JPH11142777A - ガルバノミラー - Google Patents
ガルバノミラーInfo
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- JPH11142777A JPH11142777A JP32693997A JP32693997A JPH11142777A JP H11142777 A JPH11142777 A JP H11142777A JP 32693997 A JP32693997 A JP 32693997A JP 32693997 A JP32693997 A JP 32693997A JP H11142777 A JPH11142777 A JP H11142777A
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Abstract
え、可動部の不要な姿勢変化を防止すること。 【解決手段】 可動部の回転軸を、固定側に可動部を挟
んで設けた2つのセンターピンと、これらのセンターピ
ンの各先端部を夫々受ける可動部側に設けた2つの軸受
とによって構成すると共に、一方のセンターピンを軸方
向に摺動自在に、且つこのセンターピンの軸受と接触す
る側と反対の端部が突出するようにブッシュに取り付
け、このブッシュから突出するセンターピンの端部を少
なくとも一端をハウジング側に取り付けた与圧バネで軸
方向に押圧するようにし、さらに一方のセンターピンを
強磁性材料で形成すると共に、ブッシュの内周面の一部
弧面を磁石で構成し、一方のセンターピンをブッシュ内
の一部弧面に磁力で当接させてブッシュと一方のセンタ
ーピンの間のガタを吸収するようにした。
Description
に関し、特に光学式情報記録再生装置の微動トラッキン
グに用いるのに好適なガルバノミラーに関するものであ
る。
0Gビット/(インチ)2を越える光磁気ディスク装置
の開発が進んでいる。この装置では、光磁気ディスクの
トラックと交差する方向に例えば回動する粗動用アーム
の先端部に設けた対物光学系に対するレーザ光束の入射
角をガルバノミラー等の偏向手段により微調整して、微
動トラッキングを例えば0.34μmと狭いトラックピッ
チレベルで正確に行うようなことが考えられている。と
ころで、このような粗動用アームに通常用いられるガル
バノミラーとして、ピボット支持方式のものがあるが、
この方式のものでは可動部の軸支部のガタのため、可動
部の不要な姿勢変化を招く問題があった。
な背景に鑑みてなさせたものであり、請求項1の発明
は、電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可動部を回
転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノミラーで
あって、前記可動部の回転軸を、固定側に前記可動部を
挟んで設けた2つのセンターピンと、これらのセンター
ピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に設けた2つ
の軸受とによって構成すると共に、一方のセンターピン
を軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピンの前記軸
受と接触する側と反対の端部が突出するようにブッシュ
に取り付け、このブッシュから突出するセンターピンの
端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に取り付けた
与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さらに前記一方
のセンターピンを強磁性材料で形成すると共に、前記ブ
ッシュの内周面の一部弧面を磁石で構成し、前記一方の
センターピンを前記ブッシュ内の前記一部弧面に磁力で
当接させて前記ブッシュと前記一方のセンターピンの間
のガタを吸収するようにしたことを特徴とする。
偏向ミラーを取り付けた可動部を回転軸を中心に所定角
度範囲回動させるガルバノミラーであって、前記可動部
の回転軸を、固定側に前記可動部を挟んで設けた2つの
センターピンと、これらのセンターピンの各先端部を夫
々受ける前記可動部側に設けた2つの軸受とによって構
成すると共に、一方のセンターピンを軸方向に摺動自在
に、且つこのセンターピンの前記軸受と接触する側と反
対の端部が突出するようにブッシュに取り付け、このブ
ッシュから突出するセンターピンの端部を少なくとも一
端を前記ハウジング側に取り付けた与圧バネで軸方向に
押圧するようにし、さらに前記一方のセンターピンをそ
の軸断面を境に極性を変えた永久磁石で形成すると共
に、前記ブッシュの内周面の対向する周面の一部を夫々
同極性の磁極面で構成し、前記一方のセンターピンを前
記ブッシュ内の前記一方の周面に磁力で当接させて前記
ブッシュと前記一方のセンターピンの間のガタを吸収す
るようにしたことを特徴とする。
つわるハード,ソフトの進歩に伴う外部記憶装置への要
求、特に大記憶容量への要求の高まりに対して提案され
たニア・フィールド記録(NFR: near field recordin
g) 技術と呼ばれる記録再生方式を用いた光磁気ディス
ク記録再生装置の概要を図1乃至図5を参照して説明す
る。
ある。ディスクドライブ装置1には光ディスク2が図示
しないスピンドルモータの回転軸に装着されている。一
方、光ディスク2の情報を再生または記録するために回
動(粗動)アーム3が光ディスク2の記録面に対して平
行になるように取り付けられている。この回動アーム3
はボイスコイルモーター4によって回転軸5を回転中心
として回動可能となっている。この回動アーム3の光デ
ィスク2に対向する先端には、光学素子を搭載した浮上
型光学ヘッド6が搭載されている。また、回動アーム3
の回転軸5近傍には光源ユニットおよび受光ユニットを
備えた光源モジュール7が配設され、回動アーム3と一
体となって駆動する構成となっている。
するものであり、特に浮上型光学ヘッド6を詳細に説明
するものである。浮上型光学ユニット6はフレクシャー
ビーム8に取り付けられており、光ディスク2に対向し
て配置されている。また、フレクシャービーム8は他端
で回動アーム3に固着されており、フレクシャービーム
8の弾性力により先端部の浮上光学ユニット6を光ディ
スク2に接触させる方向に加圧している。
9,対物レンズ10,ソリッドイマージョンレンズ(S
IL)11,磁気コイル12から構成されており、光源
モジュール7から出射された平行なレーザー光束13を
光ディスク2上に収束させるはたらきをする。また、回
動アーム3の先端部には前記レーザー光束13を浮上型
光学ユニット6に導くために立ち上げミラー31が固着
されている。 立ち上げミラー31により対物レンズ1
0に入射したレーザー光束13は、対物レンズ10の屈
折作用により収束される。この集光点近傍にはソリッド
イマージョンレンズ(SIL)11が配置されており、
前記収束光を更に微細なエバネッセント光15として光
ディスク2に照射させる。
ージョンレンズ(SIL)11の周囲には、光磁気記録
方式で記録するための磁気コイル12が形成されてお
り、記録時には必要な磁界を光ディスク2の記録面上に
印加出来るようになっている。このエバネッセント光1
5と磁気コイル12により、光ディスク2への高密度な
記録および再生が可能となる。なお、浮上型光学ユニッ
ト6は光ディスク2の回転による空気流により微小量浮
上するものであり、光ディスク2の面振れ等に追従す
る。このため従来の光ディスク装置では必要であった対
物レンズの焦点制御(フォーカスサーボ)が不要となっ
ている。
に搭載された光源モジュール7および浮上型光学ユニッ
ト6へ導かれる光束に関し詳細に説明する。回動アーム
3は先端部に浮上型光学ユニット6を搭載し、他端には
ボイスコイルモーター4を駆動するための駆動コイル1
6が固着されている。駆動コイル16は扁平状のコイル
であり、図示せぬ磁気回路内に空隙をおいて挿入配置さ
れている。回転軸5と回動アーム3はベアリング17,
17により回動自在に締結されており、駆動コイルに電
流を印加すると磁気回路との電磁作用により回転軸5を
回転中心として回動アーム3を回動させることができ
る。
ル7には半導体レーザー18,レーザー駆動回路19,
コリメートレンズ20,複合プリズムアッセイ21,レ
ーザーパワーモニターセンサー22,反射プリズム2
3,データ検出センサー24,およびトラッキング検出
センサー25が配置されている。半導体レーザー18か
ら放出された発散光束状態のレーザー光束は、コリメー
トレンズ20によって平行光束に変換される。この平行
光束の断面形状は半導体レーザー18の特性から長円状
であり、光ビームを光ディスク2上に微小に絞り込むに
は都合が悪いため略円形断面に変換する必要がある。こ
のためコリメートレンズ20から出射された断面長円状
の平行光束を、複合プリズムアッセイ21に入射させる
ことにより平行光束の断面形状を整形する。
は入射光軸に対して所定の斜面を形成しており、入射光
を屈折させることにより平行光束の断面形状を長円形状
から略円形形状に整形することが出来る。整形されたレ
ーザー光束は複合プリズムアッセイ21内を進み第1の
ハーフミラー面21bに入射する。第1のハーフミラー
面21bは光ディスク2から得られた情報を、データ検
出センサー24,およびトラッキング検出センサー25
に導くために設定されているが、往路においては半導体
レーザー18から出射されたレーザーの出力パワーを検
出するためのレーザーパワーモニターセンサー22への
光束を分離する役目を果たす。
光した光の強度に比例した電流を出力するため、図示せ
ぬレーザーパワーコントロール回路にこの出力を帰還さ
せることにより半導体レーザー18の出力を安定化させ
ることが出来る。複合プリズムアッセイ21から出射さ
れた略円形断面形状をもったレーザー光束13は偏向ミ
ラー26に照射され、レーザー光束13の進行方向が変
えられる。この偏向ミラー26は紙面に垂直な軸を回動
中心とするガルバノモーター27に取り付いており、レ
ーザー光束13を紙面に平行な方向に微小角度振ること
が出来るようになっている。
ー26の回転角度を検出する偏向ミラー位置検出センサ
ー28が配設されている。偏向ミラー26を反射したレ
ーザー光束13は、第1のリレーレンズ29および第2
のリレーレンズ(イメージングレンズ)30を経て、立
ち上げミラー31で反射後浮上型光学ユニット6に至
る。この第1のリレーレンズ29および第2のリレーレ
ンズ30は、偏向ミラー26の反射面と浮上型光学ユニ
ット6に配置されている対物レンズ10の瞳面(主平
面)との関係を共役関係になるようにするもので、リレ
ーレンズ光学系を形成するものである。すなわち光ディ
スク2上の集光ビームが所定のトラックから僅かにずれ
た場合、偏向ミラー26を僅かに回転させることにより
対物レンズ10に入射させるレーザー光束13を傾か
せ、光ディスク2上の焦点を移動させて補正するもので
ある。しかしながら、この方式で焦点の補正を行う時、
偏向ミラー26と対物レンズ10の光学的距離が長い場
合は、対物レンズ10へ入射するレーザー光束13の移
動量が大きくなり、対物レンズ10に入射出来なくなる
場合がある。
ーレンズ29および第2のリレーレンズ30によって、
偏向ミラー26の反射面と対物レンズ10の瞳面との関
係を共役関係になるように設定し、偏向ミラー26が回
動しても対物レンズ10に入射するレーザー光束13は
移動せず、正確なトラッキング制御が可能となるように
している。なお、光ディスク2の内周/外周に渡るアク
セス動作は、ボイスコイルモーター4により回動アーム
3を回動させて行い、極微小なトラッキング制御のみ偏
向ミラー26を回動させて行う。
路のレーザー光束13は、往路と逆に進み偏向ミラー2
6に反射されて複合プリズムアッセイ21に入射する。
その後第1のハーフミラー面21bで反射され、第2の
ハーフミラー面21cに向かう。第2のハーフミラー面
21cは、トラッキング検出センサー25へ向かう透過
光と、データ検出センサー24へ向かう反射光を生成
し、復路のレーザー光束を分離する。第2のハーフミラ
ー面21cを透過したレーザー光束はトラッキング検出
センサー25へ照射され、トラッキング誤差信号を出力
する。
されたレーザー光束はウォラストンプリズム32により
偏光分離され、かつ集光レンズ33によって収束光に変
換後、反射プリズム23で反射されてデータ検出センサ
ー24に照射される。データ検出センサー24は2つの
受光領域をもっており、ウォラストンプリズム32によ
り偏光分離された2つの偏光ビームをそれぞれ受光する
ことにより、光ディスク2に記録されているデータ情報
を読みとりデータ信号を出力する。なお、正確には前記
トラッキング誤差信号およびデータ信号は図示せぬヘッ
ドアンプ回路によって生成され、制御回路または情報処
理回路に送られるものである。
て、偏向ミラー26を回動するための構成について説明
する。図6は、ガルバノモータ27(偏向ミラー26を
含むユニット:いわゆるガルバノミラー)を示す断面図
である。偏向ミラー26はミラーホルダ100によって
保持されており、ミラーホルダ100はステータ150
内に収容されている。なお、偏向ミラー26を回転駆動
するためのコイル及びマグネットについては記載を省略
する。
取り付けられた一対のセンターピン122,124によ
って図中上下方向両側から挟み込まれている。ミラーホ
ルダ100の上下面には一対のセンターピン122,1
24を受ける円錐形の孔である軸受部106,108が
形成されている。一対のセンターピン122,124と
軸受部106,108により偏向ミラー26が所定の回
動軸(Z軸とする)を中心として回動可能に支持され
る。なお、偏向ミラー26は、そのミラー面26aが、
回動軸Zに直交する軸(Y軸とする)に直交するようミ
ラーホルダ100に取り付けられている。
ち、下側のセンターピン124はステータ150に圧入
固定されている。これに対し、上側のセンターピン12
2はフランジ形状を有するブシュ130に貫挿された状
態で、ステータ150に取り付けられている。上側のセ
ンターピン122はブシュ130内で上下に摺動可能に
保持されており、その上方から与圧バネ160で下方に
付勢されている。また、ブシュ130の内側には、永久
磁石140(後述)がはめ込まれている。
石140を示す斜視図及び側断面図である。上側センタ
ーピン122は強磁性材料、具体的には強磁性のステン
レスで構成されている。永久磁石140は円弧形状を有
しており、上側センターピン122の中心軸に対し片側
に配置されている。また、永久磁石140は半径方向に
磁化されている(例えば内側がS極で外側がN極)。
石140を示す側断面図である。上側センターピン12
2は、片側に設けられた永久磁石140に吸着されるた
め、ブシュ130と上側センターピン122との間にク
リアランスがあっても、上側センターピン122を常に
永久磁石140側に傾けておくことができる。即ち、ミ
ラーホルダ100の傾き方向の変化に伴う偏向ミラー2
6の不要な姿勢変化を防止することができる。
を示す側断面図である。第2の実施形態では、上側セン
ターピン122は永久磁石で構成され、ブシュ130の
内側には2つの永久磁石240,250が設けられてい
る。図10及び図11は、上側センターピン122と永
久磁石240,250を示す斜視図及び断面図である。
上側センターピン122は、その中心軸を含む所定の断
面122aを境にN極とS極に着磁されている。図10
に示すように、永久磁石240,250は円弧形状を有
しており、上側センターピン122のN極・S極の部位
に夫々対向して配置されている。
磁石240,250を示す側断面図である。上側センタ
ーピン122は、図中右側の永久磁石250には反発さ
れ、図中左側の永久磁石240に吸着される。従って、
ミラーホルダ100を確実に永久磁石240側に傾けて
おくことができる。即ち、この第2の実施形態による
と、偏向ミラー26の不要な姿勢変化をより確実に防止
することができる。
ミラーによると、可動部の傾き方向の変化に伴う不要な
姿勢変化を防止することができる。
す図である。
である。
ある。
図である。
図である。
ある。
視図である。
面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた可
動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバノ
ミラーであって、前記可動部の回転軸を、固定側に前記
可動部を挟んで設けた2つのセンターピンと、これらの
センターピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に設
けた2つの軸受とによって構成すると共に、一方のセン
ターピンを軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピン
の前記軸受と接触する側と反対の端部が突出するように
ブッシュに取り付け、このブッシュから突出するセンタ
ーピンの端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に取
り付けた与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さらに
前記一方のセンターピンを強磁性材料で形成すると共
に、前記ブッシュの内周面の一部弧面を磁石で構成し、
前記一方のセンターピンを前記ブッシュ内の前記一部弧
面に磁力で当接させて前記ブッシュと前記一方のセンタ
ーピンの間のガタを吸収するようにしたことを特徴とす
るガルバノミラー。 - 【請求項2】 電磁駆動により偏向ミラーを取り付けた
可動部を回転軸を中心に所定角度範囲回動させるガルバ
ノミラーであって、前記可動部の回転軸を、固定側に前
記可動部を挟んで設けた2つのセンターピンと、これら
のセンターピンの各先端部を夫々受ける前記可動部側に
設けた2つの軸受とによって構成すると共に、一方のセ
ンターピンを軸方向に摺動自在に、且つこのセンターピ
ンの前記軸受と接触する側と反対の端部が突出するよう
にブッシュに取り付け、このブッシュから突出するセン
ターピンの端部を少なくとも一端を前記ハウジング側に
取り付けた与圧バネで軸方向に押圧するようにし、さら
に前記一方のセンターピンをその軸断面を境に極性を変
えた永久磁石で形成すると共に、前記ブッシュの内周面
の対向する周面の一部を夫々同極性の磁極面で構成し、
前記一方のセンターピンを前記ブッシュ内の前記一方の
周面に磁力で当接させて前記ブッシュと前記一方のセン
ターピンの間のガタを吸収するようにしたことを特徴と
するガルバノミラー。
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32693997A JP3510775B2 (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | ガルバノミラー |
| FR9807827A FR2765352B1 (fr) | 1997-06-27 | 1998-06-22 | Module de miroir galvanique |
| DE19828689A DE19828689A1 (de) | 1997-06-27 | 1998-06-26 | Spiegelgalvanometereinheit |
| GB0122279A GB2365537B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with plate spring on stator |
| GB0122282A GB2366626B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit |
| GB0122280A GB2367382B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with plate spring on stator |
| GB0122264A GB2365536B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with offset magnet on stator |
| GB9813948A GB2328291B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit |
| GB0122285A GB2365538B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with positioning magnet |
| GB0122266A GB2366625B (en) | 1997-06-27 | 1998-06-29 | Galvano mirror unit with biassing member |
| US09/493,676 US6376953B1 (en) | 1997-06-27 | 2000-01-28 | Galvano mirror unit |
| US09/785,173 US6424068B2 (en) | 1997-06-27 | 2001-02-20 | Galvano mirror unit |
| US10/067,737 US20020074875A1 (en) | 1997-06-27 | 2002-02-08 | Galvano Mirror unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32693997A JP3510775B2 (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | ガルバノミラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142777A true JPH11142777A (ja) | 1999-05-28 |
| JP3510775B2 JP3510775B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=18193471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32693997A Expired - Fee Related JP3510775B2 (ja) | 1997-06-27 | 1997-11-12 | ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3510775B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007228688A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Iai:Kk | アクチュエータ |
| EP1873757A2 (en) | 2006-06-29 | 2008-01-02 | Fujitsu Ltd. | Information recording apparatus |
-
1997
- 1997-11-12 JP JP32693997A patent/JP3510775B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007228688A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Iai:Kk | アクチュエータ |
| EP1873757A2 (en) | 2006-06-29 | 2008-01-02 | Fujitsu Ltd. | Information recording apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3510775B2 (ja) | 2004-03-29 |
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