JPH11143541A

JPH11143541A - 圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め装置

Info

Publication number: JPH11143541A
Application number: JP9301676A
Authority: JP
Inventors: Toshiro Higuchi; 俊郎樋口; Eiden Riyuu; 永田劉; Yutaka Yamagata; 豊山形
Original assignee: Kanagawa Academy of Science and Technology
Current assignee: Kanagawa Academy of Science and Technology
Priority date: 1997-11-04
Filing date: 1997-11-04
Publication date: 1999-05-28
Anticipated expiration: 2017-11-04
Also published as: JP4073061B2

Abstract

(57)【要約】【課題】位置決めすべき対象物が移動した後の位置に
関係なく、同じ駆動電圧の条件で同じ距離で移動するよ
うに、位置決めすべき対象物に空気圧アクチュエータに
より一定の予圧を与え、さらに、変位の小さい圧電素子
とストロークの長い空気圧アクチュエータとを一体化
し、自動組み立て作業の自動化への応用が可能な空気圧
アクチュエータを使用した圧電素子による衝撃力を用い
た精密位置決め装置を提供する。【解決手段】ベース１０に搭載される空気圧アクチュ
エータ１１と、この空気圧アクチュエータ１１に取り付
けられる圧電素子１２と、この圧電素子１２の前記空気
圧アクチュエータ１１が取り付けられる側と反対側の面
に取り付けられる衝撃体１３と、前記圧電素子１２に外
部より電圧パターンを与える手段と、前記空気圧アクチ
ュエータ１１に外部より駆動気圧を与える手段とを設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気圧アクチュエ
ータによる長ストロークの利点を利用し、圧電素子の振
動に伴う衝撃力を利用した精密位置決め装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】このような分野の技術としては、圧電素
子の急速変形に伴う衝撃力発生機構を用いた微小移動装
置が、本願発明者等により特公平５−８０６８５号公報
として、既に提案されている。さらに、この微小移動装
置は改良が加えられてきている。

【０００３】図７は従来の圧電素子の急速変形に伴う衝
撃力発生機構の駆動原理の説明図である。まず、図７
（ａ）に示すように、圧電素子２の両側にそれぞれ慣性
体１及び衝撃体３を取り付けた位置決め機構は、摺動面
４との静止摩擦力で保持された状態にある。この最初の
状態では、その位置決め機構は、ベース６に位置してい
る位置決めすべき対象物５と距離ｄ０離れている。

【０００４】次に、図７（ｂ）に示すように、そのイン
パクト駆動機構とも呼ばれる位置決め機構を、圧電素子
２に電圧を加えることによって、位置決めすべき対象物
５と接触の状態まで移動させる〔その移動原理は、以
下、図７（ｃ）から図７（ｅ）までの説明で位置決めす
べき対象物５を除いた場合と同じ〕。その接触している
状態では、位置決め機構の衝撃体３は位置決めすべき対
象物５と一体化される。

【０００５】次に、図７（ｃ）に示すように、更に、圧
電素子２を急速に膨張させると、その一体化された衝撃
体３及び位置決めすべき対象物５は、摺動面４との静止
摩擦力に打ち勝って、慣性体１とは逆の方向に移動し、
最後に摺動面４との動摩擦力により停止し、その移動距
離はｄ１となる。次に、膨張した圧電素子２を緩やかに
一定加速度で収縮させると、一体化された衝撃体３及び
位置決めすべき対象物５は、静止摩擦力で保持されたま
ま、慣性体１のみを引き戻すことができる。

【０００６】次に、図７（ｄ）に示すように、圧電素子
２が収縮したところで引き戻しの動作を突然停止させる
と、慣性体１が圧電素子２を介して、一体化された衝撃
体３及び位置決めすべき対象物５に衝突するような形と
なり、一体化された位置決めすべき対象物５は再び、微
小移動を起こす。次に、図７（ｅ）に示すように、一体
化された衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、距離
ｄ２を移動した後、停止し、再び、摺動面４との静止摩
擦力で保持された状態になり、１サイクルが終了する。

【０００７】以上の原理から分かるように、この位置決
め機構では、一体化された衝撃体３及び位置決めすべき
対象物５が距離ｄ１を移動した後、衝撃体３の位置を保
持するために、衝撃体３と摺動面４との静止摩擦力は、
圧電素子２がゆっくり引き戻す過程に伴う慣性力より大
きくなければならない。そのために衝撃体３の寸法を大
きくする方法や、衝撃体３の摺動面４の垂直方向に予圧
を与える方法などが用いられてきた。

【０００８】図８はかかる従来の位置決め機構を示す断
面図、図９は図８の右側面図である。図８に示すよう
に、圧電素子２の左側にねじ８で慣性体１を取り付け、
圧電素子２の右側にアタッチメント７で衝撃体３を取り
付ける。慣性体１はケースに固定されている座９で案内
され，また、その座９はリニアガイドを具備し、更に、
ばね１０１の調整により摺動面４に適切な摩擦力を与え
る。

【０００９】図９に示すように、その位置決め機構の衝
撃体３の直進性を維持するために、衝撃体３の両側に精
密ローラ１０３が組み込まれている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、衝撃
体３の位置を保持するために、衝撃体３の摺動面には、
ばね１０１及び摩擦プレート１０２などの組み合わせに
よるクランプ機構が使用されてきた。しかしながら、位
置決めすべき対象物に衝撃力を与える時、まず、位置決
め機構のクランプ機構による摩擦力を克服した後、位置
決めすべき対象物の摺動面の摩擦力を克服しなければな
らない。

【００１１】このような過程では、運動エネルギーは効
率的に使えず、ある部分が熱エネルギーとして摩擦プレ
ート１０２に消費されてしまう。また、その熱エネルギ
ーの消費による温度の上昇は、摺動面における摩擦プレ
ートの磨耗に大きな影響をもたらし、長時間使用する
と、位置決め機構の精度が悪くなり、クランプ機構の調
整も必要となる。

【００１２】また、摩擦力によるクランプのため、それ
ぞれ各位置決め機構の移動特性のばらつきが大きいの
で、多自由度の位置決め制御を行う場合には、多数の位
置決め機構を同時に使うことが必要となり、精密な位置
決め精度を得ることが困難であった。また、一体化とみ
なされる衝撃体３及び位置決めすべき対象物５は、それ
ぞれの摺動面との摩擦力が異なるため、衝撃力を受けた
時、衝撃体３のはね戻し、または位置決めすべき対象物
５の飛び出しという現象があるので、精密に位置決め制
御を行うには接触の状態を検知するためのセンサーが必
要であった。更に、この位置決め機構には、移動方向の
直進性を維持するために、リニアガイド及び精密ローラ
等が組み込まれており、位置決め機構を小型化するのが
困難であった。

【００１３】そこで、本発明は、上記問題点を除去し、
位置決めすべき対象物が移動した後の位置に関係なく、
同じ駆動電圧の条件で同じ距離で移動するように、位置
決めすべき対象物に空気圧アクチュエータにより一定の
予圧を与え、さらに、変位の小さい圧電素子とストロー
クの長い空気圧アクチュエータとを一体化し、自動組み
立て作業の自動化への応用が可能な空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め装置を提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、〔１〕空気圧アクチュエータを使用した圧電素子による
衝撃力を用いた精密位置決め装置において、ベースに搭
載される空気圧アクチュエータと、この空気圧アクチュ
エータに取り付けられる圧電素子と、この圧電素子の前
記空気圧アクチュエータが取り付けられる側と反対側の
面に取り付けられる衝撃体と、前記圧電素子に外部より
電圧パターンを与える手段と、前記空気圧アクチュエー
タに外部より駆動気圧を与える手段とを具備するように
したものである。

【００１５】〔２〕上記〔１〕記載の圧電素子による衝
撃力を用いた精密位置決め装置において、前記空気圧ア
クチュエータが前記圧電素子に連結する衝撃体を所望の
位置に移動させ、前記圧電素子が位置決め対象物の微動
を行うようにしたものである。〔３〕ベースに搭載される空気圧アクチュエータと、こ
の空気圧アクチュエータに取り付けられる圧電素子と、
この圧電素子の前記空気圧アクチュエータが取り付けら
れる側と反対側の面に取り付けられる衝撃体と、前記圧
電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、前記空
気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を与える手段と
を具備してなる圧電素子による衝撃力を用いた精密位置
決め装置を、位置決めすべき対象物の両側に配置し、前
記位置決めすべき対象物を正逆方向に駆動可能にしたも
のである。

【００１６】〔４〕ベースに搭載される空気圧アクチュ
エータと、この空気圧アクチュエータに取り付けられる
圧電素子と、この圧電素子の前記空気圧アクチュエータ
が取り付けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃
体と、前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手
段と、前記空気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を
与える手段とを具備してなる圧電素子による衝撃力を用
いた精密位置決め装置を、少なくとも３個配置し、位置
決めすべき対象物をＸ軸、Ｙ軸及び回転方向に駆動可能
にしたものである。

【００１７】〔５〕ベースに搭載される空気圧アクチュ
エータと、この空気圧アクチュエータに取り付けられる
圧電素子と、この圧電素子の前記空気圧アクチュエータ
が取り付けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃
体と、前記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手
段と、前記空気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を
与える手段とを具備してなる圧電素子による衝撃力を用
いた精密位置決め装置を、回転自在にセットされた位置
決めすべき対象の側面に配置し、前記位置決めすべき対
象を回転方向に駆動可能にするようにしたものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示す空気圧アクチュエータを使用した圧電
素子による衝撃力を用いた精密位置決め機構の構成図で
ある。この図に示すように、この精密位置決め機構は、
ベース１０上に配置される空気圧アクチュエータ１１
と、圧電素子１２と、衝撃体１３とから構成される。

【００１９】その空気圧アクチュエータ１１は、ロッド
１４、ピストン１５、シリンダ１６、第１のポート１７
及び第２のポート１８等からなる。また、ロッド１４の
先端に圧電素子１２が取り付けられ、その圧電素子１２
の前記空気圧アクチュエータ１１が取り付けられる側と
反対側の面に衝撃体１３が取り付けられている。また、
位置決めすべき対象物２０が、空気圧アクチュエータ１
１による初期予圧が与えられても動かないように摺動面
１９上に置かれている。

【００２０】図２は本発明の第１実施例を示す空気圧ア
クチュエータを使用した圧電素子による衝撃力を用いた
精密位置決め機構による位置決め過程の説明図である。
なお、図１と同じ部分には同じ符号を付してその説明は
省略する。以下、図２を参照しながら位置決めの動作に
ついて説明する。（１）まず、図２（ａ）に示すように、空気圧アクチュ
エータ１１のロッド１４は戻りの状態で、圧電素子１２
は初期の縮んだ状態である。衝撃体１３は位置決めすべ
き対象物２０と距離ｄ０離れている。

【００２１】（２）次に、図２（ｂ）に示すように、第
２のポート１８が開放の状態で第１のポート１７に空気
圧を加えてロッド１４を右側に移動させると、衝撃体１
３はロッド１４の移動に伴い、位置決めすべき対象物２
０と接触する。このとき、位置決めすべき対象物２０は
摺動面１９との静止摩擦力に保持されている。（３）続いて、図２（ｃ）に示すように、圧電素子１２
に変化率が正で時間が短い電圧パターンを印加すると、
それによる圧電素子１２の急速な伸長に伴う衝撃力は、
その一部が空気圧のダンピングに吸収され、あと残され
た部分が位置決めすべき対象物２０に作用し、位置決め
すべき対象物２０は距離ｄ１微動する。

【００２２】（４）次に、図２（ｄ）に示すように、変
化率が負である圧電パターンを圧電素子１２に印加する
ことにより、圧電素子１２は縮んでいき、この時、ピス
トン１５に作用する空気圧は押し力として衝撃体１３を
位置決め対象物２０に接触させる。また、移動した後の
位置決めすべき対象物２０は、再び静止摩擦力により保
持される。さらに、位置決めすべき対象物２０の位置決
めが完了するまで、ステップ（３）及び（４）を繰り返
す。

【００２３】（５）位置決めが完了した後、図２（ｅ）
に示すように、第１のポート１７が開放の状態で、第２
のポート１８に空気圧を加えて空気圧アクチュエータ１
１を元の状態に戻させる。圧電素子１２も縮んだ状態に
する。図３は本発明の第２実施例を示す空気圧アクチュ
エータを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位
置決め機構のシステム構成図である。なお、第１実施例
と同じ部分には同じ符号を付してその説明は省略する。

【００２４】この図に示すように、初期予圧が与えられ
ても移動しないようにベース２１に固定されている位置
決めすべき対象物２２には、その対象物２２の一方の側
面２２Ａに精密位置決め機構（Ｎｏ．１）が作用し、位
置決めすべき対象物２２のもう一方の側面２２Ｂに精密
位置決め機構（Ｎｏ．２）が作用する。このシステムで
は、空気圧源２３からの空気圧は、フィルタ、レギュレ
ータ及びルブリケータからなる装置（Ｒ．Ｌ．Ｆ）２４
で圧力の調整及び空気の濾過が行われる。精密位置決め
機構（Ｎｏ．１）を駆動する時には、ソレノイドバルブ
２５のソレノイド２７を駆動して空気圧を第１のポート
３０に導入し、それにより駆動される衝撃体１３が位置
決めすべき対象物２２の方向に移動する。

【００２５】また、第１のポート３０から排出される空
気は、流量調整弁２９で調整されることによって、衝撃
体１３のスピードをコントロールし、さらに、消音器３
２を介して大気に排出する。この場合、精密位置決め機
構（Ｎｏ．２）の駆動に使われるソレノイドバルブ２６
は中間の位置である。つまり、第２のポート３３及び第
１のポート３４が大気に開放する。この時、精密位置決
め機構（Ｎｏ．１）の圧電素子１２を振動させることに
より、位置決めすべき対象物２２は実線（矢印）の方向
に微動する。

【００２６】更に、精密位置決め機構（Ｎｏ．１）を元
の状態に戻すには、ソレノイドバルブ２５のソレノイド
２８を駆動して空気圧を第２のポート３１に導入し、そ
れにより駆動される衝撃体１３を初期の位置に戻す。ま
た、位置決めすべき対象物２２を点線（矢印）の方向に
微動させるには、上で述べたステップを逆にすればよ
い。つまり、このシステムでは、双方向の位置決めを行
うことができる。

【００２７】図４は本発明の第３実施例を示す空気アク
チュエータを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精
密位置決め機構の平面図である。なお、第１実施例と同
じ部分には同じ符号を付してその説明は省略する。この
図に示すように、この実施例では、位置決めすべき対象
物３５は初期予圧が与えられても移動しないようにベー
スに固定され、その位置決めすべき対象物３５の第１側
面３５Ａに精密位置決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．２）
が取り付けられ、位置決めすべき対象物３５の第２側面
３５Ｂに精密位置決め機構（Ｎｏ．３）が取り付けられ
る。また、位置決めすべき対象物３５の第３側面３５Ｃ
に精密位置決め機構（Ｎｏ．４及びＮｏ．５）が取り付
けられ、さらに、位置決めすべき対象物３５の第４側面
３５Ｄに精密位置決め機構（Ｎｏ．６）が取り付けられ
る。

【００２８】そこで、精密位置決め機構（Ｎｏ．１及び
Ｎｏ．２）の駆動により、位置決めすべき対象物３５を
右方向（Ｘ方向）に微動させ、精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．４及びＮｏ．５）の駆動により、位置決めすべき対
象物３５を左方向（−Ｘ方向）に微動させ、精密位置決
め機構（Ｎｏ．３）のみの駆動により、位置決めすべき
対象物３５を前方向（Ｙ方向）に微動させ、精密位置決
め機構（Ｎｏ．６）のみの駆動により、位置決めすべき
対象物３５を後方向（−Ｙ方向）に微動させ、精密位置
決め機構（Ｎｏ．１及びＮｏ．４）の駆動により、位置
決めすべき対象物３５を時計方向に微動させ、精密位置
決め機構（Ｎｏ．２及びＮｏ．５）の駆動により、位置
決めすべき対象物３５を反時計方向に微動させることが
できる。すなわち、位置決めすべき対象物３５は前後左
右に微動させることができるだけでなく、回転も行わせ
ることができる。

【００２９】図５は本発明の第４実施例を示す空気圧ア
クチュエータを使用した圧電素子による衝撃力を用いた
精密位置決め機構の平面図である。なお、第１実施例と
同じ部分には同じ符号を付してその説明は省略する。こ
の図に示すように、この実施例では、位置決めすべき対
象物３６は初期予圧が与えられても移動しないようにベ
ースに固定され、その位置決めすべき対象物３６の側面
３６Ａ〜３６Ｄには、その対象物３６の中心線Ａ，Ｂを
基準にして対向する側面を互いに逆方向にずらした位置
に順次、精密位置決め機構（Ｎｏ．１）、精密位置決め
機構（Ｎｏ．２）、精密位置決め機構（Ｎｏ．３）、精
密位置決め機構（Ｎｏ．４）が取り付けられる。

【００３０】そこで、４個の精密位置決め機構（Ｎｏ．
１からＮｏ．４）のうち、駆動の組合せにより、位置決
めすべき対象物３６は前後左右に微動させることができ
るだけでなく、回転も行わせることができる。図６は本
発明の第５実施例を示す空気圧アクチュエータを使用し
た圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め機構の平
面図である。なお、第１実施例と同じ部分には同じ符号
を付してその説明は省略する。

【００３１】この図に示すように、この実施例では、回
転中心軸４１を有する位置決めすべき対象物４２は、初
期予圧が与えられても回転しないようにベース（図示な
し）にセットされている。その位置決めすべき対象物４
２の左側面４２Ａの上側に第１の小型精密位置決め機構
（Ｎｏ．１）、その左側面４２Ａの下側に第２の小型精
密位置決め機構（Ｎｏ．２）、その位置決めすべき対象
物４２の右側面４２Ｃの上側に第３の小型精密位置決め
機構（Ｎｏ．３）、その右側面４２Ｃの下側に第４の小
型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）が当接されている。

【００３２】そこで、位置決めすべき対象物４２を時計
回りに回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎ
ｏ．１）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．４）との駆
動により行い、位置決めすべき対象物４２を反時計回り
に回転させる場合には、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．
２）と、小型精密位置決め機構（Ｎｏ．３）との駆動に
より行う。なお、４２Ｂは位置決めすべき対象物４２の
下方面、４２Ｄは位置決めすべき対象物４２の上方面で
ある。

【００３３】このように構成することにより、回転中心
軸４１を中心として微小回転駆動を行わせることができ
る。また、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、
これらを本発明の範囲から排除するものではない。

【００３４】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。（１）位置決めすべき対象物に対して的確な予圧を付与
し、精密な位置決めを行わせることができる。

【００３５】（２）位置決めすべき対象物に対する予圧
の調整を簡便に行うことができる。（３）位置決めすべき対象物が移動した後の位置に関係
なく同じ駆動電圧の条件において同じ距離で移動するよ
うに、位置決めすべき対象物に空気圧アクチュエータに
よる一定の予圧を与えることができる。さらに、変位の
小さい圧電素子とストロークの長い空気圧アクチュエー
タとを一体化し、自動組み立て作業の自動化を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構の構成図である。

【図２】本発明の第１実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構による位置決め過程の説明図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構のシステム構成図である。

【図４】本発明の第３実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構の平面図である。

【図５】本発明の第４実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構の平面図である。

【図６】本発明の第５実施例を示す空気圧アクチュエー
タを使用した圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決
め機構の平面図である。

【図７】従来の圧電素子の急速変形に伴う衝撃力発生機
構の駆動原理の説明図である。

【図８】従来の位置決め機構を示す断面図である。

【図９】図８の右側面図である。

【符号の説明】

１０，２１ベース１１空気圧アクチュエータ１２圧電素子１３衝撃体１４ロッド１５ピストン１６シリンダ１７，３０，３４第１のポート１８，３１，３３第２のポート１９摺動面２０，２２，３５，３６，４２位置決めすべき対象
物２２Ａ，２２Ｂ，３６Ａ〜３６Ｄ位置決めすべき対
象物の側面２３空気圧源２４フィルタ、レギュレータ及びルブリケータから
なる装置２５，２６ソレノイドバルブ２７，２８ソレノイド２９流量調整弁３２消音器３５Ａ第１側面３５Ｂ第２側面３５Ｃ第３側面３５Ｄ第４側面４１回転中心軸４１Ａ位置決めすべき対象物の左側面４１Ｂ位置決めすべき対象物の下方面４１Ｃ位置決めすべき対象物の右側面４１Ｄ位置決めすべき対象物の上方面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空気圧アクチュエータを使用した圧電素
子による衝撃力を用いた精密位置決め装置において、
（ａ）ベースに搭載される空気圧アクチュエータと、
（ｂ）該空気圧アクチュエータに取り付けられる圧電素
子と、（ｃ）該圧電素子の前記空気圧アクチュエータが
取り付けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃体
と、（ｄ）前記圧電素子に外部より電圧パターンを与え
る手段と、（ｅ）前記空気圧アクチュエータに外部より
駆動気圧を与える手段とを具備してなる圧電素子による
衝撃力を用いた精密位置決め装置。
【請求項２】請求項１記載の圧電素子による衝撃力を
用いた精密位置決め装置において、前記空気圧アクチュ
エータが前記圧電素子に連結する衝撃体を所望の位置に
移動させ、前記圧電素子が位置決め対象物の微動を行う
ことを特徴とする圧電素子による衝撃力を用いた精密位
置決め装置。
【請求項３】ベースに搭載される空気圧アクチュエー
タと、該空気圧アクチュエータに取り付けられる圧電素
子と、該圧電素子の前記空気圧アクチュエータが取り付
けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃体と、前
記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、前
記空気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を与える手
段とを具備してなる圧電素子による衝撃力を用いた精密
位置決め装置を、位置決めすべき対象物の両側に配置
し、前記位置決めすべき対象物を正逆方向に駆動可能に
してなる圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め装
置。
【請求項４】ベースに搭載される空気圧アクチュエー
タと、該空気圧アクチュエータに取り付けられる圧電素
子と、該圧電素子の前記空気圧アクチュエータが取り付
けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃体と、前
記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、前
記空気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を与える手
段とを具備してなる圧電素子による衝撃力を用いた精密
位置決め装置を、少なくとも３個配置し、位置決めすべ
き対象物をＸ軸、Ｙ軸及び回転方向に駆動可能にしてな
る圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め装置。
【請求項５】ベースに搭載される空気圧アクチュエー
タと、該空気圧アクチュエータに取り付けられる圧電素
子と、該圧電素子の前記空気圧アクチュエータが取り付
けられる側と反対側の面に取り付けられる衝撃体と、前
記圧電素子に外部より電圧パターンを与える手段と、前
記空気圧アクチュエータに外部より駆動気圧を与える手
段とを具備してなる圧電素子による衝撃力を用いた精密
位置決め装置を、回転自在にセットされた位置決めすべ
き対象の側面に配置し、前記位置決めすべき対象を回転
方向に駆動可能にしてなる圧電素子による衝撃力を用い
た精密位置決め装置。