JPH11119029A

JPH11119029A - ファイバグレーティングの製造方法、支持部材、マスクおよび光フィルタ

Info

Publication number: JPH11119029A
Application number: JP9285716A
Authority: JP
Inventors: Yoshitaka Terao; 芳孝寺尾
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1997-10-17
Filing date: 1997-10-17
Publication date: 1999-04-30
Anticipated expiration: 2017-10-17
Also published as: JP3482985B2

Abstract

(57)【要約】【課題】感光性光ファイバを、回折格子を有したマス
クを介して露光して、ファイバグレーティングを製造す
る。回折格子の長さより長いファイバグレーティングを
製造する。【解決手段】感光性光ファイバ１１を円筒状の支持部
材１３に螺旋状に巻き付けておく。マスクとして、螺旋
状に巻かれた光ファイバのｍ巻き分の幅以上の幅と、支
持部材をその軸線を中心に１回転させた時に進む光ファ
イバの距離Ｌの長さとを持つ回折格子１７を有したマス
ク１５を用意する。光ファイバの接線にマスク１５の回
折格子１７が沿うような位置関係で、マスクと支持部材
とを対向させる。距離Ｌ分だけ、回折格子の次々の部分
と支持部材に巻かれている光ファイバの次々の部分とが
露光光の照射領域１９を通過するように、マスクの移動
と、支持部材の、その軸線ａｂを回転中心とする回転と
を行なわせながら、前記露光をする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光フィルタ等と
して利用可能なファイバグレーティングの製造方法と、
その実施に好適な光ファイバの支持部材および露光用の
マスクと、小型化に適した光フィルタとに関する。

【０００２】

【従来の技術】光通信分野では、波長フィルタや分散補
償器などの一実現手段として、ファイバグレーティング
が期待されている（例えば文献1 「応用物理、第６６巻
第１号、第３３〜第３６頁」）。ファイバグレーティン
グは、光ファイバのコアに周期的な屈折率変化を施した
ものである（例えば文献１）。周期的な屈折率変化（屈
折率変調）は、例えば位相マスク法により形成できる
（例えば上記の文献１、または、文献２「米国特許５３
６７５８８号」参照）。

【０００３】位相マスク法では、位相マスク（以下、マ
スクともいう。）を介して、光ファイバに紫外線光を照
射する。位相マスクは紫外線光の透過が可能な板状体で
ある。この板状体の表面には複数個の凹部が形成されて
いる。各凹部は所定の間隔をもって直線的に配列されて
いる。これら凹部により紫外線光が回折する。その回折
光の強度は、凹部の配列間隔（ピッチ）に応じた位置で
強められたり弱められたりする。一方、光ファイバのコ
アは、紫外線光によってその屈折率が変化する材料で形
成されている（このような光ファイバを感光性光ファイ
バと称する。）。上述した回折光が光ファイバに対して
照射されるので、光ファイバの延在方向（長手方向、光
の導波方向）に沿って、周期的な屈折率変調すなわちグ
レーティングが、コアに形成される。

【０００４】上述のマスクは、例えば文献３「ＥＬＥＣ
ＴＲＯＮＩＣＳＬＥＴＴＥＲＳ１８ｔｈＭａｒ１
９９３Ｖｏｌ２９Ｎｏ．６」に開示されている製造
方法によって形成される。また、ファイバグレーティン
グにおける反射波長帯域を広くしたい場合には、上記文
献１に開示されているチャープグレーティングの構造に
すればよい。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ファイ
バグレーティングのフィルタ特性、例えば反射波長帯域
や反射スペクトルのトップの平坦性などは、ファイバグ
レーティングのグレーティング書き込み領域の長さすな
わちグレーティング長に依存する。

【０００６】例えば、ファイバグレーティングで分散補
償器を構成する場合、反射波長帯域△λは次式（１）で
表される（例えば文献４「アドバンスト・エレクトロニ
クス１−１６，光ファイバとファイバ形デバイス、培風
館、１９９６．７．１０」、第１９７頁）。

【０００７】△λ＝２Ｌ／（Ｃ・Ｄ）・・・（１）但し、記号Ｌはグレーティング長を表し、記号Ｃは光の
速度を表し、記号Ｄは分散値を表している。

【０００８】上式（１）によれば、分散値Ｄを一定とし
たとき、グレーティング長Ｌが長ければ長いほど、反射
波長帯域△λが広がる。しかし、位相マスクのサイズは
それほど大きくできないのが現状である。なぜなら、例
えば、位相マスクを形成するためには、真空装置内での
処理を必要とするが、比較的大きな板状体は真空装置内
に導入することができない。従って、グレーティング長
Ｌもそれほど大きく形成することができない。従来方法
では、せいぜい１００ｍｍ程度のグレーティング長Ｌの
ファイバグレーティングしか形成することができなかっ
た。

【０００９】従って、従来よりも長い、具体的には１０
０ｍｍよりも長いグレーティング長のファイバグレーテ
ィングを製造できる方法の出現が望まれていた。

【００１０】また、長いグレーティングのファイバグレ
ーティングが製造できた後に、該ファイバグレーティン
グを利用して光フィルタを構成する場合に、小型化に適
した構造を有した光フィルタが望まれる。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

（１）そこで、この発明のファイバグレーティングの製
造方法によれば、感光性光ファイバを、回折格子を有し
たマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調
部を形成するファイバグレーティングの製造方法におい
て、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋状に巻
き付けておく。次に、該巻き付けた光ファイバの接線に
前記マスクの回折格子が沿うような位置関係で、前記マ
スクと前記支持部材とを対向させる。そして、前記回折
格子の次々の部分と前記支持部材に巻かれている光ファ
イバの次々の部分とが、露光光の照射領域を通過するよ
うに、前記マスクの移動と、前記支持部材の、その軸線
を回転中心とする回転とを行いながら、前記露光をす
る。

【００１２】この製造方法（以下、第１の製造方法と称
する。）によれば、マスクとして、前記螺旋状に巻かれ
た光ファイバのｍ巻き分の幅以上の幅と、前記支持部材
をその軸線を中心に１回転させた時に進む光ファイバの
距離Ｌ以上の長さとを持つ回折格子を有したマスクを用
い、かつ、前記距離Ｌ分だけ、前記回折格子の次々の部
分と前記支持部材に巻かれている光ファイバの次々の部
分とが、露光光の照射領域を通過するように、前記マス
クの移動と、前記支持部材の前記回転とを行いながら、
前記露光をすることができる。ただし、ｍは２以上の整
数である。

【００１３】そのため、ｍ巻き分の光ファイバの各巻き
それぞれに対し回折格子を介しての露光が並列的に行わ
れる。そのため、ｍ×Ｌの長さのファイバグレーティン
グを形成することができる。従って、この製造方法によ
れば長さがＬの回折格子を用いてそれより長いファイバ
グレーテイングを製造できる。具体的には、従来技術で
形成できる最長の回折格子が例えば１００ｍｍであった
とする。この第１の製造方法の発明によれば、この１０
０ｍｍの長さの回折格子をｍ本分並列に並べた様な回折
格子を有したマスクを用いることができる。したがっ
て、長さが１００ｍｍの回折格子を用いてｍ×１００ｍ
ｍのファイバグレーティングを製造することができる。

【００１４】この第１の製造方法において、用いるマス
クの回折格子を単周期グレーティングとした場合は、長
さがＬの回折格子を用いて、ｍ×Ｌの長さの単周期ファ
イバグレーティングを製造できる。

【００１５】また、この第１の製造方法において、用い
るマスクの回折格子を前記ｍ巻きの各巻きごとの光ファ
イバ用として用意された互いに平行な第１〜第ｍの回折
格子であって、これら回折格子全体として連続するチャ
ープグレーティングとなるようにそれぞれが個別のチャ
ープグレーティングを有した第１〜第ｍの回折格子単周
期グレーティングとした場合は、長さがＬの回折格子を
用いて、長さがｍ×Ｌのチャープトファイバグレーティ
ングを製造できる。

【００１６】なお、上述においては、回折格子の幅を、
光ファイバのｍ巻き分の幅以上の幅とし、回折格子の長
さを前記Ｌ以上の長さとすると説明した。回折格子の長
さを上記Ｌより長くしたとしても、支持部材の回転角と
マスクの移動距離とをそれぞれ制御すれば、距離Ｌ相当
の回折格子が実現できるからである。ただし、回折格子
としてチャープグレーティングを用いる場合は、回折格
子の長さはＬとした方が好ましい。第１〜第ｍの回折格
子それぞれのチャープグレーティングの接続が容易にな
るからである。

【００１７】また、この第１の製造方法の実施に当た
り、次のようにしても良い。すなわち、露光用マスクと
して、前記螺旋状に巻かれた光ファイバのｓ巻き分に相
当する間隔をもって平行に配置された長さがｓ×Ｌ以上
の複数の回折格子を有したマスクを用意する。次に、前
記巻き付けた光ファイバの接線に該マスクの回折格子が
沿うような位置関係で、該マスクと前記支持部材とを対
向させる。そして、前記ｓ×Ｌの距離分だけ、該回折格
子の次々の部分と前記支持部材に巻かれている光ファイ
バの次々の部分とが露光光の照射領域を通過するよう
に、該マスクの移動と、前記支持部材の、その軸線を回
転中心とする回転とを行なわせながら、露光をする。こ
の場合は、ｓ巻き分の光ファイバ単位で、並列的に露光
が行われる。そのため、長さがｓ×Ｌの回折格子を用い
て、それの複数倍のファイバグレーティングを製造でき
る。

【００１８】（２）また、この出願では、ファイバーグ
レーティングの製造方法として、以下の方法（第２の製
造方法と称する）も主張する。

【００１９】すなわち、感光性光ファイバを、回折格子
を有したマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折
率変調部を形成するファイバグレーティングの製造方法
において、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋
状に巻き付けておく。また、前記マスクとして、単周期
グレーティングを有した長さがＸの回折格子を有したマ
スクを用意する。そして、前記巻き付けた光ファイバの
接線に前記回折格子が沿うような位置関係で、前記マス
クを前記光ファイバと対向させ、その後、以下の第１お
よび第２の処理を必要数繰り返す方法を主張する。

【００２０】（ａ）前記回折格子の長さ分だけ、該回折
格子の次々の部分と、前記支持部材に巻かれている光フ
ァイバの次々の部分とが露光光の照射領域を通過するよ
うに、該マスクの移動と、前記支持部材の、その軸線を
回転中心とする回転を行いながら、然も、前記照射領域
の前記軸線に沿った幅が、前記螺旋に巻いた光ファイバ
２巻き分の幅未満となるように露光光を絞った状態で、
前記露光をする第１の処理。

【００２１】（ｂ）前記第１の処理を終えた後、前記露
光終点位置を通り前記軸線に垂直に交わる線分を回転中
心として、前記支持部材を前記マスクに対して相対的に
１８０度回転させる第２の処理。

【００２２】この第２の製造方法によれば、長さがＸの
回折格子を介しての露光を終えると上述した１８０度回
転が行われる。このため、支持部材に螺旋状に巻かれた
光ファイバの、次に現れる部分の露光を、この長さＸの
回折格子を介して行うことができる。このため、この第
２の製造方法によれば長さがＸの回折格子であってもそ
れより長い単周期ファイバグレーティングを製造でき
る。

【００２３】（３）また、この出願では、ファイバグレ
ーティングの製造方法として、以下の方法（第３の製造
方法と称する）も主張する。

【００２４】すなわち、感光性光ファイバを、回折格子
を有したマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折
率変調部を形成するファイバグレーティングの製造方法
において、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋
状に巻き付けておく。また、前記マスクとして、互いに
平行に配置したかつ互いの長さがＸである第１〜第ｍの
回折格子であって、これら回折格子全体として連続する
チャープグレーティングとなるようにそれぞれが個別の
チャープグレーティングを有した第１〜第ｍの回折格子
を有したマスクを用意する。そして、前記巻き付けた光
ファイバの接線に前記第１〜第ｍの回折格子のいずれか
１つが沿うような位置関係で、前記マスクを前記光ファ
イバと対向させ、その後、以下の第１〜第３の処理を必
要数繰り返す方法を主張する。ただし、第２の処理と第
３の処理との順番はいずれが先でも良い。

【００２５】前記回折格子の長さ分だけ、該回折格子
の次々の部分と、前記支持部材に巻かれている光ファイ
バの次々の部分とが露光光の照射領域を通過するよう
に、該マスクの移動と、前記支持部材の、その軸線を回
転中心とする回転とを行いながら、然も、前記照射領域
の前記軸線に沿った幅が、前記螺旋状に巻いた光ファイ
バ２巻き分の幅未満となるように露光光を絞った状態
で、前記露光をする第１の処理。

【００２６】前記第１の処理を終えた後、前記露光終
点位置を通り前記軸線に垂直に交わる線分を回転中心と
して、前記支持部材を前記マスクに対して相対的に１８
０度回転させる第２の処理。

【００２７】前記第１の処理を終えた後、今まで露光
に用いた回折格子の隣に位置する回折格子が前記露光終
了位置と対向するように、前記マスクおよび前記支持部
材を相対的に移動させる第３の処理。

【００２８】この第３の製造方法によれば、長さがＸの
回折格子を介しての露光を終えると上述した１８０度回
転と、マスクおよび支持部材の相対的な移動とが行われ
る。このため、支持部材に螺旋状に巻かれた光ファイバ
の、次に現れる部分の露光を、第１〜第ｍの回折格子を
順に使用して行うことができる。第１〜第ｍの回折格子
はいずれも長さがＸのものでよい。このため、この第３
の製造方法によれば、長さがＸの回折格子を用いてそれ
より長いチャープトファイバグレーティングを製造でき
る。

【００２９】（４）また、この出願では、上述の第１〜
第３の製造方法を容易に実施するための支持部材として
以下のような支持部材を主張する。

【００３０】すなわち、感光性光ファイバを螺旋状に巻
き付けるための螺旋状の溝を有した円柱上の支持部材で
あって、表面に、前記光ファイバを露光する露光光につ
いての実質的な無反射コーティングが施されている支持
部材を主張する。

【００３１】上述の第１〜第３の製造方法を実施するに
は、感光性光ファイバを支持部材に螺旋状に所定のリー
ド角で巻き付ける必要がある。このようなとき、この発
明の支持部材によれば、上記の巻き付けを容易に実現で
きる。

【００３２】さらにこの支持部材は、所定の無反射コー
ティングを施してある。そのため、周期的な屈折率変調
の形成に寄与しない反射光を実質的に無くすことができ
る。

【００３３】なお、支持部材の発明を実施するに当た
り、前記溝の深さを前記感光性光ファイバの直径よりも
大きくしておくのが好適である。こうすると、感光性光
ファイバとマスクとが接触してしまうのを防ぐことがで
きる。従って、マスクおよび光ファイバの保護が図れ
る。また、感光性光ファイバが溝からはみ出しにくくな
るので、所望の巻き付けをより良好に行える。

【００３４】（５）また、この出願では、支持部材と、
該支持部材に螺旋状に巻き付けられたファイバグレーテ
ィングとを具えた光フィルタを主張する。

【００３５】この光フィルタによれば、長いファイバグ
レーティングをコンパクトに収納できる光フィルタが実
現できる。そのため、反射波長帯域や反射スペクトルの
トップの平坦性などの特性を実現するために長いファイ
バグレーティングを用いた光フィルタを構成する場合で
も、その小型化が図りやすい。

【００３６】用いる支持部材は、好ましくは、細長い形
状でかつファイバグレーティングを巻きつけ易い形状の
ものとする。円柱状の支持部材や多角柱状の支持部材
は、用いる支持部材として好ましい。

【００３７】また、この光フィルタの発明を実施するに
当たり、前記支持部材として、前記ファイバグレーティ
ングを巻き付けるための螺旋状の溝を具えた支持部材を
用いるのが好適である。こうすると、該溝に沿って前記
ファイバグレーティングを巻き付けることができるの
で、ファイバグレーティングの位置決めと、固定とを容
易に行うことができる等の利点が得られるからである。

【００３８】なお、支持部材に設ける螺旋状の溝の深さ
は、ファイバグレーティングの位置決めおよび固定がで
きる深さであれば特に限定されない。しかし、この溝の
深さを、ファイバグレーティングの直径より深くする
と、ファイバグレーティングが支持部材内に隠れた構造
の光フィルタが実現できる。ファイバグレーティング
が、支持部材内に隠れた構造であると、ファイバグレー
ティングの保護が図り易い。さらに、例えば、支持部材
を内包する筒状のカバーを実装することができるので、
光フィルタの外装を容易に完了できるという利点なども
得られる。

【００３９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態につき説明する。尚、説明に用いる各図
は、この発明が理解できる程度に、構造、大きさおよび
配置関係を概略的に示してあるにすぎない。また、以下
に記載する数値等の条件や材料は単なる一例に過ぎな
い。従って、この発明は、この実施の形態に何ら限定さ
れることがない。また、各図において同様な構成成分に
ついては、同一の番号を付して示し、その重複する説明
を省略する。

【００４０】１．第１の製造方法の説明ファイバグレーティングの第１の製造方法の実施の形態
につき説明する。先ず、感光性光ファイバ１１と、支持
部材１３とについて説明する。図１は、円柱状の支持部
材１３および、該支持部材１３に感光性光ファイバ１１
を巻き付けた状態をそれぞれ説明する図である。

【００４１】感光性光ファイバ１１として、例えばコー
ニング社製のＳＭＦ２８（商品名）と称される感光性光
ファイバを用いる。もちろん、他の感光性光ファイバを
用いても良い。

【００４２】感光性光ファイバ１１の被覆層（図示せ
ず）を予め剥がして、クラッド層を露出させる。被覆層
の剥離は、たとえば、ファイバストリッパ等の治具を用
いるか、または、ファイバ自体をジクロロエタンに浸漬
して被覆層を溶解させることで行える。なお、被覆層の
剥離は、感光性光ファイバ単体の状態で行っても良い
し、支持部材１３に光ファイバ１１を巻き付けた後に
行っても良い。

【００４３】支持部材１３は、所定のリード角をもった
螺旋状の溝１３ａを有する。リード角は、螺旋状の溝１
３ａの接線Ｍ（図１参照）と、支持部材１３の軸線ａｂ
に垂直な平面とのなす角θである（図１参照）。

【００４４】この支持部材１３の表面は、ファイバグレ
ーティング製造のための露光光に対して実質的に無反射
となるコーティング（図示せず）が施してある。このコ
ーティングは、たとえば、支持部材１３の表面に黒色塗
料を焼き付け塗装する等の方法で、実現できる。

【００４５】螺旋状の溝１３ａの幅ｗおよび深さｄは
（図２参照）、感光性光ファイバ１１の位置決めができ
れば、任意とできる。ただし、溝１３ａの幅は、好まし
くは、おおよそ光ファイバ１１の直径（被覆層も含めた
直径）とする。また、溝１３ａの深さは、好ましくは、
光ファイバの直径の半分より大きく直径以下の範囲の値
とする。例えば、光ファイバ１１の直径が１２５μｍで
あるなら、溝１３ａの幅を１２０〜１３０μｍとし、溝
１３ａの深さを６０〜１２０μｍとする。図２（Ａ）
は、このような、溝１３ａと光ファイバ１１との関係を
示した図である。

【００４６】なお、光ファイバ１１とマスク（図３参
照）とが直接接触する危険を低減したい場合は、溝１３
ａの深さを、光ファイバ１１の直径より大きな値にす
る。図２（Ｂ）は、このような、溝１３ａと光ファイバ
１１との関係を示した図である。

【００４７】このような螺旋状の溝１３ａに光ファイバ
１１を入れながら、支持部材１３に光ファイバ１１を巻
き付ける。巻き付けられた光ファイバ１１の１巻き分の
長さ（図１のＰ１〜Ｐ２までの長さ）は、Ｌになる。す
なわち、支持部材１３をその軸線ａｂを回転中心として
１回転させたときに光ファイバ１１が進む距離は、Ｌに
なる。

【００４８】次に、露光用のマスクについて説明する。
図３はこのマスク１５の一例を説明する平面図である。

【００４９】マスク１５を、この場合、露光光に対して
透明な基板１５ａと、この基板に設けた回折格子１７と
で構成してある。

【００５０】基板１５ａを、例えば合成石英基板などの
任意好適な基板で構成してある。

【００５１】回折格子１７の、支持部材１３の軸線ａｂ
（図１参照）に沿った幅Ｗ０を、支持部材１３に螺旋状
に巻かれた光ファイバ１３のｍ巻き分の幅以上（この幅
と同じでも良い。）としてある。しかも、この回折格子
１７の長さを、前記距離Ｌ以上の長さ、この実施の形態
の場合は前記距離Ｌと同じ長さＬとしてある。

【００５２】しかも、この実施の形態の場合の回折格子
１７は、螺旋状に巻かれた光ファイバ１１の各巻きごと
の光ファイバ用として用意された、互いに平行な第１〜
第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍであって、それぞれが長
さＬの第１〜第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍで構成して
ある。ここで、各巻きとは、支持部材１３をその軸線ａ
ｂを回転中心として１回転させた時の１巻き分であり、
図１でいえば、Ｐ１〜Ｐ２間に相当する部分である。

【００５３】第１〜第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍそれ
ぞれは、これら回折格子全体として連続するチャープグ
レーティングとなるように、個別のチャープグレーティ
ングを有している。具体的には、第１の回折格子１７ａ
は、例えば、１７ａ１〜１７ａｎのｎ個の部分で構成さ
れる。ただし、ｎは任意の整数である。そして、第１の
部分１７ａ１は、長さがΛ１の周期構造をＳ１回繰り返
した構造とされている。また、第２の部分１７ａ２は、
長さがΛ２（Λ１＜Λ２）の周期構造をＳ２回繰り返し
た構造とされている。また、第ｎの部分１７ａｎは、長
さがΛｎ（Λｎ−１＜Λｎ）の周期構造をＳｎ回繰り返
した構造とされている。Ｓ１〜Ｓｎは、同じでも異なっ
ても良い。

【００５４】上記の周期構造それぞれは、例えば、従来
と同様に、凹部と凸部とを長さが１対１の割合となるよ
うに連ねた構造としてある。この周期構造は、公知のリ
ソグラフィ技術およびエッチング技術により形成でき
る、以下、周期構造の長さを順に違えて第２の回折格子
１７ｂ〜第ｍの回折格子１７ｍをそれぞれ構成してあ
る。

【００５５】第１〜第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍそれ
ぞれの幅ｗ１〜ｗｍは、螺旋状に巻かれた光ファイバ
の、２巻き分以上とファイバと対向することが無いよう
な狭い幅としてある。

【００５６】次に、光ファイバ１１が螺旋状に巻かれて
いる支持部材１３と、マスク１５との配置のさせ方と、
これらの移動方法と、露光の手順について説明する。図
４はその説明図である。

【００５７】支持部材１３に螺旋状に巻き付けた光ファ
イバ１１の接線（図１のＭと同じ）にマスク１５の回折
格子１７の長手方向が沿うような位置関係で、マスク１
５と、該支持部材１３とを対向させる（図４の平面図参
照）。しかも、回折格子１７の長手方向の一方の端部分
を、支持部材１３と対向させる。

【００５８】なお、回折格子１７の一方の端部分を支持
部材に対向させる場合、図４の例では、図３中のマスク
１５の右端に示したＰ１およびＰ２が、図４中の露光領
域１９の位置になるようにする方法、または、図３中の
マスク１５を紙面内で１８０度回転させて図３中のマス
ク１５の左端に示したＰ３およびＰ４が図４中の露光領
域１９の位置になる方法のいずれとしても良い。どちら
の方法をとっても、結果的にはチャープトファイバグレ
ーティングが得られる。

【００５９】次に、回折格子１７の長手方向の次々の部
分と、支持部材１３に巻かれている光ファイバ１１の次
々の部分とが、露光光の照射領域１９を通過するよう
に、マスク１５の移動と、支持部材１３の、その軸線ａ
ｂを回転中心とする回転とを行う。しかも、これら移動
および回転は、上述した距離Ｌ分だけ、回折格子１７の
長手方向の次々の部分と、支持部材１３に巻かれている
光ファイバ１１の次々の部分とが、照射領域１９を通過
するように行う。そして、このような移動および回転を
させながら、マスク１５を介して光ファイバ１１を露光
する。

【００６０】回折格子１７の長手方向の次々の部分と、
支持部材１３に巻かれている光ファイバ１１の次々の部
分とが照射領域１９を通過するようにするには、図４の
平面図の初期状態からの場合、マスク１５を図中右方向
に平行移動し、かつ、支持部材１３をその軸線ａｂを回
転中心として図の矢印方向に回転（右回転）させれば良
い。ただし、マスク１５を移動させることで回折格子１
７が進む距離と、支持部材１３を回転させることで光フ
ァイバ１１が進む距離とが同じになるように、マスク移
動装置（図示せず）と、支持部材回転装置（図示せず）
とを、同期させる。

【００６１】なお、露光光の照射領域１９の、支持部材
１３の軸線ａｂに沿う方向の幅Ｗｘは、光ファイバｍ巻
き分の幅以上の幅としておく。

【００６２】上記の露光をするための光学系は、任意好
適な光学系とできる。この実施の形態では、レーザ光源
２１と、アッテネータ２３と、ミラー２５と、ビームエ
キスパンダ２７と、シリンドリカルレンズ２９とで、構
成してある。

【００６３】レーザ光源２１として、ラムダフィジック
ス社製のＫｒＦエキシマレーザを用いる。レーザ光源２
１から出たレーザ光は、ビームエキスパンダ２７により
ビーム径が広げられる。さらに、シリンドリカルレンズ
によって、上述した所望の照射領域１９を示す光にな
る。

【００６４】マスク１５の移動と、光ファイバ１１が巻
かれている支持部材１３の回転とを上記のごとく行う
と、螺旋状に巻かれた光ファイバの各巻き部分は、第１
〜第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍのうちの対応する回折
格子を介して、レーザ光によって並列的に露光される。
そのため、第１〜第ｍの回折格子で構成される回折縞
が、光ファイバ１１に一度に照射されるので、光ファイ
バ１１上にΛ１〜Λｍｎまでのチャープグレーティング
が形成される。したがって、長さがＬの回折格子を用い
ているにもかかわらず、長さがｍ×Ｌのチャープトファ
イバグレーティングを製造することができる。図５は、
このように製造されたチャープトファイバグレーティン
グ３０を模式的に示した図である。

【００６５】なお、支持部材１３の表面には上述したよ
うに無反射コーティングを施してあるので、上記の露光
工程において露光光が支持部材１３で反射される程度を
低減できる。そのため、支持部材１３の表面で反射され
た光によって光ファイバ上に無益な屈折率変化が生じる
のを、防止できる。

【００６６】また、この発明の製造方法では、支持部材
に光ファイバを巻き付けた状態で作業を行えるので、フ
ァイバグレーティングの製造工程から、目的の素子例え
ば波長フィルタを得る工程までのハンドリングが容易と
なるという効果も得られる。また、支持部材と光ファイ
バとを一体とした状態で、パッケージングすることも可
能という効果も得られる。

【００６７】なお、上述においては、チャープトファイ
バグレーティングを製造する例を説明したが、単周期フ
ァイバグレーティングを製造する場合にも、上述の製造
方法はもちろん適用できる。その場合は、図３を用いて
説明したマスクの第１〜第ｍの回折格子１７ａ〜１７ｍ
それぞれを、単周期グレーティングに変更すれば良い。
具体的には、周期構造Λ１〜Λｍｎを同じ構造にすれば
良い。

【００６８】また、単周期ファイバグレーティングを製
造する場合は、回折格子１７を、第１〜第ｍの回折格子
１７ａ〜１７ｍに分けずに、図６に示したように、ｍ巻
き分の幅以上の幅を持った、かつ、一体型の回折格子を
用いる場合があっても良い。こうすると、第１〜第ｍの
回折格子に分ける場合に比べて、マスクの構造を間単に
できると考えられる。

【００６９】また、上述においては、支持部材に螺旋状
に巻かれた光ファイバの一巻きごとに第１〜第ｍの回折
格子のいずれか１つを対向させる例を説明した。しか
し、図７に示したように、支持部材１３に螺旋状に巻か
れた光ファイバ１１のｓ巻き分に相当する間隔をもって
平行に配置された長さがｓ×Ｌ以上の複数の回折格子１
７１ａ〜１７１ｊを有したマスク１７１を用意する。次
に、巻き付けた光ファイバ１１の接線に該マスク１７１
の回折格子が沿うような位置関係で、該マスク１７１と
支持部材１３とを対向させる。そして、前記ｓ×Ｌの距
離分だけ、該回折格子の次々の部分と前記支持部材に巻
かれている光ファイバの次々の部分とが露光光の照射領
域を通過するように、該マスクの移動と、前記支持部材
の、その軸線を回転中心とする回転とを行なわせなが
ら、露光をしても良い。支持部材１３の回転とマスク１
７１の移動とは、図４を用いて説明したと同様な手順で
行えば良い。

【００７０】こうした場合も、螺旋状に巻かれた光ファ
イバの複数巻き部分に対して並列的な露光ができるの
で、回折格子の長さより長いファイバグレーテイングを
製造できる。

【００７１】２．第２の製造方法の説明上述においては、回折格子の長さが螺旋状に巻いた光フ
ァイバ１巻き分の長さと同じか（図３）、それより長い
例（図７）での、製造方法を説明した。しかし、光ファ
イバを損傷することなく曲げることができる曲げ可能半
径が小さい場合は、円柱状の支持部材１３として、直径
の大きなものを用いる必要が生じる。すると、回折格子
の長さが螺旋状に巻いた光ファイバ１巻き分の長さより
短くなる場合もある。そのような場合は、上述の第１の
製造方法では、所望のファイバグレティングを製造でき
ない。この第２の製造方法は、その対策を施したファイ
バグレーティングの製造方法である。

【００７２】図８は、第２の製造方法で用いるマスク３
１と、感光性光ファイバ１１等の構造とを説明する図で
ある。また、図９，図１０は、製造工程図である。

【００７３】感光性光ファイバ１１を円筒状の支持部材
１３に螺旋状に巻き付けておく。ただし、光ファイバ１
１の被覆層（図示せず）は剥がして、クラッド層を露出
させておく。また、マスク３１として、単周期グレーテ
ィングを有した長さがＸの回折格子３３を有したマスク
３１を用意する。

【００７４】次に、図９（Ａ）に示したように、支持部
材１３に螺旋状に巻き付けた前記光ファイバの接線に、
前記回折格子３３の長手方向が沿うような位置関係で、
前記マスク３１を前記光ファイバ１１と対向させる。然
も、回折格子３３の一端が露光光の照射領域（ビーム３
５）の位置に一致するようにマスク３１を光ファイバ１
１と対向させる。

【００７５】ただし、露光光を照射する領域（照射領
域）の前記軸線に沿った幅が、螺旋に巻いた光ファイバ
２巻き分の幅未満となるようにする。すなわち、露光光
のビーム３５の径を、例えば光ファイバ１１の直径より
やや大きい程度にしておく。このようなビームを得るに
は、例えば、図４を用いて説明した光学系から、ビーム
エキスパンダ２７を除去した光学系を用いれば良い。

【００７６】次に、回折格子３３の長さＸ分だけ、回折
格子３３の次々の部分と、支持部材１３に巻かれている
光ファイバ１１の次々の部分とが、照射領域（ビーム３
５が当たる領域）を通過するように、マスク３１の移動
と、支持部材１３の軸線ａｂを回転中心とする回転とを
行う。これら移動および回転は、この例の場合は、マス
ク３１については図９（Ａ）の右から左へ移動し、支持
部材１３については、軸線ａｂを回転中心として図９
（Ａ）に矢印を付した方向に回転（右回転）させる。

【００７７】マスク３１の移動および支持部材１３の回
転を上記のように行った後、露光終点位置Ｐ（図９
（Ｂ）参照）を通り前記軸線ａｂに垂直に交わる線分を
回転中心として、支持部材１３をマスク３１に対して相
対的に１８０度回転させる（図１０（Ａ））。

【００７８】次に、回折格子３３の長さＸ分だけ、回折
格子３３の次々の部分と、支持部材１３に巻かれている
光ファイバ１１の次々の新たな部分とが次々に対向する
ように、マスク３１の移動および支持部材１３の軸線ａ
ｂを回転中心とする回転を行う（図１０（Ｂ））。これ
ら移動および回転は、この例の場合は、マスク３１につ
いては図１０（Ｂ）の左から右へ移動し、支持部材１３
については、軸線ｂａを回転中心として図中の矢印の方
向に回転（左回転）させる。

【００７９】このような操作を必要数繰り返すと、長さ
がＸの回折格子１つを用いて光ファイバの次々の部分を
露光できる。そのため、この回折格子より長い長さの単
周期ファイバグレーティングを製造できる。

【００８０】３．第３の製造方法の説明次に、第３の製造方法の実施の形態について説明する。
この第３の製造方法はチャープトファイバグレーティン
グの製造に特に好適な方法である。図１１〜図１３はそ
の説明図である。図１１は主にマスク４１と回折格子４
３とを説明する平面図、図１２および図１３はファイバ
グレーティングの製造工程図である。

【００８１】支持部材１３に光ファイバ１１を、今まで
の実施の形態と同様に螺旋状に巻き付けておく。

【００８２】また、マスク４１として、図１１に示した
様に、互いに平行に配置した第１〜第ｍの回折格子４３
ａ〜４３ｍを有したマスクを用意する。第１〜第ｍの回
折格子４３ａ〜４３ｍそれぞれは、長さがＸで、かつ、
幅が螺旋状に巻かれた光ファイバの２巻き分の幅未満と
してある。然も、これら回折格子４３ａ〜４３ｍ全体と
して連続するチャープグレーティングとなるようにそれ
ぞれが個別のチャープグレーティングを有している。

【００８３】第１〜第ｍの回折格子４３ａ〜４３ｍは、
基本的には、第１の製造方法の実施の形態で説明した回
折格子１７ａ〜１７ｍと同様で良い。ただし、周期構造
の並び具合を、第１の発明の場合に比べて違えてある。

【００８４】具体的には、第１の回折格子４３ａは、例
えば、４３ａ１〜４３ａｎのｎ個の部分で構成される。
ただし、ｎは任意の整数である。そして、第１の部分４
３ａ１は、長さがΛ１の周期構造をＳ１回繰り返した構
造とされている。第２の部分４３ａ２は、長さがΛ２
（Λ１＜Λ２）の周期構造をＳ２回繰り返した構造とさ
れている。第ｎの部分４３ａｎは、長さがΛｎ（Λｎ−
１＜Λｎ）の周期構造をＳｎ回繰り返した構造とされて
いる。Ｓ１〜Ｓｎは、同じでも異なっても良い。

【００８５】また、第２の回折格子４３ｂは、例えば、
４３ｂ１〜４３ｂｎのｎ個の部分で構成される。ただ
し、ｎは任意の整数である。そして、第ｎの部分４３ｂ
ｎは、長さがΛｎ＋１の周期構造をＳｎ＋１回繰り返し
た構造とされている。第ｎ−１の部分４３ｂｎ−１は、
長さがΛｎ＋２の周期構造をＳｎ＋２回繰り返した構造
とされている。第１の部分４３ｂ１は、長さがΛ２ｎの
周期構造を繰り返した構造としてある。すなわち、第１
の回折格子を左端から右端にたどり、次に、第２の回折
格子４３ｂを右端から左端にたどるというように、ジグ
ザグに各回折格子４３ａ〜を４３ｍをたどると、チャー
プグレーティングの配列になるように、周期構造を配置
してある。

【００８６】次に、図１２（Ａ）に示したように、支持
部材１３に螺旋状に巻き付けた前記光ファイバの接線
に、前記回折格４３ａの長手方向が沿うような位置関係
で、前記マスク４１を前記光ファイバ１１と対向させ
る。然も、回折格子４３ａの一端が露光光のビーム３５
の位置に一致するようにマスク４１を光ファイバ１１と
対向させる。

【００８７】次に、回折格子４３の長さＸ分だけ、回折
格子４３の次々の部分と、支持部材１３に巻かれている
光ファイバ１１の次々の部分とが、ビーム３５の位置を
通過するように、マスク４１の移動と、支持部材１３の
軸線ａｂを回転中心とする回転とを行う。これら移動お
よび回転は、この例の場合は、マスク４１については図
１２（Ａ）の右から左へ移動し、支持部材１３について
は、軸線ａｂを回転中心として図中矢印で示す方向に回
転（右回転）させる。

【００８８】マスク４１の移動および支持部材１３の回
転を上記のように行った後、露光終点位置Ｐ（図１２
（Ｂ）参照）を通り前記軸線ａｂに垂直に交わる線分を
回転中心として、支持部材１３をマスク４１に対して相
対的に１８０度回転させる（図１２（Ｃ）、図１３
（Ａ））。

【００８９】次に、今まで露光に用いた回折格子４３ａ
の隣に位置する回折格子、すなわちこの場合は第２の回
折格子４３ｂが、光ファイバ１１の前記露光終了位置Ｐ
と対向するように、マスク４１および支持部材１３を相
対的に、ｙ方向（図１３（Ｂ）に移動させる。

【００９０】次に、回折格子４３ｂの長さＸ分だけ、回
折格子４３ｂの次々の部分と、支持部材１３に巻かれて
いる光ファイバ１１の次々の部分とが、ビーム３５の位
置を通過するように、マスク４１の移動および支持部材
１３の軸線ｂａを回転中心とする回転を行う。これら移
動および回転は、この例の場合は、マスク４１について
は図１３（Ｂ）の左から右へ移動し、支持部材１３につ
いては、軸線ｂａを回転中心として図１３（Ｂ）の矢印
の方向に回転させる。

【００９１】このような操作を必要数繰り返すと、第１
〜第ｍの回折格子４３ａ〜４３ｍを次々用いて光ファイ
バの次々の新たな部分を露光できる。このため、長さが
Ｘの回折格子を用いてこの回折格子より長い長さのチャ
ープトファイバグレーティングを製造できる。

【００９２】なお、この第３の製造方法は、単周期ファ
イバグレーティングを製造する場合にも適用できる。そ
の場合は、第１〜第ｍの回折格子４３ａ〜４３ｍそれぞ
れを、単周期グレーティングに変更する。すなわち、周
期構造Λ１〜Λｍｎを同じ構造にする。

【００９３】

【発明の効果】この発明のファイバグレーティングの製
造方法によれば、円筒状の支持部材に感光性光ファイバ
を螺旋状に巻き付けておく。そして、該巻き付けた光フ
ァイバの接線に露光用マスクの回折格子が沿うような位
置関係で、マスクと支持部材とを対向させる。そして、
回折格子の次々の部分と支持部材に巻かれている光ファ
イバの次々の部分とが露光光の照射領域を通過するよう
に、前記マスクの移動と、前記支持部材の、その軸線を
回転中心とする回転とを行いながら、光ファイバをマス
クを介して露光する。

【００９４】そのため、光ファイバｍ巻き分の幅以上の
幅を持ち長さがＬの回折格子を有したマスクを用いて光
ファイバｍ巻き分を並列に露光することができる。こう
した場合、長さがＬの回折格子で長さがｍ×Ｌのファイ
バグレーティングを製造できる。

【００９５】また、光ファイバのｓ巻き分に相当する間
隔をもって長さがｓ×Ｌの回折格子を平行に配置したマ
スクを用いて光ファイバを並列的に露光することができ
る。こうした場合、長さがｓ×Ｌの回折格子で長さがそ
の複数倍のファイバグレーティングを製造できる。

【００９６】また、支持部材に螺旋状に巻かれた光ファ
イバに対し長さがＸの回折格子を用いて長さＸ分だけ露
光をし、その後、支持部材と回折格子との相対的な位置
を１８０度変更して、再び長さＸ分の露光をする方法
（第２、第３の製造方法）もとれる。こうした場合も、
長さがＸの回折格子で長さがＸより長いファイバグレー
ティングを製造できる。

【００９７】したがって、この出願の各製造方法によれ
ば、回折格子の長さより長いファイバグレーティングを
容易に製造できる。

【００９８】また、この出願のファイバーグレーティン
グの各製造方法によれば、支持部材と、該支持部材に螺
旋状に巻き付けられたファイバーグレーティングとを具
えた光フィルタを容易に製造できるという効果もさらに
得られる。

【００９９】また、この出願の光フィルタの発明によれ
ば、支持部材と、該支持部材に螺旋状に巻き付けられた
ファイバグレーティングとを具える。そのため、反射波
長帯域や反射スペクトルのトップの平坦性などの特性を
実現するために長いファイバグレーテイングを用いた光
フィルタを構成する場合でも、その小型化が図りやす
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】感光性光ファイバと支持部材との説明図であ
る。

【図２】支持部材に設けた螺旋状の溝の説明図である。

【図３】第１の製造方法の実施の形態で用いたマスクお
よび回折格子の説明図である。

【図４】マスクと支持部材との位置関係の説明図であ
る。

【図５】この発明の製造方法で製造されるファイバグレ
ーティングの説明図である。

【図６】第１の製造方法の第１の変形例の説明図であ
る。

【図７】第１の製造方法の第２の変形例の説明図であ
る。

【図８】第２の製造方法で用いるマスク等の説明図であ
る。

【図９】第２の製造方法の実施の形態の工程図である。

【図１０】第２の製造方法の実施の形態の図９に続く工
程図である。

【図１１】第３の製造方法で用いるマスクと回折格子と
を説明する図である。

【図１２】第３の製造方法の実施の形態の工程図であ
る。

【図１３】第３の製造方法の実施の形態の図１２に続く
工程図である。

【符号の説明】

１１：感光性光ファイバ１３：円柱状の支持部材１３ａ：螺旋状の溝１５：マスク１７：回折格子１７ａ〜１７ｍ：第１〜第ｍの回折格子１９：露光光の照射領域３１：マスク３３：長さＸの回折格子３５：露光光の照射領域（ビーム）Ｐ：露光終了位置４１：マスク４３ａ〜４３ｍ：第１〜第ｍの回折格子１７１：マスク１７１ａ〜１７１ｊ：回折格子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感光性光ファイバを、回折格子を有した
マスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調部
を形成する、ファイバグレーティングの製造方法におい
て、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋状に巻き付
けておき、該巻き付けた光ファイバの接線に前記マスクの回折格子
が沿うような位置関係で、前記マスクと前記支持部材と
を対向させ、前記回折格子の次々の部分と前記支持部材に巻かれてい
る光ファイバの次々の部分とが露光光の照射領域を通過
するように、前記マスクの移動と、前記支持部材の、そ
の軸線を回転中心とする回転とを行なわせながら、前記
露光をすることを特徴とするファイバグレーティングの
製造方法。
【請求項２】請求項１に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記マスクとして、前記螺旋状に巻かれた光ファイバの
ｍ巻き分の幅以上の幅と、前記支持部材をその軸線を中
心に１回転させた時に進む光ファイバの距離Ｌ以上の長
さとを持つ回折格子を有したマスクを用意し、前記巻き付けた光ファイバの接線に該マスクの回折格子
が沿うような位置関係で、該マスクと前記支持部材とを
対向させ、前記距離Ｌ分だけ、該回折格子の次々の部分と前記支持
部材に巻かれている光ファイバの次々の部分とが露光光
の照射領域を通過するように、該マスクの移動と、前記
支持部材の、その軸線を回転中心とする回転とを行なわ
せながら、前記露光をすることを特徴とするファイバグ
レーティングの製造方法（ただし、ｍは２以上の整数で
ある。）。
【請求項３】請求項２に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記回折格子が、前記ｍ巻きの各巻きごとの光ファイバ
用として用意された互いに平行な第１〜第ｍの回折格子
であって、これら回折格子全体として連続するチャープ
グレーティングとなるようにそれぞれが個別のチャープ
グレーティングを有した第１〜第ｍの回折格子からなる
ことを特徴とするファイバグレーティングの製造方法。
【請求項４】請求項２に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記回折格子が、前記ｍ巻きの各巻きごとの光ファイバ
用として用意された互いに平行な第１〜第ｍの回折格子
であって、それぞれが単周期グレーティングを有した第
１〜第ｍの回折格子からなることを特徴とするファイバ
グレーティングの製造方法。
【請求項５】請求項２に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記回折格子が、単周期グレーティングを有した、か
つ、前記ｍ巻き分の幅以上の幅を持った、かつ、一体型
の回折格子からなることを特徴とするファイバグレーテ
ィングの製造方法。
【請求項６】請求項１に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記マスクとして、前記螺旋状に巻かれた光ファイバの
ｓ巻き分に相当する間隔をもって平行に配置された長さ
がｓ×Ｌ以上の複数の回折格子を有したマスクを用意
し、前記巻き付けた光ファイバの接線に該マスクの回折格子
が沿うような位置関係で、該マスクと前記支持部材とを
対向させ、前記ｓ×Ｌの距離分だけ、該回折格子の次々の部分と前
記支持部材に巻かれている光ファイバの次々の部分とが
露光光の照射領域を通過するように、該マスクの移動
と、前記支持部材の、その軸線を回転中心とする回転と
を行なわせながら、前記露光をすることを特徴とするフ
ァイバグレーティングの製造方法（ただし、Ｌは、前記
支持部材をその軸線を中心に１回転させた時に進む光フ
ァイバの距離、ｓは２以上の整数である。）。
【請求項７】請求項６に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記複数の回折格子それぞれは、単周期グレーティング
を有した回折格子であることを特徴とするファイバグレ
ーティングの製造方法。
【請求項８】請求項６に記載のファイバグレーティン
グの製造方法において、前記複数の回折格子それぞれは、これら回折格子全体と
して連続するチャープグレーティングとなるようにそれ
ぞれが個別のチャープグレーティングを有した回折格子
であることを特徴とするファイバグレーティングの製造
方法。
【請求項９】感光性光ファイバを、回折格子を有した
マスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調部
を形成する、ファイバグレーティングの製造方法におい
て、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋状に巻き付
けておき、前記マスクとして、単周期グレーティングを有した長さ
がＸの回折格子を有したマスクを用意し、前記巻き付けた光ファイバの接線に前記回折格子が沿う
ような位置関係で、前記マスクを前記光ファイバと対向
させ、その後、以下の第１および第２の処理を必要数繰
り返すことを特徴とするファイバグレーティングの製造
方法。（ａ）前記回折格子の長さ分だけ、該回折格子の次々の
部分と、前記支持部材に巻かれている光ファイバの次々
の部分とが露光光の照射領域を通過するように、該マス
クの移動と、前記支持部材の、その軸線を回転中心とす
る回転とを行いながら、然も、前記照射領域の前記軸線
に沿った幅が、前記螺旋に巻いた光ファイバ２巻き分の
幅未満となるように露光光を絞った状態で、前記露光を
する第１の処理。（ｂ）前記第１の処理を終えた後、前記露光終点位置を
通り前記軸線に垂直に交わる線分を回転中心として、前
記支持部材を前記マスクに対して相対的に１８０度回転
させる第２の処理。
【請求項１０】感光性光ファイバを、回折格子を有し
たマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調
部を形成する、ファイバグレーティングの製造方法にお
いて、感光性光ファイバを円筒状の支持部材に螺旋状に巻き付
けておき、前記マスクとして、互いに平行に配置したかつ互いの長
さがＸである第１〜第ｍの回折格子であって、これら回
折格子全体として連続するチャープグレーティングとな
るようにそれぞれが個別のチャープグレーティングを有
した第１〜第ｍの回折格子を有したマスクを用意し、前記巻き付けた光ファイバの接線に前記第１〜第ｍの回
折格子のいずれか１つが沿うような位置関係で、前記マ
スクを前記光ファイバと対向させ、その後、以下の第１
〜第３の処理を必要数繰り返すことを特徴とするファイ
バグレーティングの製造方法（ただし、第２の処理と第
３の処理との順番はいずれが先でも良い。）。前記回折格子の長さ分だけ、該回折格子の次々の部分
と、前記支持部材に巻かれている光ファイバの次々の部
分とが露光光の照射領域を通過するように、該マスクの
移動と、前記支持部材の、その軸線を回転中心とする回
転とを行いながら、然も、前記照射領域の前記軸線に沿
った幅が、前記螺旋に巻いた光ファイバ２巻き分の幅未
満となるように露光光を絞った状態で、前記露光をする
第１の処理。前記第１の処理を終えた後、前記露光終点位置を通り
前記軸線に垂直に交わる線分を回転中心として、前記支
持部材を前記マスクに対して相対的に１８０度回転させ
る第２の処理。前記第１の処理を終えた後、今まで露光に用いた回折
格子の隣に位置する回折格子が前記露光終了位置と対向
するように、前記マスクおよび前記支持部材を相対的に
移動させる第３の処理。
【請求項１１】感光性光ファイバを螺旋状に巻き付け
るための螺旋状の溝を有した円柱状の支持部材であっ
て、表面に、前記光ファイバを露光する露光光について
の実質的な無反射コーティングが施されていることを特
徴とする支持部材。
【請求項１２】請求項１１に記載の支持部材におい
て、前記溝の深さを前記光ファイバの直径よりも大きくして
あることを特徴とする支持部材。
【請求項１３】感光性光ファイバを、回折格子を有し
たマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調
部を形成するために用いる当該マスクにおいて、前記回折格子が、前記光ファイバを円柱状の支持部材に
螺旋状に巻き付けた場合の該巻かれた光ファイバのｍ巻
き分の幅以上の幅と、前記支持部材をその軸線を中心に
１回転させた時に進む光ファイの距離Ｌ以上の長さとを
持つ回折格子とされていることを特徴とするマスク。
【請求項１４】請求項１３に記載のマスクにおいて、前記回折格子が、前記ｍ巻きの各巻きごとの光ファイバ
用として用意された互いに平行な第１〜第ｍの回折格子
であって、これら回折格子全体として連続するチャープ
グレーティングとなるようにそれぞれが個別のチャープ
グレーティングを有した第１〜第ｍの回折格子からなる
ことを特徴とするマスク。
【請求項１５】請求項１３に記載のマスクにおいて、前記回折格子が、前記ｍ巻きの各巻きごとの光ファイバ
用として用意された互いに平行な第１〜第ｍの回折格子
であって、それぞれが単周期グレーティングを有した第
１〜第ｍの回折格子からなることを特徴とするマスク。
【請求項１６】請求項１３に記載のマスクにおいて、前記回折格子が、単周期グレーティングを有した、か
つ、前記ｍ巻き分の幅Ｗ以上の幅を持った、かつ、一体
型の回折格子からなることを特徴とするマスク。
【請求項１７】感光性光ファイバを、回折格子を有し
たマスクを介して露光して、該光ファイバに屈折率変調
部を形成するために用いる当該マスクにおいて、前記回折格子が、前記光ファイバを円柱状の支持部材に
螺旋状に巻き付けた場合のｓ巻き分の間隔をもって平行
に配置された長さがｓ×Ｌ以上の複数の回折格子で構成
されていることを特徴とするマスク。
【請求項１８】請求項１７に記載のマスクにおいて、前記複数の回折格子それぞれが、単周期グレーティング
を有した回折格子であることを特徴とするマスク。
【請求項１９】請求項１７に記載のマスクにおいて、前記複数の回折格子それぞれが、これら回折格子全体と
して連続するチャープグレーティングとなるようにそれ
ぞれが個別のチャープグレーティングを有した回折格子
であることを特徴とするマスク。
【請求項２０】支持部材と、該支持部材に螺旋状に巻
き付けられたファイバグレーティングとを具えたことを
特徴とする光フィルタ。
【請求項２１】請求項２０に記載の光フィルタにおい
て、前記支持部材が前記ファイバグレーティングを巻き付け
るための螺旋状の溝を有しており、前記ファイバグレー
ティングが該溝に沿って巻き付けられていることを特徴
とする光フィルタ。
【請求項２２】請求項２１に記載の光フィルタにおい
て、前記溝の深さを前記光ファイバの直径よりも大きくして
あることを特徴とする光フィルタ。