JPH11142474A5 - - Google Patents

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JPH11142474A5
JPH11142474A5 JP1997325183A JP32518397A JPH11142474A5 JP H11142474 A5 JPH11142474 A5 JP H11142474A5 JP 1997325183 A JP1997325183 A JP 1997325183A JP 32518397 A JP32518397 A JP 32518397A JP H11142474 A5 JPH11142474 A5 JP H11142474A5
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補助装置10は、たとえば、先ず、合成樹脂製の基板20に複数のスルーホール22を検査すべきICチップ12のバンプ電極16と同じパターンに形成し、次いで、第1及び第2の突起24及び26並びに部材28を気相生長法のような適宜な手法で各スルーホール22に形成し、次いで各第1の突起24の頂部を基板20とほぼ平行に切除して頂面30を形成し、その後各突起24に頂面30の側からドリル加工を施して凹所32を形成することにより、製作することができる。従って、補助装置を容易に製作することができる。
上記の補助装置10は、複数の突起24を有するから、突起タイプのプローブカードとして用いることができる。このため、本発明の補助装置は、回路基板に直接実装されるICチップの通電試験用補助装置のみならず、他の集積回路、液晶表示パネル等、他の平板状被検査体の通電試験用補助装置にも適用することができる。
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KR101974931B1 (ko) * 2018-05-03 2019-05-03 주식회사 티에프이 반도체 패키지 테스트용 소켓 모듈

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