JPH03264821A - 複合センサ出力信号処理方法 - Google Patents
複合センサ出力信号処理方法Info
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- JPH03264821A JPH03264821A JP2062619A JP6261990A JPH03264821A JP H03264821 A JPH03264821 A JP H03264821A JP 2062619 A JP2062619 A JP 2062619A JP 6261990 A JP6261990 A JP 6261990A JP H03264821 A JPH03264821 A JP H03264821A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、２種類の流量センサを使用して測定精度を向
上させる複合センサ出力信号処理方法に関するものであ
る。
上させる複合センサ出力信号処理方法に関するものであ
る。
フルイブインク流量センサを気体流量針に使用すると、
低流量域で感度が急激に低下し、満足に測定できないと
いう欠点がある。そこで、低流量域１で測定可能な異な
った方式によるセンサたとえば熱式の半導体流量センサ
と上記フルイブインク流量センサとを組み合わせ、低流
量域から高流量域筐で測定を可能にするような方法が提
案されている。フルイブインク流量センサを気体流量計
に使用したときの特性を第４図（ａ）に、熱式半導体流
量センサを気体流量針に使用したときの特性を第４図（
ｂ）に示す。第４図において、横軸は流量、縦軸はセン
サ出力である。
低流量域で感度が急激に低下し、満足に測定できないと
いう欠点がある。そこで、低流量域１で測定可能な異な
った方式によるセンサたとえば熱式の半導体流量センサ
と上記フルイブインク流量センサとを組み合わせ、低流
量域から高流量域筐で測定を可能にするような方法が提
案されている。フルイブインク流量センサを気体流量計
に使用したときの特性を第４図（ａ）に、熱式半導体流
量センサを気体流量針に使用したときの特性を第４図（
ｂ）に示す。第４図において、横軸は流量、縦軸はセン
サ出力である。
フルイブインク流量センサが気体の体積流量を測定する
のに対して、熱式半導体流量センサは気体の質量流量を
測定するため、気体の温度、密度、気体混合比が変化す
ると当然両者の測定値に差が生じる。これを第５図に示
す。第５図において、横軸は体積流量、縦軸はセンサ出
力でｓｂ、８１は温度変化等があるときのフルイブイン
ク流量センサの出力、Ｓ２は温度変化等があるときの熱
式半導体流量センサの出力を示す。熱式半導体流量セン
サは第５図に示すように温度変化等により異なる特性を
示すので、温度によっては、熱式半導体流量センサから
フルイブインク流量センサへの切換え、あるいはフルイ
ブインク流量センサから熱式半導体流量センサへの切換
えにおいて、流量測定値の飛びすなわち流量測定値の急
激な変化を生じる。
のに対して、熱式半導体流量センサは気体の質量流量を
測定するため、気体の温度、密度、気体混合比が変化す
ると当然両者の測定値に差が生じる。これを第５図に示
す。第５図において、横軸は体積流量、縦軸はセンサ出
力でｓｂ、８１は温度変化等があるときのフルイブイン
ク流量センサの出力、Ｓ２は温度変化等があるときの熱
式半導体流量センサの出力を示す。熱式半導体流量セン
サは第５図に示すように温度変化等により異なる特性を
示すので、温度によっては、熱式半導体流量センサから
フルイブインク流量センサへの切換え、あるいはフルイ
ブインク流量センサから熱式半導体流量センサへの切換
えにおいて、流量測定値の飛びすなわち流量測定値の急
激な変化を生じる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであシ、そ
の目的とするところは、２種類の流量センサを使用した
場合のセンサ切換えにかける流量測定値のずれをなくし
、かつ測定精度上同上させる信号処理方法を提供するこ
とにある。
の目的とするところは、２種類の流量センサを使用した
場合のセンサ切換えにかける流量測定値のずれをなくし
、かつ測定精度上同上させる信号処理方法を提供するこ
とにある。
このような目的を達成するために本発明は、第１の所定
流量以下においては流量値を第１の流量センサによって
測定表示し、第２の所定流量以上にかいては流ｆ値を第
２の流量センサによって測定表示する複合センサ出力信
号処理方法において、測定対象流量が第１の所定流量と
第２の所定流量との間の値であるとき２つの流量センサ
のうち高い精度の流量センサにより低い精度の流量セン
サのデータ校正を自動的に行なうようにしたものである
。
流量以下においては流量値を第１の流量センサによって
測定表示し、第２の所定流量以上にかいては流ｆ値を第
２の流量センサによって測定表示する複合センサ出力信
号処理方法において、測定対象流量が第１の所定流量と
第２の所定流量との間の値であるとき２つの流量センサ
のうち高い精度の流量センサにより低い精度の流量セン
サのデータ校正を自動的に行なうようにしたものである
。
本発明による複合センサ出力信号処理方法においては、
流量測定値は流量センサ切換えにおいて急激な変化がな
く、滑らかな値となる。
流量測定値は流量センサ切換えにおいて急激な変化がな
く、滑らかな値となる。
壕ず、本発明の概要について述べる。２個の流量センサ
の切換点付近に両センサが同時に動作する範囲を設け、
測定値がこの範囲に入ったとき見られた２つのデータの
うち予め定められた高精度センサのデータで低精度セン
サのデータを校正する。この校正に使った補正係数は次
に校正を行なう１で低精度センサのデータ補正に使用す
る。
の切換点付近に両センサが同時に動作する範囲を設け、
測定値がこの範囲に入ったとき見られた２つのデータの
うち予め定められた高精度センサのデータで低精度セン
サのデータを校正する。この校正に使った補正係数は次
に校正を行なう１で低精度センサのデータ補正に使用す
る。
第３図は第１の流量センサとしての熱式半導体流量セン
サ１と′ｉ４２の流量センサとしてのフルイブインク流
量センサ２とを使用した気体流量針を示す系統図で、３
シよび４は流量値ＦＡおよびＦＢを出力する信号処理回
路、５は流量値ＦＡ、ＦＢを入力して処理を行なうマイ
クロコンピュータ、Ｇは気体である。第１図においては
、フルイブインク流量センサ２が高精度センサ、熱式半
導体流量センサ１が低精度センサでルシ、フルイブイン
ク流量センサ２の流量測定値のある範囲で熱式半導体流
量センサ１のデータ校正を行なう。
サ１と′ｉ４２の流量センサとしてのフルイブインク流
量センサ２とを使用した気体流量針を示す系統図で、３
シよび４は流量値ＦＡおよびＦＢを出力する信号処理回
路、５は流量値ＦＡ、ＦＢを入力して処理を行なうマイ
クロコンピュータ、Ｇは気体である。第１図においては
、フルイブインク流量センサ２が高精度センサ、熱式半
導体流量センサ１が低精度センサでルシ、フルイブイン
ク流量センサ２の流量測定値のある範囲で熱式半導体流
量センサ１のデータ校正を行なう。
第１図は本発明による複合センサ出力信号ひ理方法の一
実施例を説明するためのフローチャート、第２図は２種
類のセン？（熱式半導体流量センサｐ：びフルイデイン
ク＊ｉ−センサ）の特性を示すグラフでるる。第２図に
分いて横軸は流量、縦軸ｄセンサ出力値で、ＳＦＡ ｒ
ｉ熱熱式半導泥流１センサ１待吐を示す曲縁、ｓｒｓは
フルイブインク流量センサ２の詩性を示す曲線である。
実施例を説明するためのフローチャート、第２図は２種
類のセン？（熱式半導体流量センサｐ：びフルイデイン
ク＊ｉ−センサ）の特性を示すグラフでるる。第２図に
分いて横軸は流量、縦軸ｄセンサ出力値で、ＳＦＡ ｒ
ｉ熱熱式半導泥流１センサ１待吐を示す曲縁、ｓｒｓは
フルイブインク流量センサ２の詩性を示す曲線である。
！た５ｒａＣはデータ校正後の熱式半導体流量センサ１
の出力測定値である。
の出力測定値である。
次に、データ校正の方法について第１図〜第３図を用い
て説明する。センサ１，２の測定出力値の誤差がセンサ
の梠度変化に起因するものと考え、実際の流量をＦ、セ
ンサ１，２の各々の所定の感度からの変化分ｔ−ＪｓＡ
、ＪＳＢとすれば、ＦＡ＝Ｆ（１−＋−ＪＳＡ） ・・
・・・（１）ＦＢ ＝Ｆ （１＋、ｊｓＢ） ・・・
・・（２）とたる。なお、センサの感度変化は周囲温度
の変化や、測定気体成力の違い、経時変化などによって
生じる。
て説明する。センサ１，２の測定出力値の誤差がセンサ
の梠度変化に起因するものと考え、実際の流量をＦ、セ
ンサ１，２の各々の所定の感度からの変化分ｔ−ＪｓＡ
、ＪＳＢとすれば、ＦＡ＝Ｆ（１−＋−ＪＳＡ） ・・
・・・（１）ＦＢ ＝Ｆ （１＋、ｊｓＢ） ・・・
・・（２）とたる。なお、センサの感度変化は周囲温度
の変化や、測定気体成力の違い、経時変化などによって
生じる。
センサの特性から１−１３ＡＩ＞＞ＩＪＳＢＩ と考Ｌ
、フルイブインク流量センサ２による流量測定値ＦＢが
第１図のセンサ出力値Ｆｌ （第１の所定流量）とＦ２
（第２の所定流量）との間に入ったとき（第１図の
ステップ１１〜１３）、フルイブインク流量センサ２の
測定値ＦＢの値を使って熱式半導体流量センサ１の測定
値ＦＡの値を校正する。すなわち、次式の補正係数にの
値を決定する（第１図のステップ１５）。
、フルイブインク流量センサ２による流量測定値ＦＢが
第１図のセンサ出力値Ｆｌ （第１の所定流量）とＦ２
（第２の所定流量）との間に入ったとき（第１図の
ステップ１１〜１３）、フルイブインク流量センサ２の
測定値ＦＢの値を使って熱式半導体流量センサ１の測定
値ＦＡの値を校正する。すなわち、次式の補正係数にの
値を決定する（第１図のステップ１５）。
ｋ＠Ｆ（１＋ＪＳＡ）＝ＦＢ ・・・・・（３）以降、
次に流量測定値ＦＢが第１図のセンサ出力値Ｆ１とＦ２
との間に入るまで、センサ１の測定値ＦＡＫｋを掛けて
表示する。センサ１の測定値ＦＡにｋを掛けたものをＦ
ＡＣと表わすと、ＦＡＣ＝に＠ＦＡ＝に＠Ｆ（１−１−
ＪＳＡ）・・・・・（４）このようにすれば、熱式半導
体流量センサ１の表示精度が向上し、筐た、フルイブイ
ンク流量センサ２の測定値ＦＢとの切換時のずれもなく
すことができる。
次に流量測定値ＦＢが第１図のセンサ出力値Ｆ１とＦ２
との間に入るまで、センサ１の測定値ＦＡＫｋを掛けて
表示する。センサ１の測定値ＦＡにｋを掛けたものをＦ
ＡＣと表わすと、ＦＡＣ＝に＠ＦＡ＝に＠Ｆ（１−１−
ＪＳＡ）・・・・・（４）このようにすれば、熱式半導
体流量センサ１の表示精度が向上し、筐た、フルイブイ
ンク流量センサ２の測定値ＦＢとの切換時のずれもなく
すことができる。
フルイブインク流量センサ２では瞬時に流量値が得られ
ず、精度よく測定するには成る程度以上の測定時間が必
要である。このため、校正を行なう際、一定時間流量を
測定し、その間の平均流量をもって、測定値ＦＢとする
。熱式半導体流量センサ１は連続測定可能であるが、校
正時にはフルイブインク流量センサ２と同時間内に測定
を継続して行ない、その間の平均流量をもって流ｌｔ値
ＦＡとする。この処理は第１図のステップ１４．１５に
示す処理であるが、この処理については後述する。
ず、精度よく測定するには成る程度以上の測定時間が必
要である。このため、校正を行なう際、一定時間流量を
測定し、その間の平均流量をもって、測定値ＦＢとする
。熱式半導体流量センサ１は連続測定可能であるが、校
正時にはフルイブインク流量センサ２と同時間内に測定
を継続して行ない、その間の平均流量をもって流ｌｔ値
ＦＡとする。この処理は第１図のステップ１４．１５に
示す処理であるが、この処理については後述する。
このような処理を行なうことにより、測定時間内に流量
変動を生じてもその影響を受けず、筐た高精度の校正が
可能となる。なか、この同時測定中にはフルイブインク
流量センサ２の出力値ＦＢを積算する（第１図のステッ
プ１３，１４．２（１）。
変動を生じてもその影響を受けず、筐た高精度の校正が
可能となる。なか、この同時測定中にはフルイブインク
流量センサ２の出力値ＦＢを積算する（第１図のステッ
プ１３，１４．２（１）。
筐た、同時測定中に流量が変化して第２図に示す出力値
Ｆ１〜Ｆ２の範囲を外れた場合には校正演算は中止し、
通常の測定に戻る。なお、アルイブインク流量センサ２
の出力値ＦＢが出力値Ｆ１ よシ小さい場合は熱式半導
体流量センサ１の出力値ＦＡを補正して積算する（第１
図のステップ１２゜１１〜１９）。
Ｆ１〜Ｆ２の範囲を外れた場合には校正演算は中止し、
通常の測定に戻る。なお、アルイブインク流量センサ２
の出力値ＦＢが出力値Ｆ１ よシ小さい場合は熱式半導
体流量センサ１の出力値ＦＡを補正して積算する（第１
図のステップ１２゜１１〜１９）。
データ校正範囲を定めるセンサ出力値Ｆｌ、 Ｆ２の
値の決定は次のように行なう。フルイブインク流量セン
サ２で満足できる測定の行なえる下限値ｔＦＯとし、熱
式半導体流量センサ１で満足できる測定の行なえる上限
値をＦ３とすれば、ＦＯ≦Ｆｌ（Ｆ２≦Ｆ３ ・・・・
・（５）のように出力値Ｆｌ、Ｆ２を選ぶ。
値の決定は次のように行なう。フルイブインク流量セン
サ２で満足できる測定の行なえる下限値ｔＦＯとし、熱
式半導体流量センサ１で満足できる測定の行なえる上限
値をＦ３とすれば、ＦＯ≦Ｆｌ（Ｆ２≦Ｆ３ ・・・・
・（５）のように出力値Ｆｌ、Ｆ２を選ぶ。
熱式半導体流量センサ１は連続測定可能でらるが、フル
イブインク流量センサ２は間欠的にしか測定結果が得ら
れないため、気体Ｇの流量変化が急激に生じた場合、Ｆ
ｌ〜Ｆ２０区関がせ筐いと、測定を行なわないうちにこ
の区間を通過してし１い、先に述べた補正演算が行なわ
れない可能性がある。また、Ｆｌ−Ｆ２の区間が広いと
、この区間に測定値が入る確率は高く々るが、ここでは
二重に測定を行なうため消費電力が増大し、電池駆動の
気体流量計では好筐しくない。このため、Ｆｌ。
イブインク流量センサ２は間欠的にしか測定結果が得ら
れないため、気体Ｇの流量変化が急激に生じた場合、Ｆ
ｌ〜Ｆ２０区関がせ筐いと、測定を行なわないうちにこ
の区間を通過してし１い、先に述べた補正演算が行なわ
れない可能性がある。また、Ｆｌ−Ｆ２の区間が広いと
、この区間に測定値が入る確率は高く々るが、ここでは
二重に測定を行なうため消費電力が増大し、電池駆動の
気体流量計では好筐しくない。このため、Ｆｌ。
Ｆ２は上に示した式（５）の範囲で実際の使用条件を考
慮しながら決定する。例えば、Ｐ Ｏ＝１００１７’
ｈ 。
慮しながら決定する。例えば、Ｐ Ｏ＝１００１７’
ｈ 。
Ｆ３＝３００ｚ／ｈの場合、Ｆ’１＝１５０ ｔ／ｈ、
Ｆ２＝ｉ ｓ ｏ ｔ７ｈ のように選ぶ。
Ｆ２＝ｉ ｓ ｏ ｔ７ｈ のように選ぶ。
先に述べたデータ校正時の消費電力を防ぐには次のよう
な方法がるる。演算装置内にタイマを設け、データ校正
を行なう毎にタイマをリセットする（第１図のステップ
１６）。その後、測定値がＦ１〜Ｆ２の間に入ってもタ
イマにあらかじめセントした時間ＴＩが経過する１では
データ校正を行なわず（第１図のステップ１３，１４．
２（１）、時１１５Ｔ１を過ぎてから初めてデータ校正
を行なうようにする（第１図のステップ１４．１５）。
な方法がるる。演算装置内にタイマを設け、データ校正
を行なう毎にタイマをリセットする（第１図のステップ
１６）。その後、測定値がＦ１〜Ｆ２の間に入ってもタ
イマにあらかじめセントした時間ＴＩが経過する１では
データ校正を行なわず（第１図のステップ１３，１４．
２（１）、時１１５Ｔ１を過ぎてから初めてデータ校正
を行なうようにする（第１図のステップ１４．１５）。
時間Ｔ１は気体の温度変化の速度や気体威勺変化の速度
に応じて決定する。すなわち変化の速い測定条件では時
間Ｔ１を短く、遅い条件では時間ＴＩは長く選ぶ。この
ようにすることにより、必要以上の頻度でデータ校正し
ないようになり、無駄な電力の消費を防ぐことができる
。
に応じて決定する。すなわち変化の速い測定条件では時
間Ｔ１を短く、遅い条件では時間ＴＩは長く選ぶ。この
ようにすることにより、必要以上の頻度でデータ校正し
ないようになり、無駄な電力の消費を防ぐことができる
。
以上説明したように本発明は、測定対象流量が第１の所
定流量を一定量越えた流量範囲にあるとき第１と第２の
２つの流量センサで同時に測定し、２つの流量センサの
うち安定性の高い流量センサにより経時的なドリフトが
発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的に行なう
ことにより５経時的なドリフトを発生しやすい流量セン
サの安定性を高めることができるとともに、２種類の流
量センサを使用した場合のセンサ切換えにおける流量測
定値のずれをなくすことができる効果がるる。
定流量を一定量越えた流量範囲にあるとき第１と第２の
２つの流量センサで同時に測定し、２つの流量センサの
うち安定性の高い流量センサにより経時的なドリフトが
発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的に行なう
ことにより５経時的なドリフトを発生しやすい流量セン
サの安定性を高めることができるとともに、２種類の流
量センサを使用した場合のセンサ切換えにおける流量測
定値のずれをなくすことができる効果がるる。
第１図は本発明による複合センサ出力信号処理方法の一
実施例を説明するためのフローチャート、第２図は２１
１類の流量センサの特性を示すグラフ、第３図は本発明
による複合センサ出力信号処理方法の一実施例が適用さ
れる気体流量計を示す系統図、第４図はフルイブインク
流量センサと熱式半導体流量センサの特性を示すグラフ
、Ｗｃ５図はフルイブイック流量センサと熱式半導体流
量センサの温度変化等による出力値変化を示すグラフで
るる。 １・・・−熱式半導体流量センサ、２・・・・フルイブ
インク流量センサ、３，４・・・・信号処理回路、５・
・・・マイクロコンピュータ、Ｇ・・・・気体。 第 図 第 図 （ａ） （ｂ） イ峯４シλこ」Ｉヒ。
実施例を説明するためのフローチャート、第２図は２１
１類の流量センサの特性を示すグラフ、第３図は本発明
による複合センサ出力信号処理方法の一実施例が適用さ
れる気体流量計を示す系統図、第４図はフルイブインク
流量センサと熱式半導体流量センサの特性を示すグラフ
、Ｗｃ５図はフルイブイック流量センサと熱式半導体流
量センサの温度変化等による出力値変化を示すグラフで
るる。 １・・・−熱式半導体流量センサ、２・・・・フルイブ
インク流量センサ、３，４・・・・信号処理回路、５・
・・・マイクロコンピュータ、Ｇ・・・・気体。 第 図 第 図 （ａ） （ｂ） イ峯４シλこ」Ｉヒ。
Claims (3)
- （１）第１の所定流量以下においては流量値を第１の流
量センサによつて測定表示し、第２の所定流量以上にお
いては流量値を第２の流量センサによつて測定表示する
複合センサ出力信号処理方法において、第１の流量セン
サは第１の所定流量を一定量越えた流量範囲でも第２の
流量センサと同時に測定できるようにしておき、その第
１の流量センサと第２の流量センサが同時に測定する流
量範囲に測定対象流量があるとき前記２つの流量センサ
のうち安定性の高い流量センサにより経時的なドリフト
が発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的に行な
う複合センサ出力信号処理方法。 - （２）２つの流量センサとしてフルイデイツクセンサと
熱式半導体センサとを用い、演算装置によりデータ校正
を行なう請求項１記載の複合センサ出力信号処理方法。 - （３）演算装置にタイマを付加し、タイマセット時間を
経過するまでは校正を行なわないようにする請求項２記
載の複合センサ出力信号処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062619A JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062619A JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03264821A true JPH03264821A (ja) | 1991-11-26 |
| JPH07109376B2 JPH07109376B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=13205516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062619A Expired - Lifetime JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109376B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002533721A (ja) * | 1998-12-23 | 2002-10-08 | イメージ・ガイディッド・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 複数センサーによって追跡されるハイブリッド３ｄプローブ |
| CN100360911C (zh) * | 2001-05-03 | 2008-01-09 | 安德斯+豪斯有限公司 | 流量计操作方法 |
| JP2008175631A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 流速測定システム |
| JP2013033026A (ja) * | 2011-06-03 | 2013-02-14 | Berkin Bv | 媒体の流量を定量するための流量計及びその使用、並びに定量方法 |
| US8608306B2 (en) | 2009-03-06 | 2013-12-17 | Ricoh Company, Ltd. | Inkjet recording ink, ink cartridge, inkjet recording apparatus, and ink recorded matter |
| WO2014065116A1 (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 質量流量計 |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP2062619A patent/JPH07109376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002533721A (ja) * | 1998-12-23 | 2002-10-08 | イメージ・ガイディッド・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 複数センサーによって追跡されるハイブリッド３ｄプローブ |
| CN100360911C (zh) * | 2001-05-03 | 2008-01-09 | 安德斯+豪斯有限公司 | 流量计操作方法 |
| JP2008175631A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 流速測定システム |
| US8608306B2 (en) | 2009-03-06 | 2013-12-17 | Ricoh Company, Ltd. | Inkjet recording ink, ink cartridge, inkjet recording apparatus, and ink recorded matter |
| JP2013033026A (ja) * | 2011-06-03 | 2013-02-14 | Berkin Bv | 媒体の流量を定量するための流量計及びその使用、並びに定量方法 |
| WO2014065116A1 (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 質量流量計 |
| JPWO2014065116A1 (ja) * | 2012-10-24 | 2016-09-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 質量流量計 |
| US9689729B2 (en) | 2012-10-24 | 2017-06-27 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Zero point drift compensating flowmeter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07109376B2 (ja) | 1995-11-22 |
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