JPH11142484A - 並列シグネチャー圧縮回路及びその設計方法 - Google Patents

並列シグネチャー圧縮回路及びその設計方法

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JPH11142484A
JPH11142484A JP10251444A JP25144498A JPH11142484A JP H11142484 A JPH11142484 A JP H11142484A JP 10251444 A JP10251444 A JP 10251444A JP 25144498 A JP25144498 A JP 25144498A JP H11142484 A JPH11142484 A JP H11142484A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 減少されたマスキング確率を有するシグネチ
ャー圧縮回路を提供すること。 【解決手段】 本発明の並列シグネチャー圧縮回路は二
つのエラーパターン中のいずれかのエラー効果が反復エ
ラーパターンによるエラー効果の相殺が発生するビット
位置のセルではない他のセルに伝達させる。本発明の1
実施の形態では奇数距離の反複エラーパターンによるマ
スキングを防止するためシグネチャー圧縮回路は直列に
連結される2つの多重入力シグネチャーレジスタを備え
る。その他の実施の形態では、偶数距離の反複エラーパ
ターンによるマスキングを減らすため、設計許容範囲内
でできるだけ多くの回数の圧縮が遂行されるようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は集積回路の欠陥検査
(fault detection)のためのシグネチ
ャー分析回路(signature analyzer
circuit)に関するものであり、より具体的に
は検査対象回路(object circuit to
betested)からの検査出力(test ou
tputs)を圧縮する並列シグネチャー圧縮回路及び
その設計方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図1には、集積回路の欠陥検査におい
て、検査対象回路とそれからの検査出力を圧縮する回路
が図示されている。欠陥検査に対して図1を参照して簡
略に説明すると次のようである。図示されたように、ロ
ジック、メモリ、バス回路等のような集積回路の欠陥検
査において、検査対象回路10へは検査入力パターン
(test input pattern)が与えら
れ、回路10の検査出力パターン(test outp
ut pattern)すなわち、応答データ(res
ponse data)はシグネチャー圧縮回路12に
提供される。検査出力パターンはシグネチャー圧縮回路
12で圧縮される。圧縮回路12は単一の入力を有する
単一入力シグネチャーレジスター(single in
put signature register;SI
SR)あるいは並列入力を有する多重入力シグネチャー
レジスター(multiple input sign
atureregister;MISR)から構成され
る。検査の最後の段階で、検査のシグネチャー、すなわ
ち、結果データ(resultant data)は圧
縮回路12に貯蔵される。このように、測定されたシグ
ネチャーは予測されたシグネチャーと比較される。比較
に基づいて検査対象回路10が分析される。
【0003】シグネチャー分析回路の占有面積を考える
と、MISRを使う並列圧縮技術(この技術では一つの
MISRで検査出力パターンのビットを並列に圧縮する
ことができる)がSISRを使う直列圧縮技術(この技
術では検査出力パターンのビットに対して複数のSIS
Rが各々対応されなけれなならない)より有利である。
従って、近来、検査のシグネチャーを効果的に分析する
ためにSISRによりはMISRにより圧縮技術に広く
使われている。
【0004】”Testing Semiconduc
tor Memories”、byJohn Wile
y&Sons、1991,pp.204〜209に開示
されているように、SIRSは勿論、MISRで、エラ
ーがある検査出力パターンを圧縮することにより、発生
されたシグネチャーがエラーがない検査出力パターンの
圧縮によるシグネチャーと同一である。すなわち、エラ
ーがあるパターン(エラーパターン)の圧縮により得ら
れたシグネチャーマスキング(masking)が起こ
ることができる。ここで、シグネチャー分析器の長さ
(すなわち、シグネチャーレジスターのビット数)nよ
り検査対象回路から出力されるパターンシーケンス(p
attern sequences)の長さがより大き
く、そして、各パターンシーケンスでエラーが発生する
確率が同一であると、SISR及びMISR全てで、マ
スキングが発生される確率は2-nであることと知られて
いる。しかし、上のような仮定は実質的ではないので、
SISRやMISRが使われる応用分野の特性により注
意しなければならない必要がある。
【0005】シグネチャー分析のためのMISRはソフ
トウェア形態で、あるいはハードウェア形態で具現され
ることができる。特に、ハードウェア的に具現されたM
ISRはVLSI回路において、ロジック及びメモリ回
路の自体的な検査のためのBIST(built−in
self test)回路の主要構成成分になってい
る。
【0006】図2には、応答データの並列圧縮のための
典型的なMISRが図示されている。図面で、MISR
20は6ビットの検査出力パターン(P1ないしP6)
に各々対応するフリップフロップ回路(flip−fl
op circuits)21を具備している。各フリ
ップフロップ回路は排他的オア(XOR)ゲート23を
通じて上位ビット側上の次のフリップフロップ回路に連
結される。又、MISR20はフィードバックタップ
(feedback tap)25を具備している。フ
ィードバックタップ25はXORゲート27の一つの入
力と連結される。XORゲート27の出力は検査出力パ
ターンの一番目のビットに対応するXORゲート23−
1に提供される。
【0007】他のMISRが図3に図示されている。図
3を参照すると、MISRはフィードバックタップの構
成が他のものを除外すると、図2のMISR20と同一
な構成を有する。
【0008】SISRとは別にMISRによると、任意
の検査中である回路(circuit under t
est)からのパターンシーケンス(pattern
sequence)上でエラーが反復的に発生される場
合にマスキングが発生されるかもしれない。言い換えれ
ば、MISRが反復エラーパターン(repectit
ive error patterns)を圧縮するこ
とに使われる時にはマスキングが発生されることができ
る。ここで、’反復エラーパターン’という用語はパタ
ーンシーケンス上の任意の二つのパターンでエラーが二
つのパターン間の距離ぐらい間隔をおいて、発生するこ
とを意味する。反復エラーパターンは二つのパターン間
の距離により、奇数の距離あるいは偶数の距離を有す
る。これに対して次の表1及び2を参照して具体的に説
明する。表1及び2は各々距離3及び距離4の反復エラ
ーパターンを示している。
【0009】
【表1】
【0010】
【表2】
【0011】表1及び表2の各ローは一つの検査出力パ
ターンを示し、各パターンで’0’は正常データを表示
し、’1’はエラーを表示する。表1で、一番目エラー
パターン100000の一番目ビットP1でエラーが発
生された後、2番目エラーパターン000100の四番
目ビットP4で反復的にエラーが発生。すなわち、一番
目エラーパターン100000のエラービットP1と二
番目エラーパターン000100のエラービットP4間
の間隔はパターンシーケンス上からの二つのエラーパタ
ーン間の距離3と同一である。これと同じように、表2
では、一番目エラーパターン100000のエラービッ
トP1と二番目エラーパターン000010のエラービ
ットP5間の間隔はパターンシーケンス上からの二つの
エラーパターン間の距離4と同一である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】次の表3は表1の反復
エラーパターンを図2のMISRを使って圧縮した結果
を示している。
【表3】
【0013】表3に表示されたように、一番目から三番
目まで一連の圧縮の過程を通じて、表2の一番目エラー
パターン1000000のエラービットP1が三回シフ
トされる。続いて、二番目エラーパターン001000
が入力された直後の圧縮過程、すなわち、図2の四番目
圧縮過程では、エラー効果が四番目セル、すなわち、フ
リップフロップ回路21−4に伝達されないことを見ら
れる。言い換えれば、二番目エラーパターン00010
0がMISR20で入力される時、四番目セルの出力す
なわち、三番目シグネチャービットS3は’0’にな
る。これは、エラーパターンの圧縮結果の正常パターン
の圧縮結果が同一になるマスキングが起こることを意味
する。その結果、シグネチャー(Sout)には二つの
エラーパターン中、いずれかのエラー効果も残らない。
【0014】次の表4は表の反復エラーパターンを図2
のMISRを使って圧縮した結果を示している。
【表4】
【0015】表4に表示されたように、一番目から三番
目まで一連の圧縮の過程を通じて、表2の一番目エラー
パターン1000000のエラービットP1が三回シフ
トされる。続いて、二番目エラーパターン000010
が入力された直後の圧縮過程にエラー効果が図2の5番
目セル、すなわち、フリップフロップ回路21−5に伝
達されないことを見られる。言い換えれば、二番目エラ
ーパターン000010がMISR20で入力される
時、5番目セルの出力すなわち、5番目シグネチャービ
ットS5は’0’になる。このようなマスキングによっ
て、シグネチャー(Sout)には二つのエラーパター
ン中、いずれかのエラー効果も残らない。
【0016】上から記述した反復エラーパターンはメモ
リ欠陥検査でよく発生する。従って、メモリ検査のデー
タを圧縮することに使うMISRの重要な入力クラスと
して反復エラーパターンが考えなければならない。
【0017】本発明の目的は減少されたマスキング確率
を有するシグネチャー圧縮回路を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ための本発明の特徴によると、検査される電子回路から
の応答データを圧縮する圧縮回路が第1シグネチャーを
発生するため応答データ発生する第1多重入力シグネチ
ャーレジスタ(MISR)と、第1MISRに直列に結
合され、第2シグネチャーを発生するため応答データ発
生する第2MISRとを含む。
【0019】本発明の他の特徴によると、検査される電
子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路が第1MI
SRに順序的に直列に結合された1つ以上の付加的なM
ISRを加えて含み、付加的なMISRが並列に以前の
MISRの出力を各々圧縮して、別のシグネチャーを発
生する。
【0020】本発明の他の特徴によると、MISR各々
が少なくとも1つのフィードバックタップを有する。
【0021】本発明の他の特徴によると、直列で結合さ
れた少なくとも2つの多重入力シグネチャー(MIS
R)を含み、検査される電子回路からの応答データを圧
縮する圧縮回路を設計する方法が可能な反複エラーパタ
ーンの間に最大距離を探す段階と、前記反複エラーパタ
ーンにおける圧縮工程を遂行する段階と、反複エラーパ
ターンにおけるシグネチャーエラーマスキングを有しな
い圧縮工程の数を計算する段階と、エラーマスキングを
有しない反複圧縮工程における反複エラーパターンの数
をチェクする段階と、反複エラーパターンの数に依存す
る前記MISRの前記数を決定する段階とを含む。
【0022】
【発明の実施の形態】次は、添付された図面を参照しな
がら、本発明の好ましい実施の形態に対して詳細に説明
する。
【0023】[第1実施の形態]図4を参照すると、奇
数距離の反複エラーパターンによるエラーマスキングを
防止する並列圧縮回路40は2つのMISR42−1と
42−2を備える。MISR42−1は6ビットの検査
出力パターンP1ないしP6に各々対応する6つのフリ
ップフロップ回路43はXORゲートを通じて、上位ゲ
ート側上のフリップフロップ回路の連結される。上記各
XORゲート44の1つの入力としてはビット検査出力
が入力される。又、MISR42−1はフィードバック
タップを備える。フィードバックタップはXORゲート
45の1つの入力に連結される。XORゲート45の出
力は検査パターンの1番目ビットに対応するXORゲー
ト44−1に提供する。
【0024】MISR42−1に直列連結されるMIS
R42−2もMISR42−1と同様な構成を有する。
即ち、MISR42−2はMISR42−1内のフリッ
プフロップ43の出力に各対応する6つのフリップフロ
ップ46を備える。前記MISR42−2内の各フリッ
プフロップ回路43は前記MISR42−1のそのもの
のようにXORゲート47を通じて上位ビット側上の対
応する次のフリップフロップ回路に連結される。各XO
Rゲート48の1入力は最上位ビット位置のフリップフ
ロップ回路43−6の出力と連結され、その他の入力は
MISR42−2フィードバックタップと連結される。
XORゲート48の出力は1番目のビットに対応するX
ORゲート44−1に提供される。
【0025】上述した発明が従来の技術のように距離3
の反複エラーパターンの圧縮結果(表3参照)による
と、1ないし3番目検査パターンの圧縮によって得られ
たシグネチャーパターンのすべてはエラー効果を有する
が、4番目パターン(即ち、2番目エラーパターン)の
圧縮によるシグネチャーはエラー効果を有しない。エラ
ー効果を有しない1ないし3番目のシグネチャーパター
ンは相互間の距離1の反複エラーパターンである。表3
のシグネチャーを再び圧縮すれば、次の表5のようにな
る。
【0026】
【表5】
【0027】表5のように、表3の圧縮(即ち、2次圧
縮)の間に、2番目シグネチャーでマスキングが発生
し、3番目シグネチャーではマスキングが発生されな
い、この結果最後のシグネチャーはエラー効果を有す
る。
【0028】上のような奇数距離の反複パターンの圧縮
を一般化すれば、次のようである。
【0029】次の表6に示したように、任意のパターン
のi番目ビットとそれからある奇数距離kを有するパタ
ーンのi+k番目ビットにエラーが示す反複エラーパタ
ーンを考慮する。
【0030】
【表6】
【0031】次の表7は表6の反複エラーパターンの圧
縮(即ち、1次圧縮)によって得られるシグネチャーを
示している。
【表7】
【0032】表7に示したようにiないしk+1番目シ
グネチャーパターンのうち、最後の1つを除くすべての
シグネチャーパターンはエラーパターンはエラー効果を
有する。即ち、i番目ないしi+k−1番目シグネチャ
ーパターンは共に相互間に対する距離1の反複エラーパ
ターンになり、最後のパターンはマスキングによってエ
ラー効果を有する。
【0033】次の表8は表7のシグネチャーパターンの
圧縮(即ち、2次圧縮)によって得られるシグネチャー
を示している。
【表8】
【0034】表8に示したように、表7でエラー効果を
有するk−1個のシグネチャーパターン(iないし1+
k−1番目シグネチャー)うち、偶数番目パターンの圧
縮の間にマスキングが発生して、1+k−1番目シグネ
チャーパターンはエラー効果を有する。この1+k−1
番目シグネチャーパターンのエラー効果はi+k番目シ
グネチャーパターンの圧縮で得られるシグネチャーに伝
達される。
【0035】結局、図4に示したように2段のMISR
42−1と42−2を使用して検査パターンの圧縮によ
って得られるシグネチャーパターンが再び圧縮されるよ
うにすると、奇数距離の反複エラーパターンによってエ
ラーパターンによってエラーマスキングが防止される。
【0036】[第2実施の形態]上述した発明が従来の
技術のように距離4の反複エラーパターンの圧縮結果
(表4参照)によると、1ないし4番目検査パターンの
圧縮によって得られたシグネチャーパターンのすべては
エラー効果を有するが、5番目パターン(即ち、2番目
エラーパターン)の圧縮によるシグネチャーはエラー効
果を有しない。エラー効果を有しない1ないし4番目の
シグネチャーパターンは相互間の距離1の反複エラーパ
ターンである。表4のシグネチャーを再び圧縮すれば、
次の表9のようになる。
【0037】
【表9】
【0038】表9のように、表4の圧縮(即ち、2次圧
縮)の間、2番目、4番目シグネチャーパターンでマス
キングが発生し、最後シグネチャーではエラー効果が伝
達されない。
【0039】再び表9の圧縮(即ち、3次圧縮)の結果
は次の表10と同一である。
【表10】
【0040】表10のように、3次圧縮(即ち、表9の
圧縮)の間、再び3番目、シグネチャーパターンでマス
キングが発生し、最後シグネチャーでもエラー効果が伝
達されない。
【0041】表10シグネチャーパターンの圧縮(即
ち、4次圧縮)が遂行されると、次の表11のようなシ
グネチャーパターンが得られる。
【表11】
【0042】表11のように、距離4の反複エラーパタ
ーンに対する4次圧縮が遂行されると、マスキングが発
生されないで、エラー効果が最後シグネチャーに伝達さ
れる。
【0043】反複エラーパターンに対する複数回数の圧
縮を遂行すれば、エラーマスキングが発生されないで、
必要な圧縮回数は反複エラーパターンの距離によって異
なる。次の表12は距離1ないし16の反複エラーパタ
ーンに対して1ないし16回の圧縮が遂行されるとき、
マスキングが発生しない場合を示している。表12でx
はエラーマスキングが発生しないことを示している。
【表12】
【0044】上の表12に表示されたように、1回圧縮
が遂行されると、すべての反複エラーパターンでマスキ
ングが全然発生しない。距離1ないし16(即ち、最大
距離16)の反複エラーパターンの中各圧縮回数に対し
てマスキングが発生しない反複エラーパターンの数が表
12の最後の行に表示されている。圧縮回数に従いマス
キングが発生しない反複エラーパターンの数と種類が多
様であることをみられる。
【0045】多くの圧縮回数は過度なハードウェアオー
バーヘッド(hardware overhead)を
発生させるため、すべての反複エラーパターンに対して
マスキングを亡くすことができる回数の圧縮が実行され
るようにすることより、設計許容範囲内でできるだけ多
くの回数の圧縮が遂行されるようにするのが望ましい。
このために、次のような流れを通じて最適の圧縮回数が
得られる。 1)実現しようとするMISRのタイプに関係なく、可
能な反複エラーパターンの最大距離Dを求める。 2)距離1ないしDの反複エラーパターン各々に対する
1ないしCかいの圧縮間にマスキングが発生するか否か
を求める。ここで、Cはすべての反複エラーパターンの
圧縮においてどんなマスキングも発生しない圧縮回数で
ある。 3)各圧縮回数に関連してマスキングが発生しない反複
エラーパターンの数を求める。 4)どの回路で実現されることができるMISRの最大
圧縮回数Cmaxを決める。 5)Cmax個のMISRを直列に連結する。
【0046】図5を参照すると、反複エラーパターンに
よるエラーマスキングを防止するため4次圧縮を実行す
る並列シグネチャー圧縮回路50が示されている上記シ
グネチャー圧縮回路50は相互間に4つのMISR52
−1ないし52−4を備える。各MISR52は8ビッ
トの入力パターンP1−P8に各々対応する8つのフリ
ップフロップ回路54を備える。前記の実施の形態のよ
うに、各MISR52内の各フリップフロップ回路54
はXORゲート53を通じて上位ビット側上の次のフリ
ップフロップ回路に連結され、各MISRはフィードバ
ックタップを備える。
【0047】上記8ビットシグネチャー圧縮回路の反複
エラーパターンの検出可能な最大距離は7である。従っ
て、表12を参照すると、上記シグネチャー圧縮回路5
0は距離1,2,3,6,7の反複エラーパターンを検
出してそれによるエラーマスキングを防止する。
【0048】ここで、フィードバックタップを有するM
ISRを有する並列シグネチャー圧縮回路を通じて本発
明を詳細説明したが、本発明の技術的な思想と範囲はそ
のものに限定されないし、むしろ、本発明の多様な実施
の形態とその変形例が可能であることは本分野の通常の
技術者では明らかである。
【0049】
【発明の効果】このような本発明によると、偶数距離の
反複エラーパターンによるエラーマスキングの確率を減
らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 集積回路の欠陥検査を概略的に説明する図面
である。
【図2】 典型的な並列シグネチャー圧縮回路を示す回
路図である。
【図3】 他の並列シグネチャー圧縮回路を示す回路図
である。
【図4】 本発明の好ましい第1実施の形態による並列
シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【図5】 本発明の好ましい第1実施の形態による並列
シグネチャー圧縮回路を示す回路図である。
【符号の説明】
40,50:並列シグネチャー圧縮回路 42,52:多重入力シグネチャーレジスタ 43,46,54:フリップフロップ回路 44,45,47,48,53:XORゲート

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査される電子回路からの応答データを
    圧縮する圧縮回路において、 第1シグネチャーを発生するため応答データ発生する第
    1多重入力シグネチャーレジスタ(MISR)と、 第1MISRに直列に結合され、第2シグネチャーを発
    生するため応答データ発生する第2MISRとを含むこ
    とを特徴とする圧縮回路。
  2. 【請求項2】 前記第1MISRに順序的に直列に結合
    された1つ以上の付加的なMISRを加えて含み、前記
    付加的なMISRが並列に以前のMISRの出力を各々
    圧縮して、別のシグネチャーを発生することを特徴とす
    る請求項1に記載の圧縮回路。
  3. 【請求項3】 前記MISR各々が少なくとも1つのフ
    ィードバックタップを有することを特徴とする請求項2
    記載の圧縮回路。
  4. 【請求項4】 前記直列で結合された少なくとも2つの
    多重入力シグネチャー(MISR)を含み、検査される
    電子回路からの応答データを圧縮する圧縮回路を設計す
    る方法において、 可能な反複エラーパターンの間に最大距離を探す段階
    と、 前記反複エラーパターンにおける圧縮工程を遂行する段
    階と、 反複エラーパターンにおけるシグネチャーエラーマスキ
    ングを有しない圧縮工程の数を計算する段階と、 エラーマスキングを有しない反複圧縮工程における反複
    エラーパターンの数をチェックする段階と、 反複エラーパターンの数に依存する前記MISRの前記
    数を決定する段階とを含むことを特徴とする圧縮回路の
    設計方法。
  5. 【請求項5】 前記MISRの数が電子回路が保持でき
    るMISRの最大数以下であることを特徴とする請求項
    4記載の圧縮回路の設計方法。
JP25144498A 1997-09-08 1998-09-04 並列シグネチャー圧縮回路及びその設計方法 Expired - Fee Related JP4149578B2 (ja)

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