JPH11142062A

JPH11142062A - 熱処理装置

Info

Publication number: JPH11142062A
Application number: JP9327114A
Authority: JP
Inventors: Akiyoshi Onishi; 明義大西; Takashi Ohara; 隆大原
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-11-11
Filing date: 1997-11-11
Publication date: 1999-05-28

Abstract

(57)【要約】【課題】燃焼排ガスから効率よく熱回収を行うことが
可能な熱処理装置を提供する。【解決手段】炉本体１の上面側に、実質的に炉本体１
に接して熱交換器１０を配設し、炉本体１の天井部１ｄ
を貫通するように配設された燃焼排ガス通路（煙道）５
を経て燃焼排ガスを熱交換器１０に導き、燃焼排ガスと
燃料ガスを燃焼させるための燃焼用空気との熱交換を行
わしめる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理装置に関
し、詳しくは、セラミック電子部品の製造に用いられる
セラミック成形体などを熱処理するのに用いられる熱処
理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】セラミ
ック電子部品などを製造する工程において用いられる熱
処理装置の一つに、例えば、図５に示すような熱処理装
置がある。この熱処理装置は、耐火材や断熱材からなる
本体部５１ａ、炉床部５１ｂ、及び扉５１ｃからなる炉
本体５１の内部に形成された炉室５２内で、ガスバーナ
５３により燃料ガスを燃焼させ、発生する燃焼熱により
炉室５２内を所定の温度に加熱することによって、炉室
５２に収容された被熱処理物５４の熱処理を行うように
構成されている。なお、図５は、被熱処理物を匣５４ａ
に入れて熱処理している状態を示している。

【０００３】そして、この熱処理装置においては、炉床
部５１ｂに形成された燃焼排ガス通路（煙道）５５及び
排気管５６を通して、燃焼排ガスを熱交換器６０に導
き、内筒（熱交換チューブ）５７の内側５７ａを通過す
る燃焼排ガスと、内筒５７の外側５７ｂを通過する空気
とを熱交換させることにより、燃料ガスを燃焼させるた
めの燃焼用空気を加熱して、炉室５２内を効率よく加熱
できるようにして、省エネルギー化を図っている。な
お、熱交換器６０の入口側の排気管５６には燃焼開度を
調節することにより、排ガスの吸引量を制御するための
シャッター５８が配設されており、また、熱交換器６０
の出口側の排気管５６には燃焼排ガスを吸引するための
ファン５９が配設されている。なお、予熱された空気
は、図示しない経路を通って、ガスバーナ５３の燃焼用
空気として使用されるように構成されている。

【０００４】しかし、上記従来の熱処理装置において
は、燃焼排ガスを炉室５２から、燃焼排ガス通路（煙道）
５５及び外部に露出した排気管５６を経て熱交換器６０
に導くようにしているので、経路における放熱があるこ
と、シャッター５８の開度及びファン５９の回転速度を調
節することにより熱交換器６０への燃焼排ガスの導入量
を制御するようにしているので、シャッター５８から空
気が排気管５６に流入して燃焼排ガスの温度が低下する
ことなどの理由から熱回収のロスが大きくなるという問
題点がある。

【０００５】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、燃焼排ガスから効率よく熱回収を行うことが可能な
熱処理装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願の請求項１の熱処理装置は、燃料ガスの燃焼熱
により、炉室内を所定の温度に昇温させて、炉室内に収
容された被熱処理物の熱処理を行う熱処理装置であっ
て、内部に炉室が形成された炉本体と、前記炉本体の天
井部を貫通するように配設され燃焼排ガス通路（煙道）
と、前記炉本体の上面側に、実質的に炉本体に接して配
設され、燃焼排ガス通路（煙道）を経て炉室から排出さ
れる燃焼排ガスと、燃料ガスを燃焼させるための燃焼用
空気との熱交換を行わしめる熱交換器とを具備すること
を特徴としている。

【０００７】炉本体の上面側に、実質的に炉本体に接し
て熱交換器を配設し、炉本体の天井部を貫通するように
配設された燃焼排ガス通路（煙道）を経て燃焼排ガスを
直接に熱交換器に導き、燃焼用空気と熱交換させること
により、経路における放熱を防止して、効率よく熱回収
を行うことが可能になる。なお、「実質的に炉本体に接
して熱交換器を配設し」とは、必ずしも、炉本体と熱交
換器とが物理的に密着している場合のみを意味するもの
ではなく、途中で燃焼排ガスからの放熱を生じることが
殆どないような、近接した位置に熱交換器を配設するこ
とを意味する広い概念である。

【０００８】また、請求項２の熱処理装置は、前記熱交
換器が、熱交換器本体と、本体内に配設された熱交換チ
ューブを備えており、前記熱交換チューブの内側（管
内）を燃焼用空気が通過し、熱交換チューブの外側（管
外）を燃焼排ガスが通過することにより、熱交換チュー
ブの管壁を伝熱面として熱交換が行われるように構成さ
れていることを特徴としている。

【０００９】また、請求項３の熱処理装置は、前記熱交
換器が、熱交換器本体と、本体内に配設された熱交換チ
ューブを備えており、前記熱交換チューブの内側（管
内）を燃焼排ガスが通過し、熱交換チューブの外側（管
外）を燃焼用空気が通過することにより、熱交換チュー
ブの管壁を伝熱面として熱交換が行われるように構成さ
れていることを特徴としている。

【００１０】本発明の熱処理装置においては、燃焼排ガ
スを熱交換器の管外に通し、燃焼用空気を管内に通す構
成、及び燃焼排ガスを熱交換器の管内に通し、燃焼用空
気を伝熱管の外側に通す構成のいずれの構成をとること
も可能であり、燃焼排ガスや燃焼用空気の温度や量など
の条件に応じて設計の自由度を向上させることができ
る。

【００１１】また、請求項４の熱処理装置は、前記燃焼
排ガス通路（煙道）が、前記炉本体の天井部を貫通する
ように複数配設されており、各燃焼排ガス通路を通過し
て燃焼排ガスが前記熱交換器の管内又は管外に導かれる
ように構成されていることを特徴としている。複数の燃
焼排ガス通路を、炉本体の天井部を貫通するように配設
し、各燃焼排ガス通路を通過して燃焼排ガスが熱交換器
の管内又は管外に導かれるようにした場合、多量の燃焼
排ガスを速やかに熱交換器に導くことが可能になり、種
々の熱処理条件に広く対応することが可能になる。

【００１２】また、請求項５の熱処理装置は、前記熱交
換チューブが金属からなるものであることを特徴として
いる。熱交換チューブとして金属からなるものを用いた
場合、高い伝熱効率を確保することが可能になり、熱回
収効率を向上させることが可能になる。

【００１３】また、請求項６の熱処理装置は、前記熱交
換チューブがセラミックからなるものであることを特徴
としている。熱交換チューブとしてセラミックからなる
ものを用いた場合、金属製の伝熱管を用いた場合には、
熱によるストレスから耐久性が問題になるような条件下
でも、十分な耐用性を確保することが可能になる。

【００１４】また、請求項７の熱処理装置は、前記熱交
換チューブの少なくとも一部がスパイラル状に形成され
ていることを特徴としている。熱交換チューブの少なく
とも一部をスパイラル状に形成することにより、伝熱面
積の増大を図ることが可能になり、さらに効率よく熱回
収を行うことができるようになる。また、セラミック製
の熱交換チューブを用いる場合にも、必要な伝熱量を確
保しやすくなる。

【００１５】また、請求項８の熱処理装置は、前記熱交
換器に導入される燃焼排ガス量及び燃焼用空気量の少な
くとも一方を制御するためのガス量制御手段を備えてお
り、燃焼排ガス量及び燃焼用空気量の少なくとも一方を
制御することによって、一定温度に加熱された燃焼用空
気が得られるようにしたことを特徴としている。熱交換
器に導入される燃焼排ガス量及び燃焼用空気量の少なく
とも一方を制御することにより、熱交換後の燃焼用空気
の温度を一定にすることが可能になり、炉室内における
燃焼状態を安定させて、雰囲気中の酸素分圧を一定に保
つことが可能になる。また、高温で一定温度の燃焼用空
気が得られることから、燃料ガスを燃焼させる際に空気
比を過剰にすることが不要になり、効率のよい燃焼を行
わせることが可能になる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。［実施形態１］図１は本発明の一実施形態にかかる熱処
理装置の概要を示す正面断面図、図２(ａ)はこの実施形
態の熱処理装置において用いられている熱交換器の正面
断面図、図２(ｂ)は平面断面図である。

【００１７】この実施形態の熱処理装置は、図１に示す
ように、耐火材や断熱材からなる本体部１ａ、炉床部１
ｂ、及び扉１ｃからなる炉本体１の内部に形成された炉
室２内で、ガスバーナ３により燃料ガスを燃焼させ、発
生する燃焼熱により炉室２内を所定の温度に加熱するこ
とによって、炉室２に入れられた被熱処理物４（図１は
被熱処理物を匣４ａに入れた状態を示している）の熱処
理を行うように構成されたバッチ式の熱処理装置であ
る。なお、ガスバーナ３は、炉室２内の一方の側壁の対
角位置に２個と、対向する側壁の前記一方の側壁とは異
なる対角位置に２個の合計４個が配設されている。

【００１８】そして、この熱処理装置においては、炉本
体１の天井部１ｄに燃焼排ガス通路（煙道）５が形成さ
れているとともに、炉本体１の上面側には、炉本体１に
接して熱交換器１０が配設されており、熱交換器１０に
おいて、炉室２から導かれた燃焼排ガスと、燃焼用空気
との熱交換が行われるように構成されている。

【００１９】なお、熱交換器１０は、図２(ａ)，(ｂ)に
示すように、耐火材からなる熱交換器本体２１と、熱交
換器本体２１内に配設され、内部（管内）を炉室２内に
おいてガスバーナ３によって燃焼ガスを燃焼させるため
の燃焼用空気が通過するステンレスやインコネルなどの
金属製のコイル状パイプ（熱交換チューブ）２２と、コ
イル状パイプ２２を熱交換器本体２１内に保持する耐火
れんがからなる支持部２３及び炭化ケイ素、アルミナ、
ムライトなどからなる支持チューブ２４と、炉本体１の
天井部１ｄに形成された燃焼排ガス通路（煙道）５から
導かれる燃焼排ガスを熱交換器本体２１内に導く燃焼排
ガス導入路（煙道）２５と、熱交換後の燃焼排ガスを排
出するための排出口（排出管）２６と、排出口２６に配
設された、燃焼排ガスを吸引して熱交換器本体２１内に
導入するための燃焼排ガス吸引ファン３４（図２(ｂ)）
と、燃焼用空気を供給するための燃焼用空気供給管２７
と，燃焼用空気排出管２８と、燃焼用空気を燃焼用空気
供給管２７を経てコイル状パイプ（熱交換チューブ）２
２に供給するための空気供給ファン２９とを備えてい
る。

【００２０】炉本体１の天井部１ｄに形成された燃焼排
ガス通路（煙道）５は、熱交換器本体２１の燃焼排ガス
導入路（煙道）２５に直結しており、熱交換器１０に導
入された燃焼排ガスはコイル状パイプ（熱交換チュー
ブ）２２の外側（管外）を通過して排出口２６から系外
に排出されるように構成されている。また、熱交換器１
０には熱電対３０が挿入されており、燃焼排ガスを吸引
するための燃焼排ガス吸引ファン３４（図２(ｂ)）の吸
引量を調節することにより熱交換器１０の内部を所定の
温度に制御することができるように構成されている。さ
らに、コイル状パイプ（熱交換チューブ）２２の端部に
は、膨張収縮による応力を吸収するためにフレキシブル
チューブ３１（図２(ａ)）が配設されている。

【００２１】この熱処理装置においては、燃料ガスを炉
室２内でガスバーナ３により燃焼させることにより、炉
室２内が所定の温度に昇温され、被熱処理物４の熱処理
が行われるとともに、燃焼排ガスが、燃焼排ガス吸引フ
ァン３４（図２(ｂ)）により、炉室２から燃焼排ガス通
路（煙道）５、熱交換器１０の燃焼排ガス導入路（煙
道）２５を経て直接に熱交換器１０内の管外に導入され
るとともに、燃焼用空気が、空気供給ファン２９、燃焼
用空気供給管２７を経てコイル状パイプ（熱交換チュー
ブ）２２に導入され、コイル状パイプ（熱交換チュー
ブ）２２を介して燃焼排ガスと燃焼用空気の熱交換が行
われる。そして、予熱（加熱）された空気は、図示しな
い経路を通って、ガスバーナ３の燃焼用空気として使用
される。

【００２２】この実施形態１の熱処理装置においては、
燃焼排ガスが直接に熱交換器に導入されるため、途中で
燃焼排ガスが冷却されたりするようなことがなく、効率
よく熱回収を行うことができる。なお、この実施形態１
の熱処理装置を用いることにより、例えば、炉室２内の
温度が１４００℃である場合に、５００〜７００℃の燃
焼用空気を得ることができる。また、効率よく予熱され
た燃焼用空気が得られるため、炉室内を所定の温度に加
熱するための燃料ガスの使用量を削減することが可能に
なり、ランニングコストを低減することが可能になると
ともに、燃料ガスの燃焼に伴う炭酸ガスの発生を低減す
ることが可能になる。また、この実施形態１の熱処理装
置は、熱交換器に導入される燃焼排ガス量を制御するこ
とができるように構成されているため、熱交換後の燃焼
用空気の温度を一定にすることが可能になり、炉室内で
の燃焼状態を安定させて、炉室内の雰囲気中の酸素分圧
を一定に保つことができる。さらに、高温で一定温度の
燃焼用空気が得られることから、燃料ガスを燃焼させる
場合に、空気比を過剰にすることが不要になり、効率の
よい燃焼を行わせることができる。

【００２３】［実施形態２］図３は本発明の他の実施形
態にかかる熱処理装置の概要を示す正面断面図、図４
(ａ)はこの実施形態の熱処理装置において用いられてい
る熱交換器の正面断面図、図４(ｂ)は平面断面図であ
る。この実施形態２の熱処理装置は、図３に示すよう
に、耐火材や断熱材からなる本体部１ａ、炉床部１ｂ、
及び扉１ｃからなる炉本体１の内部に形成された炉室２
内で、ガスバーナ３により燃料ガスを燃焼させ、発生す
る燃焼熱により炉室２内を所定の温度に加熱することに
よって、炉室２に入れられた被熱処理物４（図３は被熱
処理物を匣４ａに入れた状態を示している）の熱処理を
行うように構成されたバッチ式の熱処理装置である。な
お、ガスバーナ３は、炉室２内の一方の側壁の対角位置
に２個と、対向する側壁の前記一方の側壁とは異なる対
角位置に２個の合計４個が配設されている。なお、これ
らの構成は上記実施形態１の熱処理装置の場合と同様で
ある。

【００２４】そして、この熱処理装置においては、炉本
体１の天井部１ｄに、複数の燃焼排ガス通路（煙道）５
（図４(ａ)）が千鳥状の位置（図４(ｂ)参照）に配設さ
れているとともに、炉本体１の上面側には、炉本体１に
接して熱交換器１０が配設されており、この熱交換器１
０において、炉室２から導かれた燃焼排ガスと、燃焼用
空気との熱交換が行われるように構成されている。

【００２５】なお、熱交換器１０は、図４(ａ)，(ｂ)に
示すように、耐火材からなる熱交換器本体２１と、炭化
ケイ素、アルミナ、ムライトなどのセラミックからな
り、熱交換器本体２１を上下方向に貫通するように配設
され、一端側が炉本体１の複数の燃焼排ガス通路（煙
道）５と直結する複数の熱交換チューブ３２と、熱交換
チューブ３２の他端が接続された燃焼排ガスヘッダ３３
と、燃焼排ガスヘッダ３３の出口側に配設された燃焼排
ガス吸引ファン３４（図３）と、燃焼用空気供給管２７
及び燃焼用空気排出管２８と、燃焼用空気を燃焼用空気
供給管２７を経て熱交換器本体２１の内部に供給するた
めの空気供給ファン２９（図３）とを備えている。

【００２６】また、熱交換器１０には熱電対３０（図４
(ｂ)）が挿入されており、燃焼排ガスを吸引するための
燃焼排ガス吸引ファン３４（図３）の吸引量を調節する
ことにより熱交換器１０の内部を所定の温度に制御する
ことができるように構成されている。

【００２７】この熱処理装置においては、燃料ガスを炉
室２内でガスバーナ３により燃焼させることにより、炉
室２内が所定の温度に昇温され、被熱処理物４の熱処理
が行われるとともに、燃焼排ガスが、燃焼排ガス吸引フ
ァン３４により、炉室２から天井部１ｄに配設された複
数の燃焼排ガス通路（煙道）５を経て、直接に熱交換器
１０の熱交換チューブ３２（管内）に導入されるととも
に、燃焼用空気が、空気供給ファン２９により、燃焼用
空気供給管２７を経て熱交換器本体２１内の管外に導入
され、熱交換チューブ３２を介して燃焼排ガスと燃焼用
空気の間で熱交換が行われる。そして、加熱（予熱）さ
れた空気は、燃焼用空気排出管２８から排出された後、
図示しない経路を通って、ガスバーナ３の燃焼用空気と
して使用される。

【００２８】この実施形態２の熱処理装置においても、
燃焼排ガスが直接に熱交換器１０に導入されるため、途
中で燃焼排ガスが冷却されたりするようなことがなく効
率よく熱回収を行うことができるとともに、熱交換器が
複数の熱交換チューブを備えているため、熱交換チュー
ブがセラミック製であっても、十分な熱交換効率を確保
することができる。なお、この実施形態２の熱処理装置
を用いた場合にも、上記実施形態１の場合と同様に、例
えば、炉室２内の温度が１４００℃である場合に、５０
０〜７００℃の燃焼用空気を得ることができる。また、
効率よく予熱された燃焼用空気が得られるため、炉室内
を所定の温度に加熱するための燃料ガスの使用量を削減
することが可能になり、ランニングコストを低減するこ
とが可能になるとともに、燃料ガスの燃焼に伴う炭酸ガ
スの発生を低減することが可能になる。また、この実施
形態の熱処理装置においても、熱交換器に導入される燃
焼排ガス量を制御することができるように構成されてい
るため、熱交換後の燃焼用空気の温度を一定にすること
が可能になり、炉室内での燃焼状態を安定させて、雰囲
気中の酸素分圧を一定に保つことができる。さらに、高
温で一定温度の燃焼用空気が得られることから、燃料ガ
スを燃焼させる場合に、空気比を過剰にすることが不要
になり、効率のよい燃焼を行わせることができる。

【００２９】さらに、この実施形態２の熱処理装置にお
いては、熱交換チューブとしてセラミック製のチューブ
が用いられているため、金属製の熱交換チューブを用い
た場合には、熱によるストレスから耐久性が問題になる
ような条件下でも、十分な耐用性を確保することができ
る。なお、上記実施形態では、バッチ式の熱処理装置を
例にとって説明したが、本発明は、連続式の熱処理装置
にも適用することが可能である。また、上記実施形態で
は、熱交換器に導入される燃焼排ガス量を制御すること
により熱交換後の燃焼用空気の温度を一定にするように
した場合について説明したが、熱交換器に導入される燃
焼用空気量を制御することにより熱交換後の燃焼用空気
の温度を一定にすることも可能であり、場合によって
は、燃焼排ガスと燃焼用空気量の両方を制御して熱交換
後の燃焼用空気の温度を一定にするように構成すること
も可能である。

【００３０】本発明はさらにその他の点においても上記
実施形態に限定されるものではなく、炉本体や炉室の具
体的な形状や構造、熱処理温度などに関し、発明の要旨
の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能
である。

【００３１】

【発明の効果】上述のように、本願の請求項１の熱処理
装置は、炉本体の上面側に、実質的に炉本体に接して熱
交換器を配設し、炉本体の天井部を貫通するように配設
された燃焼排ガス通路（煙道）を経て燃焼排ガスを直接
に熱交換器に導き、燃焼用空気と熱交換させるようにし
ているので、経路における放熱を防止して、効率よく熱
回収を行うことができる。

【００３２】また、本発明の熱処理装置においては、請
求項２及び３のように、燃焼排ガスを熱交換器の管外に
通し、燃焼用空気を管内に通す構成、及び燃焼排ガスを
熱交換器の管内に通し、燃焼用空気を伝熱管の外側に通
す構成のいずれの構成をとることも可能であり、燃焼排
ガスや燃焼用空気の温度や量などの条件に応じて設計の
自由度を向上させることができる。

【００３３】また、請求項４の熱処理装置のように、複
数の燃焼排ガス通路を、炉本体の天井部を貫通するよう
に配設し、各燃焼排ガス通路を通過して燃焼排ガスが熱
交換器の管内又は管外に導かれるようにした場合、多量
の燃焼排ガスを速やかに熱交換器に導くことが可能にな
り、種々の熱処理条件に広く対応することができるよう
になり、本発明をより実効あらしめることができる。

【００３４】また、請求項５の熱処理装置のように、熱
交換チューブとして金属からなるものを用いた場合、高
い伝熱効率を確保することが可能になり、熱回収効率を
向上させることが可能になる。

【００３５】また、請求項６の熱処理装置のように、熱
交換チューブとしてセラミックからなるものを用いた場
合、金属製の伝熱管を用いた場合には、熱によるストレ
スから耐久性が問題になるような条件下でも、十分な耐
用性を確保することが可能になる。

【００３６】また、請求項７の熱処理装置のように、熱
交換チューブの少なくとも一部をスパイラル状に形成す
ることにより、伝熱面積の増大を図ることが可能にな
り、さらに効率よく熱回収を行うことができるようにな
る。また、セラミック製の熱交換チューブを用いる場合
にも、必要な伝熱量を確保しやすくなり、本発明をより
実効あらしめることができる。

【００３７】また、請求項８の熱処理装置のように、熱
交換器に導入される燃焼排ガス量及び燃焼用空気量の少
なくとも一方を制御できるようにした場合、熱交換後の
燃焼用空気の温度を一定にすることが可能になり、炉室
内での燃焼状態を安定させて、雰囲気中の酸素分圧を一
定に保つことができる。また、高温で一定温度の燃焼用
空気が得られることから、燃料ガスを燃焼させる際に空
気比を過剰にすることが不要になり、効率のよい燃焼を
行わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる熱処理装置の概要
を示す正面断面図である。

【図２】(ａ)は本発明の一実施形態の熱処理装置におい
て用いられている熱交換器の正面断面図、(ｂ)は平面断
面図である。

【図３】本発明の他の実施形態にかかる熱処理装置の概
要を示す正面断面図である。

【図４】(ａ)は本発明の他の実施形態にかかる熱処理装
置において用いられている熱交換器の正面断面図、(ｂ)
は平面断面図である。

【図５】従来の熱処理装置を示す正面断面図である。

【符号の説明】

１炉本体１ａ本体部１ｂ炉床部１ｃ扉１ｄ天井部２炉室３ガスバーナ４被熱処理物４ａ匣５燃焼排ガス通路（煙道）１０熱交換器２１熱交換器本体２２コイル状パイプ（熱交換チューブ）２３支持部２４支持チューブ２５燃焼排ガス導入路（煙道）２６排出口２７燃焼用空気供給管２８燃焼用空気排出管２９空気供給ファン３０熱電対３１フレキシブルチューブ３２熱交換チューブ３３燃焼排ガスヘッダ３４燃焼排ガス吸引ファン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】燃料ガスの燃焼熱により、炉室内を所定の
温度に昇温させて、炉室内に収容された被熱処理物の熱
処理を行う熱処理装置であって、内部に炉室が形成された炉本体と、前記炉本体の天井部を貫通するように配設された燃焼排
ガス通路（煙道）と、前記炉本体の上面側に、実質的に炉本体に接して配設さ
れ、燃焼排ガス通路（煙道）を経て炉室から排出される
燃焼排ガスと、燃料ガスを燃焼させるための燃焼用空気
との熱交換を行わしめる熱交換器とを具備することを特
徴とする熱処理装置。
【請求項２】前記熱交換器が、熱交換器本体と、本体内
に配設された熱交換チューブを備えており、前記熱交換
チューブの内側（管内）を燃焼用空気が通過し、熱交換
チューブの外側（管外）を燃焼排ガスが通過することに
より、熱交換チューブの管壁を伝熱面として熱交換が行
われるように構成されていることを特徴とする請求項１
記載の熱処理装置。
【請求項３】前記熱交換器が、熱交換器本体と、本体内
に配設された熱交換チューブを備えており、前記熱交換
チューブの内側（管内）を燃焼排ガスが通過し、熱交換
チューブの外側（管外）を燃焼用空気が通過することに
より、熱交換チューブの管壁を伝熱面として熱交換が行
われるように構成されていることを特徴とする請求項１
記載の熱処理装置。
【請求項４】前記燃焼排ガス通路（煙道）が、前記炉本
体の天井部を貫通するように複数配設されており、各燃
焼排ガス通路を通過して燃焼排ガスが前記熱交換器の管
内又は管外に導かれるように構成されていることを特徴
とする請求項１〜３のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項５】前記熱交換チューブが金属からなるもので
あることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の
熱処理装置。
【請求項６】前記熱交換チューブがセラミックからなる
ものであることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに
記載の熱処理装置。
【請求項７】前記熱交換チューブの少なくとも一部がス
パイラル状に形成されていることを特徴とする請求項２
〜６のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項８】前記熱交換器に導入される燃焼排ガス量及
び燃焼用空気量の少なくとも一方を制御するためのガス
量制御手段を備えており、燃焼排ガス量及び燃焼用空気
量の少なくとも一方を制御することによって、一定温度
に加熱された燃焼用空気が得られるようにしたことを特
徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の熱処理装置。