JPH11116048A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH11116048A JPH11116048A JP9294981A JP29498197A JPH11116048A JP H11116048 A JPH11116048 A JP H11116048A JP 9294981 A JP9294981 A JP 9294981A JP 29498197 A JP29498197 A JP 29498197A JP H11116048 A JPH11116048 A JP H11116048A
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- Japan
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- wafer
- roll
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- substrate holding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の芯出しを行う際における基板からのゴ
ミの発生を抑える。 【解決手段】 ウェハＷを、基板保持ベース７上に形成
された基板保持部材８上に載置する。次に、押し付け部
材２を矢印１３方向に移動させ、押し付け部材２の傾斜
面２ａを利用してウェハＷの縁を持ち上げる。これによ
り、ロール３１がウェハＷの裏面を転がり支持してウェ
ハＷの矢印１３方向への移動を許容するようになる。押
し付け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハ
Ｗの縁が押し付け部材２の当接面２ｂに当接し、ウェハ
Ｗを矢印１３方向に押し付ける。押し付け部材２がさら
に矢印１３方向移動すると、ウェハＷの他方の縁が基準
部材１の当接面１ａに当接し、ウェハＷは、当接面１ａ
と当接面２ｂの間に挟まれて位置合わせされ、押し付け
部材２の移動が停止される。この際、基板Ｗを裏面から
支持しているロール３１が転がって、ゴミの発生を極め
て少なくすることができる。
ミの発生を抑える。 【解決手段】 ウェハＷを、基板保持ベース７上に形成
された基板保持部材８上に載置する。次に、押し付け部
材２を矢印１３方向に移動させ、押し付け部材２の傾斜
面２ａを利用してウェハＷの縁を持ち上げる。これによ
り、ロール３１がウェハＷの裏面を転がり支持してウェ
ハＷの矢印１３方向への移動を許容するようになる。押
し付け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハ
Ｗの縁が押し付け部材２の当接面２ｂに当接し、ウェハ
Ｗを矢印１３方向に押し付ける。押し付け部材２がさら
に矢印１３方向移動すると、ウェハＷの他方の縁が基準
部材１の当接面１ａに当接し、ウェハＷは、当接面１ａ
と当接面２ｂの間に挟まれて位置合わせされ、押し付け
部材２の移動が停止される。この際、基板Ｗを裏面から
支持しているロール３１が転がって、ゴミの発生を極め
て少なくすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハや
液晶ガラス基板等の基板を搬送する基板搬送装置に関
し、特に基板を取り扱う検査装置、測定装置、処理装置
等に組み込まれて基板の安全な搬送を可能にする基板搬
送装置に関する。
液晶ガラス基板等の基板を搬送する基板搬送装置に関
し、特に基板を取り扱う検査装置、測定装置、処理装置
等に組み込まれて基板の安全な搬送を可能にする基板搬
送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハや液晶ガラス基板を検査・
処理するための装置は、クリーンルームと呼ばれる特殊
な無塵室内に配置されており、通常、無人で動作する基
板搬送装置によってある場所から別の場所への基板の搬
送が行われている。
処理するための装置は、クリーンルームと呼ばれる特殊
な無塵室内に配置されており、通常、無人で動作する基
板搬送装置によってある場所から別の場所への基板の搬
送が行われている。
【０００３】上記のように自動化された基板搬送装置で
は、基板の受け渡しに際して、基板の芯出しが行われ
る。このような芯出しを行う装置部分では、基板保持用
のホルダ面上に基板を載置し、このホルダ面上の基板を
ホルダ面の一端側に設けた基準部材に向けて押し付け部
材で押し付け、基準部材を基準にした基板の芯出しを行
うこととしている。
は、基板の受け渡しに際して、基板の芯出しが行われ
る。このような芯出しを行う装置部分では、基板保持用
のホルダ面上に基板を載置し、このホルダ面上の基板を
ホルダ面の一端側に設けた基準部材に向けて押し付け部
材で押し付け、基準部材を基準にした基板の芯出しを行
うこととしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
基板搬送装置では、芯出しに際して、基板とホルダ面と
の間で摩擦が起こるので、ゴミが発生し易いという問題
がある。半導体ウェハ等の処理工程は前述のようにクリ
ーンルームで行われており、クリーンルーム内でのゴミ
の発生はもっとも嫌われている。
基板搬送装置では、芯出しに際して、基板とホルダ面と
の間で摩擦が起こるので、ゴミが発生し易いという問題
がある。半導体ウェハ等の処理工程は前述のようにクリ
ーンルームで行われており、クリーンルーム内でのゴミ
の発生はもっとも嫌われている。
【０００５】また、基板の裏面の表面状態は常に同じと
は限らず、研削の粗さ、半導体工程における表面処理や
感光材（レジスト膜）等によって、ホルダ面との間の摩
擦抵抗が増大し、芯出しが不十分になることがある。
は限らず、研削の粗さ、半導体工程における表面処理や
感光材（レジスト膜）等によって、ホルダ面との間の摩
擦抵抗が増大し、芯出しが不十分になることがある。
【０００６】そこで、この発明は、基板の芯出しを行う
際における基板からのゴミの発生を抑えることを目的と
する。また、この発明は、基板をより正確に芯出しする
ことを目的とする。
際における基板からのゴミの発生を抑えることを目的と
する。また、この発明は、基板をより正確に芯出しする
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためのものであり、以下に、実施形態に示した各
図面を用いてその内容を説明する。
決するためのものであり、以下に、実施形態に示した各
図面を用いてその内容を説明する。
【０００８】本発明の基板搬送装置は、基板（Ｗ）の側
面に当接する当接部（１ａ，２ａ）を有し、前記当接部
（１ａ，２ｂ）が互いに対向するように配置された１対
の当接部材（１，２）と、前記１対の当接部材（１，
２）のうち少なくとも一方（２）を、前記当接部（１
ａ，２ｂ）が互いに対向する方向に移動する移動手段
（９）とを備えるものであって、前記１対の当接部材
（１，２）の間に配置されると共に基板（Ｗ）の裏面に
接触して転がる転がり部材（３）を備えることを特徴と
する。
面に当接する当接部（１ａ，２ａ）を有し、前記当接部
（１ａ，２ｂ）が互いに対向するように配置された１対
の当接部材（１，２）と、前記１対の当接部材（１，
２）のうち少なくとも一方（２）を、前記当接部（１
ａ，２ｂ）が互いに対向する方向に移動する移動手段
（９）とを備えるものであって、前記１対の当接部材
（１，２）の間に配置されると共に基板（Ｗ）の裏面に
接触して転がる転がり部材（３）を備えることを特徴と
する。
【０００９】また、好ましい態様では、前記転がり部材
（３）が前記１対の当接部材（１，２）のうち少なくと
も一方（２）の移動方向に対し垂直に配置された回転軸
（３４）と当該回転軸の回りに回転可能に支持されたロ
ール状部材（３１）とを有することを特徴とする。
（３）が前記１対の当接部材（１，２）のうち少なくと
も一方（２）の移動方向に対し垂直に配置された回転軸
（３４）と当該回転軸の回りに回転可能に支持されたロ
ール状部材（３１）とを有することを特徴とする。
【００１０】また、好ましい態様では、前記１対の当接
部材（１，２）により位置決めされた基板（Ｗ）を保持
し一対の当接部材（１，２）の間に配置される基板保持
部材を（８）さらに備え、前記ロール状部材（３１）
が、前記基板保持部材（８）と一方の当接部材（１）と
の間で、かつ、上端が前記基板保持部材（８）の上端よ
りも低い位置に配置され、他方の当接部材（２）が、当
該他方の当接部材（２）が前記一方の当接部材（１）の
方向に移動する際に基板（Ｗ）の縁に当接して当該基板
（Ｗ）の縁を持ち上げて当該基板（Ｗ）を前記基板保持
部材（８）から離間させるとともに、当該基板（Ｗ）を
前記一方の当接部材（１）の方向に押し付けることを特
徴とする。
部材（１，２）により位置決めされた基板（Ｗ）を保持
し一対の当接部材（１，２）の間に配置される基板保持
部材を（８）さらに備え、前記ロール状部材（３１）
が、前記基板保持部材（８）と一方の当接部材（１）と
の間で、かつ、上端が前記基板保持部材（８）の上端よ
りも低い位置に配置され、他方の当接部材（２）が、当
該他方の当接部材（２）が前記一方の当接部材（１）の
方向に移動する際に基板（Ｗ）の縁に当接して当該基板
（Ｗ）の縁を持ち上げて当該基板（Ｗ）を前記基板保持
部材（８）から離間させるとともに、当該基板（Ｗ）を
前記一方の当接部材（１）の方向に押し付けることを特
徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の基板搬送装置の具
体的な実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
体的な実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
【００１２】図１は、本発明の一実施形態である基板搬
送装置を組み込んだウェハ検査装置５０の配置構造を説
明する模式図である。図示のように、ウェハ検査装置
は、基板搬送装置として、検査前のウェハＷをカセット
５１からを取り出したり検査後のウェハＷをカセット５
１に収納するフィーダ５２と、カセット５１から取り出
されたウェハＷをフィーダ５２から受け取って芯出し装
置５４に搬送する第１パレット５３と、ウェハＷのセン
タリングを行う芯出し装置５４と、センタリング後のウ
ェハＷについてオリフラ検出を行ってオリフラの位置合
わせを行うオリフラ制御装置５５と、位置合わせ後のウ
ェハＷを検査ヘッド５７下のＸＹステージ５８上に搬送
するシャトル搬送装置５６と、検査後のウェハＷをフィ
ーダ５２に戻す第２パレット５９とを備える。
送装置を組み込んだウェハ検査装置５０の配置構造を説
明する模式図である。図示のように、ウェハ検査装置
は、基板搬送装置として、検査前のウェハＷをカセット
５１からを取り出したり検査後のウェハＷをカセット５
１に収納するフィーダ５２と、カセット５１から取り出
されたウェハＷをフィーダ５２から受け取って芯出し装
置５４に搬送する第１パレット５３と、ウェハＷのセン
タリングを行う芯出し装置５４と、センタリング後のウ
ェハＷについてオリフラ検出を行ってオリフラの位置合
わせを行うオリフラ制御装置５５と、位置合わせ後のウ
ェハＷを検査ヘッド５７下のＸＹステージ５８上に搬送
するシャトル搬送装置５６と、検査後のウェハＷをフィ
ーダ５２に戻す第２パレット５９とを備える。
【００１３】図２は、基板搬送装置の一部を構成する芯
出し装置５４の構造を説明する図である。図２（ａ）
は、芯出し装置５４の平面図であり、図２（ｂ）は、芯
出し装置５４の側方断面図である。
出し装置５４の構造を説明する図である。図２（ａ）
は、芯出し装置５４の平面図であり、図２（ｂ）は、芯
出し装置５４の側方断面図である。
【００１４】芯出し装置５４は、基準ユニット５４１と
押し付けユニット５４２とから構成される。
押し付けユニット５４２とから構成される。
【００１５】前者の基準ユニット５４１は、基準側ベー
ス１２上に取り付けられた基板保持ベース７と、この基
板保持ベース７上に固設された基準部材１と、ウェハＷ
の裏面を転がり接触によって支持する転がり部材３と、
ウェハＷを裏面から吸着して基板保持ベース７上に保持
する３つの基板保持部材８と、基板保持部材３を動作さ
せるための真空吸着配管用部材１１，１４とを備える。
なお、基準部材１は、ウェハＷの芯出し時にその縁に当
接することによって芯出しの基準となる当接部として、
円弧状の当接面１ａを備える。
ス１２上に取り付けられた基板保持ベース７と、この基
板保持ベース７上に固設された基準部材１と、ウェハＷ
の裏面を転がり接触によって支持する転がり部材３と、
ウェハＷを裏面から吸着して基板保持ベース７上に保持
する３つの基板保持部材８と、基板保持部材３を動作さ
せるための真空吸着配管用部材１１，１４とを備える。
なお、基準部材１は、ウェハＷの芯出し時にその縁に当
接することによって芯出しの基準となる当接部として、
円弧状の当接面１ａを備える。
【００１６】後者の押し付けユニット５４２は、押し付
け側ベース１２ａ上に取り付けられたスライドガイド駆
動ユニット９と、このスライドガイド駆動ユニット２に
駆動されて矢印１３方向に滑らかに往復動する押し付け
部材２とを備える。なお、押し付け部材２は、当接部と
して、芯出し時にウェハＷの縁に当接してウェハＷの縁
を持ち上げる円弧状の傾斜面２ａと、ウェハＷの縁に当
接してウェハＷを基準部材１側に押し付ける当接面２ｂ
とを備える。
け側ベース１２ａ上に取り付けられたスライドガイド駆
動ユニット９と、このスライドガイド駆動ユニット２に
駆動されて矢印１３方向に滑らかに往復動する押し付け
部材２とを備える。なお、押し付け部材２は、当接部と
して、芯出し時にウェハＷの縁に当接してウェハＷの縁
を持ち上げる円弧状の傾斜面２ａと、ウェハＷの縁に当
接してウェハＷを基準部材１側に押し付ける当接面２ｂ
とを備える。
【００１７】押し付けユニット５４２は、基準ユニット
５４１に対し全体として下方に移動可能となっている。
また、基準ユニット５４１は、押し付けユニット５４２
が下方に移動して退避した際に、水平方向に移動して、
ウェハＷを図１に示すオリフラ制御装置５５側に移送す
る。
５４１に対し全体として下方に移動可能となっている。
また、基準ユニット５４１は、押し付けユニット５４２
が下方に移動して退避した際に、水平方向に移動して、
ウェハＷを図１に示すオリフラ制御装置５５側に移送す
る。
【００１８】図３は、転がり部材３の構造を説明する側
方断面図である。転がり部材３は、ウェハＷ裏面に回転
可能に当接する球状のロール３１と、このロール３１の
中心を通るように水平に固定されているロール回転軸３
４と、ロール回転軸３４を軸芯の回りに回転可能に支持
する円柱状のロール保持部材３５と、ロール３１の上端
の高さ、すなわち基板保持ベース７からのロール３１の
突出量を調節する高さ調整部材３６とを備える。
方断面図である。転がり部材３は、ウェハＷ裏面に回転
可能に当接する球状のロール３１と、このロール３１の
中心を通るように水平に固定されているロール回転軸３
４と、ロール回転軸３４を軸芯の回りに回転可能に支持
する円柱状のロール保持部材３５と、ロール３１の上端
の高さ、すなわち基板保持ベース７からのロール３１の
突出量を調節する高さ調整部材３６とを備える。
【００１９】ロール３１は、その形状が球状であるた
め、ウェハＷ裏面との接触面積が小さく、ウェハＷの任
意の方向への比較的滑らかな移動を許容する。また、ロ
ール回転軸３４によってロール３１を支持しているの
で、ロール３１の周囲には空間３８が形成されており、
ロール３１の周囲にウェハＷ裏面に付着したレジスト等
が転写された場合にも、ロール３１の回転が妨げられる
といった不都合が生じにくい。また、ロール３１は、そ
の材質が低摩擦かつ低発塵性のものとなっているので、
ウェハＷの移動に際してパーティクルが発生することを
防止できる。
め、ウェハＷ裏面との接触面積が小さく、ウェハＷの任
意の方向への比較的滑らかな移動を許容する。また、ロ
ール回転軸３４によってロール３１を支持しているの
で、ロール３１の周囲には空間３８が形成されており、
ロール３１の周囲にウェハＷ裏面に付着したレジスト等
が転写された場合にも、ロール３１の回転が妨げられる
といった不都合が生じにくい。また、ロール３１は、そ
の材質が低摩擦かつ低発塵性のものとなっているので、
ウェハＷの移動に際してパーティクルが発生することを
防止できる。
【００２０】高さ調整部材３６は、周囲に雄ねじが形成
されており、基板保持ベース７の要所に設けた開口内面
に形成された雌ねじと螺合している。すなわち、高さ調
整部材３６を適宜回転させることにより、高さ調整部材
３６自体の高さを調節することができ、結果的にロール
保持部材３５やロール３１の高さ位置を微調整すること
ができる。ロール保持部材３５は、高さ調整部材３６に
形成された円形穴に嵌合して鉛直軸の回りに滑らかに回
転可能になっている。これにより、高さ調整部材３６が
回転しても、ロール保持部材３５に保持されたロール回
転軸３４の向きを常にＡＢ方向に保つことができるよう
になっている。なお、ロール回転軸３４の向きをＡＢ方
向に保つことにより、押し付け部材２によって主として
矢印１３方向（ＡＢ方向に垂直な方向）に移動するウェ
ハＷを最小限の摩擦抵抗で滑らかに移動させることがで
きる。
されており、基板保持ベース７の要所に設けた開口内面
に形成された雌ねじと螺合している。すなわち、高さ調
整部材３６を適宜回転させることにより、高さ調整部材
３６自体の高さを調節することができ、結果的にロール
保持部材３５やロール３１の高さ位置を微調整すること
ができる。ロール保持部材３５は、高さ調整部材３６に
形成された円形穴に嵌合して鉛直軸の回りに滑らかに回
転可能になっている。これにより、高さ調整部材３６が
回転しても、ロール保持部材３５に保持されたロール回
転軸３４の向きを常にＡＢ方向に保つことができるよう
になっている。なお、ロール回転軸３４の向きをＡＢ方
向に保つことにより、押し付け部材２によって主として
矢印１３方向（ＡＢ方向に垂直な方向）に移動するウェ
ハＷを最小限の摩擦抵抗で滑らかに移動させることがで
きる。
【００２１】なお、ロール３１上端の高さは、基板保持
部材８上端の高さよりもわずかに低くなっている。すな
わち、ウェハＷが基板保持部材８上に吸着されて水平に
載置された状態で、ロール３１上端は、ウェハＷの下面
に対し０．２〜０．３ｍｍ低い位置になってウェハＷと
の干渉を避けるよう、高さ調整部材３６によって高さ調
節されている。また、ロール３１は、基準部材１と基板
保持部材８との間に配置されているが、押し付け部材２
が芯出しのためにウェハＷを基準部材１側に押し付ける
際に、ウェハＷの縁が基板保持ベース７の上面とこすれ
ないで、ウェハＷの裏面を転がり支持できる程度に、基
板保持ベース７の上面から突出している。さらに、押し
付け部材２が芯出しのためにウェハＷの縁を持ち上げて
ロール３１がウェハＷの裏面を転がり支持してウェハＷ
を移動させている間、基板保持部材８上端は、ウェハＷ
の下面に対し数ミリ低い位置になってウェハＷとの干渉
を避けている。
部材８上端の高さよりもわずかに低くなっている。すな
わち、ウェハＷが基板保持部材８上に吸着されて水平に
載置された状態で、ロール３１上端は、ウェハＷの下面
に対し０．２〜０．３ｍｍ低い位置になってウェハＷと
の干渉を避けるよう、高さ調整部材３６によって高さ調
節されている。また、ロール３１は、基準部材１と基板
保持部材８との間に配置されているが、押し付け部材２
が芯出しのためにウェハＷを基準部材１側に押し付ける
際に、ウェハＷの縁が基板保持ベース７の上面とこすれ
ないで、ウェハＷの裏面を転がり支持できる程度に、基
板保持ベース７の上面から突出している。さらに、押し
付け部材２が芯出しのためにウェハＷの縁を持ち上げて
ロール３１がウェハＷの裏面を転がり支持してウェハＷ
を移動させている間、基板保持部材８上端は、ウェハＷ
の下面に対し数ミリ低い位置になってウェハＷとの干渉
を避けている。
【００２２】以下、図２に示す芯出し装置５４の動作に
ついて説明する。まず、図１のパレット５３側から搬送
されてきたウェハＷを、基準ユニット５４１側の基板保
持ベース７上に形成された基板保持部材８上に載置した
後、基板保持部材８上に吸着保持する（図４（ａ）参
照）。このとき、ロール３１上端は、ウェハＷの下面に
対し低い位置になっていてウェハＷとの干渉を避けてい
る。次に、基板保持部材８によるウェハＷの吸着保持を
解除するとともに、押し付けユニット５４２側に設けた
押し付け部材２を矢印１３方向に移動させ、押し付け部
材２に形成した傾斜面２ａを利用してウェハＷの縁を持
ち上げる（図４（ｂ）参照）。これにより、ロール３１
がウェハＷの裏面を転がり支持し、ウェハＷの矢印１３
方向への低摩擦での移動を許容するようになる。このと
き、基板保持部材８上端がウェハＷの下面から離間して
ウェハＷの裏面とこすれないようになっている。押し付
け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハＷの
縁が押し付け部材２に形成した当接面２ｂに当接し、ウ
ェハＷを矢印１３方向の基準部材１側に押し付ける。押
し付け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハ
Ｗの他方の縁が基準部材１の当接面１ａに当接し、ウェ
ハＷは、当接面１ａと当接面２ｂの間に挟まれて位置合
わせされ、押し付け部材２の移動が停止される。この
際、ウェハＷは矢印１３に垂直な方向にもわずかに移動
するが、ロール３１の形状が球状で、その材質が低摩擦
かつ低発塵性のものとなっているので、ウェハＷの裏面
の面状態の如何に拘わらずウェハＷの滑らかな移動が可
能になるとともに、ゴミの発生を極めて少なくすること
ができる。押し付け部材２を後退させつつ押し付けユニ
ット５４２全体を下方に移動させる。これにより、ウェ
ハＷは、基準部材１の当接面１ａによって位置合わせさ
れた状態で、基板保持部材８上に載置される。次に、基
板保持部材８を動作させて、基板保持部材８上にウェハ
Ｗを吸着して基準ユニット５４１全体を矢印１３の反対
方向に移動させ、図１に示すオリフラ制御装置５５側に
搬送する。
ついて説明する。まず、図１のパレット５３側から搬送
されてきたウェハＷを、基準ユニット５４１側の基板保
持ベース７上に形成された基板保持部材８上に載置した
後、基板保持部材８上に吸着保持する（図４（ａ）参
照）。このとき、ロール３１上端は、ウェハＷの下面に
対し低い位置になっていてウェハＷとの干渉を避けてい
る。次に、基板保持部材８によるウェハＷの吸着保持を
解除するとともに、押し付けユニット５４２側に設けた
押し付け部材２を矢印１３方向に移動させ、押し付け部
材２に形成した傾斜面２ａを利用してウェハＷの縁を持
ち上げる（図４（ｂ）参照）。これにより、ロール３１
がウェハＷの裏面を転がり支持し、ウェハＷの矢印１３
方向への低摩擦での移動を許容するようになる。このと
き、基板保持部材８上端がウェハＷの下面から離間して
ウェハＷの裏面とこすれないようになっている。押し付
け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハＷの
縁が押し付け部材２に形成した当接面２ｂに当接し、ウ
ェハＷを矢印１３方向の基準部材１側に押し付ける。押
し付け部材２がさらに矢印１３方向移動すると、ウェハ
Ｗの他方の縁が基準部材１の当接面１ａに当接し、ウェ
ハＷは、当接面１ａと当接面２ｂの間に挟まれて位置合
わせされ、押し付け部材２の移動が停止される。この
際、ウェハＷは矢印１３に垂直な方向にもわずかに移動
するが、ロール３１の形状が球状で、その材質が低摩擦
かつ低発塵性のものとなっているので、ウェハＷの裏面
の面状態の如何に拘わらずウェハＷの滑らかな移動が可
能になるとともに、ゴミの発生を極めて少なくすること
ができる。押し付け部材２を後退させつつ押し付けユニ
ット５４２全体を下方に移動させる。これにより、ウェ
ハＷは、基準部材１の当接面１ａによって位置合わせさ
れた状態で、基板保持部材８上に載置される。次に、基
板保持部材８を動作させて、基板保持部材８上にウェハ
Ｗを吸着して基準ユニット５４１全体を矢印１３の反対
方向に移動させ、図１に示すオリフラ制御装置５５側に
搬送する。
【００２３】図５は、芯出し時におけるウェハＷと押し
付け部材２との位置関係を示す図である。図５（ａ）
は、ウェハＷの縁を持ち上げる直前の押し付け部材２の
状態を示し、図５（ｂ）は、ウェハＷの縁を押してウェ
ハＷを移動させている押し付け部材２の状態を示す。
付け部材２との位置関係を示す図である。図５（ａ）
は、ウェハＷの縁を持ち上げる直前の押し付け部材２の
状態を示し、図５（ｂ）は、ウェハＷの縁を押してウェ
ハＷを移動させている押し付け部材２の状態を示す。
【００２４】以上、実施形態に即してこの発明を説明し
たが、この発明は、上記実施形態に限定されるものでは
ない。例えばロール３１の形状は、軸対称であれば任意
であり、その材質も、低発塵性のものであれば任意であ
る。さらに、ロール３１を回転可能に支持する方法も任
意であり、基板保持ベース７に球状のロール３１の直径
よりもわずかに大きな径を有する穴や溝を形成し、ここ
にロール３１を回転可能に埋め込むこともできる。
たが、この発明は、上記実施形態に限定されるものでは
ない。例えばロール３１の形状は、軸対称であれば任意
であり、その材質も、低発塵性のものであれば任意であ
る。さらに、ロール３１を回転可能に支持する方法も任
意であり、基板保持ベース７に球状のロール３１の直径
よりもわずかに大きな径を有する穴や溝を形成し、ここ
にロール３１を回転可能に埋め込むこともできる。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の基板搬送装置では、転がり部材が前記１対の当接部材
の間に配置されると共に基板の裏面に接触して転がるの
で、基板を前記１対の当接部材間に挟んで基板の芯出し
を行う際に、移動する基板の裏面を支持することによっ
て生じる摩擦抵抗に原因するパーティクル等の汚染の発
生を有効に防止することができる。また、基板の芯出し
に際しての摩擦抵抗が減少するため、基板のより正確な
芯出しが可能になる。
の基板搬送装置では、転がり部材が前記１対の当接部材
の間に配置されると共に基板の裏面に接触して転がるの
で、基板を前記１対の当接部材間に挟んで基板の芯出し
を行う際に、移動する基板の裏面を支持することによっ
て生じる摩擦抵抗に原因するパーティクル等の汚染の発
生を有効に防止することができる。また、基板の芯出し
に際しての摩擦抵抗が減少するため、基板のより正確な
芯出しが可能になる。
【００２６】また、好ましい態様では、前記転がり部材
が前記１対の当接部材のうち少なくとも一方の移動方向
に対し垂直に配置された回転軸と当該回転軸の回りに回
転可能に支持されたロール状部材とを有するので、基板
をロール状部材上に支持して低い抵抗力で移動させるこ
とができると共に、ロール状部材の周囲に基板裏面に付
着したレジスト等が転写された場合にも、ロール状部材
の回転が妨げられるといった不都合が生じにくい。
が前記１対の当接部材のうち少なくとも一方の移動方向
に対し垂直に配置された回転軸と当該回転軸の回りに回
転可能に支持されたロール状部材とを有するので、基板
をロール状部材上に支持して低い抵抗力で移動させるこ
とができると共に、ロール状部材の周囲に基板裏面に付
着したレジスト等が転写された場合にも、ロール状部材
の回転が妨げられるといった不都合が生じにくい。
【００２７】また、好ましい態様では、前記ロール状部
材が、前記基板保持部材と一方の当接部材との間で、か
つ、上端が前記基板保持部材の上端よりも低い位置に配
置され、他方の当接部材が、当該他方の当接部材が前記
一方の当接部材の方向に移動する際に基板の縁に当接し
て当該基板の縁を持ち上げて当該基板を前記基板保持部
材から離間させるとともに、当該基板を前記一方の当接
部材の方向に押し付けるので、基板の芯出しに際して
は、基板がロール状部材と他方の当接部材とに支持され
て移動して基板と基板保持部材との干渉を避けることが
でき、基板の芯出し後は、基板とロール状部材との干渉
を回避して基板保持部材に基板を保持固定することがで
きる。
材が、前記基板保持部材と一方の当接部材との間で、か
つ、上端が前記基板保持部材の上端よりも低い位置に配
置され、他方の当接部材が、当該他方の当接部材が前記
一方の当接部材の方向に移動する際に基板の縁に当接し
て当該基板の縁を持ち上げて当該基板を前記基板保持部
材から離間させるとともに、当該基板を前記一方の当接
部材の方向に押し付けるので、基板の芯出しに際して
は、基板がロール状部材と他方の当接部材とに支持され
て移動して基板と基板保持部材との干渉を避けることが
でき、基板の芯出し後は、基板とロール状部材との干渉
を回避して基板保持部材に基板を保持固定することがで
きる。
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を組み
込んだウェハ検査装置５０の全体構造を説明する図であ
る。
込んだウェハ検査装置５０の全体構造を説明する図であ
る。
【図２】芯出し装置の基本構造を概略的に示す平面図及
び側方断面図である。
び側方断面図である。
【図３】転がり部材の構造を説明する側方断面図であ
る。
る。
【図４】ロール状の部材の構造を概略的に示す拡大断面
図である。
図である。
【図５】芯出しの移動を開始をする前後におけるウェハ
と押し付け部材の位置関係を示す側方断面図である。
と押し付け部材の位置関係を示す側方断面図である。
１ 基準部材 ２ 押し付け部材 ３ ロール ４ ロール回転軸 ５ ロール保持部材 ６ 高さ調整部材 ７ 基板保持ベース ８ 基板保持部材 ９ スライドガイド駆動ユニット １３ 押し付け動作方向 ３１ ロール ３４ ロール回転軸 ３５ ロール保持部材 ３６ 高さ調整部材 Ｗ ウェハ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板の側面に当接する当接部を有し、前
記当接部が互いに対向するように配置された１対の当接
部材と、 前記１対の当接部材のうち、少なくとも一方を、前記当
接部が互いに対向する方向に移動する移動手段と、を備
える基板搬送装置において、 前記１対の当接部材の間に配置されると共に、基板の裏
面に接触して転がる転がり部材を備えることを特徴とす
る基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記転がり部材は、前記１対の当接部材
のうち、少なくとも一方の移動方向に対し垂直に配置さ
れた回転軸と、当該回転軸の回りに回転可能に支持され
たロール状部材とを有することを特徴とする請求項１記
載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記１対の当接部材により位置決めされ
た基板を保持し一対の当接部材の間に配置される基板保
持部材をさらに備え、前記ロール状部材が、前記基板保
持部材と一方の当接部材との間で、かつ、上端が前記基
板保持部材の上端よりも低い位置に配置され、他方の当
接部材が、当該他方の当接部材が前記一方の当接部材の
方向に移動する際に基板の縁に当接して当該基板の縁を
持ち上げて当該基板を前記基板保持部材から離間させる
とともに、当該基板を前記一方の当接部材の方向に押し
付けることを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9294981A JPH11116048A (ja) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9294981A JPH11116048A (ja) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11116048A true JPH11116048A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=17814813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9294981A Withdrawn JPH11116048A (ja) | 1997-10-14 | 1997-10-14 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11116048A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098935A1 (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Iguchi Kiko Co., Ltd. | 基板用位置決めテーブル、基板用位置決め設備、基板の位置決め方法 |
-
1997
- 1997-10-14 JP JP9294981A patent/JPH11116048A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005098935A1 (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Iguchi Kiko Co., Ltd. | 基板用位置決めテーブル、基板用位置決め設備、基板の位置決め方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |