JPH1110497A - 静圧機構を用いた薄型ワーク保持装置 - Google Patents
静圧機構を用いた薄型ワーク保持装置Info
- Publication number
- JPH1110497A JPH1110497A JP9177677A JP17767797A JPH1110497A JP H1110497 A JPH1110497 A JP H1110497A JP 9177677 A JP9177677 A JP 9177677A JP 17767797 A JP17767797 A JP 17767797A JP H1110497 A JPH1110497 A JP H1110497A
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- JP
- Japan
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- thin work
- thin
- work
- workpiece
- holding device
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワーク厚みが１ｍｍ以下の薄型ワークであっ
ても、その保持にキャリアを必要とせず、しかもワーク
を駆動して回転させる場合に、ダストの発生の心配のな
い駆動機構を有する薄型ワーク保持装置を提供する。 【解決手段】 静圧パッド部４を有する薄型ワーク保持
装置により、薄型ワーク２の一部分の両面を保持する。
薄型ワーク２は駆動源６で回転するロッド５により回転
させられる。この保持状態で薄型ワーク保持装置から突
き出ている薄側ワーク２部分を、２個のカップ型砥石１
の開放側を向かい合わせてなる両頭研削砥石の間に挿入
し、両カップ型砥石１を薄型ワーク２が存在する方向に
インフィードして研削する。
ても、その保持にキャリアを必要とせず、しかもワーク
を駆動して回転させる場合に、ダストの発生の心配のな
い駆動機構を有する薄型ワーク保持装置を提供する。 【解決手段】 静圧パッド部４を有する薄型ワーク保持
装置により、薄型ワーク２の一部分の両面を保持する。
薄型ワーク２は駆動源６で回転するロッド５により回転
させられる。この保持状態で薄型ワーク保持装置から突
き出ている薄側ワーク２部分を、２個のカップ型砥石１
の開放側を向かい合わせてなる両頭研削砥石の間に挿入
し、両カップ型砥石１を薄型ワーク２が存在する方向に
インフィードして研削する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型ワーク、例え
ば、光学部品のガラスや半導体シリコンウエハのような
薄型ワークの両面を処理する加工装置に、薄型ワークを
適用する場合の薄型ワークの保持装置に関し、特に、両
頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合の薄型ワー
クの保持装置に関する。
ば、光学部品のガラスや半導体シリコンウエハのような
薄型ワークの両面を処理する加工装置に、薄型ワークを
適用する場合の薄型ワークの保持装置に関し、特に、両
頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合の薄型ワー
クの保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、両頭研削砥石を有する研削装置へ
ワークを保持して挿入する技術として、ワークより薄い
キャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間
に保持挿入する方式が知られている。このようなワーク
保持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシ
ンプルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用い
られるスルーフィード方式、また、コンロッド、ロー
ラ、クロスピン等の不規則な形状のものや、小物品を保
持挿入して研削を行うロータリーキャリア方式、また、
ブレーキディスク等の特殊な形状のものや加工物の一部
分の両面研削に用いられるガンフィード方式、また、ク
ロスピン等の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面
研削に用いられるスイングアーム方式があった。
ワークを保持して挿入する技術として、ワークより薄い
キャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥石間
に保持挿入する方式が知られている。このようなワーク
保持挿入方式には、ベアリング、ピストンリング等のシ
ンプルな形状の部品を保持挿入して研削する場合に用い
られるスルーフィード方式、また、コンロッド、ロー
ラ、クロスピン等の不規則な形状のものや、小物品を保
持挿入して研削を行うロータリーキャリア方式、また、
ブレーキディスク等の特殊な形状のものや加工物の一部
分の両面研削に用いられるガンフィード方式、また、ク
ロスピン等の複雑な形状のものや加工物の一部分の両面
研削に用いられるスイングアーム方式があった。
【０００３】しかしながら、これらのワーク保持挿入方
式においては、ワーク厚みが１ｍｍ未満のワークに対し
て、ワークを固定するためのキャリアはさらに薄くせね
ばならず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能
せず、またそのような薄いキャリアを製造することも困
難であった。
式においては、ワーク厚みが１ｍｍ未満のワークに対し
て、ワークを固定するためのキャリアはさらに薄くせね
ばならず、薄すぎて剛性が不足してキャリアとして機能
せず、またそのような薄いキャリアを製造することも困
難であった。
【０００４】一方、ワークをより柔らかい材料で製作し
たローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラに対し
てモータ等により自動運転を与えることによりワークを
駆動し研削を行う方法が知られている。しかしながら、
ワークを該ローラ型保持器により挟み込む方式は、ロー
ラがワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、
ダストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌
うクリーンルーム環境での使用はできないという問題が
あった。また、該方式では、ローラの圧力によりワーク
が歪みを起こしやすいという問題があった。
たローラ型保持器で挟み込み、該保持器のローラに対し
てモータ等により自動運転を与えることによりワークを
駆動し研削を行う方法が知られている。しかしながら、
ワークを該ローラ型保持器により挟み込む方式は、ロー
ラがワークより柔らかいため、ローラの磨耗が発生し、
ダストの発生が著しく、コンタミネーションを著しく嫌
うクリーンルーム環境での使用はできないという問題が
あった。また、該方式では、ローラの圧力によりワーク
が歪みを起こしやすいという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、厚
みが１ｍｍ以下の薄型ワークであっても、その保持にキ
ャリアを必要とせず、しかも薄型ワークを駆動して回転
させる場合に、ダストの発生の心配のない駆動機構を有
する薄型ワーク保持装置を提供することを目的とする。
みが１ｍｍ以下の薄型ワークであっても、その保持にキ
ャリアを必要とせず、しかも薄型ワークを駆動して回転
させる場合に、ダストの発生の心配のない駆動機構を有
する薄型ワーク保持装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記した問題点を解決す
るために、本発明は、薄型ワークの両面を保持すること
ができる静圧パッド部を有することを特徴とする薄型ワ
ーク保持装置である。
るために、本発明は、薄型ワークの両面を保持すること
ができる静圧パッド部を有することを特徴とする薄型ワ
ーク保持装置である。
【０００７】さらに本発明は、前記薄型ワーク保持装置
に保持されている薄型ワークを回転させることができる
回転駆動装置を有することを特徴とする。前記回転駆動
装置は、円板からなる薄型ワークの周縁を接触駆動させ
る回転ロッドとすることができる。
に保持されている薄型ワークを回転させることができる
回転駆動装置を有することを特徴とする。前記回転駆動
装置は、円板からなる薄型ワークの周縁を接触駆動させ
る回転ロッドとすることができる。
【０００８】本発明の薄型ワーク保持装置の好ましい態
様は、開放側の端面が平坦な研削動作面となっている２
個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせて両頭研削砥
石を構成し、薄型ワークが存在する方向にインフィード
或いはアウトフィード可能に該両頭研削砥石を配置し、
且つ該両頭研削砥石を回転可能に構成してなる研削装置
に対して、薄型ワークが適用されるように前記薄型ワー
ク保持装置を適用することである。
様は、開放側の端面が平坦な研削動作面となっている２
個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせて両頭研削砥
石を構成し、薄型ワークが存在する方向にインフィード
或いはアウトフィード可能に該両頭研削砥石を配置し、
且つ該両頭研削砥石を回転可能に構成してなる研削装置
に対して、薄型ワークが適用されるように前記薄型ワー
ク保持装置を適用することである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の薄型ワーク保持装置を、
両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合を例にし
て以下に説明する。図１、図２は、両頭研削砥石を有す
る研削装置に適用された薄型ワーク保持装置の概略を示
し、図１は側断面図、図２は正面図である。
両頭研削砥石を有する研削装置に適用する場合を例にし
て以下に説明する。図１、図２は、両頭研削砥石を有す
る研削装置に適用された薄型ワーク保持装置の概略を示
し、図１は側断面図、図２は正面図である。
【００１０】１は、カップ型砥石であり、カップ状の開
放側の端面は平坦な研削動作面７となっている。カップ
型砥石１は２個がペアとなり開放側が互いに向かいあっ
て、横型の両頭研削砥石を形成している。両頭研削砥石
は互いの研削動作面７の間隔が調整自在となるように移
動装置（図示せず）により保持されており、且つ薄型ワ
ーク２に対して切り込むことが可能な駆動装置を有して
おり、薄型ワーク２の両面研削ができる研削装置を形成
している。上記の研削装置は、両面に研削処理を要する
薄型ワークの研削に適している。
放側の端面は平坦な研削動作面７となっている。カップ
型砥石１は２個がペアとなり開放側が互いに向かいあっ
て、横型の両頭研削砥石を形成している。両頭研削砥石
は互いの研削動作面７の間隔が調整自在となるように移
動装置（図示せず）により保持されており、且つ薄型ワ
ーク２に対して切り込むことが可能な駆動装置を有して
おり、薄型ワーク２の両面研削ができる研削装置を形成
している。上記の研削装置は、両面に研削処理を要する
薄型ワークの研削に適している。
【００１１】３は薄型ワーク２を保持するためのワーク
保持器であり、ワーク保持器３の内側の両面には薄型ワ
ーク２を保持するための静圧パッド部４が設けられてい
る。静圧パッド部４は、潤滑剤としての液体或いは気体
等の流体を圧力をかけて供給することにより、薄型ワー
ク２の両面を流体圧で保持する構成となっている。
保持器であり、ワーク保持器３の内側の両面には薄型ワ
ーク２を保持するための静圧パッド部４が設けられてい
る。静圧パッド部４は、潤滑剤としての液体或いは気体
等の流体を圧力をかけて供給することにより、薄型ワー
ク２の両面を流体圧で保持する構成となっている。
【００１２】液体は気体に比べて熱容量が高いので、研
削時に発生する熱を効率よく吸収して取り除くことがで
き、したがって、薄型ワーク２の熱歪みを最小に抑制す
るので、静圧パッド部４に好ましく使用される。特に被
加工物の研削の際に使用される研削液は、静圧パッド部
４に適用される流体に最も適しており、粘性、加工対象
物、加工熱による歪みの最小化において適している。水
も好ましく使用される流体である。
削時に発生する熱を効率よく吸収して取り除くことがで
き、したがって、薄型ワーク２の熱歪みを最小に抑制す
るので、静圧パッド部４に好ましく使用される。特に被
加工物の研削の際に使用される研削液は、静圧パッド部
４に適用される流体に最も適しており、粘性、加工対象
物、加工熱による歪みの最小化において適している。水
も好ましく使用される流体である。
【００１３】横型の両頭研削砥石を有する研削装置にお
いては、カップ型砥石１の径に比べて、薄型ワーク２の
径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすることによ
り効率的に研削加工が行える。ワーク保持器３には、静
圧パッド部４に保持された薄型ワーク２を摩擦により回
転駆動させるためのロッド５と、該ロッド５の駆動源６
としてのサーボモータが設けられている。
いては、カップ型砥石１の径に比べて、薄型ワーク２の
径は、通常、１／２か若しくはそれ以下とすることによ
り効率的に研削加工が行える。ワーク保持器３には、静
圧パッド部４に保持された薄型ワーク２を摩擦により回
転駆動させるためのロッド５と、該ロッド５の駆動源６
としてのサーボモータが設けられている。
【００１４】上記本発明の静圧機構を用いた薄型ワーク
保持装置を有する研削装置の作動を説明する。保持器の
静圧パッド部４によって薄型ワーク２の一部分の両面を
保持し、且つ駆動源６としてのサーボモータにより駆動
回転されているロッド５により薄型ワーク２を接触回転
させておく。回転された薄型ワーク２の保持は静圧パッ
ド部４によって行われているので、薄型ワーク２の保持
にかかる摩擦が非常に小さく、そのため小さな駆動力で
薄型ワーク２を回転駆動させることが可能となる。次い
で、回転している薄型ワーク２であって、薄型ワーク保
持装置から突き出ている薄型ワーク２部分を両頭研削砥
石のカップ型砥石１間に挿入し、次いで、両カップ型砥
石１，１を薄型ワーク２が存在する方向へインフィード
することにより、研削動作面７を薄型ワーク２に接触さ
せて、薄型ワーク２の両面を同時に研削する。
保持装置を有する研削装置の作動を説明する。保持器の
静圧パッド部４によって薄型ワーク２の一部分の両面を
保持し、且つ駆動源６としてのサーボモータにより駆動
回転されているロッド５により薄型ワーク２を接触回転
させておく。回転された薄型ワーク２の保持は静圧パッ
ド部４によって行われているので、薄型ワーク２の保持
にかかる摩擦が非常に小さく、そのため小さな駆動力で
薄型ワーク２を回転駆動させることが可能となる。次い
で、回転している薄型ワーク２であって、薄型ワーク保
持装置から突き出ている薄型ワーク２部分を両頭研削砥
石のカップ型砥石１間に挿入し、次いで、両カップ型砥
石１，１を薄型ワーク２が存在する方向へインフィード
することにより、研削動作面７を薄型ワーク２に接触さ
せて、薄型ワーク２の両面を同時に研削する。
【００１５】両頭研削砥石を構成する両カップ型砥石１
の回転方向は同一であっても、反対方向であってもよ
い。また、薄型ワーク２を研削時にロッド５により回転
させておくことにより、薄型ワークの研削処理を均一に
行うことができる。
の回転方向は同一であっても、反対方向であってもよ
い。また、薄型ワーク２を研削時にロッド５により回転
させておくことにより、薄型ワークの研削処理を均一に
行うことができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明の薄型ワーク保持装置は、厚みが
１ｍｍ以下の薄型ワークであっても、その保持にキャリ
アを必要としない。
１ｍｍ以下の薄型ワークであっても、その保持にキャリ
アを必要としない。
【００１７】本発明の薄型ワーク保持装置は、薄型ワー
クを駆動して回転させる場合に、ダストの発生の心配の
ない駆動機構を有する。
クを駆動して回転させる場合に、ダストの発生の心配の
ない駆動機構を有する。
【００１８】本発明の薄型ワーク保持装置は、薄型ワー
クの保持機構として静圧パッド部を使用しているので、
薄型ワークに対して剛性部材が何ら接触することなくそ
の保持を可能としているので、薄型ワークの保持機構の
摩擦が極端に小さくなり、そのため小さな駆動力で薄型
ワークを回転駆動させることができる。
クの保持機構として静圧パッド部を使用しているので、
薄型ワークに対して剛性部材が何ら接触することなくそ
の保持を可能としているので、薄型ワークの保持機構の
摩擦が極端に小さくなり、そのため小さな駆動力で薄型
ワークを回転駆動させることができる。
【図１】両頭研削砥石を有する研削装置に適用された薄
型ワーク保持装置の概略を示す側断面図である。
型ワーク保持装置の概略を示す側断面図である。
【図２】両頭研削砥石を有する研削装置に適用された薄
型ワーク保持装置の概略を示す正面図である。
型ワーク保持装置の概略を示す正面図である。
１ カップ型砥石 ２ 薄型ワーク ３ ワーク保持器 ４ 静圧パッド部 ５ ロッド ６ 駆動源 ７ 研削動作面
フロントページの続き (72)発明者 岩瀬 昭雄 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内 (72)発明者 永田 浩 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内
Claims (3)
- 【請求項１】 薄型ワークの両面を保持することができ
る静圧パッド部、及び該薄型ワークを回転させることが
できる回転駆動装置を有し、該回転駆動装置は、円板か
らなる薄型ワークの周縁を接触駆動させる回転ロッドで
あることを特徴とする薄型ワーク保持装置。 - 【請求項２】 開放側の端面は平坦な研削動作面となっ
ている２個のカップ型砥石の開放側を向かい合わせて、
薄型ワークが存在する方向にインフィード或いはアウト
フィード可能に配置し、且つカップ型砥石自体を回転可
能に構成してなる研削装置に対して、請求項１記載の薄
型ワーク保持装置に保持された薄型ワークが適用される
ように配置したことを特徴とする薄型ワーク保持装置。 - 【請求項３】 前記静圧パッド部に使用される潤滑剤が
研削液である請求項１又は２記載の薄型ワーク保持装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9177677A JPH1110497A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 静圧機構を用いた薄型ワーク保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9177677A JPH1110497A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 静圧機構を用いた薄型ワーク保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1110497A true JPH1110497A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=16035182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9177677A Pending JPH1110497A (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 静圧機構を用いた薄型ワーク保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1110497A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104647206A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-05-27 | 苏州富强科技有限公司 | 抛光机的仿形载具 |
-
1997
- 1997-06-18 JP JP9177677A patent/JPH1110497A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104647206A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-05-27 | 苏州富强科技有限公司 | 抛光机的仿形载具 |
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