JPH11132818A

JPH11132818A - 流量計

Info

Publication number: JPH11132818A
Application number: JP9301343A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Inagaki; 広行稲垣; Tokuo Takahashi; 徳夫高橋; Takeshi Watanabe; 剛渡辺
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1997-10-31
Publication date: 1999-05-21

Abstract

(57)【要約】【課題】流路形状の制約から射出成形法やダイカスト
成形法により流路を製造することができず、製造コスト
が嵩みがちになるなどの課題があった。【解決手段】流路２の入口側の断面積を出口側の断面
積よりも大きく形成し、かつ、流路２の断面積が入口側
から出口側に向かって減少するようにテーパ状に形成し
たので、成形後に流路２から金型を容易に引き抜くこと
ができ、射出成形あるいはダイカスト成形法を用いて容
易かつ安価に製造することができる。また、流路２に突
出部５を設けて整流部材４，６を保持したので、そのが
たつきを防止でき、精度良く流量を検出できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、流体の流量を検
出するための流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１１は本願出願人が特開平９−６８４
４８号公報に開示した流量計を示す断面図、図１２は本
願出願人が特開平９−６８４４８号公報に開示した他の
流量計を示す断面図である。図１１および図１２におい
て、１００はボディ、１０１は入口流路、１０２は入口
流路１０１よりも流路径が大きい大流量計測用流路、１
０３は大流量計測用流路１０２よりも流路径が小さい小
流量計測用流路、１０５は流速センサユニット、１０５
ａ〜１０５ｃは被測定流体の流速を検出する流速セン
サ、１０６は流速センサユニット、１０６ａ〜１０６ｃ
は被測定流体の流速を検出する流速センサ、１０７およ
び１０８は整流部材である。

【０００３】次に動作について説明する。入口流路１０
１から導入された被測定流体は、整流部材１０７などを
経て整流され、流速センサ１０５ａ〜１０５ｃおよび流
速センサ１０６ａ〜１０６ｃによって流速を検出され
る。そして、図示しない演算手段によって、検出された
流速信号に基づいて流量が算出される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の流量計は以上の
ように構成されているので、流路の断面積を入口側から
出口側に向かっていったん増加してから減少するように
形成しなければならず、当該流路の加工に手間がかか
り、製造コストが嵩みがちになるなどの課題があった。
特に、射出成形法やダイカスト成形法により流路を製造
する場合にあっては、成形後に流路から金型を容易に引
き抜くことができないため、かかる成形法を用いて製造
することが困難であり、容易かつ安価に製造できる流路
を備えた流量計の提供に苦慮していたなどの課題があっ
た。

【０００５】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、容易かつ安価に製造できる流路を
備えた流量計を得ることを目的とする。

【０００６】また、この発明は、容易かつ安価に製造で
きる流路を備えるとともに、整流部材を安定して保持で
き、精度よく流量を検出できる流量計を得ることを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係る流量計
は、流路の入口側の断面積を出口側の断面積よりも大き
く形成し、かつ、当該流路の断面積が当該入口側から当
該出口側に向かって減少するように当該流路の少なくと
も一部をテーパ状に形成したものである。

【０００８】この発明に係る流量計は、入口側の流路内
に設けられる整流部材の外周部を保持する突出部を当該
入口側の流路内壁に設けたものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による流
量計を示す垂直断面図、図２は流路の入口方向から見た
突出部を示す正面図、図３は突出部付近の構造を示す拡
大断面図、図４は流量計を示す分解斜視図である。図に
おいて、１は例えば、ガラス繊維強化熱可塑性樹脂によ
り射出成形あるいはダイカスト成形されたボディであ
り、被測定流体の流れる方向を指定する指標部１ａを側
面に有している。２は被測定流体が流れる円形断面の流
路であり、入口側の断面積を出口側の断面積よりも大き
く形成し、かつ、入口側から出口側に向かって内径が縮
小するように勾配が１度程度のテーパ状に形成したもの
である。すなわち、成形後に流路２から金型を容易に引
き抜くことができるように流路２をテーパ状に形成する
ことで、射出成形法あるいはダイカスト成形法を用いて
容易かつ安価に製造することができるようにしたもので
ある。なお、この実施の形態の被測定流体としては、例
えば、空気、窒素、アルゴン、炭酸、酸素などの気体を
対象としているが、本発明の対象はこれに限られず、液
体用の流量計であってもよい。

【００１０】３はリング状のアルミニウム製スペーサ
（整流部材）４を係止する段部、５は流路２の入口側の
内壁に互いに対向して設けられ、スペーサ４の外周部に
当接することによりこれを保持する２対の突出部であ
る。すなわち、図３に拡大して示したように、流路２の
入口側もテーパ状に形成されているため、何らの手当て
をしなければ、同一外径のスペーサ４を段部３に至るま
で順次嵌挿していくと、流路２の入口側に位置するスペ
ーサ４と流路２の内壁との間に隙間が生じ、この隙間に
よりスペーサ４および整流用金網６にがたつきが生じて
被測定流体の流れを乱し、高精度の流量検出が困難とな
る。そこで、かかる隙間を埋めるべく突出部５を流路２
の内壁に形成し、スペーサ４および整流用金網６のがた
つきを防止したものである。

【００１１】６はスペーサ４に挟持され被測定流体の流
れを整えるステンレス製の整流用金網（整流部材）、６
ａは被測定流体が逆流するような事態が生じたときに被
測定流体中の塵などを除去するステンレス製のフィルタ
用金網である。７は流路２に連通するように形成され後
述するセンサユニット（流速センサ）８のセンサチップ
固定基板１１と係合するセンサ取付孔である。

【００１２】センサユニット８は、被測定流体の流速を
検出するマイクロフローセンサチップ９と当該マイクロ
フローセンサチップ９を片面に固定し他面から当該マイ
クロフローセンサチップ９の検出信号を取り出すリード
線１０を導出する金属製のセンサチップ固定基板１１と
から構成されている。このリード線１０はセンサチップ
固定基板１１に挿通され、ガラス封着材によって固定さ
れている。

【００１３】マイクロフローセンサチップ９には、例え
ば、本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細
書等において開示した半導体ダイアフラム構成のものを
使用することができる。すなわち、このマイクロフロー
センサチップ９は、図示例を省略するが、発熱部とこの
発熱部の上流側および下流側に配設された２つの温度検
出部を有し、これら２つの温度検出部によって検出され
る温度の差を一定に保つために必要な発熱部に対する供
給電力から流速に対応する流量を求めたり、あるいは一
定電流または一定電力で発熱部を加熱し、２つの温度検
出部によって検出される温度の差から流量を求めること
ができるように形成されている。そして、このマイクロ
フローセンサチップ９は、熱絶縁されたきわめて薄いダ
イアフラム構造を採用しているため、高速応答、低消費
電力という特長を備えている。

【００１４】１４はセンサユニット８をセンサ取付孔７
の所定位置に固定するためのブラケットであり、ステン
レス鋼板をプレス成形したものである。このブラケット
１４は、センサ取付孔７の反流路２側の外周縁部付近に
Ｏリング１７を介してネジ１８によってボディ１に固定
される本体固定板１４ａと、当該本体固定板１４ａに突
設され、後述する回路基板２７の係合突部２７ｂと係合
する係合孔１５ｃを有した基板支持片１４ｂと、本体固
定板１４ａから流路２側に突設した突出板１４ｃと、突
出板１４ｃの先端部に設けられセンサチップ固定基板１
１を固定するセンサ固定板１４ｄとを一体に有してい
る。なお、図４において、ネジ１８の数を省略して１本
しか描いていないが、この実施の形態では４本のネジが
用いられることは言うまでもない。基板支持片１４ｂ
は、ステンレス鋼板をプレス成形することで本体固定板
１４ａと一体に形成されているため、弾性変形が可能で
ある。また、１５ａはリード線１０を挿通するリード線
挿通孔、１５ｂはネジ１８を挿通するネジ孔である。な
お、センサチップ固定基板１１は、センサ固定板１４ｄ
に対して、例えば、電気抵抗溶接、半田接合、共晶接合
あるいは電子ビーム溶接などにより気密的に金属接合さ
れている。

【００１５】１６はセンサ取付孔７の反流路２側の外周
縁部近傍に当該センサ取付孔７と同軸状に、かつ、当該
センサ取付孔７の内径よりも大きな内径となるように凹
設され、ブラケット１４の突出板１４ｃと係合するブラ
ケット位置決め部である。また、図１および図４におい
て、１９はブラケット１４の基板支持片１４ｂと係合す
るようにボディ１の内壁面に突出形成された２本のブラ
ケット位置決め用突条である。この２本のブラケット位
置決め用突条１９，１９は平行に設けられ、その間隔は
基板支持片１４ｂの幅とほぼ同じであり、これにより基
板支持片１４ｂを案内する溝が形成されることとなる。
すなわち、ブラケット１４のセンサ固定板１４ｄに予め
固定されているマイクロフローセンサチップ９をボディ
１のセンサ取付孔７に挿通して流路２に露出させる際
に、ブラケット１４の基板支持片１４ｂを２本のブラケ
ット位置決め用突条１９，１９によって形成された案内
溝に係合させて滑らせることにより、マイクロフローセ
ンサチップ９がセンサ取付孔７のほぼ中央を通過して所
定の位置に正確かつ容易に納まるようにし、きわめて微
細な構造を持つマイクロフローセンサチップ９がセンサ
取付孔７の縁やボディ１の内壁面に接触して破損するの
を防止できるように構成したものである。

【００１６】２０はボディ１と図示しない配管とを接続
するためにダイカスト成形されたアルミニウム製のフラ
ンジであり、ボディ１に設けられた係合突部２１に係合
する係合孔２２を有し、当該係合突部２１とネジ２３に
よって固定されるものである。２４および２５は例えば
合成ゴムからなるＯリングである。

【００１７】２７はセンサユニット８のリード線１０が
導通固定されるリード線取付孔２７ａと、当該センサユ
ニット８の動作回路と、基板支持片１４ｂの係合孔１５
ｃに係合する係合突部２７ｂと、コネクタ２７ｃとを有
した回路基板である。この動作回路は、例えば、抵抗ブ
リッジ回路や増幅回路、Ａ／Ｄ変換回路などを備えてい
る。なお、この回路基板２７は、ボディ１に対して固定
手段２８ａ，２８ｂによって固定されている。また、回
路基板２７の幅は、ブラケット１４の基板支持片１４
ｂ，１４ｂ間の寸法とほぼ等しくなっている。したがっ
て、回路基板２７は、その係合突部２７ｂを、ブラケッ
ト１４の基板支持片１４ｂ，１４ｂを各々外側に弾性変
形させ、係合孔１５ｃに係合させることにより、コネク
タやケーブル部材などを使用することなくセンサユニッ
ト８と容易に接続できるとともに、基板支持片１４ｂ，
１４ｂによって支持できるように構成したものである。

【００１８】３０はマイクロフローセンサチップ９の検
出信号に基づいて被測定流体の流量を算出する図示しな
い演算装置や、被測定流体の種類に応じた流量特性を当
該演算装置によって補正する際に使用される補正係数を
予め記憶しておく図示しないメモリなどからなる回路基
板である。これら図示しない演算装置やメモリには、設
定操作や演算処理のためのアルゴリズムなども予め書き
込まれており、例えば、表示モード設定、ガス種設定、
アナログスケーリングなどの各種機能の設定やパラメー
タ設定を行う設定モードや、瞬時流量、積算流量、逆積
算流量などの流量演算を実行させる測定モードなどを実
現するための制御プログラムが予め書き込まれている。
また、当該メモリは、測定された流量データなども随時
保存できるようになっている。なお、この回路基板３０
と回路基板２７とは、コネクタ２７ｃと図示しないケー
ブルなどにより接続されている。また、３１はボディ１
に設けられ、回路基板３０を固定する固定手段である。
３２は外部出力用のコネクタであり、例えば、図示しな
いパーソナルコンピュータとケーブル接続して通信可能
に形成したものである。

【００１９】３４はガラス繊維強化熱可塑性樹脂などに
より成形され、ボディ１に装着可能に形成したカバーで
あり、図示しない演算装置に各種の設定入力を行う押し
ボタンスイッチ３６と、当該押しボタンスイッチ３６に
よる設定内容や当該演算装置の出力結果などを表示する
液晶表示器３８とを備えている。また、このカバー３４
の側面中央の下部には、ボディ１の側面中央の上部に１
対設けられた係合突部３５，３５と弾性的に係合する１
対の係合孔３４ａ，３４ａが設けられている。これら係
合突部３５，３５および係合孔３４ａ，３４ａは、カバ
ー３４をボディ１に対して装着方向を反転させた場合に
も係合する位置に設けられている。すなわち、カバー３
４はボディ１に予め装着して出荷されるが、ボディ１の
設置場所の制約により、カバー３４の押しボタンスイッ
チ３６と液晶表示器３８の向きがユーザーに対して逆に
なり操作上不便を来す場合があるが、かかる場合にカバ
ー３４をボディ１に対して装着方向を反転し係合させる
ことによって容易に装着できるように構成したものであ
る。

【００２０】３９はカバー３４に配設された押しボタン
スイッチ３６の上面を覆うように設けられた保護フィル
ム、４０は押しボタンスイッチ３６と液晶表示器３８の
動作回路などを備えた回路基板であり、図示しないコネ
クタやケーブルなどにより回路基板３０と接続されてい
る。また、この回路基板４０は、カバー３４内に設けら
れた固定手段４２ａ，４２ｂなどによってカバー３４に
固定されている。

【００２１】次に流量計の組み立て手順について説明す
る。入口側の流路２にはスペーサ４と整流用金網６とを
交互に嵌挿する。そして、フランジ２０をＯリング２
４，２５を介してネジ２３によってボディ１に固定す
る。一方、流路２の出口側にはフィルタ用金網６ａを配
設し、フランジ２０をＯリング２５を介してネジ２３に
よってボディ１に固定する。ブラケット１４のセンサ固
定板１４ｄに予め固定されているマイクロフローセンサ
チップ９を、ボディ１のセンサ取付孔７に挿通して流路
２に露出させる際には、ブラケット１４の基板支持片１
４ｂを２本のブラケット位置決め用突条１９，１９によ
って形成された案内溝に係合させて滑らせることによ
り、マイクロフローセンサチップ９をセンサ取付孔７の
ほぼ中央を通過させ所定の位置に正確かつ容易に納める
ことができ、きわめて微細な構造を持つマイクロフロー
センサチップ９がセンサ取付孔７の縁やボディ１の内壁
面に接触して破損するのを防止できる。また、ブラケッ
ト１４の突出板１４ｃをボディ１のブラケット位置決め
部１６に係合させることによって、センサ取付孔７に対
して容易に位置決めすることができ、組み立て作業が容
易である。また、センサチップ固定基板１１は、センサ
固定板１４ｄに対して予め気密的に金属接合されている
ので、当該接合部分での気密性は十分に確保される。さ
らに、ブラケット１４は、Ｏリング１７を介してネジ１
８によりボディ１に強固に固定されるので、本体固定板
１４ａとボディ１との気密性も十分に確保される。

【００２２】また、ブラケット１４に突出板１４ｃを形
成したことにより、ボディ１に対するネジ１８の有効長
さを容易かつ十分に確保できる。したがって、ネジ１８
の有効長さを確保するために、当該ネジ孔が流路２に貫
通してしまうような事態を回避できる。これにより、ボ
ディ１に大口径の流路２を設ける場合であっても、ブラ
ケット１４の突出板１４ｃの長さとボディ１の当該ネジ
孔を設ける箇所の肉厚とをネジ１８の有効長さに応じて
適宜調整して製造すれば、ボディ１全体を大型化しなく
ても済み、小型・軽量化による製造コストの削減にも寄
与することとなる。

【００２３】回路基板２７は、基板支持片１４ｂの弾性
変形を利用して係合突部２７ｂを係合孔１５ｃに係合さ
せるとともに、リード線取付孔２７ａにセンサユニット
８のリード線１０を挿通して半田付けすることにより、
コネクタやケーブル部材などを使用することなくセンサ
ユニット８と容易かつ迅速に接続できる。また、回路基
板２７は、固定手段２８ａ，２８ｂによりボディ１に固
定されているとともに、基板支持片１４ｂによっても支
持されているので、安定した固定が可能となる。

【００２４】また、回路基板３０は、固定手段３１によ
ってボディ１に固定する。なお、回路基板３０と回路基
板２７とは、コネクタ２７ｃと図示しないケーブルなど
により接続する。

【００２５】カバー３４は係合孔３４ａをボディ１の係
合突部３５に係合させることにより、ボディ１に装着す
る。このようにカバー３４はボディ１に予め装着して出
荷されるが、ボディ１の設置場所の制約により、カバー
３４の押しボタンスイッチ３６と液晶表示器３８の向き
がユーザーに対して逆になり操作上不便を来す場合があ
る。かかる場合には、設置現場においてカバー３４をボ
ディ１に対して装着方向を反転して装着すればよく、液
晶表示器３８などの表示を見やすくできる。

【００２６】次に動作について説明する。図示しないメ
モリには、被測定流体の種類に応じた流量特性を図示し
ない演算装置によって補正する際に使用される補正係数
を予め記憶してあるので、液晶表示器３８の表示を見な
がら、押しボタンスイッチ３６による所定の操作によっ
て該当する被測定流体を選択し設定する。被測定流体は
流路２の入口側から流路２に導入され、整流用金網６に
よって整流される。そして、被測定流体はセンサユニッ
ト８のマイクロフローセンサチップ９によって流速を検
出され、リード線１０からその検出信号を回路基板２７
に出力する。検出信号は、所定の信号変換や増幅などを
経て、回路基板３０の図示しない演算装置に取り込ま
れ、リニアライズや補正を経て流量データが算出され
る。流量データの出力は、例えば、４−２０ｍＡ出力や
積算パルス出力で行われ、液晶表示器３８にも表示され
る。

【００２７】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、流路２の入口側の断面積を出口側の断面積よりも大
きく形成し、かつ、入口側から出口側に向かって内径が
縮小するように勾配が１度程度のテーパ状に形成したの
で、成形後に流路２から金型を容易に引き抜くことがで
き、射出成形法あるいはダイカスト成形法を用いて容易
かつ安価に製造することができる効果が得られる。ま
た、流路２をテーパ状に形成したことにより、被測定流
体の流れが絞られ、境界層の発達を阻害して流速分布を
一様に保つことができるため、精度良く流量を検出でき
る効果が得られる。さらに、射出成形などによらずに、
ブロック部材をくり抜いて流路２を形成する場合であっ
ても、テーパ方向が１方向のみであり、切削加工を容易
に行える効果も得られる。また、突出部５を流路２の内
壁に形成し、スペーサ４および整流用金網６のがたつき
を防止したので、整流用金網６を通過する被測定流体の
流れに乱れが生じず、精度良く流量を検出できる効果が
得られる。

【００２８】実施の形態２．図５はこの発明の実施の形
態２による流量計のボディと流路とを模式的に示す垂直
断面図、図６は流路の入口方向から見た突出部を示す正
面図である。図５において、４６は被測定流体の流れを
整える整流部材であり、前述した整流用金網６やスペー
サ４などによって構成したり、あるいは流路方向に多数
の小流路を有するハニカム部材などによって構成するも
のである。以下、既に説明した部材と同一もしくは相当
する部材には同一符号を付し、説明を省略もしくは簡略
化する。上記実施の形態１にあっては、円形断面の流路
２に段部３を設け、かつ、流路２の内径を当該段部３か
ら入口側に向かって拡大テーパ状に形成したが、本実施
の形態２にあっては、流路２に段部３を設けず、流路２
の入口側から出口側に向かって内径が縮小するように勾
配が１度程度のテーパ状に形成したものである。すなわ
ち、本実施の形態２にあっても、成形後に流路２から金
型を容易に引き抜くことができるように流路２をテーパ
状に形成することで、射出成形あるいはダイカスト成形
法を用いて容易かつ安価に製造することができるように
したものである。この場合、整流部材４６は、テーパ状
の流路２によって出口側への移動を規制されているの
で、特に段部３を設けなくても、整流部材４６の流路方
向のがたつきは生じない。その他の構成部材および動作
例は、上記実施の形態１の場合と同様であるので、説明
を省略する。

【００２９】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、上記実施の形態１の場合と同様の効果が得られるほ
か、流路２が段部３を要しないより単純な形状となって
いるので、金型の形状も単純化でき、製造コストをさら
に削減できる効果が得られる。

【００３０】実施の形態３．図７はこの発明の実施の形
態３による流量計のボディを模式的に示す垂直断面図で
あり、図７において、４７は円形断面の流路２において
入口付近の内径を流路方向に向かって同一に形成した平
行部であり、その内径は整流部材４６を嵌挿可能に形成
してある。４８は流路２において出口付近の内径を流路
方向に向かって同一に形成し、かつ、当該内径を平行部
４７における流路内径よりも小さく形成した平行部であ
る。４９はこれら平行部４７，４８の間を流路２の入口
側から出口側に向かって内径が縮小するように勾配が１
度程度のテーパ状に形成したテーパ部である。この場
合、整流部材４６は平行部４７に嵌挿され保持されてい
るので、上記実施の形態１の場合のような突出部５を設
けなくても、流路２と垂直方向のがたつきは生じない。
また、整流部材４６は、縮径するテーパ部４９によって
出口側への移動を規制されているので、上記実施の形態
１の場合のような段部３を設けなくても、整流部材４６
の流路方向のがたつきも生じない。その他の構成部材お
よび動作例は、上記実施の形態１の場合と同様であるの
で、説明を省略する。

【００３１】以上のように、この実施の形態３によれ
ば、上記実施の形態１の場合と同様の効果が得られるほ
か、流路２が段部３と突出部５とを要しないより単純な
形状となっているので、金型の形状も単純化でき、製造
コストをさらに削減できる効果が得られる。

【００３２】実施の形態４．図８はこの発明の実施の形
態４による流量計のボディを模式的に示す斜視図、図９
は流路の中心軸を含むボディの水平断面図、図１０は流
路の中心軸を含むボディの垂直断面図である。図８に示
すように、流路２の断面は四角形状に形成されている。
また、図９に示すように、流路２の入口側の断面積を出
口側の断面積よりも大きく形成し、かつ、流路２の上側
内壁と下側内壁の間隔が入口側から出口側に向かって縮
小するように勾配が１度程度のテーパ状に形成してあ
る。そして、図１０に示すように、流路２の側壁同士は
平行に形成してある。なお、流路２の入口付近には、流
路２に隙間なく嵌挿可能な形状を備えた図示しない整流
部材を設けることができる。その他の構成部材および動
作例は、上記実施の形態１の場合と同様であるので、説
明を省略する。

【００３３】以上のように、この実施の形態４によれ
ば、上記実施の形態１の場合と同様の効果が得られるほ
か、流路２が段部３と突出部５とを要しないより単純な
形状となっているので、金型の形状も単純化でき、製造
コストをさらに削減できる効果が得られる。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、流路
の入口側の断面積を出口側の断面積よりも大きく形成
し、かつ、当該流路の断面積が当該入口側から当該出口
側に向かって減少するように当該流路の少なくとも一部
をテーパ状に形成して構成したので、成形後に流路から
金型を容易に引き抜くことができ、射出成形法あるいは
ダイカスト成形法を用いて容易かつ安価に製造すること
ができる効果がある。また、流路をテーパ状に形成した
ことにより、被測定流体の流れが絞られ、境界層の発達
を阻害して流速分布を一様に保つことができるため、精
度良く流量を検出できる効果がある。さらに、射出成形
などによらずに、ブロック部材をくり抜いて流路を形成
する場合であっても、テーパ方向が１方向のみであり、
切削加工を容易に行える効果もある。

【００３５】この発明によれば、入口側の流路内に設け
られる整流部材の外周部を保持する突出部を当該入口側
の流路内壁に設けて構成したので、当該整流部材のがた
つきを防止でき、その結果、当該整流部材を通過する被
測定流体の流れに乱れが生じず、精度良く流量を検出で
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１による流量計を示す垂
直断面図である。

【図２】流路の入口方向から見た突出部を示す正面図で
ある。

【図３】突出部付近の構造を示す拡大断面図である。

【図４】流量計を示す分解斜視図である。

【図５】この発明の実施の形態２による流量計のボディ
と流路とを模式的に示す垂直断面図である。

【図６】流路の入口方向から見た突出部を示す正面図で
ある。

【図７】この発明の実施の形態３による流量計のボディ
を模式的に示す垂直断面図である。

【図８】この発明の実施の形態４による流量計のボディ
を模式的に示す斜視図である。

【図９】流路の中心軸を含むボディの水平断面図であ
る。

【図１０】流路の中心軸を含むボディの垂直断面図であ
る。

【図１１】本願出願人が特開平９−６８４４８号公報に
開示した流量計を示す断面図である。

【図１２】本願出願人が特開平９−６８４４８号公報に
開示した他の流量計を示す断面図である。

【符号の説明】

２流路４スペーサ（整流部材）５突出部６整流用金網（整流部材）８センサユニット（流速センサ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定流体が流れる流路と、前記流路に
設けられ前記被測定流体の流速を検出する流速センサと
を備えた流量計において、前記流路の入口側の断面積を
出口側の断面積よりも大きく形成し、かつ、当該流路の
断面積が当該入口側から当該出口側に向かって減少する
ように当該流路の少なくとも一部をテーパ状に形成した
ことを特徴とする流量計。
【請求項２】入口側の流路内に設けられる整流部材の
外周部を保持する突出部を当該入口側の流路内壁に設け
たことを特徴とする請求項１記載の流量計。