JPH11143394A - 気密容器の封止構造および気密容器の封止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】外形寸法の拡大を十分に抑制しつつ周壁部にお
いて気密封止し得る気密容器の封止構造、および封止方
法を提供する。 【解決手段】スペーサ・ガラス７６を貫通して設けられ
た排気穴１０６と、その排気穴１０６を覆って閉塞する
ための平板状の閉塞部１１４と気密容器１２２の厚さ方
向におけるその閉塞部１１４の両端部から気密容器１２
２側に向かって突設された嵌合部１１６とを備えてその
嵌合部１１６において気密容器１２２の外側に嵌め合わ
された蓋部材１０８と、その蓋部材１０８をスペーサ・
ガラス７６の外面に気密に固着するフリット・ガラス１
１０とを、含んで気密容器１２２の封止構造が構成され
る。そのため、スペーサ・ガラス７６に設けられた排気
穴１０６は閉塞部１１４によって気密に塞がれる一方、
嵌合部１１６が気密容器１２２の外側に嵌め合わされる
ことで相対位置が確実に位置決めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、気密容器の封止構
造および封止方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】所定の間隔を以て設けられた一対の平行
平板部とそれら一対の平行平板部の周縁部に沿って設け
られた周壁部とを備えて内部に気密空間が形成された気
密容器が知られている。例えば、平面型画像表示装置と
して用いられる蛍光表示管（Vacuum Fluorescent Displ
ay：ＶＦＤ）、プラズマ・ディスプレイ・パネル（Plas
ma Display Panel：ＰＤＰ）等のガス放電表示管、およ
び電界放出表示装置（Field Emission Display：ＦＥ
Ｄ）等、或いは、液晶表示装置や標識等のバック・ライ
トおよび一般照明等に用いられる平面型放電灯（或いは
平面型蛍光灯）等の外囲器を構成するガラス製或いは金
属製（金属の場合には一般に琺瑯製）の気密容器がそれ
である。このような気密容器を製造するに際しては、例
えば、その内面を構成する一対の平行平板部の内面上等
に、気密容器に所定の機能を付与するための電極や蛍光
体等を設けてから、所定形状に組み立てて排気穴を介し
て容器内部から排気し、更に必要に応じて放電ガス等を
気密空間内に供給した後、その排気穴を閉塞することに
よって気密封止が為される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な気密容器においては、その内部を気密に保つために、
例えば、図１(a) 、(b) 或いは図２(a) 、(b) に示され
るような封止構造が採られている。図１(a) 、(b) は、
例えば特開昭６１−７５５９号公報等に記載されている
平面型蛍光灯１０の封止構造の一例である。図におい
て、周壁部１２の一部が切り欠かれることでそれを貫通
する排気穴１４が設けられると共にその排気穴１４には
排気管１６がフリット・ガラス等の封着剤１８で固着さ
れている。そのため、気密封止をするに際しては、図１
(b) に一点鎖線で示されるように長いその排気管１６を
介して排気し且つ所定の放電ガスを封入した後、排気管
１６の先端部を実線で示されるように溶断することで排
気穴１４が閉塞される。なお、図において２０、２０は
互いに対向して配置された電極であり、一対の平行平板
部を構成するガラス板２２、２２の内面には蛍光体層２
４が設けられている。

【０００４】また、図２(a) 、(b) は、実公平３−２２
８４０号公報等に記載されているＶＦＤ２６の封止構造
の一例である。図において、絶縁体層２８や陽極配線３
０、陽極３２、蛍光体層３４、メッシュ状グリッド電極
３６等が内面３８上に設けられたプレート・ガラス４０
には、それを内面３８から外面４２まで貫通する排気穴
４４が設けられると共に４２６合金等から成る薄い円板
状の蓋部材４６がフリット・ガラス等の封止材料４８で
その排気穴４４を塞ぐように固着されている。そのた
め、気密封止をするに際しては、例えば、蓋部材４６の
表面に封止材料４８を塗布して、その塗布面がプレート
・ガラス４０側に向かい且つその外面４２から所定距離
隔てられた位置に配置し、排気穴４４から排気すると共
に封止材料４８を加熱溶融した後、蓋部材４６をプレー
ト・ガラス４０に押し付けて固着することで排気穴４４
を閉塞する。なお、図において５０は熱陰極として機能
するフィラメント状カソード、５２はＶＦＤ２６内の各
電極に接続された電極端子であり、気密容器はプレート
・ガラス４０とそれにスペーサ・ガラス５４を介して接
合されたフロント・ガラス５６とによって構成されてい
る。

【０００５】しかしながら、図１(a) 、(b) に示される
ように排気管１６を用いる構造では、排気管１６が気密
容器の外側に大きく突き出して設けられるため、その外
形寸法（外周面の輪郭寸法）が拡大すると共に、通常ガ
ラス管で構成される排気管１６が破損し易く取扱い性が
悪いという問題がある。これに対して、図２(a) 、(b)
に示されるチップレス構造は、特に小型化が要求される
ＶＦＤ等において上記の欠点を解消するために提案され
たものであるが、その一方、プレート・ガラス４０に排
気穴４４が設けられていることに起因して、陽極配線３
０等の引回しの自由度が低下し、或いは排気穴４４を穿
孔形成するために製造コストが増大すると共に、その穿
孔過程において形成された傷に起因して封止するために
加熱した際にプレート・ガラス４０の破損が生じ易いと
いう問題がある。因みに、周壁部１２やスペーサ・ガラ
ス５４は、通常、細幅長手帯状のガラス板を折り曲げて
或いは所定形状の型内でガラス粉末を溶かし固めて形成
されるため、その周壁部１２の一部を切り欠いて成る排
気穴１４はその形成と同時に設けることが可能となる。
しかも、このようなチップレス構造は、図１に示される
ような平面型蛍光灯１０の中でも、店舗等の装飾表示や
非常脱出口表示灯の標識等の照明に用いられる平面型蛍
光灯のような一対の平行平板部の両方から光を射出する
ものには適用できないという問題もある。図２に示され
るチップレス構造では、一方の平板部（プレート・ガラ
ス４０）から射出される光が外面４２に固着された蓋部
材４６で部分的に遮られるため、両面から一様な発光が
得られないのである。

【０００６】そこで、前記実公平３−２２８４０号公報
にも記載されているように、気密容器の側端面すなわち
周壁部１２或いはスペーサ・ガラス５４に上記のチップ
レス構造を適用することが望まれている。しかしなが
ら、ガラス板２０、２０および周壁部１２相互、或いは
プレート・ガラス４０、フロント・ガラス５６、および
スペーサ・ガラス５４相互を接合するに際して、それら
の相対位置を正確に位置決めすることは、各部材の寸法
バラツキや接合過程における位置ずれがあるため困難で
ある。このため、図１および図２に示されるように、気
密容器の側端面側において、周壁部１２或いはスペーサ
・ガラス５４の外周面５８と、ガラス板２０、２０或い
はプレート・ガラス４０、フロント・ガラス５６の外周
端面６０とは通常一平面上に位置せず凹凸が生じる。ま
た、その接合過程においては溶融させられた封着剤６２
がそれらの間から外周側にはみ出すため、そのはみ出し
た封着剤６２によっても凹凸が形成される。したがっ
て、平坦なプレート・ガラス４０の場合と同様に蓋部材
４６を用いて気密封止するためには、その蓋部材４６上
に多量の封止材料４８を塗布する必要があるが、そのよ
うにしても凹凸に起因して封止材料４８の厚さが不十分
な部分が生じ得る一方、過剰となった部分では封止過程
において蓋部材４６の外側に封止材料４８がはみ出すこ
ととなる。そのため、気密性が不十分になると共に外形
寸法が一層拡大し、更には、はみ出した封止材料４８が
加熱治具等に付着する等の問題が生じ得る。なお、図
１、２においては周壁部１２等よりもガラス板２０等の
方が外側にはみ出している場合を例示しているが、反対
に周壁部１２等がはみ出している場合は気密封止が一層
困難になる。

【０００７】しかも、可及的に薄いことが望まれる平面
型蛍光灯１０やＶＦＤ２６等を構成する気密容器では、
ガラス板２０やプレート・ガラス４０等の厚さが1 〜2
(mm)程度と薄く、周壁部１２やスペーサ・ガラス５４の
高さ寸法が2 〜3(mm) 程度と低いのが通常である。その
ため、排気後の封止過程における位置ずれを考慮する
と、気密容器の厚さ方向にはみ出さないように円板状の
蓋部材４６の直径を小さくせざるを得ないことから、こ
のことにも起因して排気穴１４を確実に閉塞することが
一層困難になる。通常、封止過程においては封止材料４
８を溶融させるために蓋部材４６が加熱されることか
ら、その蓋部材４６を磁力等で固定して位置ずれを防止
することができないのである。なお、このような封止の
気密性の問題は、平面型画像表示装置や平面型放電灯等
に用いられるものに限られず、気密容器の側端面におい
て蓋部材４６を用いて封止しようとする場合には同様に
生じるのである。したがって、これらのことから、気密
容器の側面におけるチップレス封止構造は未だ実現され
ていなかった。

【０００８】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的は、外形寸法の拡大を十分に
抑制しつつ周壁部において気密封止し得る気密容器の封
止構造、および封止方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための第１の手段】斯かる目的を達成
するため、第１発明の気密容器の封止構造の要旨とする
ところは、所定の間隔を以て設けられて一対の平行平板
部とそれら一対の平行平板部の周縁部に沿って設けられ
た周壁部とを備えた気密容器において、容器内部から排
気すると共に封止するための封止構造であって、(a) 前
記周壁部に前記容器内部側の内面から外部空間側の外面
まで貫通して設けられた排気穴と、(b) その排気穴を覆
ってこれを閉塞するための平板状の閉塞部と、少なくと
もその排気穴が設けられた前記外面の短辺方向における
その閉塞部の両端部から前記気密容器側に向かって突設
された嵌合部とを備え、その嵌合部においてその気密容
器の外側に嵌め合わされた封止部材と、(c) その封止部
材を前記周壁部の外面に気密に固着する封止材料層と
を、含むことにある。

【００１０】

【第１発明の効果】このようにすれば、周壁部を貫通し
て設けられた排気穴と、その排気穴を覆って閉塞するた
めの平板状の閉塞部と少なくともその排気穴が設けられ
た外面の短辺方向におけるその閉塞部の両端部から気密
容器側に向かって突設された嵌合部とを備えてその嵌合
部において気密容器の外側に嵌め合わされた封止部材
と、その封止部材を周壁部の外面に気密に固着する封止
材料層とを、含んで気密容器の封止構造が構成される。
そのため、周壁部に設けられた排気穴は、その周壁部の
外面に封止材料で気密に固着された封止部材に備えられ
る平板状の閉塞部によって気密に塞がれる。このとき、
封止部材には、周壁部の外面の短辺方向におけるその閉
塞部の両端部から気密容器側に向かって突設された嵌合
部が備えられていることから、その嵌合部が気密容器の
外側に嵌め合わされることによって、その外面の短辺方
向における封止部材と周壁部との相対位置が確実に位置
決めされている。しかも、周壁部の外面の短辺方向にお
いては、封止材料がその嵌合部よりも外側に位置し得な
いため、封止材料のはみ出しによる気密容器の外形寸法
の拡大も好適に抑制される。したがって、外形寸法の拡
大を十分に抑制しつつ周壁部において気密封止し得る気
密容器の封止構造が得られる。

【００１１】

【第１発明の他の態様】ここで、好適には、前記外面の
短辺方向は前記一対の平行平板部の一方から他方に向か
う前記周壁部の高さ方向であり、前記閉塞部から前記気
密容器側に向かう方向における前記嵌合部の長さ寸法
は、それら一対の平行平板部の面方向に沿った方向にお
けるその周壁部の厚さ寸法と略同等以下の大きさであ
る。このようにすれば、周壁部の排気穴が設けられた外
面の短辺方向はその周壁部の高さ方向と一致し、封止部
材の閉塞部から気密容器側に向かう方向における嵌合部
の長さ寸法は平行平板部の面方向における周壁部の厚さ
寸法と略同等以下にされる。そのため、排気穴が設けら
れた外面の短辺方向が周壁部の高さ方向と一致する平箱
状に構成される気密容器においては、表示面等に利用さ
れる一対の平行平板部の外面に封止部材の嵌合部が嵌め
合わされるが、その嵌合部の長さ寸法は周壁部の厚さ寸
法と略同等以下にされていることから、嵌合部が位置す
る部分は、平行平板部の外面のうち、その周壁部が存在
することから何らの機能も果たし得ない部分に制限され
る。したがって、気密容器の機能上の支障を特に生じさ
せることなく、好適な封止構造が得られる。

【００１２】また、好適には、前記気密容器は、内部に
発光源を備えて前記一対の平行平板部の少なくとも一方
から光を射出するものである。このようにすれば、気密
容器は内部に発光源を備え、それにより発生させられた
光が少なくとも一方の平行平板部から射出する発光体と
して構成される。そのため、外形寸法が小さく、十分な
気密性を有する放電表示装置や灯等の発光体が好適に得
られる。特に、封止部材の嵌合部の長さ寸法が周壁部の
厚さ寸法と略同等以下に設定される態様においては、そ
の封止部材による遮光が生じ得ないため、一対の平行平
板部の一方或いは両方から光が射出される何れの場合に
も全面からの発光が好適に得られる。

【００１３】また、好適には、前記封止部材は、薄板状
金属から曲げ成形されたものである。このようにすれ
ば、封止部材が薄板状金属から曲成されることから、気
密容器の外側に固着されるその封止部材による寸法拡大
が一層抑制されるため、外形寸法の拡大を一層抑制でき
る気密容器の封止構造が得られる。

【００１４】

【課題を解決するための第２の手段】また、前記の目的
を達成するための第２発明の気密容器の封止方法の要旨
とするところは、所定の間隔を以て設けられて一対の平
行平板部とそれら一対の平行平板部の周縁部に沿って設
けられた周壁部とを備えた気密容器において、容器内部
から排気すると共に封止する方法であって、(a) 前記周
壁部に前記容器内部側の内面から外部空間側の外面まで
貫通して設けられた排気穴を有する前記気密容器を真空
容器内に配置する気密容器配置工程と、(b) 平板状の閉
塞部とその閉塞部の周縁部から互いに略平行に突設され
た一対の嵌合部とを備えた封止部材を、前記真空容器内
に配置された前記気密容器の前記排気穴からその閉塞部
が所定距離隔てられ且つその嵌合部の先端部がその気密
容器に嵌め合わされる位置に、少なくともその閉塞部の
その排気穴側の一面に所定の封止材料を塗布した状態で
配置する封止部材配置工程と、(c) その封止部材配置工
程の後に、前記真空容器内において前記排気穴から排気
する排気工程と、(d) その封止部材配置工程の後に、前
記真空容器内において前記所定の封止材料を加熱して溶
融させる加熱工程と、(e) それら排気工程および加熱工
程の後に、前記真空容器内において前記封止部材を前記
閉塞部が前記排気穴に向かわせられるように前記気密容
器に向かって押圧する押圧工程とを、含むことにある。

【００１５】

【第２発明の効果】このようにすれば、気密容器を封止
するに際しては、気密容器配置工程において、周壁部に
排気穴を有するその気密容器が真空容器内に配置され、
封止部材配置工程において、平板状の閉塞部とその閉塞
部の周縁部から互いに略平行に突設された一対の嵌合部
とを備えた封止部材が、真空容器内に配置された気密容
器の排気穴からその閉塞部が所定距離隔てられ且つその
嵌合部の先端部がその気密容器に嵌め合わされる位置
に、少なくともその閉塞部のその排気穴側の一面に所定
の封止材料を塗布した状態で配置された後、排気工程に
おいて真空容器内で前記排気穴から排気されると共に加
熱工程においてその真空容器内で封止材料が加熱溶融さ
せられ、更に、押圧工程において、その真空容器内で封
止部材が閉塞部が排気穴に向かうように気密容器に向か
って押圧される。そのため、予め封止部材が嵌合部の先
端部において気密容器に嵌め合わされた状態で排気工程
乃至押圧工程が実施されることから、一対の嵌合部の一
方から他方に向かう方向すなわち閉塞部の面方向におい
ては、その嵌合部と気密容器との嵌め合いに基づき、そ
れら各工程中における封止部材と気密容器との相対位置
が変化することが抑制されるため、周壁部に設けられた
排気穴がその閉塞部等によって好適に気密封止される。
しかも、加熱溶融させられる封止材料は、その嵌合部が
設けられている方向においてはそれよりも広がり得ない
ため、封止材料のはみ出しに起因する気密容器の外形寸
法の拡大も抑制される。上記により、気密容器を封止す
るに際して、外形寸法の拡大を十分に抑制しつつ周壁部
において気密封止することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において
各部の寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。

【００１７】図３は、本発明の一実施例の気密容器によ
り外囲器が構成されたＶＦＤ７０を示す斜視図であり、
図４は、図３におけるIV−IV視断面図である。図におい
て、ＶＦＤ７０は、例えばそれぞれ1.8 〜2.0(mm) 程度
の厚さのガラス、セラミックス、琺瑯等の絶縁体材料か
ら成る平板状の基板７２および透明平板状のフロント・
ガラス７４が、例えば3(mm) 程度の高さを有して中央部
が矩形に除去された矩形枠状のスペーサ・ガラス７６を
介して接合されることにより、長手平箱状の真空容器
（気密容器）に構成されている。本実施例においては、
基板７２およびフロント・ガラス７４が一対の平行平板
部の何れか一方おいび他方に、スペーサ・ガラス７６が
周壁部にそれぞれ相当する。

【００１８】基板７２の表示面７８側の上面には、蒸着
等によって形成されたアルミニウム等の金属から成る陽
極配線８０が長手方向中央部に、アンカ８２、サポート
８４をそれぞれ備えた一対の陰極端子８６ａ、８６ｂが
両端部にそれぞれ設けられている。それら陰極端子８６
ａ、８６ｂ間には、互いに平行な複数本のフィラメント
状の陰極８８が両端部をアンカ８２およびサポート８４
にそれぞれ溶接されることにより、表示面７８から比較
的離隔した位置においてその長手方向に沿って等間隔で
架設されている。この陰極８８は、例えば表面に電子放
出層として(Ba,Sr,Ca)O 等の仕事関数の低いアルカリ土
類金属の酸化物固溶体がコーティングされたタングステ
ン（W ）ワイヤ等から成るものである。

【００１９】また、上記の陽極配線８０の上には、例え
ば厚さが 40(μm)程度の低融点ガラス等から成る絶縁層
３０を介して所定の表示パターン形状に対応して区画さ
れた複数の陽極９２が設けられており、その陽極９２上
には、上記所定の表示パターンの蛍光体層９４が設けら
れている。陽極９２は、例えばグラファイト等の導電性
材料から成るものであって20〜 30(μm)程度の厚さを備
えている。また、蛍光体層９４は、Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）等の発光色の種々の蛍光体から、所定
の発光色に対応するものが選択されて用いられ、例えば
15〜 30(μm)程度の厚さに設けられている。

【００２０】また、蛍光体層９４からフロントガラス７
４側に離隔した上方で前記陰極８８の下方、すなわち陰
極８８と陽極９２と間には、複数の金網状のグリッド電
極９６が所定の発光区画毎に設けられている。このグリ
ッド電極９６は、例えばＳＵＳ４３０等から成るもので
あって、例えばＶＦＤ７０の幅方向の両端部側に備えら
れた脚部において表示面７８上に導電ペースト等で固着
され、前記陽極配線８０と同一平面上に形成されたグリ
ッド電極配線９８に接続されている。また、前記の陽極
配線８０、陰極端子８６、グリッド電極配線９８等は、
真空容器の長手方向の側部に、例えば基板７２とスペー
サ・ガラス７６との間を通して外部に貫通して設けられ
た複数本の電極端子（リード端子）１００に電気的に接
続されており、この電極端子１００を通して所定の陽極
９２、陰極８８、およびグリッド電極９６に所定の電圧
がそれぞれ印加される。

【００２１】また、スペーサ・ガラス７６の電極端子１
００が備えられている側とは反対側の長辺には、その厚
み方向すなわち基板７２およびフロント・ガラス７４の
面方向において容器内部側の内面１０２から外部空間側
の外面１０４までスペーサ・ガラス７６を貫通する排気
穴１０６が備えられ、その排気穴１０６は、断面が略コ
の字型の蓋部材１０８が封止材料層に相当するフリット
・ガラス１１０によって基板７２、フロント・ガラス７
４、およびスペーサ・ガラス７６に固着されることによ
って閉塞させられている。すなわち、本実施例において
は、排気穴１０６が気密容器の周壁部を構成するスペー
サ・ガラス７６に設けられており、フリット・ガラス１
１０が封止材料に相当する。上記の排気穴１０６は、Ｖ
ＦＤ７０の封止方法を後述するように、気密容器が形成
された後に排気して内部を真空にするためのものであ
る。なお、図において１２０はゲッタである。

【００２２】図５に全体を示すように、矩形枠状を成す
スペーサ・ガラス７６は、その長辺の一部が高さ方向
（すなわちＶＦＤ７０において基板７２からフロント・
ガラス７４に向かう厚さ方向）の全体に亘って1(mm) 程
度の幅寸法で欠落させられた欠落部１１２を備えてい
る。上記の排気穴１０６は、その欠落部１１２と基板７
２およびフロント・ガラス７４の内面とによって形成さ
れたものである。このため、排気穴１０６の大きさは、
幅1(mm) 程度、高さ3(mm) 程度になっている。また、上
記のスペーサ・ガラス７６は、例えば、幅3(mm) 程度の
帯状のガラス板を折り曲げ、或いはガラス粉末を所定形
状の型内に充填して加熱溶融および硬化させることによ
り作製されたものであり、その作製過程において隙間を
設けることで上記の欠落部１１２が形成されている。す
なわち、スペーサ・ガラス７６に欠落部１１２を形成し
延いてはＶＦＤ７０に排気穴１０６を形成するための機
械的加工は何ら施されていない。なお、スペーサ・ガラ
ス７６の厚さ寸法（基板７２の面方向に沿った方向の寸
法）は2(mm) 程度である。

【００２３】また、前記の蓋部材１０８は、図６に示さ
れるように、例えば厚さが0.2 〜0.3(mm) 程度の４２６
合金等から成る金属薄板が例えば金型等を用いて折り曲
げ成形されたものであって、スペーサ・ガラス７６の外
面１０４、および基板７２、フロント・ガラス７４の端
面に当接させられる矩形の閉塞部１１４と、その閉塞部
１１４の両端部すなわち互いに平行な２辺から互いに平
行且つ閉塞部１１４に対して略垂直に突設された一対の
嵌合部１１６、１１６とを備えている。上記の閉塞部１
１４の大きさは、幅寸法Ｗすなわちスペーサ・ガラス７
６の長手方向における長さが5 〜10(mm)程度であり、高
さ寸法ＨすなわちＶＦＤ７０の厚さ方向における長さが
7(mm) 程度（すなわちそのＶＦＤ７０の厚さ寸法と略同
様かそれよりも僅かに大きい程度）である。すなわち、
閉塞部１１４は、1(mm) 程度の幅寸法の排気穴１０６に
対して、5 〜10倍程度の十分に大きい幅寸法Ｗを備えて
いる。また、嵌合部１１６の大きさは、幅寸法が閉塞部
１１４と同様であって5 〜10(mm)程度、閉塞部１１４か
らの突き出し寸法Ｌが3(mm) 程度である。したがって、
嵌合部１１６のその突き出し寸法Ｌは、スペーサ・ガラ
ス７６の厚さ寸法よりも1(mm) 程度大きくなっている。
そのため、蓋部材１０８の嵌合部１１６の先端は、スペ
ーサ・ガラス７６の内面１０２よりも内周側に位置して
いるが、図４に示されるように、基板７２およびフロン
ト・ガラス７４とスペーサ・ガラス７６とを接合するた
めの封着剤（フリット・ガラス）１１８は、その内面１
０２よりも僅かに、例えば1(mm) 程度だけ内周側にはみ
出していることから、嵌合部１１６はその封着剤１１８
の上側部分だけに位置しており、フロント・ガラス７４
のうちの表示に寄与する部分にまでは突き出していな
い。

【００２４】以上のように構成された蛍光表示管１０
は、複数本の陰極８８の全てに定常的に所定の駆動パル
スを印加した状態で、グリッド電極９６に順次数十(V)
程度の低電圧の正の加速電圧を印加して走査すると共
に、その走査のタイミングに同期して所定の陽極９２に
所定の正電圧を印加して用いられる。上記の駆動パルス
を印加されることによって陰極８８から放出された熱電
子は、グリッド電極９６に加速電圧が印加されている場
合にはそれによって陽極９２に向かって加速・拡散さ
れ、負の消去電圧が印加されている場合には遮断され
る。そのため、正電圧を印加され且つ上方のグリッド電
極９６に加速電圧が印加された陽極９２に選択的に電子
が入射させられ、その陽極９２上の蛍光体層９４に衝突
させられることにより、その蛍光体のみが選択的に励起
されて所定の色の発光を示し、所定の発光表示が得られ
る。なお、駆動方法の詳細については本発明の理解に必
要ではないので省略する。

【００２５】ところで、ＶＦＤ７０は、例えば図７に示
される工程に従って製造される。先ず、気密容器組立工
程Ｓ１においては、基板７２上に陽極配線８０乃至陰極
８８等を順次形成し且つアンカ８２、サポート８４、グ
リッド電極９６等の部品を順次固着する一方、その上に
別途用意したスペーサ・ガラス７６およびフロント・ガ
ラス７４を順次載せて、例えば480 〜500(℃) 程度の所
定の封着温度で熱処理することにより、例えばスペーサ
・ガラス７６の上下端面に塗布されたフリット・ガラス
等の封着剤１１８を溶融させてそれらを相互に固着す
る。これにより、図８(a) に示されるように気密容器１
２２が形成される。このとき、気密容器１２２の側端面
１３８には、はみ出した封着剤１１８（図４参照。図８
においては省略。）、基板７２やフロント・ガラス７４
の端面の図示しない凹凸、およびそれらの端面とスペー
サ・ガラス７６の外面１０４との面方向の位置ずれ等に
起因する比較的大きな凹凸が形成されている。

【００２６】次いで、気密容器配置工程Ｓ２において
は、封止処理を行うための所定の真空チャンバ１２４内
に上記の気密容器１２２を配置し、更に、蓋部材配置工
程Ｓ３において、前記蓋部材１０８をその真空チャンバ
１２４内の所定位置に配置する。図８(b-1) 、(b-2) は
それぞれこの状態を示している。図に示されるように、
真空チャンバ１２４は、複数の気密容器１２２を個々に
包み込んで加熱するための断面櫛形の管加熱ヒータ１２
６、それら複数の気密容器１２２の各々の排気穴１０６
を閉塞するための複数の蓋部材１０８を個々に包み込ん
で加熱するための蓋部材加熱ヒータ１２８、図に矢印ｈ
で示される上下方向に移動可能に構成されて気密容器１
２２を蓋部材加熱ヒータ１２８の両側で支持し且つ管加
熱ヒータ１２６の内部において下側に向かって突き出し
て設けられた凸部１２６ａとの間でその気密容器１２２
を挟んで固定するための支持体１３０、および真空チャ
ンバ内から排気するための排気管１３２等を備えたもの
である。上記の蓋部材加熱ヒータ１２８は、蓋部材１０
８を支持するための支持体を兼ねると共に、管加熱ヒー
タ１２６に向かって上昇可能に構成されている。また、
これら管加熱ヒータ１２６および蓋部材加熱ヒータ１２
８は、セラミックス等で構成され且つ内部に抵抗体を備
えて抵抗加熱するものであるが、気密容器１２２や蓋部
材１０８に直接触れる部分は熱伝導性の高いステンレス
鋼等で構成されている。

【００２７】なお、図９に詳しく示すように、上記の配
置状態において、気密容器１２２は排気穴１０６が備え
られたスペーサ・ガラス７６の側面が下側に位置するよ
うに、基板７２およびフロント・ガラス７４の面方向が
上下方向になる向きで立てられており、一方、蓋部材１
０８はスペーサ・ガラス７６の長手方向に沿った幅方向
における略中央にその排気穴１０６が位置すると共に、
閉塞部１１４がその排気穴１０６の開口すなわち気密容
器１２２の端面から1 〜2(mm) 程度の間隔ｄだけ離隔
し、且つ嵌合部１１６の先端がその気密容器１２２の端
面から1(mm) 程度の長さｐだけ上側に位置してその嵌合
部１１６が気密容器１２２に僅かに重なる、すなわち嵌
め合わされる高さに位置させられている。このため、閉
塞部１１４と気密容器１２２との間の隙間によって後述
の排気工程における排気経路が十分に大きく確保される
ことから、内径1(mm) 程度、長さ50(mm)程度の排気管１
６を介して排気していた図１に示されるような封止構造
の場合に比較して極めて大きな排気コンダクタンス、延
いては排気速度が確保される。

【００２８】また、上記の蓋部材配置工程Ｓ３において
蓋部材加熱ヒータ１２８上に配置される蓋部材１０８
は、例えば、図１０(a) に示されるように平板状に展開
された状態で、気密容器１２２の側端面１３８（すなわ
ちスペーサ・ガラス７６の外面１０４等）に当接させら
れることとなる一面１３４にガラス・ペースト１３６を
例えば厚膜スクリーン印刷法等によって塗布し、乾燥し
た後に矢印で示されるように折り曲げることで、図１０
(b) に示されるように内面側にフリット・ガラス１１０
（すなわちガラス・ペースト１３６が乾燥したもの）が
設けられたコの字状に形成される。なお、ガラス・ペー
スト１３６は、折り曲げ加工が容易となるように、図１
０(a) に破線で示される折曲位置を避けて塗布されてい
る。

【００２９】図７に戻って、排気工程Ｓ４においては、
排気管１３２を通して排気することにより真空チャンバ
１２４内延いては気密容器１２２内の真空度が高められ
る。気密容器１２２内の所定の真空度が達成された後、
加熱工程Ｓ５において、管加熱ヒータ１２６および蓋部
材加熱ヒータ１２８によって、気密容器１２２および蓋
部材１０８がそれぞれ加熱される。気密容器１２２の加
熱は、容器内部の真空度を高めるためであり、例えば35
0(℃) 程度に加熱される。また、蓋部材１０８の加熱
は、一面１３４に塗布形成されたフリット・ガラス１１
０を溶融させるためであり、そのフリット・ガラス１１
０の種類に応じて定められる400 〜420(℃) 程度の温度
に加熱される。なお、これらの温度は、気密容器１２２
を組み立てる際の前述の封着温度よりも十分に低く設定
されている。そして、フリット・ガラス１１０が十分に
溶融させられると、押圧工程Ｓ６において、直ちに蓋部
材加熱ヒータ１２８が図８に矢印ｕで示される上方に移
動させられる。これにより、蓋部材１０８が排気穴１０
６が設けられている位置において気密容器１２２に押圧
させられることにより密着させられる。

【００３０】このとき、蓋部材１０８に備えられている
嵌合部１１６が溶融させられたフリット・ガラス１１０
の流れ止めとして機能するため、その蓋部材１０８と気
密容器１２２の側端面１３８との間に十分な量のフリッ
ト・ガラス１１０が保持されると共に、気密容器１２２
の厚み方向においてその蓋部材１０８よりも外側にフリ
ット・ガラス１１０がはみ出すことが防止される。すな
わち、図１０(b) に示されるように比較的多量のフリッ
ト・ガラス１１０が一面１３４に塗布して設けられてい
る状態でそのフリット・ガラス１１０が溶融させられて
も、そのフリット・ガラス１１０はその一面１３４上に
保持される。また、前述のように、蓋部材１０８は、排
気穴１０６の幅寸法の5 〜10倍程度の十分に大きい幅寸
法に構成されているため、その幅方向すなわち気密容器
１２２の側端面１３８におけるスペーサ・ガラス７６の
長手方向においてもフリット・ガラス１１０がはみ出す
ことが抑制される。したがって、気密容器１２２の側端
面１３８の凹凸が大きい場合にも、気密封止に十分な量
のフリット・ガラス１１０が、はみ出しに起因する外形
寸法の拡大を伴うことなく封止部分すなわち排気穴１０
６の周縁に供給される。

【００３１】因みに、図２に示されるような円板状の蓋
部材４６には流れ止めとして機能する部分が何ら存在し
ない。そのため、凹凸の大きい気密容器１２２の側端面
１３８に設けられている排気穴１０６を、その蓋部材４
６で閉塞しようとする場合には、図１１に示されるよう
に多量のフリット・ガラス１１０を盛り上がるように蓋
部材４６上に塗布して設ける必要があることから、上記
の加熱工程Ｓ６において溶融した際にフリット・ガラス
１１０がはみ出して封止部分への供給が不十分となり、
或いは、はみ出したフリット・ガラス１１０によって気
密容器１２２の外形寸法の拡大や加熱治具の汚損等が生
じ得る。

【００３２】前記のようにして蓋部材１０８が気密容器
１２２に密着させられた後、冷却工程Ｓ７においては、
ヒータ１２６、１２８による加熱を終了させて気密容器
１２２、蓋部材１０８、フリット・ガラス１１０を冷却
する。これにより、そのフリット・ガラス１１０が硬化
させられ、蓋部材１０８が排気穴１０６を閉塞した状態
で気密容器１２２に固着されて、その内部が高真空にな
った状態で気密封止される。

【００３３】ここで、本実施例においては、スペーサ・
ガラス７６を貫通して設けられた排気穴１０６と、その
排気穴１０６を覆って閉塞するための平板状の閉塞部１
１４とＶＦＤ７０すなわち気密容器１２２の厚さ方向に
おけるその閉塞部１１４の両端部から気密容器１２２側
に向かって突設された嵌合部１１６とを備えてその嵌合
部１１６において気密容器１２２の外側に嵌め合わされ
た蓋部材１０８と、その蓋部材１０８をスペーサ・ガラ
ス７６の外面に気密に固着するフリット・ガラス１１０
とを、含んで気密容器１２２の封止構造が構成される。
そのため、スペーサ・ガラス７６に設けられた排気穴１
０６は、そのスペーサ・ガラス７６の外面にフリット・
ガラス１１０で気密に固着された蓋部材１０８に備えら
れる平板状の閉塞部１１４によって気密に塞がれる。こ
のとき、蓋部材１０８には、気密容器１２２の厚み方向
におけるその閉塞部１１４の両端部から突設された嵌合
部１１６が備えられてその嵌合部１１６が気密容器１２
２の外側に嵌め合わされることから、その厚み方向にお
ける蓋部材１０８とスペーサ・ガラス７６との相対位置
が確実に位置決めされている。しかも、気密容器１２２
の厚み方向においては、フリット・ガラス１１０がその
嵌合部１１６よりも外側に位置し得ないため、フリット
・ガラス１１０のはみ出しによる気密容器１２２の外形
寸法の拡大も好適に抑制される。したがって、外形寸法
の拡大を十分に抑制しつつスペーサ・ガラス７６におい
て気密封止し得る気密容器１２２の封止構造が得られ
る。

【００３４】また、本実施例においては、閉塞部１１４
から突設された嵌合部１１６の長さ寸法Ｌは、スペーサ
・ガラス７６の厚さ寸法と略同等すなわちそれよりも1
(mm)程度だけ大きい寸法である。そのため、排気穴１０
６が設けられた外面の短辺方向がスペーサ・ガラス７６
の高さ方向と一致する平箱状の気密容器１２２におい
て、表示面として利用されるフロント・ガラス７４の外
面に蓋部材１０８の嵌合部１１６が嵌め合わされても、
その嵌合部１１６の長さ寸法Ｌはスペーサ・ガラス７６
の厚さ寸法よりも僅かに大きく、封着剤１１８の幅寸法
と同様にされていることから、嵌合部１１６が位置する
部分は、フロント・ガラス７４の外面のうち、そのスペ
ーサ・ガラス７６が存在することから何らの機能も果た
し得ない部分に過ぎない。したがって、気密容器１２２
の機能上の支障、すなわちＶＦＤ７０の表示の部分的な
欠けや視野角の低下等を特に生じさせることなく、好適
な封止構造が得られる。

【００３５】また、本実施例においては、蓋部材１０８
は、厚さが0.2 〜0.3(mm) 程度の薄板状金属から曲成さ
れる。そのため、気密容器１２２の外側に固着されるそ
の蓋部材１０８による寸法拡大が一層抑制されることか
ら、外形寸法の拡大を一層抑制できる気密容器１２２の
封止構造が得られる。

【００３６】また、本実施例においては、蓋部材１０８
は、排気穴１０６の幅寸法の5 〜10倍程度の十分に大き
い幅寸法Ｗに構成されているため、その幅方向すなわち
気密容器１２２の側端面１３８におけるスペーサ・ガラ
ス７６の長手方向において、封止長さが十分に長く確保
される。そのため、一層高い気密性が得られる。

【００３７】また、本実施例においては、気密容器１２
２を封止するに際しては、気密容器配置工程Ｓ２におい
て、スペーサ・ガラス７６に排気穴１０６を有するその
気密容器１２２が真空チャンバ１２４内に配置され、蓋
部材配置工程Ｓ３において、平板状の閉塞部１１４とそ
の閉塞部１１４の周縁部から互いに略平行に突設された
一対の嵌合部１１６とを備えた蓋部材１０８が、真空チ
ャンバ１２４内に配置された気密容器１２２の排気穴１
０６からその閉塞部１１４が所定距離ｄ＝1 〜2(mm) 程
度だけ隔てられ且つその嵌合部１１６の先端部がその気
密容器１２２にｐ＝1 〜2(mm) 程度だけ嵌め合わされる
位置に、その閉塞部１１４のその排気穴１０６側の一面
１３４にフリット・ガラス１１０を塗布した状態で配置
された後、排気工程Ｓ４において前記排気穴１０６から
排気されると共に加熱工程Ｓ５においてフリット・ガラ
ス１１０が加熱溶融させられ、更に、押圧工程Ｓ６にお
いて、蓋部材１０８が閉塞部１１４が排気穴１０６に向
かうように気密容器１２２に向かって押圧される。その
ため、予め蓋部材１０８が嵌合部１１６の先端部におい
て気密容器１２２に嵌め合わされた状態で排気工程Ｓ４
乃至押圧工程Ｓ６が実施されることから、一対の嵌合部
１１６の一方から他方に向かう気密容器１２２の厚み方
向すなわち閉塞部１１４の面方向においては、その嵌合
部１１６と気密容器１２２との嵌め合いに基づき、それ
ら各工程中における蓋部材１０８と気密容器１２２との
相対位置が変化することが抑制されるため、スペーサ・
ガラス７６に設けられた排気穴１０６が専らその閉塞部
１１４によって好適に気密封止される。しかも、加熱溶
融させられるフリット・ガラス１１０は、その嵌合部１
１６が設けられている方向においてはそれよりも広がり
得ないため、フリット・ガラス１１０のはみ出しに起因
する気密容器１２２の外形寸法の拡大も抑制される。上
記により、気密容器１２２を封止するに際して、外形寸
法の拡大を十分に抑制しつつスペーサ・ガラス７６にお
いて気密封止することができる。

【００３８】また、本実施例においては、気密封止をす
るに際して、前記図８に示されるように気密容器１２２
が真空チャンバ１２４内で立てて配置されるため、基板
７２に設けられた排気穴４４が下側に位置するように気
密容器を寝せて配置させる必要があるＶＦＤ２６の封止
方法に比較して真空チャンバ１２４の利用効率が高めら
れ、一層多くのＶＦＤ７０を同時に処理できるという利
点がある。

【００３９】次に、本発明の他の実施例を説明する。な
お、以下の実施例において前述の実施例と共通する部分
は同一の符号を付して説明を省略する。

【００４０】図１２は、気密容器１２２の短辺側の端面
を一面が開放された平箱状の蓋部材１４０で気密封止し
たＶＦＤ１４２を示す斜視図である。本実施例において
は、前記図５に示されるものと同様な形状の欠落部１１
２がスペーサ・ガラス７６の短辺側に備えられて、その
短辺側に排気穴１０６が設けられている。また、蓋部材
１４０において、排気穴１０６を直接的に閉塞する閉塞
部１１４から略垂直に突設される嵌合部１１６は、その
閉塞部１１４の全周に備えられている。すなわち、互い
に平行な二対の嵌合部１１６が閉塞部１１４の互いに平
行な端縁から突設されている。この嵌合部１１６のう
ち、ＶＦＤ１４２の厚さ方向における閉塞部１１４の両
端から伸びるものは、前記蓋部材１０８と同様に基板７
２およびフロント・ガラス７４の外表面の一部を覆うよ
うに設けられているが、閉塞部１１４の他の両端から伸
びるものは、ＶＦＤ１４２の側端面の端部を覆うように
設けられている。そのため、結果としてＶＦＤ１４２の
一辺が蓋部材１４０によって保護され或いは補強されて
いることから、蓋部材１４０は気密封止の機能に加えて
ＶＦＤ１４２の破損を抑制する機能も備える。

【００４１】上記の蓋部材１４０の形成方法は蓋部材１
０８と略同様である。すなわち、例えば図１３(a) 、
(b) に示されるように、二対、４つの嵌合部１１６を展
開した平板状の状態でガラス・ペースト１３６を厚膜ス
クリーン印刷法等によって塗布し、乾燥後、金型による
折り曲げ加工により直角に折り曲げられて嵌合部１１６
を立体的に組み立てることで蓋部材１４０が形成され
る。このとき、相互に隣接する嵌合部１１６の辺のうち
折り曲げ加工によって突き合わされるもの相互間には何
ら接合処理が施されていないが、封止工程においてフリ
ット・ガラス１１０がその突き合わせ部分にも広がるた
め、気密容器１２２の気密性は十分に確保される。な
お、このように平箱状に形成された結果、本実施例の蓋
部材１４０によれば、封止工程中において、フリット・
ガラス１１０の流動延いてははみ出しが何れの方向にお
いても抑制されることとなるため、外形寸法を拡大する
ことなく一層気密性が高められるという利点もある。ま
た、本実施例から明らかなように、排気穴１０６を設け
る位置は気密容器１２２の側端面１３８であればその位
置は任意である。

【００４２】図１４に示される実施例の蓋部材１４４で
は、その閉塞部１１４から略直角に折り曲げられること
により突設された嵌合部１１６が、先端部に向かうに従
って互いに離隔するように開いて形成されている。この
蓋部材１４４によれば、気密容器１２２を封止するに際
して蓋部材１４４をその気密容器１２２側に相対移動さ
せると、その気密容器１２２の基板７２およびフロント
・ガラス７４の表面に対して傾斜した嵌合部１１６に沿
ってその側端面１３８が案内される。そのため、前記の
蓋部材配置工程Ｓ３における位置合わせが容易になると
いう利点がある。なお、嵌合部１１６の先端側の開きの
大きさは、ＶＦＤ７０等の気密容器１２２の厚み寸法の
拡大が許容される比較的小さな範囲に留めることが望ま
しい。

【００４３】図１５に示される蓋部材１４６において
は、一対の嵌合部１１６は閉塞部１１４に対して略垂直
に、すなわち互いに略平行に設けられているが、その先
端部の僅かな長さの部分は滑らかな曲面を以て互いに離
隔する方向に開いている。そのため、本実施例において
も、蓋部材配置工程Ｓ３において蓋部材１４６の嵌合部
１１６の先端を気密容器１２２に嵌め合わせるに際し
て、位置合わせが容易になるという利点がある。

【００４４】図１６に示される実施例の蓋部材１４８で
は、その閉塞部１１４の一対の長辺から相対的に長い一
対の嵌合部１１６が互いに平行に突設されると共に、相
対的に短い一対の突設片１５０が矩形の閉塞部１１４の
残る一対の短辺から突設されている。そのため、本実施
例においては、気密容器１２２を封止するに際して、相
対的に長い嵌合部１１６が、前記図８(b-1) 、(b-2) に
示されるように、その先端部を予め気密容器１２２に嵌
め合わされて位置決めする機能を有する一方、相対的に
短い突設片１５０は、専ら溶融させられたフリット・ガ
ラス１１０の流れ止めの機能だけを有する。したがっ
て、突設片１５０の長さＳだけ気密容器１２２の外形寸
法が拡大されることとなるが、その拡大量は排気管１６
が用いられる場合に比較すれば十分に小さいことから問
題とならず、却って封止に寄与するフリット・ガラス１
１０の量を一層多くできて気密性を一層高めることがで
きる利点がある。

【００４５】以上、本発明の一実施例を図面を参照して
詳細に説明したが、本発明は、更に別の態様でも実施さ
れる。

【００４６】例えば、実施例においては、本発明がＶＦ
Ｄ７０、１４２等の封止構造に適用された場合について
説明したが、本発明は、排気穴４４を備えてそれが気密
封止される気密容器であれば、図１に示されるような平
面型蛍光灯１０等の平面型放電灯、平面型画像表示装置
として用いられるＰＤＰやＦＥＤ等の発光体の外囲器等
を構成する種々の気密容器に適用される。また、気密容
器の形状は長手平箱状に限られず、平板部が円形或いは
種々の多角形とされた場合や、基板７２の２辺の寸法に
比較してスペーサ・ガラス７６の高さ寸法が十分に大き
い角筒状等を成す場合にも同様に適用され得る。

【００４７】また、実施例においては、セラミックスや
ガラス、琺瑯等から構成される気密容器１２２に本発明
が適用されていたが、気密容器１２２の構成材料は適宜
変更され、金属製等の気密容器にも本発明は同様に適用
され得る。

【００４８】また、実施例においては、基板７２、フロ
ント・ガラス７４、およびスペーサ・ガラス７６等が相
互に別体で構成されていたが、例えば、基板７２および
フロント・ガラス７４の一方とスペーサ・ガラス７６と
が一体的に形成され、それに基板７２およびフロント・
ガラス７４の他方が封着された気密容器１２２にも本発
明は同様に適用される。

【００４９】また、実施例においては、スペーサ・ガラ
ス７６の一部が全高に亘って欠落させられることによっ
て、その高さ寸法に等しい高さとその欠落部１１２の幅
寸法に等しい幅寸法とを有する排気穴１０６が備えられ
ていたが、スペーサ・ガラス７６の高さ方向の一部が欠
落させられた欠落部１１２が設けられることにより、排
気穴１０６の高さ寸法がその高さ寸法よりも小さくされ
ていてもよい。また、欠落部１１２の幅寸法は、実施例
で示した1(mm) 程度に限定されず、適当な排気コンダク
タンスおよび気密性が得られる範囲で適宜変更される。

【００５０】また、実施例においては、蓋部材１０８等
が0.2 〜0.3(mm) 程度の厚さの４２６合金で幅5 〜10(m
m)程度、嵌合部１１６の長さが3(mm) 程度の寸法に構成
されて、折り曲げ加工で成形されていたが、その厚さや
材質、各部の寸法等は気密容器１２２の用途や要求され
る外形寸法、気密性等に応じて適宜変更され、琺瑯、セ
ラミックスやガラス等から蓋部材を構成することもでき
る。また、折り曲げ加工に代えてプレス加工等で蓋部材
１０８等を成形してもよい。

【００５１】また、実施例においては、気密容器１２２
を封止するに際して蓋部材１０８をその気密容器１２２
に向かって移動させたが、相対移動して気密容器１２２
の排気穴１０６を閉塞すべき所定位置に蓋部材１０８等
が押圧させられるのであれば、気密容器１２２と蓋部材
１０８の何れを移動させても、或いは両方を移動させて
も差し支えない。

【００５２】また、実施例においては、蓋部材１０８等
の内面１３４の略全面にガラス・ペースト１３４が塗布
されていたが、嵌合部１１６への塗布は必ずしも為され
なくともよい。但し、気密性を高めるためには、略全面
に塗布することが好ましい。

【００５３】また、実施例においては、蓋部材１０８等
を気密容器１２２に固着し且つ気密封止するためのフリ
ット・ガラス１１０が、その蓋部材１０８等の一面１３
４に塗設されていたが、反対に気密容器１２２の側端面
１３８に塗設してもよい。なお、このようにする場合に
は、溶融したフリット・ガラス１１０が落ちないよう
に、その塗布面すなわち側端面１３８を上側に位置させ
て図８(b-1) 、(b-2) とは上下を反対に配置することが
望ましい。

【００５４】また、実施例においては、加熱工程Ｓ５
は、排気工程Ｓ４における排気が実質的に終了した後に
開始されていたが、加熱工程Ｓ５は、排気工程Ｓ４と同
時に、或いはそれよりも先に開始されてもよい。但し、
溶融させられたフリット・ガラス１１０の流動を可及的
に少なくするためには、溶融後速やかに押圧工程Ｓ６を
実施することが望ましい。したがって、加熱に必要な時
間と排気に必要な時間との長さの差を考慮して、気密容
器１２２内の真空度が所定値に達して実質的に排気が終
了した後に、フリット・ガラス１１０が溶融させられる
ように加熱工程Ｓ５の開始時期を設定する必要があるた
め、排気工程Ｓ４の終了後に加熱工程Ｓ５を開始するこ
とが装置の取扱いを容易にする上で好ましい。

【００５５】その他、一々例示はしないが、本発明はそ
の主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】(a) は従来の平面型蛍光灯の封止構造を説明す
る一部切り欠き斜視図であり、(b) は(a) におけるｂ−
ｂ視断面の要部を示す拡大図である。

【図２】(a) は従来の蛍光表示管の封止構造を説明する
斜視図であり、(b) は(a) におけるｂ−ｂ視断面図であ
る。

【図３】本発明の一実施例の蛍光表示管の構成を示す斜
視図である。

【図４】図３の蛍光表示管の断面図である。

【図５】図３の蛍光表示管に用いられているスペーサ・
ガラスを示す図である。

【図６】図３の蛍光表示管を気密封止する蓋部材を示す
図である。

【図７】図３の蛍光表示管の封止方法を説明する工程図
である。

【図８】(a) は図７の組立工程において組み立てられた
気密容器を示す図であり、(b-1) は図７の工程において
真空チャンバ内に気密容器および蓋部材が配置された状
態を示す図であり、(b-2) は(b-1) におけるII−II視断
面を示す図である。

【図９】図８において気密容器と蓋部材の位置関係を拡
大して詳細に示す図である。

【図１０】(a) 、(b) は蓋部材の形成方法を説明する図
である。

【図１１】従来の円板状の蓋部材を側面封止に適用する
場合の概念図である。

【図１２】本発明の他の実施例の封止構造を説明する図
である。

【図１３】(a) 、(b) は図１２の封止構造に適用される
蓋部材の形成方法を説明する図である。

【図１４】蓋部材の更に他の例を説明する図である。

【図１５】蓋部材の更に他の例を説明する図である。

【図１６】蓋部材の更に他の例を説明する図である。

【符号の説明】

７０：ＶＦＤ（気密容器） ７２：基板、７４：フロント・ガラス（一対の平行平板
部） ７６：スペーサ・ガラス（周壁部） １０６：排気穴 １０８：蓋部材（封止部材） １１０：フリット・ガラス（封止材料） １１４：閉塞部 １１６：嵌合部 １２２：気密容器

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の間隔を以て設けられて一対の平行
   平板部と該一対の平行平板部の周縁部に沿って設けられ
   た周壁部とを備えた気密容器において、容器内部から排
   気すると共に封止するための封止構造であって、 前記周壁部に前記容器内部側の内面から外部空間側の外
   面まで貫通して設けられた排気穴と、 該排気穴を覆ってこれを閉塞するための平板状の閉塞部
   と、少なくとも該排気穴が設けられた前記外面の短辺方
   向における該閉塞部の両端部から前記気密容器側に向か
   って突設された嵌合部とを備え、該嵌合部において該気
   密容器の外側に嵌め合わされた封止部材と、 該封止部材を前記周壁部の外面に気密に固着する封止材
   料層とを、含むことを特徴とする気密容器の封止構造。
2. 【請求項２】 前記外面の短辺方向は前記一対の平行平
   板部の一方から他方に向かう前記周壁部の高さ方向であ
   り、前記閉塞部から前記気密容器側に向かう方向におけ
   る前記嵌合部の長さ寸法は、該一対の平行平板部の面方
   向に沿った方向における該周壁部の厚さ寸法と略同等以
   下の大きさである請求項１の気密容器の封止構造。
3. 【請求項３】 前記気密容器は、内部に発光源を備えて
   前記一対の平行平板部の少なくとも一方から光を射出す
   るものである請求項１または２の気密容器の封止構造。
4. 【請求項４】 前記封止部材は、薄板状金属から曲げ成
   形されたものである請求項１乃至３の何れかの気密容器
   の封止構造。
5. 【請求項５】 所定の間隔を以て設けられて一対の平行
   平板部と該一対の平行平板部の周縁部に沿って設けられ
   た周壁部とを備えた気密容器において、容器内部から排
   気すると共に封止する方法であって、 前記周壁部に前記容器内部側の内面から外部空間側の外
   面まで貫通して設けられた排気穴を有する前記気密容器
   を真空容器内に配置する気密容器配置工程と、 平板状の閉塞部と該閉塞部の周縁部から互いに略平行に
   突設された一対の嵌合部とを備えた封止部材を、前記真
   空容器内に配置された前記気密容器の前記排気穴から該
   閉塞部が所定距離隔てられ且つ該嵌合部の先端部が該気
   密容器に嵌め合わされる位置に、少なくとも該閉塞部の
   該排気穴側の一面に所定の封止材料を塗布した状態で配
   置する封止部材配置工程と、 該封止部材配置工程の後に、前記真空容器内において前
   記排気穴から排気する排気工程と、 該封止部材配置工程の後に、前記真空容器内において前
   記所定の封止材料を加熱して溶融させる加熱工程と、 該排気工程および該加熱工程の後に、前記真空容器内に
   おいて前記封止部材を前記閉塞部が前記排気穴に向かわ
   せられるように前記気密容器に向かって押圧する押圧工
   程とを、含むことを特徴とする気密容器の封止方法。