な研削動作面３を有するカップ型砥石１
の開放側を２個向かい合わせてなる両頭研削砥石を有す
る研削装置に対して、薄型ワーク２はワークより薄いワ
ークキャリア４で回転自在に外周が保持され、さらに該
ワークキャリア４はキャリアガイド５中に収容保持され
ており、該キャリアガイド５はキャリアガイド固定部材
８に固定されている。

【０００４】図３、図４は、ローラ支持方式を採用した
従来の両頭研削砥石を有する研削装置へのワークの適用
例を示し、図３は平面図、図４は図３の研削装置の矢印
方向の側断面図である。図３及び図４において、端面に
平坦な研削動作面２を有するカップ型砥石１の開放側を
２個向かい合わせてなる両頭研削砥石を有する研削装置
に対して、薄型ワーク２の外周はローラ型保持器６で保
持され、且つ薄型ワーク２の両側面は側方ガイド７で挟
まれた状態で回転駆動されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記従来のワークキャ
リア支持方式においては、研削を行うためにはワークキ
ャリアは薄型ワークの厚みよりも薄くしなければならな
いが、そうするとワークキャリアの機械的強度が弱くな
る。そのため研削時には特にカップ型砥石の内側部では
薄型ワーク及びワークキャリアが非常に不安定で、薄型
ワークがワークキャリアより脱離したり、或いはワーク
キャリアがキャリアガイドから脱離したりするという不
都合がある。また、ワークキャリアの強度を増すために
ワークキャリア厚みを多少増加させると、ワークキャリ
アを研削し、破損を起こすという不都合がある。

【０００６】一方、前記従来のローラ支持方式において
は、カップ型砥石の直径より薄型ワークがかなり小さい
時には、カップ型砥石の当接する部位はほぼ薄型ワーク
直径に近い所となるため、支持が不完全となり加工が不
可能となる。

【０００７】また、前記従来の各支持方式においては、
いずれも薄型ワークの支持がカップ型砥石の外側で行わ
れるので、薄型ワークの支持は不安定である。

【０００８】そこで、本発明は、薄型ワークを自転させ
ながら両面を同時に研削することができる両頭研削砥石
を有する研削装置に薄型ワークを適用する場合に、前記
した不都合を解消し、ワークの支持を安定して行えるワ
ーク支持方法及び支持装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記した問題点を解決す
るために、本発明は、両頭研削砥石を有する研削装置の
両頭研削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設ける
ことを特徴とする薄型ワーク支持装置である。本発明の
薄型ワーク支持装置において、両頭研削砥石周面の内側
に薄型ワーク支持部材を設けるのに、薄型ワーク支持部
材は、両頭研削砥石を固定するための固定軸に固定する
ことができる。該薄型ワーク支持部材は薄型ワークの側
方或いは外周、又は側方と外周の両方を支持してもよ
い。

【００１０】また、本発明の薄型ワークの支持方法は、
両頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワークを適用させ
るための薄型ワーク支持方法において、固定されたキャ
リアガイドに保持されたワークキャリアに薄型ワークの
外周を支持し、且つ両頭研削砥石周面の内側に設けられ
た薄型ワーク支持部材により薄型ワークの側方及び／又
は外周を支持することを特徴とする。

【００１１】別の本発明の薄型ワークの支持方法は、両
頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワークを適用させる
ための薄型ワーク支持方法において、薄型ワークの外周
を回転可能な外周ガイドにより支持し、且つ両頭研削砥
石周面の内側に設けられた薄型ワーク支持部材により薄
型ワークの側方及び／又は外周を支持することを特徴と
する。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の両頭研削装置の薄型ワー
ク支持方法及び支持装置を図５、図６、図７、図８に基
づいて説明する。

【００１３】図５、図６は、ワークキャリア支持方式を
採用した本発明の両頭研削砥石を有する研削装置への薄
型ワークの適用例を示し、図５は平面図、図６は図５の
研削装置の矢印方向の側断面図である。図５及び図６に
おいて、端面に平坦な研削動作面１３を有するカップ型
砥石１１の開放側を２個向かい合わせて、薄型ワーク１
２に対してインフィード或いはアウトフィード可能に配
置されてなる両頭研削砥石を有する研削装置に対して、
薄型ワーク１２は、該薄型ワーク１２より薄いワークキ
ャリア１４で回転自在に外周が保持され、さらに該ワー
クキャリア１４はキャリアガイド１５中に収容保持され
ており、キャリアガイド１５はキャリアガイド固定部材
２３に固定されている。

【００１４】薄型ワーク１２の両側面は、前記ワークキ
ャリア１４及びキャリアガイド１５による支持に加え、
研削装置内の内側支持部材１８によっても支持されてい
る。内側支持部材１８は研削装置の中心に位置する固定
軸２０に連結固定された固定部材２１に固定されてい
る。本発明の研削装置は、固定軸２０を中心にしてその
外側において駆動により回転することができる２個の回
転筒状体２２が、その開放側が向かい合うように配置さ
れ、さらに回転筒状体２２の端面に前記カップ型砥石１
１がその開放側が向かい合うように固定されている。本
発明の研削装置では、上記のように研削時の両カップ型
砥石１１がインフィードされて形成される中央部の内部
空間に薄型ワーク１２を支持するための内側支持部材１
８を設けている。

【００１５】図５及び図６の研削装置におけるワークキ
ャリア支持方式による薄型ワーク１２の支持形態はすべ
り軸受形式の支持装置を示しているが、本発明の研削装
置における薄型ワークの支持形態はこれ以外にも、各種
方法が採用可能である。例えば、キャリア支持方式によ
る薄型ワークの支持形態としては、静圧軸受形式、ロー
ラ形式等も適用できる。図５及び図６の研削装置の例で
は、薄型ワーク１２、ワークキャリア１４、キャリアガ
イド１５の両頭研削砥石面内にある部分を両側方より支
持し、且つ両頭研削砥石面外においても両側方より支持
するため、ワークキャリア１４、キャリアガイド１５が
薄くて、横方向の剛性が不足する場合でも、薄型ワーク
１２及びワークキャリア１４が回転中にキャリアガイド
１５から外れる不具合がなくなり、薄型ワーク１２の支
持が安定する。

【００１６】図７、図８は、ローラ支持方式を採用した
別の本発明の両頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワ
ークの適用例を示し、図７は平面図、図８は図７の研削
装置の矢印方向の側断面図である。

【００１７】ローラ支持方式を採用した本発明の研削装
置における薄型ワーク１２の支持は、ローラ型保持器１
６及び側方ガイド１７による支持に加え、両頭研削砥石
周面の内側に設けられた内側支持部材１８により薄型ワ
ーク１２の両側面が支持されている。内側支持部材１８
は研削装置の中心に位置する固定軸２０に連結固定され
た固定部材２１に固定されている。本発明の研削装置
は、固定軸２０を中心にしてその外側において駆動によ
り回転することができる２個の回転筒状体２２がその開
放側が向かい合うように配置され、さらに回転筒状体２
２の各端面に前記カップ型砥石１１が、その開放側が向
かい合うように固定されている。

【００１８】図７及び図８において、端面に平坦な研削
動作面１３を有するカップ型砥石１１の開放側を２個向
かい合わせて、薄型ワーク１２に対してインフィード或
いはアウトフィード可能に配置されてなる両頭研削砥石
を有する研削装置を構成している。該研削装置に対し
て、薄型ワーク１２の外周は、両頭研削装置の外側では
ローラ型保持器１６で支持され、且つ薄型ワーク１２の
両側面は側方ガイド１７で挟まれた状態で回転駆動さ
れ、両頭研削装置の内側では内側ローラ型保持器１９で
支持されている。このように、薄型ワーク１２の外周に
おける支持、及び両頭研削砥石の外側と内側の２カ所に
おける薄型ワーク１２の両側方からの支持を行っている
ので、薄型ワーク１２の支持が安定する。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、両頭研削砥石を有する
研削装置において、両頭研削砥石周面の内側に薄型ワー
ク支持部材を設けているので、両頭研削砥石の外側にお
ける薄型ワークの支持と相まって、支持が安定する。

【００２０】本発明のワークキャリア支持方式による薄
型ワークの支持は、薄型ワーク、ワークキャリア、キャ
リアガイドの両頭研削砥石面内にある部分を両側方より
支持し、且つ両頭研削砥石面外においても両側方より支
持しているので、薄型ワークの支持が安定する。

【００２１】本発明のローラ支持方式による薄型ワーク
の支持は、薄型ワークの外周における支持、及び両頭研
削砥石の外側と内側の２カ所における薄型ワークの両側
方からの支持を行っているので、薄型ワーク１２の支持
が安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワークキャリア支持方式を採用した従来の両頭
研削砥石を有する研削装置へのワークの適用例を示す平
面図である。

【図２】ワークキャリア支持方式を採用した従来の両頭
研削砥石を有する研削装置へのワークの適用例を示し、
図１の研削装置の矢印方向の側断面図である。

【図３】ローラ支持方式を採用した従来の両頭研削砥石
を有する研削装置へのワークの適用例を示す平面図であ
る。

【図４】ローラ支持方式を採用した従来の両頭研削砥石
を有する研削装置へのワークの適用例を示し、図３の研
削装置の矢印方向の側断面図である。

【図５】ワークキャリア支持方式を採用した本発明の両
頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を
示す平面図である。

【図６】ワークキャリア支持方式を採用した本発明の両
頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を
示し、図５の研削装置の矢印方向の側断面図である。

【図７】ローラ支持方式を採用した本発明の両頭研削砥
石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を示す平面
図である。

【図８】ローラ支持方式を採用した本発明の両頭研削砥
石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を示し、図
７の研削装置の矢印方向の側断面図である。

【符号の説明】

１、１１ カップ型砥石 ２、１２ 薄型ワーク ３、１３ 研削動作面 ４、１４ ワークキャリア ５、１５ キャリアガイド ６、１６ ローラ型保持器 ７、１７ 側方ガイド ８、２３ キャリアガイド固定部材 １８ 内側支持部材 １９ 内側ローラ型保持器 ２０ 固定軸 ２１ 固定部材 ２２ 回転筒状体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 一敬 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内 (72)発明者 冨田 良幸 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 両頭研削砥石を有する研削装置の両頭研
   削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設けることを
   特徴とする薄型ワーク支持装置。
2. 【請求項２】 前記薄型ワーク支持部材は、両頭研削砥
   石を固定するための固定軸に固定されていることを特徴
   とする請求項１記載の薄型ワーク支持装置。
3. 【請求項３】 前記薄型ワーク支持部材は、薄型ワーク
   の側方を支持することを特徴とする請求項１又は２記載
   の薄型ワーク支持装置。
4. 【請求項４】 両頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワ
   ークを適用させるための薄型ワーク支持方法において、
   固定されたキャリアガイドに保持されたキャリアに薄型
   ワークの外周を支持し、且つ両頭研削砥石周面の内側に
   設けられた薄型ワーク支持部材により薄型ワークの側方
   及び／又は外周を支持することを特徴とする薄型ワーク
   支持方法。
5. 【請求項５】 両頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワ
   ークを適用させるための薄型ワーク支持方法において、
   薄型ワークの外周を回転可能な外周ガイドにより支持
   し、且つ両頭研削砥石周面の内側に設けられた薄型ワー
   ク支持部材により薄型ワークの側方及び／又は外周を支
   持することを特徴とする薄型ワーク支持方法。