JPH11120613A

JPH11120613A - 光記録媒体

Info

Publication number: JPH11120613A
Application number: JP9276027A
Authority: JP
Inventors: Yuji Kuroda; 裕児黒田; Koichi Yasuda; 宏一保田; Yutaka Kasami; 裕笠見; Kotaro Kurokawa; 光太郎黒川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1997-10-08
Filing date: 1997-10-08
Publication date: 1999-04-30

Abstract

(57)【要約】【課題】相変化型記録膜を基板の表面形状を正確に反
映して形成し、且つ相変化型記録膜を特性良好に形成
し、情報の記録再生特性を良好とする。【解決手段】基板１上に、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを
０．４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７（重量％）以
下、Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量％）、Ｍｎを０．
１５（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜１．２（重量
％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５（重量％）、Ｚｎを
０．２５（重量％）以下、Ｔｉを０．１５（重量％）以
下の割合で含有する材料よりなる反射膜３を形成し、そ
の上に少なくとも相変化型記録膜４を形成し、さらに光
透過層５を積層形成する。なお、反射膜３上に誘電体膜
を介して相変化型記録膜４を形成し、この上に誘電体膜
を介して光透過層５を形成しても良い。また、基板１と
して反射膜３が形成される一主面１ａ側に案内溝２とい
った凹凸部が形成されたものを使用しても良い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の一主面側に
情報記録層を有し、その上に光透過層が形成されてお
り、上記光透過層側からレーザ光を照射して情報の記録
及び／又は再生を行う光記録媒体に関する。詳しくは、
反射膜形成材料の組成を規定することにより、優れた記
録再生特性が確保される光記録媒体に係わるものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、データ記録の分野においては光学
データ記録方式に関する研究が各所で進められている。
この光学データ記録方式は、非接触で記録・再生が行え
ること、磁気記録方式に比べて一桁以上も高い記録密度
が達成できること、再生専用型、追記型、書換可能型の
それぞれのメモリー形態に対応できる等の数々の利点を
有し、安価な大容量ファイルの実現を可能とする方式と
して産業用から民生用まで幅広い用途の考えられている
ものである。

【０００３】その中でも特に、再生専用型のメモリー形
態に対応した光ディスクであり、音楽データが記録され
たデジタルオーディオディスクや画像データが記録され
た光学式ビデオディスク等は広く普及している。

【０００４】上記デジタルオーディオディスク等の光デ
ィスクは、データ信号を示すピットやグルーブ等の凹凸
パターンが形成された厚さ１．２（ｍｍ）程度の透明基
板の凹凸パターンが形成された一主面上にアルミニウム
膜等の金属薄膜よりなる反射膜が形成されて記録層とな
され、さらにこの反射膜を大気中の水分，Ｏ₂から保護
するための保護膜が上記反射膜上に形成された構成とさ
れる。

【０００５】また、書換可能型のメモリー形態に対応し
たものとしては、光磁気ディスクや相変化型光ディスク
が挙げられる。

【０００６】例えば、上記書換可能型のメモリー形態に
対応した相変化型光ディスクは、以下に示すような構成
を有する。すなわち、透明基板の一主面上に窒化珪素等
よりなる透明誘電体膜が形成され、その上にカルコゲン
化合物等よりなる相変化記録膜が形成され、さらに窒化
珪素等の透明誘電体膜が形成されて記録層をなし、さら
にはアルミニウム膜等の反射膜が形成されている。そし
て、透明基板側から光を照射して光学的に情報の記録再
生を行う。

【０００７】さらに、最近では画像、音楽、コンピュー
タデータ等の多様なデータを記録するためのＤＶＤ（Ｄ
ｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ、以下、
ＤＶＤと称する。）も上市されている。このＤＶＤにお
いては、基板の厚さを０．６（ｍｍ）程度として短波長
の光学系に対応可能とするとともに高開口数化された光
学系に対応可能として高記録密度化するようにしてい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このような状況の中、
更なる次世代の光記録媒体として、特願平９−１０９６
６０号公報に示すような片面にＮＴＳＣ（Ｎａｔｉｏｎ
ａｌＴｅｌｅｖｉｓｉｏｎＳｙｓｔｅｍＣｏｍｍ
ｉｔｔｅｅ）方式で４時間記録再生が可能な光記録媒体
が提案されている。

【０００９】この光記録媒体においては、家庭用ビデオ
ディスクレコーダーとして４時間の記録再生を可能とす
ることにより、現在主流とされているビデオテープレコ
ーダー（ＶｉｄｅｏＴａｐｅＲｅｃｏｒｄｅｒ）に
代わる新しい記録媒体としての機能を備えることを目的
としている。また、この光記録媒体においては、音楽デ
ータが記録されたデジタルオーディオディスクと同じ形
状、サイズとすることにより、デジタルオーディオディ
スクの手軽さ、使い勝手に慣れ親しんだユーザーにとっ
て使いやすい製品とすることも考えられている。さら
に、この光記録媒体においては、形状をディスク状とす
ることにより、ディスク形状の最大の特徴であるアクセ
スの速さを利用し、小型、簡便な記録媒体というだけで
なく、瞬時の録画再生やトリックプレイや編集といった
多彩な機能を盛り込むことも考えられている。

【００１０】そこで、上記光記録媒体においては、この
ような多彩な機能を盛り込むべく、８（ＧＢ）以上の記
憶容量が要求されている。

【００１１】ところが、従来の光記録媒体の何れにおい
ても８（ＧＢ）の記憶容量は達成されていない。例え
ば、高記憶容量とされているＤＶＤにおいても、波長λ
が０．６５（μｍ）、光学系の開口数（以下、ＮＡと称
する。）が０．６とされて、４．７（ＧＢ）の記憶容量
しか確保されていない。

【００１２】例えば、ＥＣＣ（ＥｒｒｏｒＣｏｌｌｅ
ｃｔｉｏｎＣｏｄｅ）や変調方式といった信号フォー
マットをＤＶＤの方式としたままで、８（ＧＢ）以上の
記憶容量を確保するためには、下記式１を満たす必要が
ある。

【００１３】４．７×（０．６５／０．６０×ＮＡ／λ）² ≧８・・・（式１）そして、上記式１よりＮＡ／λ≧１．２０であることが
必要となる。すなわち、短波長化或いは高ＮＡ化が必要
となる。

【００１４】ここで、例えば高ＮＡ化すると、再生光が
照射されてこれが透過する部分の厚さを薄くする必要が
ある。これは、高ＮＡ化に伴い、光学ピックアップの光
軸に対してディスク面が垂直からズレる角度（チルト
角）により発生する収差の許容量が小さくなるためであ
り、このチルト角により発生する収差は再生光が透過す
る部分の厚さが厚いほど大きくなるためである。

【００１５】また、同様の理由から、再生光が透過する
部分の厚さのばらつきも所定の範囲内に収める必要があ
る。

【００１６】そこで、上記のような光記録媒体において
は、例えば基板の一主面上に凹凸部を形成し、その上に
反射膜を設けて記録層とし、さらにこの上に光を透過す
る薄膜である光透過層を設けるようにし、光透過層側か
ら再生光を照射して記録層のデータを再生するようにし
たり、基板の一主面上に反射膜を設け、その上に少なく
とも光磁気記録膜や相変化型記録膜を形成して記録層と
し、さらにこの上に光を透過する薄膜である光透過層を
設けるようにし、光透過層側から光を照射して記録層に
対してデータを記録及び再生するようにしている。この
ようにすれば、光透過層を薄型化していくことで光学系
の高ＮＡ化に対応可能である。

【００１７】例えば、光透過層の厚さｔを１０〜１７７
（μｍ）とし、光透過層の膜厚のばらつきをΔｔ（μ
ｍ）としたときに、光記録媒体に対し情報の再生及び／
又は記録を行う光学系のＮＡ、波長λ（μｍ）の間に下
記式２に示すような関係が成り立てば、記憶容量を８
（ＧＢ）とすることが可能であり、従来の記録再生装置
と同様の記録再生装置を使用して高記録容量化を図るこ
とが可能である。

【００１８】 Δｔ＝±５．２６（λ／ＮＡ⁴ ）・・・（式２）ところで、上述のような光記録媒体のうち、例えば相変
化型記録膜を有する光記録媒体を製造するには、例えば
一主面に情報再生用のピット列や情報の記録及び再生を
行うための光学系のスポット光を導くための案内溝とい
った凹凸部が形成された基板の上記一主面上に反射膜を
スパッタ法のような通常の真空薄膜形成手段により形成
する。そして、この上に例えば誘電体膜、相変化型記録
膜、誘電体膜を順次積層形成して記録層とし、その上に
光透過層を形成する。

【００１９】すなわち、上述のような光透過層を有する
光記録媒体においては、相変化型記録膜に基板の凹凸部
を正確に反映させるのが相対的に困難となり、情報の記
録再生特性が損なわれてしまう。

【００２０】一主面に凹凸部を有する透明基板の上記一
主面上に例えば誘電体膜、相変化型記録膜、誘電体膜が
順次積層形成されてなる記録層を設け、その上に反射膜
を設け、透明基板側から情報の記録及び／又は再生を行
う光を照射する前述のような光記録媒体においては、基
板と相変化型記録膜間には高々１００（ｎｍ）程度の厚
さの誘電体膜のみが介在する。このことから、相変化型
記録膜は、基板の凹凸部を正確に反映して形成される。

【００２１】ところが、光透過層を有する上述の光記録
媒体においては、基板の凹凸部が形成される一主面と相
変化型記録膜の間に反射膜と誘電体膜が介在することと
なり、これらの総厚が２００（ｎｍ）弱程度となること
から、相変化型記録膜に基板の凹凸部を正確に反映させ
るのが相対的に困難となる。

【００２２】さらに、上記光透過層を有する光記録媒体
においては、基板の表面性が反射膜の結晶性に影響を及
ぼし、上記反射膜の結晶性が相変化型記録膜の特性に影
響を及ぼし、情報の記録再生特性が損なわれてしまう。
また、反射膜の組成に依存する粒径により形成される界
面形状も相変化型記録膜の特性に影響を及ぼし、情報の
記録再生特性が損なわれてしまう。

【００２３】さらにまた、上記反射膜の結晶性や反射膜
の組成に依存する粒径により形成される界面形状は、相
変化型記録膜の表面形状にも影響し、当該相変化型記録
膜に基板の凹凸部を正確に反映させるのが更に困難とな
り、情報の記録再生特性が損なわれてしまう。

【００２４】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されるものであり、相変化型記録膜が基板の表面形状を
正確に反映して形成され、且つ相変化型記録膜が特性良
好に形成され、情報の記録再生特性が良好とされる光記
録媒体を提供しようとするものである。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光記録媒体は、厚さ０．３〜１．２
（ｍｍ）の基板上に反射膜が形成され、上記反射膜上に
少なくとも相変化型記録膜が形成され、その上に厚さ１
０〜１７７（μｍ）の光透過層が形成されてなる光記録
媒体であり、上記反射膜が、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを
０．４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７（重量％）以
下、Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量％）、Ｍｎを０．
１５（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜１．２（重量
％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５（重量％）、Ｚｎを
０．２５（重量％）以下、Ｔｉを０．１５（重量％）以
下の割合で含有する材料よりなることを特徴とするもの
である。

【００２６】上記本発明に係わる光記録媒体において
は、反射膜上に、誘電体膜を介して相変化型記録膜が形
成され、その上に誘電体膜を介して光透過層が形成され
ているのが好ましい。

【００２７】なお、本発明の光記録媒体においては、基
板の反射膜形成面側に凹凸部が形成されていても良い。

【００２８】本発明に係る光記録媒体においては、基板
上に、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを０．４〜０．８（重量
％）、Ｆｅを０．７（重量％）以下、Ｃｕを０．１５〜
０．４０（重量％）、Ｍｎを０．１５（重量％）以下、
Ｍｇを０．８〜１．２（重量％）、Ｃｒを０．０４〜
０．３５（重量％）、Ｚｎを０．２５（重量％）以下、
Ｔｉを０．１５（重量％）以下の割合で含有する材料よ
りなる反射膜を形成しており、表面性の良好な反射膜が
形成される。従って、この上に少なくとも相変化型記録
膜を積層形成した場合に、相変化型記録膜は反射膜の結
晶性や反射膜の組成に依存する粒径により形成される界
面形状の影響を受け難く、基板の表面形状を正確に反映
すると共に特性良好に形成される。

【００２９】また、反射膜上に、誘電体膜を介して相変
化型記録膜を形成した場合においても同様であり、上記
相変化型記録膜は、基板の表面形状を正確に反映すると
共に特性良好に形成される。

【００３０】なお、上記本発明の光記録媒体において、
基板として反射膜形成面側に凹凸部が形成されたものを
使用した場合においても、反射膜を上記のような組成と
して表面性を良好としていることから、相変化型記録膜
は反射膜の結晶性や反射膜の組成に依存する粒径により
形成される界面形状の影響を受け難く、基板の凹凸部を
有する表面形状を正確に反映して形成される。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。なお、ここでは本発明をディ
スク状の記録媒体に適用した例を示すが、本発明はこの
ような構造に限定されるものではなく、カード状、シー
ト状といった記録媒体にも適用可能である。

【００３２】本例の光記録媒体は、図１に示すように、
基板１の一主面１ａ上に、反射膜３、相変化型記録膜
４、光透過層５が順次積層形成されてなるものである。

【００３３】上記基板１は、ガラスやプラスチック等よ
りなり、厚さが０．３〜１．２（ｍｍ）であり、一主面
１ａ側に情報再生用のピット列或いは情報の記録再生を
行うための光学スポットを導く目的で設けられる案内溝
といった凹凸部（ここでは案内溝２のみを示す。）を有
するものである。そして、案内溝２のトラックピッチを
Ｐ、基板１のスキューをΘ、光記録媒体の情報を再生又
は記録再生する光学ピックアップの開口数をＮＡ、その
光源波長をλ、後述の光透過層５の厚さをｔとすると、
下記式（３）〜（６）の関係を満足して８（ＧＢ）の記
録容量を達成している。

【００３４】Ｐ≦０．６４（μｍ）・・・（式３） Θ≦±８４．１１５（λ／ＮＡ³ ／ｔ）・・・（式４） λ≦０．６４（μｍ）・・・（式５）ＮＡ／λ≧１．２０・・・（式６）そして、本例の光記録媒体においては特に、上記基板１
の案内溝２が形成される一主面１ａ上に反射膜３を形成
するようにしており、この反射膜３はＡｌを主成分と
し、Ｓｉを０．４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７
（重量％）以下、Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量
％）、Ｍｎを０．１５（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜
１．２（重量％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５（重量
％）、Ｚｎを０．２５（重量％）以下、Ｔｉを０．１５
（重量％）以下の割合で含有する材料よりなる厚さ５０
〜２００（ｎｍ）の薄膜として形成されている。上記材
料により基板１上に反射膜３を形成する方法としては、
イオンビームスパッタ法、ＤＣスパッタ法、ＲＦスパッ
タ法といった手法が挙げられるが、イオンビームスパッ
タ法が好ましく例示される。

【００３５】上記相変化型記録膜４はカルコゲン化合物
或いは単体のカルコゲンよりなる厚さ１０〜３０（ｎ
ｍ）の薄膜として形成されている。

【００３６】また、上記光透過層５はこの種の光記録媒
体の光透過層と同様に形成すれば良い。ただし、本例の
光記録媒体においては、上記光透過層５の厚さをｔ、光
透過層の厚さのばらつきをΔｔとしたときに、下記式
（７）及び式（８）を満足するように光透過層５が形成
されている。

【００３７】１０（μｍ）≦ｔ≦１７７（μｍ）・・・式（７） Δｔ≦±５．２６（λ／ＮＡ⁴ ）・・・式（８）すなわち、本例の光記録媒体においては、基板上１に、
Ａｌを主成分とし、Ｓｉを０．４〜０．８（重量％）、
Ｆｅを０．７（重量％）以下、Ｃｕを０．１５〜０．４
０（重量％）、Ｍｎを０．１５（重量％）以下、Ｍｇを
０．８〜１．２（重量％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５
（重量％）、Ｚｎを０．２５（重量％）以下、Ｔｉを
０．１５（重量％）以下の割合で含有する材料よりなる
反射膜３を形成しており、表面性の良好な反射膜３が形
成される。従って、この上に積層形成される相変化型記
録膜４は、反射膜３の結晶性や反射膜３の組成に依存す
る粒径により形成される界面形状の影響を受け難く、基
板１の表面形状を正確に反映すると共に特性良好に形成
される。

【００３８】なお、上記本例の光記録媒体においては、
基板１として反射膜３が積層形成される一主面１ａに案
内溝２といった凹凸部が形成されているものを使用して
いるが、反射膜３を上記のような組成として表面性を良
好としていることから、相変化型記録膜４は、基板の案
内溝２といった凹凸部を有する表面形状を正確に反映し
て形成される。

【００３９】本発明に係わる光記録媒体としては、図２
に示すようなものも挙げられる。すなわち、先に図１に
示した光記録媒体と略同様の構成を有し、基板１１の一
主面１１ａ上に反射膜１３が形成され、その上に第１の
誘電体層１６を介して相変化型記録膜１４が形成され、
さらにその上に第２の誘電体層１７を介して光透過層１
５が積層形成されてなるものである。

【００４０】上記基板１１は、先に図１に示した光記録
媒体の基板１と同様に、ガラスや樹脂等よりなる厚さが
０．３〜１．２（ｍｍ）の基板であり、一主面１ａ側に
情報再生用のピット列或いは情報の記録再生を行うため
の光学スポットを導く目的で設けられる案内溝といった
凹凸部（ここでは案内溝１２のみを示す。）を有するも
のである。そして、この基板１１においても、基板１と
同様に上記式（３）〜（６）の関係を満足して８（Ｇ
Ｂ）の記録容量を達成している。

【００４１】また、反射膜１３も先に図１に示した光記
録媒体の反射膜３と同様で、基板１１の案内溝１２が形
成される一主面１１ａ上に、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを
０．４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７（重量％）以
下、Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量％）、Ｍｎを０．
１５（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜１．２（重量
％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５（重量％）、Ｚｎを
０．２５（重量％）以下、Ｔｉを０．１５（重量％）以
下の割合で含有する材料よりなる厚さ５０〜２００（ｎ
ｍ）の薄膜として形成されている。上記材料により基板
１１上に反射膜１３を形成する方法としては、イオンビ
ームスパッタ法、ＤＣスパッタ法、ＲＦスパッタ法とい
った手法が挙げられるが、イオンビームスパッタ法が好
ましく例示される。

【００４２】さらに、上記相変化型記録膜１４も先に図
１に示した光記録媒体の相変化型記録膜４と同様に、カ
ルコゲン化合物或いは単体のカルコゲンよりなる厚さ１
０〜３０（ｎｍ）の薄膜として形成されている。

【００４３】さらにまた、上記光透過層１５も先に図１
に示した光記録媒体の光透過層５と同様に、この種の光
記録媒体の光透過層と同様に形成すれば良い。なお、本
例の光記録媒体においても、上記光透過層１５の厚さを
ｔ、光透過層の厚さのばらつきをΔｔとしたときに、上
記式（７）及び式（８）を満足するように光透過層１５
が形成されている。

【００４４】そして、本例の光記録媒体においては、反
射膜１３と相変化型記録膜１４の間に第１の誘電体層１
６を介在させているが、この第１の誘電体層１６は、Ａ
ｌ，Ｓｉ，Ｚｎ等の金属及び半金属元素の窒化物、酸化
物、硫化物及びこれらの混合物よりなる厚さ１０〜３０
（ｎｍ）の薄膜として形成されている。

【００４５】また、本例の光記録媒体においては、相変
化型記録膜１４と光透過層１５の間に第２の誘電体層１
７を介在させているが、この第２の誘電体層１７は、Ａ
ｌ，Ｓｉ，Ｚｎ等の金属及び半金属元素の窒化物、酸化
物、硫化物及びこれらの混合物よりなる厚さ５０〜２０
０（ｎｍ）の薄膜として形成されている。

【００４６】本例の光記録媒体においても、先に挙げた
光記録媒体と同様に、基板上１１に、Ａｌを主成分と
し、Ｓｉを０．４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７
（重量％）以下、Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量
％）、Ｍｎを０．１５（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜
１．２（重量％）、Ｃｒを０．０４〜０．３５（重量
％）、Ｚｎを０．２５（重量％）以下、Ｔｉを０．１５
（重量％）以下の割合で含有する材料よりなる反射膜１
３を形成しており、表面性の良好な反射膜１３が形成さ
れる。そして、この上に第１の誘電体層１６を介在させ
て相変化型記録膜１４を積層形成しても、当該相変化型
記録膜１４は反射膜１３の結晶性や反射膜１３の組成に
依存する粒径により形成される界面形状の影響を受け難
く、基板１１の表面形状を正確に反映すると共に特性良
好に形成される。

【００４７】なお、上記本例の光記録媒体においても、
先に挙げた光記録媒体と同様に、基板１１として反射膜
１３が積層形成される一主面１１ａに案内溝１２といっ
た凹凸部が形成されているものを使用しているが、反射
膜１３を上記のような組成として表面性を良好としてい
ることから、相変化型記録膜１４は、基板の案内溝１２
といった凹凸部を有する表面形状を正確に反映して形成
される。

【００４８】従って、これまでに例示した光記録媒体に
おいては、相変化型記録膜４，１４が基板１，１１の表
面形状を正確に反映して形成され、且つ相変化型記録膜
４，１４が特性良好に形成されることから、情報の記録
再生特性が良好となる。

【００４９】

【実施例】次に、本発明の効果を確認するべく、以下に
示すような実験を行った。

【００５０】先ず、先に図２に示したような構成のディ
スク状の光記録媒体を製造した。すなわち、一主面にト
ラックピッチが１．０（μｍ）で幅が０．５（μｍ）の
案内溝が形成される厚さ１．２（ｍｍ）のポリカーボネ
ートよりなる基板の上記一主面上にＡｌ合金よりなる反
射膜をイオンビームスパッタ（ＩＢＳ）により形成し
た。なお、上記Ａｌ合金としては、Ａｌを主成分とし、
Ｓｉを０．６（重量％）、Ｆｅを０．３（重量％）、Ｃ
ｕを０．３（重量％）、Ｍｎを０．０５（重量％）、Ｍ
ｇを１．０（重量％）、Ｃｒを０．２（重量％）、Ｚｎ
を０．０５（重量％）、Ｔｉを０．０３（重量％）の割
合で含む合金を使用した。

【００５１】次に、上記反射膜上に第１の誘電体層とし
てＺｎＳとＳｉＯ₂ の混合物よりなる厚さ１０〜３０
（ｎｍ）の薄膜を形成し、その上に相変化型記録膜とし
てＧｅＳｂＴｅよりなる厚さ１０〜３０（ｎｍ）の薄膜
を積層形成した。さらに、この上に第２の誘電体層とし
てＺｎＳとＳｉＯ₂ の混合物よりなる厚さ５０〜２００
（ｎｍ）の薄膜を形成し、紫外線硬化型樹脂よりなり厚
さ１００（μｍ）の光透過層を積層形成し、案内溝の底
面に対応する部分に情報の記録（グルーブ記録）を行
い、実施サンプル１とした。

【００５２】また、隣り合う案内溝間に対応する部分に
情報の記録（ランド記録）を行う以外は、実施サンプル
１と同様である光記録媒体を製造し、実施サンプル２と
した。

【００５３】さらに、比較のために、反射膜として従来
の光記録媒体のように、アルミニウムを主体としてチタ
ンを１．５（重量％）の割合で含むＡｌ−Ｔｉ合金（以
下、Ａｌ−Ｔｉ（１．５ｗｔ％）と称する。）よりなる
薄膜をＤＣスパッタ法により形成する以外は、実施サン
プル１と同様である光記録媒体を製造し、比較サンプル
１とした。

【００５４】さらにまた、隣り合う案内溝間に対応する
部分に情報の記録（ランド記録）を行う以外は、比較サ
ンプル１と同様である光記録媒体を製造し、比較サンプ
ル２とした。

【００５５】そして、先ず、実施サンプル１及び比較サ
ンプル１の反射膜の表面粗さを走査型トンネル顕微鏡で
測定した。結果を図３に示す。図３中横軸は基板の中心
からの距離を示し、縦軸は反射膜表面の基板表面からの
高さを示し、実線は実施サンプル１の結果、破線は比較
サンプル１の結果を示す。図３の結果を見てわかるよう
に、従来の光記録媒体と同様にして反射膜が形成されて
いる比較サンプル１においては、反射膜の表面粗さが±
７（ｎｍ）以上とされているのに対し、本発明を適用し
た実施サンプル１においては、反射膜の表面粗さが±３
（ｎｍ）の範囲内とされており、本発明を適用すること
で、表面性の良好な反射膜が形成されることが確認され
た。

【００５６】また、実施サンプル１，２及び比較サンプ
ル１，２に対して繰り返し情報の書き換えを行い、書き
換え回数に対するジッターの変化を調査した。結果を図
４に示す。図４中横軸は書き換え回数を示し、縦軸はジ
ッターを示す。また、●は実施サンプル１の結果を示
し、○は実施サンプル２の結果を示し、×は比較サンプ
ル１の結果を示し、△は比較サンプル２の結果を示す。
図４の結果を見てわかるように、従来の光記録媒体と同
様にして反射膜が形成されている比較サンプル１，２に
おいて書き換え回数が１０００回を越えるとジッターが
１５（％）を越えてしまうのに対し、本発明を適用した
実施サンプル１，２においては書き換え回数が１０００
０回あたりではジッターが１５（％）以下に抑えられて
おり、書き換え耐久性に優れていることが確認された。
またこのことから、本発明を適用した実施サンプル１，
２においては書き換え可能回数として１００００回以上
を保証することが可能である。

【００５７】さらにまた、上記実施サンプル１と比較サ
ンプル１において５００（ｋＨｚ）におけるディスクノ
イズを測定したところ、実施サンプル１のディスクノイ
ズの方が比較サンプル１のディスクノイズよりも４．５
（ｄＢ）低かった。

【００５８】これらことから、本発明を適用した光記録
媒体においては、相変化型記録膜が基板の表面形状を正
確に反映して形成され、且つ相変化型記録膜が特性良好
に形成され、情報の記録再生特性が良好となることが確
認された。

【００５９】

【発明の効果】上述のように、本発明に係る光記録媒体
においては、基板上に、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを０．
４〜０．８（重量％）、Ｆｅを０．７（重量％）以下、
Ｃｕを０．１５〜０．４０（重量％）、Ｍｎを０．１５
（重量％）以下、Ｍｇを０．８〜１．２（重量％）、Ｃ
ｒを０．０４〜０．３５（重量％）、Ｚｎを０．２５
（重量％）以下、Ｔｉを０．１５（重量％）以下の割合
で含有する材料よりなる反射膜を形成しており、表面性
の良好な反射膜が形成される。従って、この上に少なく
とも相変化型記録膜を積層形成した場合に、相変化型記
録膜は反射膜の結晶性や反射膜の組成に依存する粒径に
より形成される界面形状の影響を受け難く、基板の表面
形状を正確に反映すると共に特性良好に形成される。

【００６０】また、反射膜上に、誘電体膜を介して相変
化型記録膜を形成した場合においても同様であり、上記
相変化型記録膜は、基板の表面形状を正確に反映すると
共に特性良好に形成される。

【００６１】なお、上記本発明の光記録媒体において、
基板として反射膜形成面側に凹凸部が形成されたものを
使用した場合においても、反射膜を上記のような組成と
して表面性を良好としていることから、相変化型記録膜
は反射膜の結晶性や反射膜の組成に依存する粒径により
形成される界面形状の影響を受け難く、基板の凹凸部を
有する表面形状を正確に反映して形成される。

【００６２】すなわち、本発明は、情報の記録再生特性
が良好な光記録媒体を提供することができるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光記録媒体の一例の構成を示す要
部概略断面図である。

【図２】本発明に係る光記録媒体の他の例の構成を示す
要部概略断面図である。

【図３】基板の中心からの距離と反射膜表面の基板表面
からの高さの関係を示す特性図である。

【図４】書き換え回数とジッターの関係を示す特性図で
ある。

【符号の説明】

１，１１基板、１ａ，１１ａ一主面、２，１２案
内溝、３，１３反射膜、４，１４相変化型記録膜、
５，１５光透過層、１６第１の誘電体層、１７第
２の誘電体層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者黒川光太郎東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】厚さ０．３〜１．２（ｍｍ）の基板上に
反射膜が形成され、上記反射膜上に少なくとも相変化型
記録膜が形成され、その上に厚さ１０〜１７７（μｍ）
の光透過層が形成されてなる光記録媒体において、上記反射膜が、Ａｌを主成分とし、Ｓｉを０．４〜０．
８（重量％）、Ｆｅを０．７（重量％）以下、Ｃｕを
０．１５〜０．４０（重量％）、Ｍｎを０．１５（重量
％）以下、Ｍｇを０．８〜１．２（重量％）、Ｃｒを
０．０４〜０．３５（重量％）、Ｚｎを０．２５（重量
％）以下、Ｔｉを０．１５（重量％）以下の割合で含有
する材料よりなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】上記反射膜上に、誘電体膜を介して相変
化型記録膜が形成され、その上に誘電体膜を介して光透
過層が形成されていることを特徴とする請求項１記載の
光記録媒体。
【請求項３】上記基板の反射膜形成面側に凹凸部が形
成されていることを特徴とする請求項１記載の光記録媒
体。