JPH11118645A - ダイアフラムシール型差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度特性が改良されたダイアフラムシール型
差圧測定装置を提供するにある。 【解決手段】 高圧側のダイアフラムシールユニットの
本体ブロックに設けられダイアフラムシールユニットの
封入液に基づく温度誤差を補償する封入液が満たされた
高圧側封入液補償室と、差圧測定装置の低圧側に一端が
接続され途中が高圧側の導圧管に並行し他端が高圧側封
入液補償室に接続され高圧側の導圧管の封入液に基づく
温度誤差を補償する封入液が満たされた低圧側の補償導
圧管と、低圧側のダイアフラムシールユニットの本体ブ
ロックに設けられダイアフラムシールユニットの封入液
に基づく温度誤差を補償する封入液が満たされた低圧側
封入液補償室と、差圧測定装置の高圧側に一端が接続さ
れ途中が低圧側の導圧管に並行し他端が低圧側封入液補
償室に接続され低圧側の導圧管の封入液に基づく温度誤
差を補償する封入液が満たされた高圧側の補償導圧管と
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧
測定装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、温度特性が改良さ
れたダイアフラムシール型差圧測定装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】図２は、従来より一般に「ダイアフラム
シール付き差圧計」として使用されている従来例の構成
説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例
に示されている。

【０００３】図において、差圧測定装置本体１は差圧測
定装置の本体部分である。差圧測定装置本体１は、本体
カプセル２と本体カプセル２を覆うカバー３とよりな
る。本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が
使用されている。

【０００４】シールダイアフラム４、５は、本体カプセ
ル２の両側面の高圧側と低圧側のそれぞれに設けられた
ダイアフラムである。高圧側のキャピラリーチューブ６
は，高圧側のカバー３に、一端が接続されたチューブで
ある。この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使
用されている。

【０００５】ダイアフラムシールユニット７は、高圧側
のキャピラリーチューブ６の他端に接続されユニットで
ある。ダイアフラムシールユニット７は、フランジ７１
と本体ブロック７２とシールダイアフラム７３とを有す
る。

【０００６】封入液８は、ダイアフラムシールユニット
７とキャピラリーチューブ６と高圧側のカバー３内に封
入された封入液である。この場合は、シリコンオイルが
使用されている。

【０００７】低圧側のキャピラリーチューブ９は、低圧
側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用され
ている。ダイアフラムシールユニット１１は、低圧側の
キャピラリーチューブ９の他端に接続されたユニットで
ある。

【０００８】ダイアフラムシールユニット１１は、フラ
ンジ１１１と本体ブロック１１２とシールダイアフラム
１１３とを有する。

【０００９】封入液１２は、ダイアフラムシールユニッ
ト１１とキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内
に封入された封入液である。この場合は、シリコンオイ
ルが使用されている。変換器部１３は、本体カプセル２
に取付られた変換器部である。

【００１０】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体Ａに接すると、測定圧
は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を
介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定され
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、 （１）測定流体の高圧測定側と低圧測定側との間に、温
度差があると、高圧測定側の封入液８と低圧測定側の封
入液１２との熱膨張量に差が生じ、封入液８と封入液１
２との間に内圧差が発生し、出力誤差が生じる。

【００１２】（２）高圧側のキャピラリーチューブ６と
低圧側のキャピラリーチューブ９とで、例えば、日当た
りに差があると、封入液８と封入液１２との間の熱膨張
量に差が生じ、封入液８と封入液１２との間に内圧差が
発生し、出力誤差が生じる。

【００１３】（３）高圧側のダイアフラムシールユニッ
ト７と低圧側のダイアフラムシールユニット１１との取
付け高さに差があると、温度差が生じると、封入液８と
封入液１２との間の密度が変化するため、高さ×密度
で、差圧測定装置本体１に加わっていたヘッド分が変化
し、出力誤差が生じる。

【００１４】（４）高圧側のキャピラリーチューブ６と
低圧側のキャピラリーチューブ９との間に長さの差があ
ると、周囲温度が変化した場合、封入液８と封入液１２
との間の圧力の変化に差が生じ、出力誤差が生じる。

【００１５】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、温度特性が改良されたダイアフラ
ムシール型差圧測定装置を提供するにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導
圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイア
フラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型
差圧測定装置において、前記高圧側のダイアフラムシー
ルユニットの本体ブロックに設けられ前記ダイアフラム
シールユニットの封入液に基づく温度誤差を補償する封
入液が満たされた高圧側封入液補償室と、前記差圧測定
装置の低圧側に一端が接続され途中が前記高圧側の導圧
管に並行し他端が前記高圧側封入液補償室に接続され高
圧側の導圧管の封入液に基づく温度誤差を補償する封入
液が満たされた低圧側の補償導圧管と、前記低圧側のダ
イアフラムシールユニットの本体ブロックに設けられ前
記ダイアフラムシールユニットの封入液に基づく温度誤
差を補償する封入液が満たされた低圧側封入液補償室
と、前記差圧測定装置の高圧側に一端が接続され途中が
前記低圧側の導圧管に並行し他端が前記低圧側封入液補
償室に接続され低圧側の導圧管の封入液に基づく温度誤
差を補償する封入液が満たされた高圧側の補償導圧管と
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧
測定装置。 （２）フレキシブルチューブが使用された導圧管を具備
したことを特徴とする請求項１記載のダイアフラムシー
ル型差圧測定装置。を構成したものである。

【００１７】

【作用】以上の構成において、ダイアフラムシールユニ
ットが、測定流体に接すると、測定圧は、導圧管中の封
入液を介して、本体カプセルに伝達され、差圧が測定さ
れる。

【００１８】而して、高圧側のダイアフラムシールユニ
ットに接する測定流体が、低圧側のダイアフラムシール
ユニットに接する測定流体より温度が高いと、封入液が
膨張し、封入液の圧力が上がり、本来ならここで、圧力
上昇分が出力に影響し出力誤差となる。

【００１９】しかし、封入液が膨張した場合に、低圧側
の封入液補償室内の封入液も同じように膨張し、この封
入液が差圧測定装置本体の低圧側に接続されているた
め、差圧測定装置本体の低圧側の圧力も上昇し、差圧測
定装置本体の高圧側の圧力上昇と同じになり、低圧側の
圧力上昇と高圧側の圧力上昇とがキャンセルされ、出力
誤差が生じない。

【００２０】高圧側のダイアフラムシールユニットと低
圧側のダイアフラムシールユニットの取付け位置に差が
ある場合にも、高圧側と低圧側との密度変化が同じとな
るために、出力誤差が生じない。

【００２１】また、高圧側と低圧側の導圧管の長さに差
があった場合にも、同様に、出力誤差が生じない。以
下、実施例に基づき詳細に説明する。

【００２２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図において、図２と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図２と相違部分のみ説明す
る。

【００２３】高圧側封入液補償室２１は、高圧側のダイ
アフラムシールユニット７の本体ブロック７２に設けら
れ、ダイアフラムシールユニット７の封入液に基づく温
度誤差を補償する封入液が満たされた封入液補償室であ
る。

【００２４】低圧側の補償キャピラリーチューブ２２
は、差圧測定装置本体１の低圧側に一端が接続され、途
中が高圧側のキャピラリーチューブ６に並行し、他端が
高圧側封入液補償室２１に接続され、高圧側のキャピラ
リーチューブ６の封入液に基づく温度誤差を補償する封
入液が満たされた補償キャピラリーチューブである。

【００２５】低圧側封入液補償室２３は、低圧側のダイ
アフラムシールユニット１１の本体ブロック１１２に設
けられ、ダイアフラムシールユニット１１の封入液に基
づく温度誤差を補償する封入液が満たされた封入液補償
室である。

【００２６】高圧側の補償キャピラリーチューブ２４
は、差圧測定装置本体１の高圧側に一端が接続され、途
中が低圧側のキャピラリーチューブ９に並行し、他端が
低圧側封入液補償室２３に接続され、低圧側のキャピラ
リーチューブ９の封入液に基づく温度誤差を補償する封
入液が満たされた補償キャピラリーチューブである。

【００２７】以上の構成において、ダイアフラムシール
ユニット７，１１が、測定流体に接すると、測定圧は、
キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介し
て、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。

【００２８】而して、仮に、高圧側のダイアフラムシー
ルユニット７に接する測定流体が、低圧側のダイアフラ
ムシールユニット１１に接する測定流体より温度が高い
と、封入液８が膨張し、封入液８の圧力が上がり、本来
ならここで、圧力上昇分が出力に影響し出力誤差とな
る。

【００２９】しかし、封入液８が膨張した場合に、高圧
側の封入液補償室２１内の封入液も同じように膨張し、
この封入液が差圧測定装置本体１の低圧側に接続されて
いるため、差圧測定装置本体１の低圧側の圧力も上昇
し、差圧測定装置本体１の高圧側の圧力上昇と同じにな
り、低圧側の圧力上昇と高圧側の圧力上昇とがキャンセ
ルされ、出力誤差が生じない。

【００３０】高圧側のダイアフラムシールユニット７と
低圧側のダイアフラムシールユニット１１の取付け位置
に差がある場合にも、高圧側と低圧側との密度変化が同
じとなるために、出力誤差が生じない。

【００３１】また、高圧側と低圧側のキャピラリーチュ
ーブ６，９の長さに差があった場合にも、同様に、出力
誤差が生じない。

【００３２】以上の結果、封入液補補償室２１，２３と
補償キャピラリーチューブ２２，２４とが設けられたの
で、 （１）測定流体の高圧測定側の封入液８と低圧測定側の
封入液１２との間に、温度差があっても、高圧測定側の
封入液８と低圧測定側の封入液１２との間に熱膨張量に
差が生じることがなく、封入液８と封入液１２との間に
内圧差が発生せず、出力誤差が生じないダイアフラムシ
ール型差圧測定装置が得られる。

【００３３】（２）キャピラリーチューブ部分の高圧側
６と低圧側９とで、例えば、日当たりに差があっても、
封入液８と封入液１２との間に熱膨張量に差が生じるこ
とがなく、封入液８と封入液１２との間に内圧差が発生
せず、出力誤差が生じないダイアフラムシール型差圧測
定装置が得られる。

【００３４】（３）高圧側のダイアフラムシールユニッ
ト７と低圧側のダイアフラムシールユニット１１との取
付け高さに差があり、且つ温度差が生じた場合にも、封
入液の密度が変化しても、高さ×密度で、差圧測定装置
本体１に加わっていたヘッド分が変化することがなく、
出力誤差が生じないダイアフラムシール型差圧測定装置
が得られる。

【００３５】（４）高圧側のキャピラリーチューブ６と
低圧側のキャピラリーチューブ９との間に長さの差があ
り、周囲温度が変化した場合にも、封入液８と封入液１
２との間の圧力の変化に差が生じることがなく、出力誤
差が生じないダイアフラムシール型差圧測定装置が得ら
れる。

【００３６】（５）キャピラリーチューブ６、９に、可
撓性のキャピラリーチューブが使用されれば、測定個所
への取付けが容易で、取付け作業性が向上されたダイア
フラムシール型差圧測定装置が得られる。

【００３７】なお、前述の実施例においては、可撓性の
キャピラリーチューブ（ｃａｐｉｌｌａｒｙ ｔｕｂ
ｅ）６，９、２２，２４よりなると説明したが、可撓性
のキャピラリーチューブに限ることはなく、要するに、
導圧管であれば良い。

【００３８】また、前述のごとく、高圧側のキャピラリ
ーチューブと低圧側のキャピラリーチューブとの間に長
さの差があっても、問題ないので、測定流体のレベル測
定にも同様に応用出来、測定流体のレベル測定にも積極
的に本発明を利用出来る。

【００３９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、封入液補補償室と補償導圧管とが設け
られたので、 （１）測定流体の高圧測定側と低圧測定側との間に、温
度差があっても、封入液と封入液との間に熱膨張量に差
が生じることがなく、封入液と封入液との間に内圧差が
発生せず、出力誤差が生じないダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。

【００４０】（２）導圧管部分の高圧側と低圧側とで、
例えば、日当たりに差があっても、高圧側の封入液と低
圧側の封入液との間に熱膨張量に差が生じることがな
く、高圧側の封入液と低圧側の封入液との間に内圧差が
発生せず、出力誤差が生じないダイアフラムシール型差
圧測定装置が得られる。

【００４１】（３）高圧側のダイアフラムシールユニッ
トと低圧側のダイアフラムシールユニットとの取付け高
さに差があり、且つ温度差が生じた場合にも、封入液の
密度が変化しても、高さ×密度で、差圧測定装置本体に
加わっていたヘッド分が変化することがなく、出力誤差
が生じないダイアフラムシール型差圧測定装置が得られ
る。

【００４２】（４）高圧側の導圧管と低圧側の導圧管と
の間に長さの差があり、周囲温度が変化した場合にも、
高圧側の封入液と低圧側の封入液との間の圧力の変化に
差が生じることがなく、出力誤差が生じないダイアフラ
ムシール型差圧測定装置が得られる。

【００４３】本発明の請求項２によれば、導圧管に、可
撓性の導圧管が使用されたので、測定個所への取付けが
容易で、取付け作業性が向上されたダイアフラムシール
型差圧測定装置が得られる。

【００４４】従って、本発明によれば、温度特性が改良
されたダイアフラムシール型差圧測定装置を実現するこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。

【図２】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【符号の説明】

１ 差圧測定装置本体 ２ 本体カプセル ３ カバー ４ シールダイアフラム ５ シールダイアフラム ６ 高圧側のキャピラリーチューブ ７ 高圧側のダイアフラムシールユニット ７１ フランジ ７２ 本体ブロック ７３ シールダイアフラム ８ 封入液 ９ 低圧側のキャピラリーチューブ １１ 低圧側のダイアフラムシールユニット １１１ フランジ １１２ 本体ブロック １１３ シールダイアフラム １２ 封入液 ２１ 高圧側の封入液補償室 ２２ 低圧側の補償キャピラリーチューブ ２３ 低圧側の封入液補償室 ２４ 高圧側の補償キャピラリーチューブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丸山 明彦 山梨県甲府市高室町155番地 横河電機株 式会社甲府事業所内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれ
   ぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側の
   ダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシ
   ール型差圧測定装置において、 前記高圧側のダイアフラムシールユニットの本体ブロッ
   クに設けられ前記ダイアフラムシールユニットの封入液
   に基づく温度誤差を補償する封入液が満たされた高圧側
   封入液補償室と、 前記差圧測定装置の低圧側に一端が接続され途中が前記
   高圧側の導圧管に並行し他端が前記高圧側封入液補償室
   に接続され高圧側の導圧管の封入液に基づく温度誤差を
   補償する封入液が満たされた低圧側の補償導圧管と、 前記低圧側のダイアフラムシールユニットの本体ブロッ
   クに設けられ前記ダイアフラムシールユニットの封入液
   に基づく温度誤差を補償する封入液が満たされた低圧側
   封入液補償室と、 前記差圧測定装置の高圧側に一端が接続され途中が前記
   低圧側の導圧管に並行し他端が前記低圧側封入液補償室
   に接続され低圧側の導圧管の封入液に基づく温度誤差を
   補償する封入液が満たされた高圧側の補償導圧管とを具
   備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定
   装置。
2. 【請求項２】フレキシブルチューブが使用された導圧管
   を具備したことを特徴とする請求項１記載のダイアフラ
   ムシール型差圧測定装置。