JPH11123649A - ワイヤーソー用多溝ローラ - Google Patents
ワイヤーソー用多溝ローラInfo
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- JPH11123649A JPH11123649A JP29394597A JP29394597A JPH11123649A JP H11123649 A JPH11123649 A JP H11123649A JP 29394597 A JP29394597 A JP 29394597A JP 29394597 A JP29394597 A JP 29394597A JP H11123649 A JPH11123649 A JP H11123649A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
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- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 経済性と耐久性に優れたワイヤーソー用
多溝ローラの提供。 【解決手段】 ワイヤソーに用いられる多溝ローラであ
って、本体部とその端部とからなり、該本体部と端部の
表面にはワイヤーが巻装される溝が設けられており、該
端部と本体部が分離自在に一体形成されていることを特
徴とするワイヤーソー用多溝ローラ。
多溝ローラの提供。 【解決手段】 ワイヤソーに用いられる多溝ローラであ
って、本体部とその端部とからなり、該本体部と端部の
表面にはワイヤーが巻装される溝が設けられており、該
端部と本体部が分離自在に一体形成されていることを特
徴とするワイヤーソー用多溝ローラ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物に砥粒の
存在下でワイヤーを摺動させて溝入れや切断などの加工
を行うワイヤーソーに用いられる多溝ローラに関する。
存在下でワイヤーを摺動させて溝入れや切断などの加工
を行うワイヤーソーに用いられる多溝ローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウエハーなどの半導体材料の精
密切断やセラミックス材料の加工などにワイヤーソーが
用いられている。このワイヤーソー１０の基本構成は、
図１に示すように、細いピアノ線等からなるワイヤー１
１が複数の多溝ローラ１の間に所定の張力を保って一方
向もしくは往復動自在に支持されており、このワイヤー
１１をシリコン、磁性材料、水晶などの被加工物１２に
押し当て、砥粒を含んだラッピングオイルの存在下で摺
動して溝入れや切断の加工を行う。上記多溝ローラ１に
はワイヤーを往復動させるドライブローラ(A)や被加工
物に対してワイヤーを支持するヘッドローラ(B)(C)等が
含まれ、いずれのローラにも、その外周面にはワイヤー
を装入して案内する多数の溝が設けられており、被加工
物は溝のピッチに応じて加工される。
密切断やセラミックス材料の加工などにワイヤーソーが
用いられている。このワイヤーソー１０の基本構成は、
図１に示すように、細いピアノ線等からなるワイヤー１
１が複数の多溝ローラ１の間に所定の張力を保って一方
向もしくは往復動自在に支持されており、このワイヤー
１１をシリコン、磁性材料、水晶などの被加工物１２に
押し当て、砥粒を含んだラッピングオイルの存在下で摺
動して溝入れや切断の加工を行う。上記多溝ローラ１に
はワイヤーを往復動させるドライブローラ(A)や被加工
物に対してワイヤーを支持するヘッドローラ(B)(C)等が
含まれ、いずれのローラにも、その外周面にはワイヤー
を装入して案内する多数の溝が設けられており、被加工
物は溝のピッチに応じて加工される。
【０００３】ところで、従来の多溝ローラはナイロンや
ウレタン等の樹脂によって形成されているものが多いた
めにワイヤーによる溝部分の摩耗が激しく、特に、その
両端部における溝部分の摩耗が激しいために、ローラの
中央部は十分使用可能な状態であってもローラ端部の摩
耗により全体としての加工精度が低下し、そのために多
溝ローラ全体の交換を余儀なくされている。
ウレタン等の樹脂によって形成されているものが多いた
めにワイヤーによる溝部分の摩耗が激しく、特に、その
両端部における溝部分の摩耗が激しいために、ローラの
中央部は十分使用可能な状態であってもローラ端部の摩
耗により全体としての加工精度が低下し、そのために多
溝ローラ全体の交換を余儀なくされている。
【０００４】多溝ローラについて摩耗量の具体例を図５
(a)〜(c)に示す。同図のグラフは、樹脂製多溝ローラに
ついて、使用開始から４時間後および２０時間後の溝部
分の摩耗量を示したものである。なお、図５(a)はドラ
イブローラ、(b)(c)はヘッドローラについての測定結果
である。４時間後の摩耗量はあまり大きくないが、２０
時間後には、同図に示すように、いずれのローラにおい
ても、中央部全体に対して両側端部の摩耗量が大きく、
さらにヘッドローラは一方の片側端部が著しく摩耗され
ている。
(a)〜(c)に示す。同図のグラフは、樹脂製多溝ローラに
ついて、使用開始から４時間後および２０時間後の溝部
分の摩耗量を示したものである。なお、図５(a)はドラ
イブローラ、(b)(c)はヘッドローラについての測定結果
である。４時間後の摩耗量はあまり大きくないが、２０
時間後には、同図に示すように、いずれのローラにおい
ても、中央部全体に対して両側端部の摩耗量が大きく、
さらにヘッドローラは一方の片側端部が著しく摩耗され
ている。
【０００５】このようにローラ端部の摩耗量が大きい理
由は、ローラの端部はワイヤーの張力を直に受け、特に
ローラの反転時には大きな張力が端部に加わるのに対し
て、ローラの中央部には端部によって緩和された張力が
加わるためであると考えられる。
由は、ローラの端部はワイヤーの張力を直に受け、特に
ローラの反転時には大きな張力が端部に加わるのに対し
て、ローラの中央部には端部によって緩和された張力が
加わるためであると考えられる。
【０００６】
【発明の解決課題】本発明は、従来の多溝ローラにおけ
る上記問題を解決したものであって、ローラ端部の摩耗
が中央部よりも激しいことを見い出し、この端部を交換
可能に形成することにより、経済性に優れたワイヤーソ
ー用多溝ローラを完成させたものである。
る上記問題を解決したものであって、ローラ端部の摩耗
が中央部よりも激しいことを見い出し、この端部を交換
可能に形成することにより、経済性に優れたワイヤーソ
ー用多溝ローラを完成させたものである。
【０００７】
【課題を解決する手段】即ち、本発明によれば、(１)ワ
イヤソーに用いられる多溝ローラであって、本体部とそ
の端部とからなり、該本体部と端部の表面にはワイヤー
が巻装される溝が設けられており、該端部と本体部が分
離自在に一体形成されていることを特徴とするワイヤー
ソー用多溝ローラが提供される。
イヤソーに用いられる多溝ローラであって、本体部とそ
の端部とからなり、該本体部と端部の表面にはワイヤー
が巻装される溝が設けられており、該端部と本体部が分
離自在に一体形成されていることを特徴とするワイヤー
ソー用多溝ローラが提供される。
【０００８】本発明に係る上記多溝ローラは、(２)ロー
ラの両端部が着脱自在に形成されている多溝ローラ、
(３)ローラの端部が本体部にネジ止めないし嵌着される
ことにより本体部と着脱自在に一体形成されているワイ
ヤーソー用多溝ローラ、(４)ローラ本体部と着脱自在な
ローラ端部が異なった材質によって形成されているワイ
ヤーソー用多溝ローラ、(５)ローラ本体部の少なくとも
ワイヤー溝の部分がセラミックスであり、かつローラ端
部が樹脂であるワイヤーソー用多溝ローラ、(６)ローラ
本体部の少なくともワイヤー溝の部分が樹脂であり、か
つローラ端部がセラミックスであるワイヤーソー用多溝
ローラ、(７)ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の部
分がセラミックスからなる材質であり、かつローラ端部
がワイヤー溝部分の材質よりも高硬度の材質からなるワ
イヤーソー用多溝ローラを含む。
ラの両端部が着脱自在に形成されている多溝ローラ、
(３)ローラの端部が本体部にネジ止めないし嵌着される
ことにより本体部と着脱自在に一体形成されているワイ
ヤーソー用多溝ローラ、(４)ローラ本体部と着脱自在な
ローラ端部が異なった材質によって形成されているワイ
ヤーソー用多溝ローラ、(５)ローラ本体部の少なくとも
ワイヤー溝の部分がセラミックスであり、かつローラ端
部が樹脂であるワイヤーソー用多溝ローラ、(６)ローラ
本体部の少なくともワイヤー溝の部分が樹脂であり、か
つローラ端部がセラミックスであるワイヤーソー用多溝
ローラ、(７)ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の部
分がセラミックスからなる材質であり、かつローラ端部
がワイヤー溝部分の材質よりも高硬度の材質からなるワ
イヤーソー用多溝ローラを含む。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明を図面に示す構成例
を参照して詳しく説明する。図２、図３は本発明に係る
多溝ローラを示す概略斜視図であり、図２はローラの本
体部と端部とが一体に形成された状態を示し、図３は両
端部を本体部から外した状態を各々示す。図４(ａ)〜
(ｃ)はローラの端部と本体部との取付状態の例を示す概
略斜視図である。
を参照して詳しく説明する。図２、図３は本発明に係る
多溝ローラを示す概略斜視図であり、図２はローラの本
体部と端部とが一体に形成された状態を示し、図３は両
端部を本体部から外した状態を各々示す。図４(ａ)〜
(ｃ)はローラの端部と本体部との取付状態の例を示す概
略斜視図である。
【００１０】図２、図３に示すように、本発明の多溝ロ
ーラ１は、本体部２とその端部３とから形成されてい
る。円柱状の該本体部２と端部３の外周表面にはワイヤ
ーが巻装される多数の溝(ワイヤー溝)５が設けられてお
り、かつ該端部３と本体部２とが分離自在に一体形成さ
れており、該端部３が容易に本体部３から取外して交換
できるように形成されている。図３に示すように、好ま
しくは、多溝ローラ１の両側の端部３ａ,３ｂが着脱自
在に形成されている。
ーラ１は、本体部２とその端部３とから形成されてい
る。円柱状の該本体部２と端部３の外周表面にはワイヤ
ーが巻装される多数の溝(ワイヤー溝)５が設けられてお
り、かつ該端部３と本体部２とが分離自在に一体形成さ
れており、該端部３が容易に本体部３から取外して交換
できるように形成されている。図３に示すように、好ま
しくは、多溝ローラ１の両側の端部３ａ,３ｂが着脱自
在に形成されている。
【００１１】図４(ａ)〜(ｃ)は、多溝ローラ１の本体部
２と端部３を分離自在に一体形成する構成例である。同
図(ａ)は、本体部２の側端から突出す回転軸４にローラ
端部３を同軸に嵌着し、ネジ７により該端部３を本体部
２にネジ止めする例であり、同図(ｂ)は回転軸４を有す
る端部３を本体部２に軸合わせしてネジ止めする例であ
る。また、同図(ｃ)は端部３を本体部２の回転軸４に同
軸に嵌着してピン８により固定した例である。なお、こ
の場合、端部３が回転軸上で滑り回りしないように、回
転軸まわりに突起ないし溝部を形成し、あるいは回転軸
４の断面を角形に形成し、端部３の差込孔を回転軸４の
断面形状と同形にして互いに噛み合うように形成すると
良い。図示する何れの場合も、ネジ７ないしピン８を外
して端部３を本体部２から取り外すことができる。
２と端部３を分離自在に一体形成する構成例である。同
図(ａ)は、本体部２の側端から突出す回転軸４にローラ
端部３を同軸に嵌着し、ネジ７により該端部３を本体部
２にネジ止めする例であり、同図(ｂ)は回転軸４を有す
る端部３を本体部２に軸合わせしてネジ止めする例であ
る。また、同図(ｃ)は端部３を本体部２の回転軸４に同
軸に嵌着してピン８により固定した例である。なお、こ
の場合、端部３が回転軸上で滑り回りしないように、回
転軸まわりに突起ないし溝部を形成し、あるいは回転軸
４の断面を角形に形成し、端部３の差込孔を回転軸４の
断面形状と同形にして互いに噛み合うように形成すると
良い。図示する何れの場合も、ネジ７ないしピン８を外
して端部３を本体部２から取り外すことができる。
【００１２】本発明の上記多溝ローラの本体部２および
端部３の材質は限定されず、金属、樹脂、セラミックス
などを用いることができる。セラミックスの種類は限定
されず、例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒
化珪素、サーメット、サファイアなどを用いることがで
きる。また、セラミックス、金属、樹脂などを複合して
用いても良い。
端部３の材質は限定されず、金属、樹脂、セラミックス
などを用いることができる。セラミックスの種類は限定
されず、例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒
化珪素、サーメット、サファイアなどを用いることがで
きる。また、セラミックス、金属、樹脂などを複合して
用いても良い。
【００１３】本発明の多溝ローラは本体部２と端部３を
同一の材質によって形成しても良いが、ローラ本体部２
と端部３とを分離自在に形成する本発明の特徴を利用し
て、本体部２と端部３とを異なった材質によって形成す
ることにより、耐久性と経済性および加工精度に優れた
多溝ローラを得ることができる。
同一の材質によって形成しても良いが、ローラ本体部２
と端部３とを分離自在に形成する本発明の特徴を利用し
て、本体部２と端部３とを異なった材質によって形成す
ることにより、耐久性と経済性および加工精度に優れた
多溝ローラを得ることができる。
【００１４】ローラ全体を樹脂によって製造すれば安価
であるが溝部分の摩耗が激しく耐久性が乏しいために加
工精度が低下する。ところが、本発明に従い、ローラの
本体部と端部とを分離自在に形成すれば、摩耗の激しい
端部を本体部から取り外して交換することができ、多溝
ローラの寿命を高めることができる。また、ローラの溝
部分全体をセラミックスで製造すれば摩耗し難く耐久性
は向上するが高価である。そこで、本発明に従い、例え
ば、本体部の少なくとも溝部分をセラミックスによって
形成することにより加工精度と耐久性を高め、摩耗が激
しい端部を樹脂によって形成すれば、摩耗した端部を随
時取り替えて本体部を継続して使用することができ、経
済性の高いローラを得ることができる。あるいは、比較
的摩耗の少ない本体部を樹脂によって形成し、摩耗の激
しい端部を耐久性に優れたセラミックスによって形成す
ることにより、ローラ全体の耐久性を高めることができ
る。また、ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の部分
をセラミックスからなる材質とし、かつローラ端部をワ
イヤー溝部分の材質よりも高硬度、即ち耐摩耗性の高い
材質によって形成することにより多溝ローラの耐久性を
更に高めることができる。
であるが溝部分の摩耗が激しく耐久性が乏しいために加
工精度が低下する。ところが、本発明に従い、ローラの
本体部と端部とを分離自在に形成すれば、摩耗の激しい
端部を本体部から取り外して交換することができ、多溝
ローラの寿命を高めることができる。また、ローラの溝
部分全体をセラミックスで製造すれば摩耗し難く耐久性
は向上するが高価である。そこで、本発明に従い、例え
ば、本体部の少なくとも溝部分をセラミックスによって
形成することにより加工精度と耐久性を高め、摩耗が激
しい端部を樹脂によって形成すれば、摩耗した端部を随
時取り替えて本体部を継続して使用することができ、経
済性の高いローラを得ることができる。あるいは、比較
的摩耗の少ない本体部を樹脂によって形成し、摩耗の激
しい端部を耐久性に優れたセラミックスによって形成す
ることにより、ローラ全体の耐久性を高めることができ
る。また、ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の部分
をセラミックスからなる材質とし、かつローラ端部をワ
イヤー溝部分の材質よりも高硬度、即ち耐摩耗性の高い
材質によって形成することにより多溝ローラの耐久性を
更に高めることができる。
【００１５】本発明の上記多溝ローラにおいて、端部お
よび本体部の外周表面に設けられているワイヤー溝の溝
幅や溝の深さ、本数ないしピッチ等は限定されない。ま
た、端部と本体部とで溝の幅や深さ、ピッチなどが異な
るものでも良い。さらに、本発明の多溝ローラは、ワイ
ヤーソー装置において、全てのローラに適用しても良
く、或いは部分的に用いても良い。
よび本体部の外周表面に設けられているワイヤー溝の溝
幅や溝の深さ、本数ないしピッチ等は限定されない。ま
た、端部と本体部とで溝の幅や深さ、ピッチなどが異な
るものでも良い。さらに、本発明の多溝ローラは、ワイ
ヤーソー装置において、全てのローラに適用しても良
く、或いは部分的に用いても良い。
【００１６】
【発明の効果】本発明のワイヤーソー用多溝ローラは、
ローラの本体部とその端部が分離自在に形成されてい
る。従って、摩耗の激しい端部を本体部から取り外して
新しいものと交換し、摩耗の少ない本体部は引き続いて
使用することができ、多溝ローラ全体の経済性ないし耐
久性(寿命)を高めることができる。また、ローラの端部
と本体部とが分離自在であるので、これらを異なった材
質で形成することができ、使用条件に応じた材質によっ
て形成されたものを用いることにより、経済性および耐
久性を更に向上することができる。
ローラの本体部とその端部が分離自在に形成されてい
る。従って、摩耗の激しい端部を本体部から取り外して
新しいものと交換し、摩耗の少ない本体部は引き続いて
使用することができ、多溝ローラ全体の経済性ないし耐
久性(寿命)を高めることができる。また、ローラの端部
と本体部とが分離自在であるので、これらを異なった材
質で形成することができ、使用条件に応じた材質によっ
て形成されたものを用いることにより、経済性および耐
久性を更に向上することができる。
【図１】 ワイヤーソーの基本構成を示す概念図。
【図２】 本発明の多溝ローラの概略を示す外観斜視図
【図３】 本発明の多溝ローラの両端部を外した状態を
示す概略斜視図
示す概略斜視図
【図４】(ａ)(ｂ)(ｃ) 本発明に係る多溝ローラの本体
部と端部の取付状態を示す概略斜視図。
部と端部の取付状態を示す概略斜視図。
【図５】(ａ)(ｂ)(ｃ) 多溝ローラＡ〜Ｃの溝部分の摩
耗量を示すグラフ。
耗量を示すグラフ。
１−多溝ローラ、２−ローラの本体部、３,３a,３b−ロ
ーラの端部、４−回転軸、５−ワイヤー溝、１０−ワイ
ヤーソー、１１−ワイヤー、１２−被加工物、Ａ−ドラ
イブローラ、Ｂ，Ｃ−ヘッドローラ
ーラの端部、４−回転軸、５−ワイヤー溝、１０−ワイ
ヤーソー、１１−ワイヤー、１２−被加工物、Ａ−ドラ
イブローラ、Ｂ，Ｃ−ヘッドローラ
Claims (7)
- 【請求項１】 ワイヤソーに用いられる多溝ローラであ
って、本体部とその端部とからなり、該本体部と端部の
表面にはワイヤーが巻装される溝が設けられており、該
端部と本体部が分離自在に一体形成されていることを特
徴とするワイヤーソー用多溝ローラ。 - 【請求項２】 ローラの両端部が着脱自在に形成されて
いる請求項１に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。 - 【請求項３】 ローラの端部が本体部にネジ止めないし
嵌着されることにより本体部と着脱自在に一体形成され
ている請求項１または２に記載のワイヤーソー用多溝ロ
ーラ。 - 【請求項４】 ローラ本体部と着脱自在なローラ端部が
異なった材質によって形成されている請求項１、２また
は３に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。 - 【請求項５】 ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の
部分がセラミックスであり、かつローラ端部が樹脂であ
る請求項４に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。 - 【請求項６】 ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の
部分が樹脂であり、かつローラ端部がセラミックスであ
る請求項４に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。 - 【請求項７】 ローラ本体部の少なくともワイヤー溝の
部分がセラミックスからなる材質であり、かつローラ端
部がワイヤー溝部分の材質よりも高硬度の材質からなる
請求項４に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29394597A JPH11123649A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | ワイヤーソー用多溝ローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29394597A JPH11123649A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | ワイヤーソー用多溝ローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11123649A true JPH11123649A (ja) | 1999-05-11 |
Family
ID=17801215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29394597A Withdrawn JPH11123649A (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | ワイヤーソー用多溝ローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11123649A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | ワイヤーソー装置 |
| EP2123384A1 (en) * | 2008-05-22 | 2009-11-25 | CO.FI.PLAST. S.r.l. | Multiwire sawing machine for the cutting of material in block form |
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