JPH1111910A - オゾン生成装置 - Google Patents
オゾン生成装置Info
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- JPH1111910A JPH1111910A JP16362497A JP16362497A JPH1111910A JP H1111910 A JPH1111910 A JP H1111910A JP 16362497 A JP16362497 A JP 16362497A JP 16362497 A JP16362497 A JP 16362497A JP H1111910 A JPH1111910 A JP H1111910A
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の無声放電式又はインパルス式のオゾン
生成装置は、オゾン生成効率が悪い。 【解決手段】 パルス・パワー電源１３の出力段になる
ピーキングコンデンサ１５から接地側電極１１と高電圧
側電極１２のループにインパルス電流を流してオゾンを
生成するインパルス式オゾン生成装置において、ピーキ
ングコンデンサを高圧側電極の電流端子１４と接地側電
極の間に近接配置し、ピーキングコンデンサから電極間
の電流ループの浮遊インピーダンスを極力小さくし、オ
ゾン生成効率を高めると共にノイズの放出を極力少なく
する。
生成装置は、オゾン生成効率が悪い。 【解決手段】 パルス・パワー電源１３の出力段になる
ピーキングコンデンサ１５から接地側電極１１と高電圧
側電極１２のループにインパルス電流を流してオゾンを
生成するインパルス式オゾン生成装置において、ピーキ
ングコンデンサを高圧側電極の電流端子１４と接地側電
極の間に近接配置し、ピーキングコンデンサから電極間
の電流ループの浮遊インピーダンスを極力小さくし、オ
ゾン生成効率を高めると共にノイズの放出を極力少なく
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電極間にインパル
ス電圧を印加し、電極の空隙に供給する原料ガスからオ
ゾンを生成するオゾン生成装置に係り、特にインパルス
発生電源と電極の構造に関する。
ス電圧を印加し、電極の空隙に供給する原料ガスからオ
ゾンを生成するオゾン生成装置に係り、特にインパルス
発生電源と電極の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有し、殺菌
や脱臭、脱色など上下水道処理や屎尿処理などに利用さ
れている。工業的には高濃度で大量のオゾンが要求され
るため、現在は無声放電式による生成が主体である。
や脱臭、脱色など上下水道処理や屎尿処理などに利用さ
れている。工業的には高濃度で大量のオゾンが要求され
るため、現在は無声放電式による生成が主体である。
【０００３】この方式は、原料ガス（空気または酸素）
から電気化学的にオゾンを生成するものであり、図８に
原理的に示すように、高電圧電極１と接地電極２にそれ
ぞれ誘電体３、４を設けて空隙を有して対向する誘電体
電極（片側金属電極でも可）に電源５から交流または高
周波の高電圧を印加する。この電圧印加により、誘電体
３、４間に微小放電柱の集合体（無声放電）を発生さ
せ、それぞれが非常に短いパルス状に発生することで非
平衡なプラズマを生成し、オゾンを生成する。
から電気化学的にオゾンを生成するものであり、図８に
原理的に示すように、高電圧電極１と接地電極２にそれ
ぞれ誘電体３、４を設けて空隙を有して対向する誘電体
電極（片側金属電極でも可）に電源５から交流または高
周波の高電圧を印加する。この電圧印加により、誘電体
３、４間に微小放電柱の集合体（無声放電）を発生さ
せ、それぞれが非常に短いパルス状に発生することで非
平衡なプラズマを生成し、オゾンを生成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】無声放電式のオゾン生
成装置は、工業的に利用されている最も有効な方法では
あるが、それでもオゾン生成効率が悪く、オゾンのコス
トを押し上げている。単位オゾンを得るに必要は電力
（放電消費電力）は、理論値が１.２ｋＷｈ／ｋｇ・Ｏ3
であるに対して、現状は１４ｋＷｈ／ｋｇ・Ｏ3程度必
要であり、電力の数％がオゾン生成に使われているに過
ぎず、電力の大部分は排熱に消えている。
成装置は、工業的に利用されている最も有効な方法では
あるが、それでもオゾン生成効率が悪く、オゾンのコス
トを押し上げている。単位オゾンを得るに必要は電力
（放電消費電力）は、理論値が１.２ｋＷｈ／ｋｇ・Ｏ3
であるに対して、現状は１４ｋＷｈ／ｋｇ・Ｏ3程度必
要であり、電力の数％がオゾン生成に使われているに過
ぎず、電力の大部分は排熱に消えている。
【０００５】オゾン生成効率は、反応空間における放電
エネルギー、放電の形状、温度、圧力に大きく依存する
ため、（１）電極及び誘電体の形状、（２）印加電圧及
び周波数、（３）反応空間の冷却、を最適化する工夫
が、従来から行われてきている。しかしながら、飛躍的
な放電消費電力の向上は見られていない。
エネルギー、放電の形状、温度、圧力に大きく依存する
ため、（１）電極及び誘電体の形状、（２）印加電圧及
び周波数、（３）反応空間の冷却、を最適化する工夫
が、従来から行われてきている。しかしながら、飛躍的
な放電消費電力の向上は見られていない。
【０００６】本発明の目的は、オゾン生成効率を高めた
オゾン生成装置を提供することにある。
オゾン生成装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、インパルス式
オゾン生成装置におけるパルス・パワー電源の出力段に
なるピーキングコンデンサＣPさらには電流監視用セン
サーを電極部の電流端子と接地電極との間に近接配置す
ること、又は、接地側電極内に高圧側電極を支持するス
ペーサと兼用することにより、ピーキングコンデンサと
電極間に流れるパルス電流ループの配線を最短化して配
線の浮遊インピーダンスを原理的に極限まで少なくし、
オゾン生成効率を高めると共にノイズの放出を極力少な
くしたもので、以下の構成を特徴とする。
オゾン生成装置におけるパルス・パワー電源の出力段に
なるピーキングコンデンサＣPさらには電流監視用セン
サーを電極部の電流端子と接地電極との間に近接配置す
ること、又は、接地側電極内に高圧側電極を支持するス
ペーサと兼用することにより、ピーキングコンデンサと
電極間に流れるパルス電流ループの配線を最短化して配
線の浮遊インピーダンスを原理的に極限まで少なくし、
オゾン生成効率を高めると共にノイズの放出を極力少な
くしたもので、以下の構成を特徴とする。
【０００８】（第１の発明）原料ガスが流れる空隙を挟
んで対向配置された接地側電極と高圧側電極間にパルス
・パワー電源からインパルス電圧を印加し、該空隙に生
じる放電を電気化学的に利用して原料ガスからオゾンを
生成する装置インパルス式オゾン生成装置において、前
記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間に
パルス電流ループを形成するピーキングコンデンサは、
前記高圧側電極の電流端子と接地側電極の間に近接配置
した構造を特徴とする。
んで対向配置された接地側電極と高圧側電極間にパルス
・パワー電源からインパルス電圧を印加し、該空隙に生
じる放電を電気化学的に利用して原料ガスからオゾンを
生成する装置インパルス式オゾン生成装置において、前
記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間に
パルス電流ループを形成するピーキングコンデンサは、
前記高圧側電極の電流端子と接地側電極の間に近接配置
した構造を特徴とする。
【０００９】（第２の発明）前記電流ループのパルス電
流を監視するセンサーを前記ピーキングコンデンサと接
地側電極との接続部に設けた構造を特徴とする。
流を監視するセンサーを前記ピーキングコンデンサと接
地側電極との接続部に設けた構造を特徴とする。
【００１０】（第３の発明）原料ガスが流れる空隙を挟
んで対向配置された接地側電極と高圧側電極間にパルス
・パワー電源からインパルス電圧を印加し、該空隙に生
じる放電を電気化学的に利用して原料ガスからオゾンを
生成する装置インパルス式オゾン生成装置において、前
記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間に
パルス電流ループを形成するピーキングコンデンサは、
前記接地側電極内に前記高圧側電極を支持するスペーサ
と兼用にした構造を特徴とする。
んで対向配置された接地側電極と高圧側電極間にパルス
・パワー電源からインパルス電圧を印加し、該空隙に生
じる放電を電気化学的に利用して原料ガスからオゾンを
生成する装置インパルス式オゾン生成装置において、前
記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間に
パルス電流ループを形成するピーキングコンデンサは、
前記接地側電極内に前記高圧側電極を支持するスペーサ
と兼用にした構造を特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】図９は、インパルス式オゾナイザ
ー（オゾン生成装置）の基本構造である。その電極部
は、円筒状の接地側電極（金属）１１の内部に針状の高
圧側電極（金属）１２を設け、両電極間に放電空間を形
成する。パルス・パワー電源１３は、立ち上りが急峻で
持続時間の短いパルスを電極１１と１２間に供給する。
原料ガスは、電極１１の一方から吹き込まれ、他方から
生成されたオゾンとして取り出される。
ー（オゾン生成装置）の基本構造である。その電極部
は、円筒状の接地側電極（金属）１１の内部に針状の高
圧側電極（金属）１２を設け、両電極間に放電空間を形
成する。パルス・パワー電源１３は、立ち上りが急峻で
持続時間の短いパルスを電極１１と１２間に供給する。
原料ガスは、電極１１の一方から吹き込まれ、他方から
生成されたオゾンとして取り出される。
【００１２】パルス・パワー電源１３は、例えば、図１
０に示す回路構成にされる。エネルギー蓄積用コンデン
サＣ0は直流電源により初期充電され、半導体スイッチ
ＧＴＯのオンによりコンデンサＣ0から可飽和リアクト
ルＳＩ0とパルストランスＰＴの経路でパルス電流Ｉ0を
発生させる。トランスＰＴにより昇圧したパルス電流
は、可飽和トランスＳＴで昇圧されてコンデンサＣ1を
充電し、トランスＳＴ及び可飽和リアクトルＳＩ1の磁
気スイッチ動作によりピーキングコンデンサＣPに高電
圧かつ磁気パルス圧縮したパルス電流を発生させる。こ
のコンデンサＣPとオゾン生成器の電極１１と１２間に
インパルス電流を発生させる。
０に示す回路構成にされる。エネルギー蓄積用コンデン
サＣ0は直流電源により初期充電され、半導体スイッチ
ＧＴＯのオンによりコンデンサＣ0から可飽和リアクト
ルＳＩ0とパルストランスＰＴの経路でパルス電流Ｉ0を
発生させる。トランスＰＴにより昇圧したパルス電流
は、可飽和トランスＳＴで昇圧されてコンデンサＣ1を
充電し、トランスＳＴ及び可飽和リアクトルＳＩ1の磁
気スイッチ動作によりピーキングコンデンサＣPに高電
圧かつ磁気パルス圧縮したパルス電流を発生させる。こ
のコンデンサＣPとオゾン生成器の電極１１と１２間に
インパルス電流を発生させる。
【００１３】また、インパルス式オゾナイザーの具体的
な構造は、図１１に示す構成にされる。電極部は、接地
電極１１に冷却水を通して冷却し、高電圧電極１２には
電流端子１４を介してパルス・パワー電源１３のピーキ
ングコンデンサ（ＣP）１５との接続を得る。電流監視
用センサー１６は、パルス電流の監視信号を得る。
な構造は、図１１に示す構成にされる。電極部は、接地
電極１１に冷却水を通して冷却し、高電圧電極１２には
電流端子１４を介してパルス・パワー電源１３のピーキ
ングコンデンサ（ＣP）１５との接続を得る。電流監視
用センサー１６は、パルス電流の監視信号を得る。
【００１４】このようなインパルス式オゾナイザーにお
いて、電極１１と１２間にインパルスを印加すると、電
極１１内の放電空間に均一な非平衡プラズマ放電が形成
される。工業的に要求される高濃度オゾンを得るために
は、オゾンの生成を増すと同時に分解を減らして平衡状
態でのオゾン濃度を引き上げる必要がある。
いて、電極１１と１２間にインパルスを印加すると、電
極１１内の放電空間に均一な非平衡プラズマ放電が形成
される。工業的に要求される高濃度オゾンを得るために
は、オゾンの生成を増すと同時に分解を減らして平衡状
態でのオゾン濃度を引き上げる必要がある。
【００１５】オゾン生成には、第一反応として酸素分子
を解離して酸素原子を生成する必要があり、それに十分
なエネルギーの電子がまず必要である。続いて酸素原子
からオゾンを生成する反応と生成されたオゾンが再び分
解する反応は同時に進行するが、ともに温度依存性を持
った反応である。そして温度が低い方が化学平衡が生成
側に傾くので高濃度オゾンが生成できる。つまりガス温
度が低いことが必要である。
を解離して酸素原子を生成する必要があり、それに十分
なエネルギーの電子がまず必要である。続いて酸素原子
からオゾンを生成する反応と生成されたオゾンが再び分
解する反応は同時に進行するが、ともに温度依存性を持
った反応である。そして温度が低い方が化学平衡が生成
側に傾くので高濃度オゾンが生成できる。つまりガス温
度が低いことが必要である。
【００１６】このような条件を満たすのが非平衡プラズ
マである。非平衡プラズマでは、質量の小さい電子のみ
が電界から高エネルギーを得ている（電子温度が高い）
が、分子・イオンは電界の急激な変化を追随できないた
め低エネルギー（ガス温度が低い）の状態にある。した
がって非平衡プラズマを利用することで、効率よくオゾ
ンを生成できる。
マである。非平衡プラズマでは、質量の小さい電子のみ
が電界から高エネルギーを得ている（電子温度が高い）
が、分子・イオンは電界の急激な変化を追随できないた
め低エネルギー（ガス温度が低い）の状態にある。した
がって非平衡プラズマを利用することで、効率よくオゾ
ンを生成できる。
【００１７】従来の無声放電式も非平衡プラズマを利用
しているのであるが、無声放電は微小ストリーマ放電の
集合であるので電子密度が均一ではない。そのためエネ
ルギーが注入されているスポットでは、酸素原子生成に
必要な電子密度が集中しているが、同時にガス温度もス
ポット的に高くなっているため、化学平衡がオゾン生成
に大きく傾きにくい。そのため全体としてのオゾン生成
効率が向上しない。
しているのであるが、無声放電は微小ストリーマ放電の
集合であるので電子密度が均一ではない。そのためエネ
ルギーが注入されているスポットでは、酸素原子生成に
必要な電子密度が集中しているが、同時にガス温度もス
ポット的に高くなっているため、化学平衡がオゾン生成
に大きく傾きにくい。そのため全体としてのオゾン生成
効率が向上しない。
【００１８】パルス・パワー電源を使った放電は反応空
間に均一に起り、ガス温度の高いスポットは存在しない
ので、非平衡プラズマの特性を有効に利用することがで
きる。そのため放電消費電力を低く抑えることができ
る。
間に均一に起り、ガス温度の高いスポットは存在しない
ので、非平衡プラズマの特性を有効に利用することがで
きる。そのため放電消費電力を低く抑えることができ
る。
【００１９】パルス・パワー式オゾナイザーには、非常
に立ち上がりが早く、幅の短いインパルス電圧が印加さ
れる。この様に高周波成分を多分に含んだ電力を、負荷
であるオゾン生成器に損失無く供給するためには、図１
１に示すような通常回路の配線では不十分な構造とな
る。
に立ち上がりが早く、幅の短いインパルス電圧が印加さ
れる。この様に高周波成分を多分に含んだ電力を、負荷
であるオゾン生成器に損失無く供給するためには、図１
１に示すような通常回路の配線では不十分な構造とな
る。
【００２０】インパルスを有効に伝達するためには、線
路の浮遊インピーダンスを極力少なくする構造的工夫が
必要である。インパルスの伝達を良くするためには、ピ
ーキングコンデンサＣｐと負荷（オゾン生成器電極）の
間の配線のループを極力短くすることが望ましい。
路の浮遊インピーダンスを極力少なくする構造的工夫が
必要である。インパルスの伝達を良くするためには、ピ
ーキングコンデンサＣｐと負荷（オゾン生成器電極）の
間の配線のループを極力短くすることが望ましい。
【００２１】しかし、図１１の構造では配線ループが大
きいため、浮遊インピーダンスが高周波成分の伝達を妨
げる。さらにこのような場合、電力が効率良く供給でき
ないために、電流が行き場を失って非常に強力なノイズ
を放出してしまうなど問題が多い。
きいため、浮遊インピーダンスが高周波成分の伝達を妨
げる。さらにこのような場合、電力が効率良く供給でき
ないために、電流が行き場を失って非常に強力なノイズ
を放出してしまうなど問題が多い。
【００２２】以上までのことから、本実施形態では、パ
ルス・パワー電源の出力回路の一部をオゾン生成器の構
造内に組み込む構造とした。以下、実施形態を詳細に説
明する。
ルス・パワー電源の出力回路の一部をオゾン生成器の構
造内に組み込む構造とした。以下、実施形態を詳細に説
明する。
【００２３】（第１の実施形態）Ｃｐを電流端子に並列
に設置する構造。
に設置する構造。
【００２４】図１に本実施形態の要部構造を示す。同図
が図１１と異なる部分は、ピーキングコンデンサ（Ｃ
ｐ）１５を、オゾン生成電極部の電流端子１４と接地電
極１１との間に設け、ピーキングコンデンサ１５から電
極１１、１２間に流れる電流ループ（矢印で示す）の配
線を最短化した点にある。
が図１１と異なる部分は、ピーキングコンデンサ（Ｃ
ｐ）１５を、オゾン生成電極部の電流端子１４と接地電
極１１との間に設け、ピーキングコンデンサ１５から電
極１１、１２間に流れる電流ループ（矢印で示す）の配
線を最短化した点にある。
【００２５】電流端子１４は、気密容器内にある高電圧
電極１２にインパルス電圧を印加するための端子であ
り、高電圧が接地されている気密容器に短絡しないよう
に碍子など絶縁体が中心電極を覆った構造をしている。
この方法は、ピーキングコンデンサ１５を気密容器外に
接地する場合の最短の配線である。
電極１２にインパルス電圧を印加するための端子であ
り、高電圧が接地されている気密容器に短絡しないよう
に碍子など絶縁体が中心電極を覆った構造をしている。
この方法は、ピーキングコンデンサ１５を気密容器外に
接地する場合の最短の配線である。
【００２６】（第２の実施形態）Ｃｐと接地電極との接
続部に電流監視用センサーを設置する構造。
続部に電流監視用センサーを設置する構造。
【００２７】図２に示すように、オゾン生成電極部に供
給される電流を監視するために、図１の構造に加えて、
ピーキングコンデンサ１５と接地電極１１の接続部に電
流監視用センサー１６を設置する。
給される電流を監視するために、図１の構造に加えて、
ピーキングコンデンサ１５と接地電極１１の接続部に電
流監視用センサー１６を設置する。
【００２８】本実施形態において、オゾン生成装置の耐
ノイズ性への構造的効果は、図１の構造の場合と同等に
なる。
ノイズ性への構造的効果は、図１の構造の場合と同等に
なる。
【００２９】オゾン生成装置に供給される電流は、オゾ
ン生成装置の運転状態を確認するために常に監視する必
要がある。しかし、インパルス式オゾナイザーでは電流
が多分に高周波成分を含んでいるので、電流の測定は非
常に難しい問題である。
ン生成装置の運転状態を確認するために常に監視する必
要がある。しかし、インパルス式オゾナイザーでは電流
が多分に高周波成分を含んでいるので、電流の測定は非
常に難しい問題である。
【００３０】従来型では図１０に示す位置に電流監視用
センサーを設置しているが、配線に生ずる浮遊インピー
ダンスのため正確に測定することが難しい。
センサーを設置しているが、配線に生ずる浮遊インピー
ダンスのため正確に測定することが難しい。
【００３１】本実施形態では、ピーキングコンデンサ１
５と接地電極１１を形成する機密容器間に電流監視用セ
ンサー１６を設置することで、配線の浮遊インピーダン
スが非常に少なくなり、オゾン生成装置の放電によるノ
イズなどといった外乱の影響を極力抑えた電流の監視が
可能になる。
５と接地電極１１を形成する機密容器間に電流監視用セ
ンサー１６を設置することで、配線の浮遊インピーダン
スが非常に少なくなり、オゾン生成装置の放電によるノ
イズなどといった外乱の影響を極力抑えた電流の監視が
可能になる。
【００３２】以上のように、第１及び第２の実施形態に
よれば、インパルス式オゾナイザーにおいて、配線の浮
遊インピーダンスを原理的に極限まで少なくできること
を実験で確認した。
よれば、インパルス式オゾナイザーにおいて、配線の浮
遊インピーダンスを原理的に極限まで少なくできること
を実験で確認した。
【００３３】図３は従来の構造でオゾン生成装置におけ
るインパルス電圧ＶCPに対する電流波形Ｉout（実測
値）であり、図４は同じく実施形態の構造での電流波形
である。図３では配線の浮遊ＬＣによる共振が強く現わ
れている。この寄生振動はノイズの生成源となるため機
器に影響をおよぼすのに対して、図４では問題となる寄
生振動は非常に大きく低減されている。
るインパルス電圧ＶCPに対する電流波形Ｉout（実測
値）であり、図４は同じく実施形態の構造での電流波形
である。図３では配線の浮遊ＬＣによる共振が強く現わ
れている。この寄生振動はノイズの生成源となるため機
器に影響をおよぼすのに対して、図４では問題となる寄
生振動は非常に大きく低減されている。
【００３４】（第３の実施形態）電極部容器内にＣPを
設置した構造。
設置した構造。
【００３５】図５に軸方向断面図とそのＡ−Ａ’断面図
で電極部構成を示すように、オゾン生成電極部内にピー
キングコンデンサＣPを設置する。高電圧電極１２の取
り付け金具１７は、従来では絶縁体とされるが、これを
金属等の導体に置き換え、これを支持するスペーサ１８
の一部をピーキングコンデンサ（ＣP）１５で置き換え
てスペーサの兼用にする。スペーサ１８は絶縁体とす
る。
で電極部構成を示すように、オゾン生成電極部内にピー
キングコンデンサＣPを設置する。高電圧電極１２の取
り付け金具１７は、従来では絶縁体とされるが、これを
金属等の導体に置き換え、これを支持するスペーサ１８
の一部をピーキングコンデンサ（ＣP）１５で置き換え
てスペーサの兼用にする。スペーサ１８は絶縁体とす
る。
【００３６】なお、ピーキングコンデンサ１５は、オゾ
ンガスに直接に晒されるため、耐オゾン性のある被覆で
保護する構造にされる。
ンガスに直接に晒されるため、耐オゾン性のある被覆で
保護する構造にされる。
【００３７】このような構造とすることにより、ピーキ
ングコンデンサ１５と電極１１、１２間に流れるパルス
電流のループが極めて小さくなり、浮遊インピーダンス
を極力小さくすることができる。また、ノイズの発生を
低減することができる。
ングコンデンサ１５と電極１１、１２間に流れるパルス
電流のループが極めて小さくなり、浮遊インピーダンス
を極力小さくすることができる。また、ノイズの発生を
低減することができる。
【００３８】なお、電極部が図６に示すように、放電部
分を複数／並列にした構造のものに適用して同等の作用
効果を得ることができる。さらに、図６の電極部構造
で、図７に示すように、スペーサ部分にそれぞれピーキ
ングコンデンサ１５を設けたコンデンサの分離構造と
し、放電部分の放電エネルギー及び浮遊インピーダンス
を均等にする構造とすることができる。
分を複数／並列にした構造のものに適用して同等の作用
効果を得ることができる。さらに、図６の電極部構造
で、図７に示すように、スペーサ部分にそれぞれピーキ
ングコンデンサ１５を設けたコンデンサの分離構造と
し、放電部分の放電エネルギー及び浮遊インピーダンス
を均等にする構造とすることができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、ピーキ
ングコンデンサＣPさらには電流監視用センサーを電極
部の電流端子と接地電極との間に近接配置、又はピーキ
ングコンデンサＣPを接地側電極内に高圧側電極を支持
するスペーサと兼用するようにしたため、（１）配線に
生じる浮遊インピーダンスを低減でき、（２）オゾン生
成装置を源とするノイズの発生を低減でき、（３）外乱
に影響されない電流の検出が可能になるといった効果が
ある。
ングコンデンサＣPさらには電流監視用センサーを電極
部の電流端子と接地電極との間に近接配置、又はピーキ
ングコンデンサＣPを接地側電極内に高圧側電極を支持
するスペーサと兼用するようにしたため、（１）配線に
生じる浮遊インピーダンスを低減でき、（２）オゾン生
成装置を源とするノイズの発生を低減でき、（３）外乱
に影響されない電流の検出が可能になるといった効果が
ある。
【図１】本発明の実施形態を示す構造。
【図２】本発明の他の実施形態を示す構造。
【図３】従来構造のオゾン生成装置の印加電圧および電
流波形。
流波形。
【図４】実施形態におけるオゾン生成装置の印加電圧お
よび電流波形。
よび電流波形。
【図５】本発明の他の実施形態を示す構造。
【図６】本発明の他の実施形態を示す構造。
【図７】本発明の他の実施形態を示す構造。
【図８】無声放電式オゾン生成装置。
【図９】インパルス式オゾナイザーの基本構造。
【図１０】パルス・パワー電源例。
【図１１】インパルス式オゾン生成装置の従来構造。
１１…接地側電極 １２…高電圧電極 １３…パルス・パワー電源 １４…電流端子 １５…ピーキングコンデンサ １６…電流監視用センサー １７…高電圧電極取り付け金具 １８…スペーサ
Claims (3)
- 【請求項１】 原料ガスが流れる空隙を挟んで対向配置
された接地側電極と高圧側電極間にパルス・パワー電源
からインパルス電圧を印加し、該空隙に生じる放電を電
気化学的に利用して原料ガスからオゾンを生成する装置
インパルス式オゾン生成装置において、 前記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間
にパルス電流ループを形成するピーキングコンデンサ
は、前記高圧側電極の電流端子と接地側電極の間に近接
配置した構造を特徴とするオゾン生成装置。 - 【請求項２】 前記電流ループのパルス電流を監視する
センサーを前記ピーキングコンデンサと接地側電極との
接続部に設けた構造を特徴とする請求項１に記載のオゾ
ン生成装置。 - 【請求項３】 原料ガスが流れる空隙を挟んで対向配置
された接地側電極と高圧側電極間にパルス・パワー電源
からインパルス電圧を印加し、該空隙に生じる放電を電
気化学的に利用して原料ガスからオゾンを生成する装置
インパルス式オゾン生成装置において、 前記パルス・パワー電源の出力段になり前記電極との間
にパルス電流ループを形成するピーキングコンデンサ
は、前記接地側電極内に前記高圧側電極を支持するスペ
ーサと兼用にした構造を特徴とするオゾン生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16362497A JPH1111910A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | オゾン生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16362497A JPH1111910A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | オゾン生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1111910A true JPH1111910A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15777475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16362497A Pending JPH1111910A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | オゾン生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1111910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002026622A1 (en) * | 2000-09-29 | 2002-04-04 | Smartultoms Co., Ltd. | Ozone generator |
-
1997
- 1997-06-20 JP JP16362497A patent/JPH1111910A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002026622A1 (en) * | 2000-09-29 | 2002-04-04 | Smartultoms Co., Ltd. | Ozone generator |
| US6730277B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-05-04 | Smart Air, Inc. | Ozone generator |
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